專(zhuān)利名稱(chēng)：惰性氣體注入設(shè)備及惰性氣體注入方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及惰性氣體注入設(shè)備、以及利用這樣的惰性氣體注入設(shè)備的惰性氣體注入方法，所述惰性氣體注入設(shè)備具備:注入裝置，設(shè)在支承收存基板的容器的支承部上，以使上述容器內(nèi)的氣體從上述容器的排氣口向外部排出的狀態(tài)從上述容器的供氣口將惰性氣體向上述容器的內(nèi)部注入；控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作。
背景技術(shù)：
為了抑制在基板(例如半導(dǎo)體晶片)上附著微粒、此外抑制因氧或濕度而基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化，為了向收存基板的容器注入惰性氣體而使用上述那樣的惰性氣體注入設(shè)備。S卩，隨著從收存基板的容器的供氣口注入惰性氣體，容器內(nèi)的氣體被從排氣口向外部排出，容器內(nèi)成為被注入的惰性氣體充滿(mǎn)的狀態(tài)。因此，能夠抑制在基板上附著微粒、以及因氧或濕度而基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化。在特開(kāi)2006 - 86308號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)I)中，公開(kāi)了這樣的惰性氣體注入設(shè)備的一例，在該惰性氣體注入設(shè)備中，向作為容器的箱以目標(biāo)流量(10升/分鐘)注入作為惰性氣體的氮?dú)?。順便說(shuō)一下，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，在供氣口中裝備有容許氮?dú)庖员却髿鈮荷源蟮膲毫ο蛉萜鲀?nèi)流入的閥，在排氣口中裝備有容許容器內(nèi)的氣體以比大氣壓稍大的壓力流出的閥。并且，記載有在將氮?dú)庀蛉萜鲀?nèi)注入5分鐘后、在將注入停止的狀態(tài)下保管的技術(shù)。S卩，在專(zhuān)利文獻(xiàn)I中，記載有在與保管箱的箱擱板不同的部位設(shè)置為了注入氮?dú)舛С邢涞募託庹尽⒂杉託庹咀⑷氲獨(dú)夂蟮南浔９艿较鋽R板上的技術(shù)。在特開(kāi)平11 - 168135號(hào)公報(bào)(專(zhuān)利文獻(xiàn)2)中，公開(kāi)了惰性氣體注入設(shè)備的另一例。在該惰性氣體注入設(shè)備中，以向作為容器的箱將作為惰性氣體的氮?dú)夤┙o設(shè)定供給時(shí)間的期間、然后在設(shè)定停止時(shí)間的期間中將氮?dú)獾墓┙o停止、如果經(jīng)過(guò)設(shè)定停止時(shí)間則再次將氮?dú)夤┙o設(shè)定供給時(shí)間的期間的形態(tài)，將氮?dú)庀蛳溟g歇地供給(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)2(段落

))。順便說(shuō)一下，在專(zhuān)利文獻(xiàn)2中，記載有向支承在保管裝置的擱板上的箱注入氮?dú)獾募夹g(shù)。并且，雖然沒(méi)有關(guān)于將氮?dú)庀蛳涔┙o時(shí)的目標(biāo)流量的說(shuō)明，但記載有，當(dāng)將氮?dú)庀蛳涔┙o時(shí)，如果將氣體供給閥打開(kāi)，則供給作為目標(biāo)流量的一定流量的氮?dú)狻Ａ硗?，在?zhuān)利文獻(xiàn)2中，還記載有也可以代替將氮?dú)忾g歇地供給而使將氮?dú)庀蛳涔┙o的狀態(tài)持續(xù)。在專(zhuān)利文獻(xiàn)I及專(zhuān)利文獻(xiàn)2的惰性氣體注入設(shè)備中，在向容器注入惰性氣體時(shí)，將目標(biāo)流量的惰性氣體一下子注入。即，向容器的惰性氣體的供給量瞬間或分步地增加到目標(biāo)流量。因此，在注入的開(kāi)始時(shí)，有可能因?yàn)槿萜鲀?nèi)的基板振動(dòng)、存在于基板的背面上的溶劑掉落、掉落的溶劑附著到位于下方的別的基板的表面上，基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化。此外，在注入的開(kāi)始時(shí)，還有可能堆積在容器的底部的微粒浮起而附著到基板上。另外，作為溶劑，例如有抗蝕處理的顯影液等。順便說(shuō)一下，容器內(nèi)的基板的振動(dòng)及微粒的浮起可以考慮主要是因?yàn)榘l(fā)生了容器內(nèi)的氣體的壓力急劇較大增加后急劇下降的現(xiàn)象而產(chǎn)生的。即，如果向容器注入目標(biāo)流量的惰性氣體，則容器內(nèi)的氣體從靜止?fàn)顟B(tài)變化為流動(dòng)狀態(tài)。此時(shí)，由于容器內(nèi)的氣體不能從靜止?fàn)顟B(tài)急劇地變化為流動(dòng)狀態(tài)，所以如果將目標(biāo)流量的惰性氣體一下子注入，則發(fā)生容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大增加后急劇地下降的現(xiàn)象。