專利名稱：一種大用量擴充管路輸送液體和氣體的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種大用量液體和氣體的輸送方法，尤其涉及一種大用量擴充 管路輸送液體和氣體的方法。
背景技術(shù)：
在現(xiàn)有的大用量氣體的輸送中，由于管路較粗，送氣過程往往會有兩大不 利因素，即上游的壓降和下游中產(chǎn)生的顆粒。上游產(chǎn)生的壓降會使與之連接的 機臺產(chǎn)生停機的風險，而下游中產(chǎn)生的顆粒會影響系統(tǒng)的制程。傳統(tǒng)上我們都 是直接進行送氣，利用緩慢打開或開停擴充閥的方式來減少上游的壓降和下游 的顆粒，但是這種控制沒有一定的標準，僅憑經(jīng)驗和感覺來控制，這樣一來就 不能完全的消除上游的壓降和下游的顆粒。
在利用擴充管路輸送液體的方法與裝置中，也存在同樣的問題，即直接打 開擴充閥，憑經(jīng)驗和感覺來控制上游的壓降和在下游內(nèi)對管路的撞擊力，這樣 誤差比較大，很難從根本上消除，并且也很難操作，現(xiàn)實中就發(fā)生過由于控制 不當將下游管道中安裝過濾器的盒子撞壞的例子。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是在原有的擴充管路輸送氣體或者液體的方法上作了 一些改動，來 減少上游產(chǎn)生的壓降和下游產(chǎn)生的顆粒，j吏得整個系統(tǒng)更加安全。
為解決上述問題，本發(fā)明采用的方法為 一種大用量擴充管4^送氣方法，包括
步驟一將送氣管道和擴充管道的備用分支小管道用細管連接起來； 步驟二打開送氣管道和擴充管道的備用分支小管道上的手動閥，使送氣
管道中的氣體通過細管輸送到擴充管道中；
步驟三等送氣管道中的壓力和擴充管道中的壓力一致的時候，再打開擴 充閥。 .
其中細管可以為金屬管，玻璃管，軟管，尺寸為，2分管或者3分管等，在
輸送有腐蝕性、有毒性氣體時，應具有耐腐蝕性。 一種大用量擴充管路輸送液體的方法，包括
步驟一將輸送液體的管道和擴充管道的備用分支小管道用細管連接起來； 步驟二打開輸送液體管道和擴充管道的備用分支小管道上的手動閥，使
輸送液體管道中的液體通過細管輸送到擴充管道中；
步驟三等擴充管道中充滿液體的時候，再打開擴充閥。 其中輸送液體的時候，小管可以為6分管， 一寸管等小管，在輸送有腐蝕
性，有毒性液體時，應具有耐腐蝕性。
其中在輸送液體或者氣體的的時候，細管的直徑d、于輸送管道的直徑。 本發(fā)明還提供了一種大用量擴充管路的裝置，包括輸送管路，安裝在輸送
管路上的備用分支小管道及小管道上的手動閥，擴充管路，安裝在擴充管路上
的備用小管道及小管道上的手動闊，兩個備用小管道之間用細管連接起來。 本發(fā)明由于采用了上述的方法，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下的優(yōu)點 1, 能夠減少上游產(chǎn)生的壓降，降低機臺產(chǎn)生停機的風險； 2， 能夠減少下游中產(chǎn)生的顆粒，盡可能少的影響系統(tǒng)的制程； 3, 方法簡便，不增加成本。


圖1為現(xiàn)有的大用量送氣裝置示意圖； 圖2為改進后的大用量送氣裝置示意圖； 圖3為現(xiàn)有的大用量液體輸送裝置示意圖； 圖4為改進后的大用量液體輸送裝置示意圖；
具體實施例方式
本發(fā)明是在現(xiàn)有的大用量擴充管路送氣系統(tǒng)或者大用量擴充管路輸送液體 系統(tǒng)進行的改進，其具體實施方式
如下
現(xiàn)有的大用量擴充管路送氣裝置如圖1所示，包括供氣管道1和擴充管道2， 中間由擴充閥3連接，在供氣管道和擴充管道上面分別裝有直接送給才幾臺用的 備用分支小管道4和5，備用分支小管道4上有手動閥8，備用分支小管道5上 有手動閥7。
本發(fā)明是將供氣管道上的備用分支小管道4和擴充管道上的備用分支小管
道5用細管6連接起來，然后在送氣過程中，在打開擴充閥進行大量送氣之前， 先打開手動閥7和8，使上游供氣管道中的氣體通過細管6輸送到下游的擴充管 道中去；然后當上游與下游管道中的氣體壓力基本持平的時候，再打開擴充閥3, 如圖2所示。由于細管的直徑遠遠小于供氣管道的直徑，這樣一來，就會使上 游擴充管道中的氣壓緩慢的輸送，大大降低上游機臺停機的風險，同時由于通 過軟管向下游擴充管路中輸送的氣體也非常緩慢，這樣就使得下游產(chǎn)生的顆粒 大大減少，提高系統(tǒng)的制程。
