流體控制裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造裝置等所使用的流體控制裝置，尤其涉及具備加熱機(jī)構(gòu)且多個(gè)流體控制儀器被集成化而形成的流體控制裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體制造裝置所使用的流體控制裝置中，將多條管線并列狀地設(shè)置在基座部件上的集成化不斷發(fā)展，其中，所述管線是多個(gè)流體控制儀器串聯(lián)狀地配置且不經(jīng)由管、接頭地連接而形成的。
[0003]在這樣的集成化流體控制裝置中有時(shí)需要加熱機(jī)構(gòu)，包含加熱機(jī)構(gòu)在內(nèi)的小型化成為課題。在專利文獻(xiàn)I中公開了如下構(gòu)造:使用層積塊，層積塊以覆蓋配管的方式設(shè)置，并且在層積塊上設(shè)置用于固定供一部分流體控制儀器載置的下部流路塊的固定部，從而進(jìn)行用加熱器加熱時(shí)的熱傳導(dǎo)。
[0004]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特開2008-159905號(hào)公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]發(fā)明所要解決的課題
[0008]根據(jù)上述專利文獻(xiàn)I的流體控制裝置，存在如下問題:無(wú)論有無(wú)加熱器都要使用層積塊支承下部流路塊(通路塊)，而無(wú)法自由地進(jìn)行層積塊(有加熱器的情況下的配管加熱部件)的安裝/拆卸。此外，在專利文獻(xiàn)I的流體控制裝置中還存在如下問題:在將多個(gè)由串聯(lián)狀地排列的多個(gè)流體控制儀器構(gòu)成的一條管線以多條管線設(shè)置于基座部件時(shí)，將各通路塊直接安裝于基座部件，以管線為單位的追加和變更變得麻煩。
[0009]本發(fā)明的目的在于提供一種流體控制裝置，能夠自由地進(jìn)行配管加熱部件的安裝/拆卸，并且能夠容易地進(jìn)行以由串聯(lián)狀地排列的多個(gè)流體控制儀器構(gòu)成的一條管線為單位的追加和變更。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]本發(fā)明的流體控制裝置具有:多個(gè)流體控制儀器，其串聯(lián)狀地配置；多個(gè)通路塊，其配置于多個(gè)流體控制儀器的下側(cè)且支承多個(gè)流體控制儀器；加熱器，其跨著多個(gè)流體控制儀器及多個(gè)通路塊中的若干個(gè)地配置于兩側(cè)；配管，其在多個(gè)通路塊的下側(cè)穿過(guò)，上述流體控制裝置的特征在于，具有:板狀的支承部件，其能夠拆裝地安裝有多個(gè)通路塊；中空狀的金屬制安裝部件，支承部件固定于其上表面，中空狀的金屬制安裝部件以能夠拆裝的方式安裝于基座部件；配管加熱部件，其由底壁及一對(duì)側(cè)壁構(gòu)成，在一對(duì)側(cè)壁間收納配管，且配管加熱部件以與安裝部件抵接的方式嵌入于安裝部件內(nèi)。
[0012]該流體控制裝置構(gòu)成由多條管線構(gòu)成的流體控制裝置(集成化流體控制裝置)的一條管線。通過(guò)將安裝有流體控制儀器及通路塊的支承部件固定于安裝部件的上表面，從而得到構(gòu)成一條管線的該流體控制裝置。雖然流體控制裝置為了構(gòu)成多條管線而安裝于框體內(nèi)的基座部件，但在這種情況下，能夠在框體外預(yù)先將需要的流體控制儀器及通路塊安裝于支承部件，能夠容易地進(jìn)行該安裝作業(yè)。此外，能夠通過(guò)I次作業(yè)而將一條管線設(shè)置于基座部件，因此，能夠容易地進(jìn)行以由串聯(lián)狀地排列的多個(gè)流體控制儀器構(gòu)成的一條管線為單位的追加和變更。
[0013]配管加熱部件例如為鋁制的塊狀部件，與配管接近，由此能夠使來(lái)自加熱器的熱量高效地傳導(dǎo)至配管。配管加熱部件成為即使省略也不會(huì)對(duì)流體控制儀器及通路塊的安裝造成影響的部件，從而能夠自由地進(jìn)行安裝/拆卸。
[0014]優(yōu)選的是，安裝部件具有一對(duì)側(cè)壁和將側(cè)壁端部連結(jié)起來(lái)的端壁，在各側(cè)壁上形成有貫通孔，穿插于該貫通孔的外螺紋件與設(shè)于配管加熱部件的側(cè)壁的內(nèi)螺紋部螺合，從而配管加熱部件能夠拆裝地安裝于安裝部件。如此，配管加熱部件的向支承部件的安裝/拆卸變得容易。
[0015]優(yōu)選的是，安裝部件還具有上側(cè)突出緣部，上側(cè)突出緣部以向內(nèi)方突出的方式設(shè)于端壁上表面，并供支承部件的兩端部固定。如此，支承部件的向安裝部件的安裝/拆卸變得容易。
[0016]優(yōu)選的是，安裝部件還具有下側(cè)突出緣部，下側(cè)突出緣部以向外方突出的方式設(shè)于端壁下表面，并固定于基座部件。如此，安裝部件的向基座部件的安裝/拆卸變得容易。
[0017]支承部件及安裝部件也能夠用于沒有使用加熱器的管線。在這種情況下，配管加熱部件也可以省略。
[0018]發(fā)明的效果
