一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及到單晶硅片生產(chǎn)中的拋光領(lǐng)域，具體的說(shuō)是一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，單晶硅拋光片生產(chǎn)線上SPM-19拋光機(jī)的拋光液槽均就近放置在拋光機(jī)后，為拋光機(jī)供應(yīng)拋光液。但因拋光機(jī)背后有各種管路，又或地面不平，超出了現(xiàn)有拋光液槽所設(shè)計(jì)可移動(dòng)輪式地腳的適應(yīng)范圍，導(dǎo)致拋光液槽高度不合適，排液不暢，無(wú)法使用。因拋光液槽底部是兩橫兩豎十字交叉的兩條加強(qiáng)筋板，安裝時(shí)還需要使拋光液槽與水平成一定夾角的有利于排放。這樣普通的可調(diào)節(jié)地腳無(wú)法很好地滿足使用。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決由于拋光液槽底部結(jié)構(gòu)復(fù)雜導(dǎo)致普通的可調(diào)節(jié)地腳不能很好滿足使用需要的問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳。
[0004]本實(shí)用新型為解決上述技術(shù)問(wèn)題采用的技術(shù)方案為:一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳，包括與拋光液槽底部卡接的卡接部和與卡接部通過(guò)螺紋連接的旋轉(zhuǎn)調(diào)整部，所述卡接部為帶有螺帽的螺栓，在螺帽的頂面設(shè)置有相互垂直的V形槽和U形槽，且V形槽和U形槽分別與拋光液槽底部的橫向筋板和縱向筋板相配合卡接；所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整部為圓臺(tái)狀螺帽結(jié)構(gòu)，其內(nèi)設(shè)置有貫通的螺紋孔，卡接部的螺栓與螺紋孔螺紋連接，以實(shí)現(xiàn)卡接部高度的調(diào)整。
[0005]所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整部由下部的基座、中部的圓臺(tái)部和上部的連接部構(gòu)成，其中，基座和連接部分別為直徑與圓臺(tái)部的底部和頂部相同的圓筒結(jié)構(gòu)，且基座的直徑大于連接部的直徑。
[0006]所述連接部的側(cè)壁上設(shè)置有縱切部，縱切部沿連接部的中軸面對(duì)稱分布，且高度貫通連接部的頂部和底部。
[0007]本實(shí)用新型中，V形槽為適應(yīng)拋光液槽傾斜為一定的排放角度而避讓拋光液槽下的橫向筋板，而U形槽則是為了卡裝在拋光液槽底部的縱向筋板上，以限制地腳的移動(dòng)，使之可以穩(wěn)固地安放在拋光液槽底部。為適應(yīng)拋光液槽的排放角度，要使U型槽的深度大于V形槽。為防止生銹適合在潔凈廠房?jī)?nèi)使用，本實(shí)用新型的卡接部和旋轉(zhuǎn)調(diào)整部均采用不銹鋼材料加工制造。
[0008]有益效果:本實(shí)用新型通過(guò)在螺栓結(jié)構(gòu)的卡接部表面設(shè)置相互垂直的V形槽和U形槽，且V形槽和U形槽分別與拋光液槽底部的橫向筋板和縱向筋板相配合卡接，從而解決了了拋光液槽固定及拋光液的排液不暢問(wèn)題，保證了拋光機(jī)拋光液的供應(yīng)。
【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1為卡接部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2為圖1中A-A截面的剖視圖；
[0011]圖3為圖1的俯視圖；
[0012]圖4為旋轉(zhuǎn)調(diào)整部的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖5為圖4中B-B截面的剖視圖；
[0014]圖6為圖4的俯視圖；
[0015]附圖標(biāo)記:1、卡接部，101、U形槽，102、V形槽，2、旋轉(zhuǎn)調(diào)整部，201、連接部，202、圓臺(tái)部，203、基座，204、螺紋孔，205、縱切部。
【具體實(shí)施方式】
