氣體隔離腔用的真空泵的真空泵防震單元的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型尤指一種氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，該真空栗防震單元主要用于支撐真空栗，避免真空栗受外力震動(dòng)的功效。
【背景技術(shù)】
[0002]首先，請(qǐng)參閱圖1、圖2所示，【為現(xiàn)有的真空栗下懸組裝示意、真空栗側(cè)懸組裝示意圖】；一般的光罩、或晶圓片等半導(dǎo)體物料加工時(shí)，為避免其遭受異物污染，多數(shù)會(huì)置入于氣體隔離腔9中以真空或以特殊氣體保護(hù)加工，而氣體隔離腔9在光罩、或晶圓片等半導(dǎo)體物料至入前或后，利用真空栗8將氣體隔離腔9 一般氣體抽離至真空，而后，方可有利氣體隔離腔9以真空模式加工，或者，據(jù)高純度特殊氣體保護(hù)加工。另外，真空栗8組接于一機(jī)臺(tái)7，主要用于機(jī)臺(tái)7配置及相對(duì)裝設(shè)的氣體隔離腔9真空抽取，而真空栗8大多為下懸組裝于機(jī)臺(tái)7內(nèi)(如圖1所示)，另外，真空栗8又可為側(cè)懸方式組接于機(jī)臺(tái)7內(nèi)(如圖2所示)。(另外，光罩、晶圓片與半導(dǎo)體物料，在此未繪出及標(biāo)號(hào))。
[0003]但，真空栗8是一造價(jià)極高，且內(nèi)部是極其精密的物件，致真空栗8受限于精密組設(shè)，故不適合于震動(dòng)環(huán)境下操作，因此，真空栗8常在高強(qiáng)度震動(dòng)與地震中損毀，以及觸動(dòng)保護(hù)機(jī)制而停機(jī)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為改善現(xiàn)有真空栗有在高強(qiáng)度震動(dòng)與地震中損毀，以及觸動(dòng)保護(hù)機(jī)制而停機(jī)的缺失，本實(shí)用新型提供一種氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，其是令真空栗避免在強(qiáng)度較高震動(dòng)中受損的真空栗防震結(jié)構(gòu)，并據(jù)真空栗防震單元于真空栗下方支撐。
[0005]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:
[0006]一種氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，，該真空栗先組接于機(jī)臺(tái)，其中，機(jī)臺(tái)架設(shè)有頂接真空栗下方的真空栗防震單元，真空栗防震單元至少設(shè)有:一立頂體，立頂體上端朝上延伸有一上螺紋段，上螺紋段上方旋接有一貼接真空栗下緣的防震體。而防震體下端可增設(shè)有一防震旋體，防震旋體下方又具有一旋接上螺紋段的防震螺孔。
[0007]另外，上螺紋段又可旋設(shè)有螺帽，螺帽又可上旋抵撐于防震體下緣。而后，防震體是貼接真空栗下緣，且防震體又可為一硬質(zhì)橡膠。
[0008]又立頂體底端又朝上凹設(shè)有一螺孔，螺孔另旋接有一下螺紋段，下螺紋段下方又固定有一支撐體，支撐體下方又固接有一貼接機(jī)臺(tái)的支撐墊。
[0009]借以上組成，可知機(jī)臺(tái)是以真空栗防震單元朝上頂接真空栗，據(jù)之，有效防止真空栗受高強(qiáng)度震動(dòng)影響，用以排除現(xiàn)有所述缺失，同時(shí)，本實(shí)用新型是利用防震體與上螺紋段旋接令真空栗防震單元有調(diào)整組接的優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0010]本實(shí)用新型的有益效果是，其是令真空栗避免在強(qiáng)度較高震動(dòng)中受損的真空栗防震結(jié)構(gòu)，并據(jù)真空栗防震單元于真空栗下方支撐。
【附圖說(shuō)明】
[0011]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0012]圖1為現(xiàn)有的真空栗下懸組裝示意圖。
[0013]圖2為現(xiàn)有的真空栗側(cè)懸組裝示意圖。
[0014]圖3為本實(shí)用新型的真空栗防震單元組接示意圖。
[0015]圖4為本實(shí)用新型的真空栗防震單元組接放大圖。
[0016]圖5為本實(shí)用新型的真空栗防震單元操作示意圖。
[0017]圖6為本實(shí)用新型的真空栗防震結(jié)構(gòu)另一示意圖。
[0018]圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明:
[0019]7 機(jī)臺(tái)
[0020]8真空栗
[0021]9氣體隔離腔
[0022]I氣體隔離腔
[0023]2真空栗
[0024]3真空栗防震單元
[0025]31 立頂體
[0026]311 螺孔
[0027]32上螺紋段
[0028]321 螺帽
[0029]33防震體
[0030]34防震旋體
[0031]341防震螺孔
[0032]36下螺紋段
[0033]4 機(jī)臺(tái)
[0034]41 支架
[0035]5支撐體
[0036]6支撐墊
【具體實(shí)施方式】