并且，當(dāng)容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大增加后下降時(shí)，在容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)中暫時(shí)性地發(fā)生急速的流動(dòng)或紊流。并且，如果發(fā)生容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大增加后下降的現(xiàn)象，則有可能在容器中發(fā)生振動(dòng)、基板發(fā)生振動(dòng)。此外，如果在容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)中暫時(shí)性地發(fā)生急速的流動(dòng)或紊流，則因容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)而有可能基板振動(dòng)或有可能堆積在容器的底部的微粒浮起。順便說(shuō)一下，如果為了在惰性氣體的注入開(kāi)始后以短時(shí)間使容器內(nèi)成為被惰性氣體充滿(mǎn)的狀態(tài)而將目標(biāo)流量設(shè)定為充分大的流量，則基板的振動(dòng)發(fā)生及微粒的浮上的發(fā)生
變得顯著。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述背景，本發(fā)明期望實(shí)現(xiàn)一種當(dāng)向容器注入惰性氣體時(shí)能夠避免基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化及微粒附著到基板上的惰性氣體注入設(shè)備。本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備，具備:注入裝置，設(shè)在支承收存基板的容器的支承部上，以從上述容器的排氣口使上述容器內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)，從上述容器的供氣口將惰性氣體向上述容器的內(nèi)部注入；控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作；這里，上述注入裝置可變更上述惰性氣體的供給流量而構(gòu)成；上述控制裝置構(gòu)成為，在向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量朝向目標(biāo)流量逐漸增加。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在向支承在支承部上的容器供給惰性氣體時(shí)，將由注入裝置向容器供給的惰性氣體的供給流量朝向目標(biāo)流量逐漸增加，所以在向容器供給惰性氣體時(shí)，能夠抑制容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大地變化。S卩，如果將由注入裝置向容器供給的惰性氣體的供給流量逐漸增加，則容器內(nèi)的氣體平順地變化為與注入的惰性氣體的供給流量對(duì)應(yīng)的流動(dòng)狀態(tài)，所以能夠抑制容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大地變化。這樣,在向容器注入惰性氣體時(shí),能夠在抑制容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大地變化的同時(shí)、使容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)狀態(tài)平順地變化為與注入的惰性氣體的供給流量對(duì)應(yīng)的流動(dòng)狀態(tài)。因此，能夠抑制容器振動(dòng)而基板振動(dòng)，并且能夠抑制因容器內(nèi)的氣體的急速的流動(dòng)或紊流而發(fā)生基板的振動(dòng)或微粒的浮起。結(jié)果，能夠避免基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化、或堆積在容器的底部的微粒浮起而附著到基板上。本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的技術(shù)特征也能夠在惰性氣體注入方法中應(yīng)用，本發(fā)明能夠?qū)⑦@樣的方法也作為權(quán)利要求的對(duì)象。在該惰性氣體注入方法中，也能夠得到有關(guān)上述惰性氣體注入設(shè)備的作用效果。S卩，本發(fā)明的惰性氣體注入方法，是利用惰性氣體注入設(shè)備的方法，所述惰性氣體注入設(shè)備具備:注入裝置，設(shè)在支承收存基板的容器的支承部上，以從上述容器的排氣口使上述容器內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)，從上述容器的供氣口將惰性氣體向上述容器的內(nèi)部注入；控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作；上述注入裝置可匹配于從上述控制裝置指令的流量指令來(lái)變更上述惰性氣體的供給流量而構(gòu)成；上述惰性氣體注入方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下的工序:在向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)、對(duì)上述注入裝置指令朝向目標(biāo)流量逐漸增加的流量指令的流量漸增工序。