本技術(shù)涉及微波等離子體化學(xué)氣相沉積,具體而言,涉及一種聯(lián)軸器、樣品臺(tái)組件及mpcvd裝置。
背景技術(shù):
1、聯(lián)軸器,是電機(jī)與軸、或軸與軸之間相互連接的中間件,其在傳遞運(yùn)動(dòng)和動(dòng)力的過程中與軸一同回轉(zhuǎn)。
2、現(xiàn)有技術(shù)中的聯(lián)軸器結(jié)構(gòu)復(fù)雜,給生產(chǎn)帶來了極大的不便。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的,在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供了一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單的聯(lián)軸器。
2、本實(shí)用新型的另一目的,在于提供了一種樣品臺(tái)組件,其采用了上述聯(lián)軸器。
3、本實(shí)用新型的又一目的,在于提供了一種mpcvd裝置,其采用了上述樣品臺(tái)組件。
4、本實(shí)用新型的目的通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
5、一種聯(lián)軸器,包括與鎖緊筒連接的連接板,所述鎖緊筒與連接板之間設(shè)置有第一缺口,所述第一缺口沿鎖緊筒的徑向延伸,所述鎖緊筒的端面設(shè)置有第二缺口,所述第二缺口沿鎖緊筒的軸向延伸并貫通第一缺口,所述鎖緊筒的軸向設(shè)置有第一通孔,所述第一通孔的徑向設(shè)置有緊固件,轉(zhuǎn)動(dòng)所述緊固件,能夠改變所述第一通孔的直徑大小。
6、進(jìn)一步的,所述連接板設(shè)置有第二通孔,所述第二通孔的直徑與第一通孔的直徑不相等,所述第二通孔與第一通孔相互貫通且同軸。
7、進(jìn)一步的,所述第一通孔的直徑小于第二通孔的直徑。
8、進(jìn)一步的,所述連接板的下表面設(shè)置有盲孔,所述盲孔與第二通孔同軸。
9、進(jìn)一步的,所述第一通孔的孔壁上設(shè)置有用于防滑的紋路或鍵槽。
10、進(jìn)一步的,所述第一通孔內(nèi)設(shè)置有用于防滑的橡膠墊。
11、一種樣品臺(tái)組件,所述樣品臺(tái)組件包括所述聯(lián)軸器。
12、一種mpcvd裝置,所述mpcvd裝置包括所述樣品臺(tái)組件。
13、本實(shí)用新型具有以下優(yōu)點(diǎn):
14、本實(shí)用新型的聯(lián)軸器,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、便于加工制作;采用了本實(shí)用新型聯(lián)軸器的樣品臺(tái)組件,其結(jié)構(gòu)得以大幅簡(jiǎn)化;而采用了本實(shí)用新型樣品臺(tái)組件的mpcvd裝置,其樣品臺(tái)可轉(zhuǎn)動(dòng)的設(shè)置在反應(yīng)腔中,使樣品臺(tái)受熱更均勻,提高了沉積的均勻性。
1.一種聯(lián)軸器,其特征在于:包括與鎖緊筒(1)連接的連接板(2),所述鎖緊筒(1)與連接板(2)之間設(shè)置有第一缺口(3),所述第一缺口(3)沿鎖緊筒(1)的徑向延伸,所述鎖緊筒(1)的端面設(shè)置有第二缺口(4),所述第二缺口(4)沿鎖緊筒(1)的軸向延伸并貫通第一缺口(3),所述鎖緊筒(1)的軸向設(shè)置有第一通孔(5),所述第一通孔(5)的徑向設(shè)置有緊固件,轉(zhuǎn)動(dòng)所述緊固件,能夠改變所述第一通孔(5)的直徑大小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聯(lián)軸器,其特征在于:所述連接板(2)設(shè)置有第二通孔(6),所述第二通孔(6)的直徑與第一通孔(5)的直徑不相等,所述第二通孔(6)與第一通孔(5)相互貫通且同軸。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聯(lián)軸器,其特征在于:所述第一通孔(5)的直徑小于第二通孔(6)的直徑。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的聯(lián)軸器,其特征在于:所述連接板(2)的下表面設(shè)置有盲孔(7),所述盲孔(7)與第二通孔(6)同軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的聯(lián)軸器,其特征在于:所述第一通孔(5)的孔壁上設(shè)置有用于防滑的紋路或鍵槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任意一項(xiàng)所述的聯(lián)軸器,其特征在于:所述第一通孔(5)內(nèi)設(shè)置有用于防滑的橡膠墊。
7.一種樣品臺(tái)組件,其特征在于:所述樣品臺(tái)組件包括權(quán)利要求1至6任意一項(xiàng)所述的聯(lián)軸器。
8.一種mpcvd裝置,其特征在于:所述mpcvd裝置包括權(quán)利要求7所述的樣品臺(tái)組件。