[0019]根據(jù)本發(fā)明的流體控制裝置，如上所述，能夠自由地進(jìn)行配管加熱部件的安裝/拆卸，并且能夠容易地進(jìn)行以由串聯(lián)狀地排列的多個(gè)流體控制儀器構(gòu)成的一條管線為單位的追加和變更。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖I是本發(fā)明的流體控制裝置的一實(shí)施方式的側(cè)視圖。
[0021]圖2是圖I的俯視圖。
[0022]圖3是圖I的橫截面圖。
[0023]圖4是圖I的主要部分的分解立體圖。
[0024]圖5是表示安裝部件的俯視圖。
[0025]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0026]I :流體控制裝置
[0027]4 :加熱器
[0028]5 :支承部件
[0029]6 :安裝部件
[0030]7 :配管加熱部件
[0031]11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21 :流體控制儀器
[0032]22、23 :通路塊
[0033]24 :配管
[0034]29:底壁
[0035]30:側(cè)壁
[0036]34:側(cè)壁
[0037]35:端壁
[0038]36:上側(cè)突出緣部
[0039]37:下側(cè)突出緣部
[0040]38:貫通孔
[0041]39:內(nèi)螺紋部
[0042]40:外螺紋件
[0043]41:內(nèi)螺紋部
[0044]42:突出部
[0045]43:內(nèi)螺紋部
[0046]44:貫通孔
【具體實(shí)施方式】
[0047]以下參照附圖對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。在以下說(shuō)明中，將圖1的上下稱為上下，將圖1的右稱為前、左稱為后，左右設(shè)為朝向后方。該前后、上下、左右是為了便于說(shuō)明而使用的，有時(shí)也將前后對(duì)調(diào)、或?qū)⑸舷伦優(yōu)樽笥叶褂谩?br>[0048]如圖1至圖3所示，本發(fā)明的流體控制裝置I的I個(gè)實(shí)施方式具有:上級(jí)層2，其具有沿前后方向串聯(lián)狀地配置的多個(gè)流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21 ;下級(jí)層3，其具有支承多個(gè)流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21的多個(gè)通路塊22、23 ;板狀加熱器4，其加熱上級(jí)層2和下級(jí)層3的需要部位；支承部件5，其支承下級(jí)層3的通路塊22、23 ;中空狀的安裝部件6，其配置于支承部件5的下側(cè)；以及配管加熱部件7，其收納于安裝部件6內(nèi)。
[0049]在支承部件5上以所需要的間隔通過(guò)外螺紋件25能夠拆裝地安裝有作為下級(jí)層構(gòu)成要素的多個(gè)通路塊22、23，跨著沿前后相鄰的通路塊22、23地配置作為上級(jí)層構(gòu)成要素的流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21，通過(guò)外螺紋件26而將流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21能夠拆裝地安裝于對(duì)應(yīng)的通路塊22、23。
[0050]而且，支承多個(gè)流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21的支承部件5經(jīng)由安裝部件6并列狀地配置于基座部件(圖示略)，由此形成具有多個(gè)流體控制裝置(管線)1的流體控制單元(例如，半導(dǎo)體制造用氣體供給裝置)，流體控制裝置(管線)1由串聯(lián)狀地配置的多個(gè)流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21形成。
[0051]在上級(jí)層2上，從左(入口側(cè))開始，依次設(shè)有具有第I氣體入口接頭11、第I開關(guān)閥12、調(diào)節(jié)器13及壓力檢測(cè)器14的第I氣體入口部8 ;具有第2氣體入口接頭15、第I流量控制器16及第2開關(guān)閥17的第2氣體入口部9 ;具有第3開關(guān)閥18、第2流量控制器19、過(guò)濾器20及氣體出口接頭21的出口部10。
[0052]配置于壓力檢測(cè)器14的出口的通路塊23內(nèi)的I字狀通路(圖示略)與配置于第3開關(guān)閥18的第2氣體入口的通路塊23內(nèi)的I字通路(圖示略)通過(guò)配管24連通。配管24在多個(gè)通路塊22、23下側(cè)，從入口側(cè)朝向出口側(cè)延伸，配管24的兩端部向上方延伸并向上方開口。第3開關(guān)閥18是三向閥，通過(guò)操作第3開關(guān)閥18，而阻斷或釋放來(lái)自第I氣體入口部8的氣體。
[0053]加熱器4是被稱作板式加熱器(panel heater)的板狀物，以從兩側(cè)夾著多個(gè)流體控制儀器11、12、13、14、15、16、17、18、19、2