以下，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施方式的例子進(jìn)行說(shuō)明。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構(gòu)成為，在上述容器被支承在上述支承部上后將上述惰性氣體最初供給時(shí)，使上述供給流量從零朝向上述目標(biāo)流量逐漸增加。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在為了在容器剛被支承在支承部上之后在短時(shí)間中使容器內(nèi)成為被惰性氣體充滿(mǎn)的狀態(tài)而將目標(biāo)流量設(shè)定為充分大的流量的情況下，也能夠避免基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化、或堆積在容器的底部的微粒浮起而附著到基板上。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述支承部是保管上述容器的保管擱板的收存部；作為上述目標(biāo)流量，設(shè)定初始目標(biāo)流量和比該初始目標(biāo)流量少的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量；上述控制裝置構(gòu)成為，當(dāng)向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以在將上述供給流量調(diào)整為上述初始目標(biāo)流量后將上述供給流量調(diào)整為上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量，并且在將上述供給流量向上述初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量朝向上述初始目標(biāo)流量逐漸增加。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在向保管的容器供給惰性氣體時(shí)，將供給流量調(diào)整為初始目標(biāo)流量，然后，將供給流量調(diào)整為比初始目標(biāo)流量少的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量。因此，在將初始目標(biāo)流量設(shè)定為較大的流量、以使得在惰性氣體的注入開(kāi)始后在短時(shí)間中容器內(nèi)成為被惰性氣體充滿(mǎn)的狀態(tài)的情況下，也通過(guò)將穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量設(shè)定為較小的流量、維持為容器內(nèi)被該穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的惰性氣體充滿(mǎn)的狀態(tài)，能夠抑制惰性氣體的消耗量。并且，在將供給流量向初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí),將供給流量朝向初始目標(biāo)流量逐漸增加。因此，在向容器注入惰性氣體時(shí)，能夠在抑制容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大地變化的同時(shí)，使容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)狀態(tài)平順地變化為與注入的惰性氣體的供給流量對(duì)應(yīng)的流動(dòng)狀態(tài)。結(jié)果，能夠避免基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化或微粒附著到基板上。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構(gòu)成為，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量以比使上述供給流量朝向上述初始目標(biāo)流量逐漸增加的情況下的上述供給流量的變化率高的變化率減少。在將供給流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，即使使供給流量急劇地減少，在容器上發(fā)生振動(dòng)而基板發(fā)生振動(dòng)的可能性也較小。此外，在容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)中暫時(shí)發(fā)生急速的流動(dòng)，通過(guò)容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)而基板振動(dòng)的可能性、或堆積在容器的底部的微粒浮起的可能性也較小。