其中連接兩個備用分支小管道的管道可以是任意的，可以為金屬管，玻璃 管，軟管，但是使用軟管的效果更好。當輸送的是有毒或者有腐蝕性氣體的話， 就需要使用耐腐蝕性的細管，細管可以為3分管，2分管等小管。
理論上，當兩個備用分支小管道的之間的距離越大，所需要的細管就也長， 其降低上游的壓降和減少下游顆粒的效果也就更加明顯。
該大用量氣體擴充管路送氣方法也同樣適用大用量液體的輸送。現(xiàn)有的大 用量擴充管路輸送液體的方法如圖3所示，同樣也包括輸送液體的管道1和擴 充管道2，中間用擴充閥3連接起來，其中輸送液體的管道和擴充管道上都有直 接供給機臺的備用分支小管道4和5，備用分支小管道4上有手動閥8，備用分 支小管道5上有手動閥7。
本發(fā)明的改進方案是將供氣管道上的備用分支小管道和擴充管道上的備用 分支小管道用細管6連接起來，然后在輸送液體的過程中，在打開擴充閥3進 行輸送液體之前，先打手動閥8和7，使上游輸送管道中的液體先通過細管6輸 送到下游的擴充管道中去；然后下游管道充滿液體的時候，再打開擴充閥3進 行液體輸送，如圖4所示。由于軟管的直徑遠遠小于供氣管道的直徑，這樣一 來，就會使上游的壓降基本上可以忽略，大大降低上游機臺停機的風險，也使 得對下游管道的沖擊力大大減小，保護下游管道中的其他設(shè)備。
其中在輸送液體時，細管可以為6分管、 一寸管等小管。
權(quán)利要求
1、一種大用量擴充管路送氣方法，其特征在于，該方法包括:步驟一:將送氣管道和擴充管道的備用分支管路用細管連接起來；步驟二:打開送氣管道和擴充管道的備用分支小管路的手動閥，使送氣管道中的氣體通過細管輸送到擴充管道中；步驟三:等送氣管道中的壓力和擴充管道中的壓力一致的時候，再打開擴充閥。
2、 如權(quán)利要求1所述的大用量擴充管路送氣方法，其特征在于，所述的細管可 以為金屬管或者玻璃管或者軟管。
3、 如權(quán)利要求1所述的大用量擴充管路送氣方法，其特征在于，所述細管的直 徑小于送氣管道和擴充管道的直徑。
4、 如權(quán)利要求1所述的大用量擴充管路送氣方法，其特征在于，所述細管可以 為2分管或者3分管。
5、 一種大用量擴充管路輸送液體的方法，其特征在于，該方法包括 步驟一將輸送液體的管道和擴充管道的備用分支小管路用細管連接起來； 步驟二打開輸送液體管道和擴充管道的備用分支小管路手動閥，使輸送液體 管道中的液體通過細管輸送到擴充管道中；步驟三等擴充管道充滿液體的時候，再打開擴充閥。
6、 如權(quán)利要求5所述的大用量擴充管路輸送液體的方法，其特征在于，所述的 細管可以為金屬管或者玻璃管或者軟管。
7、 如權(quán)利要求5所述的大用量擴充管路輸送液體的方法，其特征在于，所述細 管的直徑小于送氣管道和擴充管道的直徑。
8、 如權(quán)利要求5所述的大用量擴充管路輸送液體的方法，其特征在于，所述細 管可以為6分管或者一寸管。
9、 一種大用量擴充管路裝置，包括輸送管路，安裝在輸送管路上的備用分支小 管道及小管道上的手動閥，擴充管路，安裝在擴充管路上的備用分支小管道及 小管道上的手動閥，其特征在于，兩個備用分支小管道之間有連接細管。
全文摘要
本發(fā)明一種大用量擴充管道輸送氣體的方法，包括將送氣管道和擴充管道的備用分支小管路用細管連接起來；打開送氣管道的分支小管路手動閥和擴充管道的分支小管路的手動閥，使送氣管道中的氣體通過細管輸送到擴充管道中；等送氣管道中的壓力和擴充管道中的壓力一致的時候，再打開擴充閥進行大用量送氣。使用這種方法大大降低上游管道中產(chǎn)生的壓降，降低上游機臺產(chǎn)生停機的風險，也可以減少下游管道中產(chǎn)生的顆粒，提高系統(tǒng)的制程。
文檔編號F17D1/08GK101377266SQ20071004548
公開日2009年3月4日 申請日期2007年8月31日 優(yōu)先權(quán)日2007年8月31日
發(fā)明者張文武 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司