[0016]如圖所示，一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳，包括與拋光液槽底部卡接的卡接部I和與卡接部I通過(guò)螺紋連接的旋轉(zhuǎn)調(diào)整部2，所述卡接部I為帶有螺帽的螺栓，在螺帽的頂面設(shè)置有相互垂直的V形槽102和U形槽101，且V形槽102和U形槽101分別與拋光液槽底部的橫向筋板和縱向筋板相配合卡接；所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整部2為圓臺(tái)狀螺帽結(jié)構(gòu)，其內(nèi)設(shè)置有貫通的螺紋孔204，卡接部I的螺栓與螺紋孔204螺紋連接，以實(shí)現(xiàn)卡接部I高度的調(diào)整。
[0017]以上為本實(shí)用新型的基本實(shí)施方式，可在以上基礎(chǔ)上做進(jìn)一步的限定和優(yōu)化:
[0018]進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整部2由下部的基座203、中部的圓臺(tái)部202和上部的連接部201構(gòu)成，其中，基座203和連接部201分別為直徑與圓臺(tái)部202的底部和頂部相同的圓筒結(jié)構(gòu)，且基座203的直徑大于連接部201的直徑；
[0019]更進(jìn)一步的，所述連接部201的側(cè)壁上設(shè)置有縱切部205，縱切部205沿連接部201的中軸面對(duì)稱分布，且高度貫通連接部201的頂部和底部。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳，其特征在于:包括與拋光液槽底部卡接的卡接部(I)和與卡接部(I)通過(guò)螺紋連接的旋轉(zhuǎn)調(diào)整部(2)，所述卡接部(I)為帶有螺帽的螺栓，在螺帽的頂面設(shè)置有相互垂直的V形槽(102)和U形槽(101 )，且V形槽(102)和U形槽(101)分別與拋光液槽底部的橫向筋板和縱向筋板相配合卡接；所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整部(2)為圓臺(tái)狀螺帽結(jié)構(gòu)，其內(nèi)設(shè)置有貫通的螺紋孔(204)，卡接部(I)的螺栓與螺紋孔(204)螺紋連接，以實(shí)現(xiàn)卡接部(I)高度的調(diào)整。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳，其特征在于:所述旋轉(zhuǎn)調(diào)整部(2)由下部的基座(203)、中部的圓臺(tái)部(202)和上部的連接部(201)構(gòu)成，其中，基座(203 )和連接部(201)分別為直徑與圓臺(tái)部(202 )的底部和頂部相同的圓筒結(jié)構(gòu)，且基座(203)的直徑大于連接部(201)的直徑。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳，其特征在于:所述連接部(201)的側(cè)壁上設(shè)置有縱切部(205 )，縱切部(205 )沿連接部(201)的中軸面對(duì)稱分布，且高度貫通連接部(201)的頂部和底部。
【專利摘要】一種單晶硅片拋光液槽用可調(diào)節(jié)地腳，包括與拋光液槽底部卡接的卡接部和與卡接部通過(guò)螺紋連接的旋轉(zhuǎn)調(diào)整部，卡接部為帶有螺帽的螺栓，在螺帽的頂面設(shè)置有與拋光液槽底部的橫向筋板和縱向筋板相配合卡接的V形槽和U形槽；旋轉(zhuǎn)調(diào)整部為圓臺(tái)狀螺帽結(jié)構(gòu)，其內(nèi)設(shè)置有貫通的螺紋孔，卡接部的螺栓與螺紋孔螺紋連接，以實(shí)現(xiàn)卡接部高度的調(diào)整。本實(shí)用新型通過(guò)在螺栓結(jié)構(gòu)的卡接部表面設(shè)置相互垂直的V形槽和U形槽，且V形槽和U形槽分別與拋光液槽底部的橫向筋板和縱向筋板相配合卡接，從而解決了拋光液槽固定及拋光液的排液不暢問(wèn)題，保證了拋光機(jī)拋光液的供應(yīng)。
【IPC分類】F16M7/00, F16B35/04
【公開號(hào)】CN204852794
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520528011
【發(fā)明人】張磊, 范強(qiáng), 卓元, 宋松偉, 高戰(zhàn)峰
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日