鑒于這些方面，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在將供給流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，使供給流量以比使供給流量朝向初始目標(biāo)流量逐漸增加的情況下的供給流量的變化率高的變化率減少。由此，與在將供給流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)使供給流量朝向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量逐漸減少的情況相比，能夠抑制惰性氣體的消耗量，結(jié)果能夠?qū)崿F(xiàn)運(yùn)行成本的降低。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構(gòu)成為，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量變更為上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量后，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以重復(fù)如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間則將上述惰性氣體的供給停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作，并且在上述設(shè)定休止時(shí)間的經(jīng)過(guò)后將上述供給流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量朝向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量逐漸增加。如果在將惰性氣體以穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量持續(xù)設(shè)定供給時(shí)間供給到容器中的狀態(tài)下停止惰性氣體的供給，則雖然容器內(nèi)的惰性氣體從存在于容器上的間隙逐漸泄漏，但在某種程度的時(shí)間中維持惰性氣體充滿(mǎn)在容器中的狀態(tài)，能夠抑制基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化。鑒于這一點(diǎn)，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，在將供給流量從初始目標(biāo)流量變更為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量后，以反復(fù)進(jìn)行如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間則將惰性氣體的供給停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作的形態(tài)，將惰性氣體向容器供給。由此，能夠進(jìn)一步抑制惰性氣體的消耗量。并且，在設(shè)定休止時(shí)間后將供給流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，將供給流量朝向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量逐漸增加。因此，在向容器注入惰性氣體時(shí)，能夠在抑制容器內(nèi)的氣體的壓力急劇地較大變化的同時(shí)、使容器內(nèi)的氣體的流動(dòng)狀態(tài)平順地變化為與注入的惰性氣體的供給流量對(duì)應(yīng)的流動(dòng)狀態(tài)。結(jié)果，能夠避免基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化或微粒附著到基板上。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述控制裝置構(gòu)成為，在使上述供給流量逐漸增加時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使得每經(jīng)過(guò)設(shè)定等待時(shí)間則使上述供給流量增加設(shè)定量。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，能夠以簡(jiǎn)單的控制結(jié)構(gòu)使供給流量逐漸增加。S卩，在使供給流量逐漸增加時(shí)，可以考慮以隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)使供給流量連續(xù)地增加的形態(tài)使供給流量逐漸增加。在此情況下，例如為了使注入裝置動(dòng)作，需要具備生成用來(lái)隨著時(shí)間經(jīng)過(guò)使供給流量連續(xù)地增加的指令值的函數(shù)產(chǎn)生器等，有控制裝置的結(jié)構(gòu)變復(fù)雜的可能性。