[0037]請(qǐng)參閱圖3、圖4、圖5所示，【為本實(shí)用新型的真空栗防震單元組接示意、真空栗防震單元組接放大、真空栗防震單元操作示意圖】；指本實(shí)用新型的一種氣體隔離腔I用的真空栗2的真空栗防震單元3，該真空栗2先組接于機(jī)臺(tái)4，其中，機(jī)臺(tái)4架設(shè)有頂接真空栗2下方的真空栗防震單元3，真空栗防震單元3至少設(shè)有:一立頂體31，立頂體31上端朝上延伸有一上螺紋段32，上螺紋段32上方旋接有一貼接真空栗2下緣的防震體33 (如:圖3、圖4所示)(另外:光罩、晶圓片與半導(dǎo)體物料，在此未繪出及標(biāo)號(hào))。
[0038]是的，該防震體33是可貼接于真空栗2下緣，且防震體33又可為一能密貼真空栗2的硬質(zhì)橡膠制作，又防震體33下端可增設(shè)有一托接的防震旋體34，防震旋體34下方又具有一旋接上螺紋段32的防震螺孔341，另外，上螺紋段32又可旋設(shè)有螺帽321，螺帽321又可上旋抵撐于防震體33的防震旋體34下緣，但，螺帽321于朝下旋松時(shí)，恰好可令防震旋體34旋松，反之，防震旋體34又可據(jù)螺帽321的抵緊防止松脫。而后，機(jī)臺(tái)4是以真空栗防震單元3朝上頂接真空栗2，主要在令真空栗2避免于高強(qiáng)度震動(dòng)及地震中損毀，以及觸動(dòng)保護(hù)機(jī)制停機(jī)的損失。同時(shí)，利用防震體33的防震旋體34與上螺紋段32旋接，令真空栗防震單元3可借旋接調(diào)整組接防震旋體34上、下位移，并據(jù)可上、下位移的防震旋體34控制真空栗防震單元3朝上頂接真空栗2的支撐力(如:圖5所示)。
[0039]請(qǐng)參閱圖6所示，【為本實(shí)用新型的真空栗防震結(jié)構(gòu)另一示意圖】；其中，該立頂體31底端又朝上凹設(shè)有一螺孔311，螺孔311另旋接有一下螺紋段36，下螺紋段36下方又固定有一配合防震體33調(diào)整真空栗防震單元3組接及拆卸的支撐體5，支撐體5下方又固接有一貼接機(jī)臺(tái)4支架41的支撐墊6，據(jù)偏軟的支撐墊6設(shè)置，除可增加對(duì)支架41貼接外，亦能防止支架41刮傷及受損。
[0040]鑒于機(jī)臺(tái)4是利用真空栗防震單元3朝上頂接真空栗2，主要令真空栗2避免于高強(qiáng)度震動(dòng)及地震中損毀，以及觸動(dòng)保護(hù)機(jī)制停機(jī)的損失，用以摒除現(xiàn)有缺失。且真空栗防震單元3由防震體33及支撐體5旋接，借的，可知真空栗防震單元3對(duì)真空栗2有支撐力調(diào)整效益，并據(jù)此成為本實(shí)用新型的優(yōu)異特色。
[0041]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
[0042]綜上所述，本實(shí)用新型在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、使用實(shí)用性及成本效益上，完全符合產(chǎn)業(yè)發(fā)展所需，且所揭示的結(jié)構(gòu)亦是具有前所未有的創(chuàng)新構(gòu)造，具有新穎性、創(chuàng)造性、實(shí)用性，符合有關(guān)新型專(zhuān)利要件的規(guī)定，故依法提起申請(qǐng)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，其特征在于，該氣體隔離腔所連接的真空栗先組接于一機(jī)臺(tái)，其中，機(jī)臺(tái)架設(shè)有頂接真空栗下方的真空栗防震單元，真空栗防震單元至少設(shè)有一立頂體，立頂體上端朝上延伸有一上螺紋段，上螺紋段上方旋接有一貼接真空栗下緣的防震體。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，其特征在于，所述防震體下端可增設(shè)有一防震旋體，防震旋體下方又具有一旋接上螺紋段的防震螺孔。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，其特征在于，所述上螺紋段又可旋設(shè)有螺帽，螺帽又可上旋抵撐于防震體下緣。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，其特征在于，所述防震體是貼接真空栗下緣，且防震體又可為一硬質(zhì)橡膠。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3或4所述的氣體隔離腔用的真空栗的真空栗防震單元，其特征在于，所述立頂體底端又朝上凹設(shè)有一螺孔，螺孔另旋接有一下螺紋段，下螺紋段下方又固定有一支撐體，支撐體下方又固接有一貼接機(jī)臺(tái)的支撐墊。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型指一種氣體隔離腔的真空泵的真空泵防震單元，該氣體隔離腔所連接的真空泵先組接于一機(jī)臺(tái)，其中，機(jī)臺(tái)架設(shè)有頂接真空泵下方的真空泵防震單元，真空泵防震單元設(shè)有立頂體，立頂體上端朝上延伸有上螺紋段，上螺紋段上方旋接有貼接真空泵下緣的防震體。借之，真空泵防震單元設(shè)置有避免真空泵受外力震動(dòng)的事實(shí)優(yōu)異功效。
【IPC分類(lèi)】F16F15/04, F04B39/00, F16F15/08
【公開(kāi)號(hào)】CN204784423
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520313223
【發(fā)明人】吳明田
【申請(qǐng)人】日揚(yáng)科技股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年11月18日
【申請(qǐng)日】2015年5月15日