相對(duì)于此，在使供給流量逐漸增加時(shí)，以每經(jīng)過(guò)設(shè)定等待時(shí)間使供給流量增加設(shè)定量的形態(tài)使供給流量逐漸增加，能夠通過(guò)由微型計(jì)算機(jī)構(gòu)成的控制裝置的程序來(lái)對(duì)應(yīng)，所以能夠以簡(jiǎn)單的控制結(jié)構(gòu)使供給流量逐漸增加。在本發(fā)明的惰性氣體注入設(shè)備的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，設(shè)有將上述設(shè)定量變更設(shè)定的人為操作式的設(shè)定裝置。根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，例如對(duì)應(yīng)于容器及基板，能夠在避免基板從適當(dāng)狀態(tài)惡化及微粒附著到基板上的同時(shí)、將設(shè)定量盡量設(shè)定為較大的量等，將設(shè)定量設(shè)定為任意的量，所以能夠更好地進(jìn)行供給流量的漸增。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述流量漸增工序中，在上述容器被支承在上述支承部上后將上述惰性氣體最初供給時(shí)，對(duì)上述注入裝置指令從零朝向上述目標(biāo)流量逐漸增加的流量指令。
在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述支承部是保管上述容器的保管擱板的收存部；作為由上述控制裝置執(zhí)行的工序，還包括在向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)、在將上述供給流量調(diào)整為初始目標(biāo)流量后將上述供給流量向比上述初始目標(biāo)流量少的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整的流量調(diào)整工序；在上述流量調(diào)整工序中，在將上述供給流量向上述初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，將上述初始目標(biāo)流量作為上述目標(biāo)流量執(zhí)行上述流量漸增工序。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述流量調(diào)整工序中，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，對(duì)上述注入裝置指令以比將上述供給流量向上述初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)的上述流量漸增工序中的流量指令的變化率高的變化率朝向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量減少的流量指令。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述流量調(diào)整工序中，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量變更為上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量后，執(zhí)行反復(fù)進(jìn)行如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間則將上述惰性氣體的供給停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作的間歇供給工序；在上述間歇供給工序中，在上述設(shè)定休止時(shí)間的經(jīng)過(guò)后將上述供給流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，將上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量作為上述目標(biāo)流量執(zhí)行上述流量漸增工序。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，在上述流量漸增工序中，對(duì)上述注入裝置指令每經(jīng)過(guò)設(shè)定等待時(shí)間則增加設(shè)定量的流量指令。在本發(fā)明的惰性氣體注入方法的實(shí)施方式中，優(yōu)選的是，上述惰性氣體注入設(shè)備具備將上述設(shè)定量變更設(shè)定的人為操作式的設(shè)定裝置。


圖1是物品保管設(shè)備的縱剖主視圖。圖2是該設(shè)備的切開(kāi)側(cè)視圖。圖3是收存部的立體圖。圖4是表示氮?dú)獾淖⑷霠顟B(tài)的說(shuō)明圖。圖5是表示氮?dú)獾那逑茨Ｊ降恼f(shuō)明圖。圖6表示氮?dú)獾墓┙o流量的控制形態(tài)的說(shuō)明圖。圖7是表示該形態(tài)的詳細(xì)情況的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式基于

將本發(fā)明應(yīng)用到物品保管設(shè)備中的情況下的實(shí)施方式。(整體結(jié)構(gòu))
物品保管設(shè)備如圖1及圖2所示，具備保管將基板以密閉狀態(tài)收容的輸送容器50 (以下，簡(jiǎn)稱(chēng)作容器50)的保管擱板10、作為輸送裝置的堆裝起重機(jī)20、以及作為容器50的入出庫(kù)部的入出庫(kù)輸送機(jī)CV。保管擱板10及堆裝起重機(jī)20配設(shè)在外周部被壁體K覆蓋的設(shè)置空間內(nèi)，入出庫(kù)輸送機(jī)CV以將壁體K貫通的狀態(tài)配設(shè)。保管擱板10以在上下方向及左右方向上排列的狀態(tài)具備多個(gè)作為支承容器50的支承部的收存部10S，構(gòu)成為，在多個(gè)收存部IOS中分別收存容器50，其詳細(xì)情況后述。
并且，在本實(shí)施方式中，如圖1所示，裝備有沿著鋪設(shè)在設(shè)置有物品保管設(shè)備的清潔室的頂棚部上的導(dǎo)軌G行進(jìn)的吊車(chē)式的輸送車(chē)D，構(gòu)成為，通過(guò)該吊車(chē)式的輸送車(chē)D將容器50相對(duì)于入出庫(kù)輸送機(jī)CV運(yùn)入及運(yùn)出。(容器50的結(jié)構(gòu))
容器 50 是依據(jù) SEMI (Semiconductor Equipment and Materials Institute)規(guī)格的合成樹(shù)脂制的氣密容器，為了收存作為基板的半導(dǎo)體晶片W (參照?qǐng)D4)而使用，稱(chēng)作FOUP(Front Opening Unified Pod)。并且,雖然詳細(xì)的說(shuō)明省略,但在容器50的前面上,形成有由拆裝自如的蓋體開(kāi)閉的基板出入用的開(kāi)口，在容器50的上表面上，形成有由吊車(chē)式的輸送車(chē)D把持的頂部凸緣52 (參照?qǐng)D4)。在容器50的底面上，形成有定位銷(xiāo)IOb (參照?qǐng)D3)卡合的3個(gè)卡合槽(未圖示)。g卩，容器50如圖4所不,具備:殼體51,在內(nèi)部在上下方向上具備多個(gè)自由載置半導(dǎo)體晶片W的基板支承體53 ;未圖示的蓋體。容器50構(gòu)成為，在殼體51上安裝著蓋體的狀態(tài)下，內(nèi)部空間被密閉為氣密狀態(tài)，并且構(gòu)成為，在收存在收存部10S中的狀態(tài)下通過(guò)定位銷(xiāo)IOb定位。此外，如圖4所示，在容器50的底部，如后述那樣，為了注入作為惰性氣體的氮?dú)猓O(shè)有供氣口 50i及排氣口 50ο。雖然圖示省略，但在供氣口 50i中設(shè)有注入側(cè)開(kāi)閉閥，在排氣口 50ο中設(shè)有排出側(cè)開(kāi)閉閥。注入側(cè)開(kāi)閉閥被彈簧等施力部件向閉方向施力，構(gòu)成為，如果對(duì)供氣口 50i供給的氮?dú)獾耐鲁鰤毫Τ蔀楸却髿鈮焊咴O(shè)定值的設(shè)定開(kāi)閥壓力以上，則被該壓力打開(kāi)操作。此外，排出側(cè)開(kāi)閉閥被彈簧等施力部件向閉方向施力，構(gòu)成為，如果容器50內(nèi)部的壓力成為比大氣壓高設(shè)定值的設(shè)定開(kāi)閥壓力以上，則被該壓力打開(kāi)操作。(堆裝起重機(jī)20的結(jié)構(gòu))
堆裝起重機(jī)20如圖1所示，具備能夠沿著設(shè)置在保管擱板10的前面?zhèn)鹊牡匕宀可系男羞M(jìn)軌道E行進(jìn)移動(dòng)的行進(jìn)臺(tái)車(chē)21、立設(shè)在該行進(jìn)臺(tái)車(chē)21上的桅桿22、和能夠在被該桅桿22導(dǎo)引的狀態(tài)下升降移動(dòng)的升降臺(tái)24。另外，雖然沒(méi)有圖示，但構(gòu)成為，設(shè)在桅桿22的上端上的上部框23卡合到上部導(dǎo)軌上而移動(dòng)，所述上部導(dǎo)軌設(shè)在被壁體K覆蓋外周部的設(shè)置空間的頂棚側(cè)。在升降臺(tái)24上，裝備有相對(duì)于收存部10S移載容器50的移載裝置25。移載裝置25可向突出到收存部10S的內(nèi)部的突出位置和退開(kāi)到升降臺(tái)24側(cè)的退開(kāi)位置進(jìn)退地具備載置支承容器50的板狀的載置支承體25A。具備移載裝置25的堆裝起重機(jī)20構(gòu)成為，通過(guò)載置支承體25A的進(jìn)退動(dòng)作及升降臺(tái)24的升降動(dòng)作，進(jìn)行將載置在載置支承體25A上的容器50向收存部10S卸下的卸下處理、以及將收存在收存部10S中的容器50取出的抄取處理。另外，具備移載裝置25的堆裝起重機(jī)20相對(duì)于入出庫(kù)輸送機(jī)CV也進(jìn)行卸下處理及抄取處理，進(jìn)行相對(duì)于出庫(kù)輸送機(jī)CV的移載作業(yè)。在堆裝起重機(jī)20中，雖然沒(méi)有圖示，但裝備有檢測(cè)行進(jìn)路徑上的行進(jìn)位置的行進(jìn)位置檢測(cè)裝置及檢測(cè)升降臺(tái)24的升降位置的升降位置檢測(cè)裝置。構(gòu)成為，控制堆裝起重機(jī)20的運(yùn)轉(zhuǎn)的起重機(jī)控制器(未圖示)基于行進(jìn)位置檢測(cè)裝置及升降位置檢測(cè)裝置的檢測(cè)信息控制起重機(jī)20的運(yùn)轉(zhuǎn)。
S卩，構(gòu)成為，起重機(jī)控制器控制行進(jìn)臺(tái)車(chē)21的行進(jìn)動(dòng)作及升降臺(tái)24的升降動(dòng)作、以及移載裝置25的載置支承體25A的進(jìn)退動(dòng)作，以進(jìn)行將運(yùn)入到入出庫(kù)輸送機(jī)CV中的容器50向收存部IOS收存的入庫(kù)作業(yè)、以及將收存在收存部IOs中的容器50向入出庫(kù)輸送機(jī)CV取出的出庫(kù)作業(yè)。(收存部IOS的結(jié)構(gòu))
如圖3及圖4所示，多個(gè)收存部IOS分別具備載置支承容器50的板狀的載置支承部IOa (參照?qǐng)D1)。該載置支承部IOa的俯視形狀形成為U字狀，以形成移載裝置25的載置支承體25A上下通過(guò)的空間，在其上表面上，以向上方突出的狀態(tài)裝備有上述定位銷(xiāo)10b。此外，在載置支承部IOa上，設(shè)有檢測(cè)是否載置有容器50 (B卩，容器50是否收存在收存部IOS中)的一對(duì)的存貨傳感器10Z，構(gòu)成為，將這些檢測(cè)信息向管理后述的質(zhì)量流量控制器40的運(yùn)轉(zhuǎn)的控制裝置H (參照?qǐng)D4)輸入。在載置支承部IOa上，設(shè)有將作為惰性氣體的氮?dú)庀蛉萜?0的內(nèi)部供給的吐出嘴101、和使從容器50的內(nèi)部排出的氣體流通的排出用通氣體10ο。此外，在各收存部IOS上，裝備有控制氮?dú)獾墓┙o的質(zhì)量流量控制器40 (參照?qǐng)D2)。并且，在吐出嘴IOi上，連接著使來(lái)自質(zhì)量流量控制器40的氮?dú)饬鲃?dòng)的供給配管Li，在排出用通氣體IOo上，連接著端部開(kāi)口的排出管Lo。構(gòu)成為，如果將容器50載置支承在載置支承部IOa上，則吐出嘴IOi被以嵌合狀態(tài)連接在容器50的供氣口 50i上、并且排出用通氣體IOo被以嵌合狀態(tài)連接在容器50的排氣口 50ο上。并且構(gòu)成為，在容器50載置支承在載置支承部IOa上的狀態(tài)下，通過(guò)從吐出嘴IOi使比大氣壓高設(shè)定值以上的壓力的氮?dú)馔鲁?，能夠以從容?0的排氣口 50ο將容器內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)，從容器50的供氣口 50i將氮?dú)庾⑷氲饺萜?0的內(nèi)部。另外，如圖3所示，在供給配管Li中裝備有手動(dòng)操作式的開(kāi)閉閥Vi，構(gòu)成為，在質(zhì)量流量控制器40故障的緊急時(shí)等，能夠切換為將氮?dú)獾墓┙o停止的狀態(tài)。(質(zhì)量流量控制器40的結(jié)構(gòu))
如圖3及圖4所示，質(zhì)量流量控制器40具備流入側(cè)端口 40i和吐出側(cè)端口 40ο。在吐出側(cè)端口 40ο上連接著上述供給配管Li，在流入側(cè)端口 40i上連接著引導(dǎo)來(lái)自氮?dú)馄康鹊獨(dú)夤┙o源(未圖示)的氮?dú)獾牧魅肱涔躄s。另外，在氮?dú)夤┙o源上，裝備有將氮?dú)獾墓┙o壓力調(diào)整為比大氣壓高設(shè)定值以上的設(shè)定壓力的調(diào)節(jié)器、及將氮?dú)獾墓┙o斷續(xù)的手動(dòng)操作式的開(kāi)閉閥等。在質(zhì)量流量控制器40中，裝備有變更調(diào)節(jié)在從流入側(cè)端口 40i朝向吐出側(cè)端口40ο的內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁?向容器50的供給流量)的流量調(diào)節(jié)閥、計(jì)測(cè)在內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁?向容器50的供給流量)的流量傳感器、以及控制流量調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作的內(nèi)部控制部。并且，構(gòu)成為，內(nèi)部控制部基于流量傳感器的檢測(cè)信息控制流量調(diào)節(jié)閥，以將向容器50的供給流量調(diào)整為從上述控制裝置H指令的目標(biāo)流量。S卩，內(nèi)部控制部控制流量調(diào)節(jié)閥，以使向容器50的供給流量匹配于從控制裝置H指令的流量指令。在本實(shí)施方式中，質(zhì)量流量控制器40將在內(nèi)部流路中流動(dòng)的氮?dú)獾牧髁?向容器50的供給流量)在零到50升/分鐘之間調(diào)節(jié)。在本實(shí)施方式中使用的質(zhì)量流量控制器40構(gòu)成為，在全流量調(diào)節(jié)范圍中以高速(例如I秒以?xún)?nèi))調(diào)節(jié)為從控制裝置H指令的目標(biāo)流量(流量指令)。順便說(shuō)一下，在本實(shí)施方式中，在從容器50的排氣口 50ο將容器內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)下從容器50的供氣口 50i將作為惰性氣體的氮?dú)庀蛉萜?0的內(nèi)部注入的注入裝置N以質(zhì)量流量控制器40及吐出嘴IOi為主要部構(gòu)成，上述控制裝置H控制注入裝置N的動(dòng)作。并且，注入裝置N構(gòu)成為，能夠匹配于從控制裝置H指令的流量指令而變更作為惰性氣體的氮?dú)獾墓┙o流量。(控制裝置H的目標(biāo)流量)
控制裝置H如圖4所示，經(jīng)由可編程邏輯控制器P對(duì)分別對(duì)應(yīng)于多個(gè)收存部IOS而設(shè)置的質(zhì)量流量控制器40指令目標(biāo)流量(流量指令)。另外，在控制裝置H上，裝備有用來(lái)輸入各種信息的操作臺(tái)HS。作為控制裝置H指令的目標(biāo)流量，有在容器50收存在收存部IOS中的狀態(tài)下為了向容器50的內(nèi)部注入氮?dú)舛鴮?duì)質(zhì)量流量控制器40指令的保管用的目標(biāo)流量、在即將將容器50收存到收存部IOS中之前為了將吐出嘴IOi清潔化而指令的嘴凈化用的目標(biāo)流量、以及在保管擱板10的設(shè)置時(shí)等為了將吐出嘴IOi及供給配管Li等清潔化而指令的清潔用的目標(biāo)流量。具體而言，控制裝置H將流量指令對(duì)質(zhì)量流量控制器40 (注入裝置N)指令，所述流量指令用來(lái)將向容器50的氮?dú)獾墓┙o量調(diào)整為保管用的目標(biāo)流量、嘴凈化用的目標(biāo)流量、或清潔用的目標(biāo)流量。S卩，控制裝置H如圖5所示，作為設(shè)定了目標(biāo)流量和供給時(shí)間的多個(gè)清洗模式而存儲(chǔ)有嘴清洗模式PU清潔模式P2、及4個(gè)保管用清洗模式P3 P6。并且，控制裝置H構(gòu)成為，如果在保管擱板10的設(shè)置時(shí)等由操作臺(tái)HS指令了清潔開(kāi)始指令，則根據(jù)清潔模式P2指令清潔用的目標(biāo)流量(供給流量)。此外，控制裝置H構(gòu)成為，如果容器50被運(yùn)入到入出庫(kù)輸送機(jī)CV中，則根據(jù)嘴清洗模式Pl指令嘴凈化用的目標(biāo)流量。在本實(shí)施方式中，控制裝置H構(gòu)成為，通過(guò)從控制吊車(chē)式的輸送車(chē)D的運(yùn)轉(zhuǎn)的臺(tái)車(chē)控制器(未圖示)通信收存指令，來(lái)判別容器50被運(yùn)入到入出庫(kù)輸送機(jī)CV中的時(shí)點(diǎn)。S卩，臺(tái)車(chē)控制器構(gòu)成為，當(dāng)輸送車(chē)D將容器50運(yùn)入到入出庫(kù)輸送機(jī)CV中時(shí)，對(duì)控制裝直H指令收存指令。進(jìn)而，控制裝置H構(gòu)成為，當(dāng)兩個(gè)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50時(shí)，根據(jù)4個(gè)保管用清洗模式P3 P6中的由操作臺(tái)HS選擇的一個(gè)模式指令保管用的目標(biāo)流量。順便說(shuō)一下，嘴清洗模式Pl及清潔模式P2的目標(biāo)流量和供給時(shí)間預(yù)先設(shè)定為基準(zhǔn)狀態(tài)，但4個(gè)保管用清洗模式P3 P6的各自的目標(biāo)流量和供給時(shí)間在設(shè)備的設(shè)置時(shí)由使用者設(shè)定。即，使用者一邊通過(guò)操作臺(tái)HS變更設(shè)定4個(gè)保管用清洗模式P3 P6的各自的目標(biāo)流量和供給時(shí)間，一邊將4個(gè)保管用清洗模式P3 P6分別試驗(yàn)性地使用，設(shè)定關(guān)于4個(gè)保管用清洗模式P3 P6中的適合的模式的目標(biāo)流量和供給時(shí)間，并且選擇該適合的模式。(清洗模式)
接著，基于圖5，對(duì)嘴清洗模式P1、清潔模式P2及4個(gè)保管用清洗模式P3 P6分別加以說(shuō)明。嘴清洗模式Pl被設(shè)定為下述模式:在從被指令上述收存指令的時(shí)點(diǎn)到設(shè)定為收存前供給時(shí)間的供給時(shí)間tl的期間中，以設(shè)定為嘴凈化用的目標(biāo)流量的目標(biāo)流量LI供給氮?dú)?。供給時(shí)間tl例如設(shè)定為5秒，目標(biāo)流量LI例如設(shè)定為30升/分鐘。清潔模式P2被設(shè)定為下述模式:在從通過(guò)操作臺(tái)HS指令清潔開(kāi)始指令到設(shè)定為設(shè)置初始供給時(shí)間的供給時(shí)間t2的期間中，以設(shè)定為清潔用的目標(biāo)流量的目標(biāo)流量L2供
給氮?dú)狻９┙o時(shí)間t2例如設(shè)定為1800秒，目標(biāo)流量L2例如設(shè)定為20升/分鐘。關(guān)于4個(gè)保管用清洗模式P3 P6，分別作為保管用的目標(biāo)流量而設(shè)定初始目標(biāo)流量、和比該初始目標(biāo)流量小的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量。初始目標(biāo)流量例如設(shè)定為50升/分鐘,穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量例如設(shè)定為5升/分鐘。如上述那樣，初始目標(biāo)流量及穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量由使用者變更設(shè)定。并且，4個(gè)保管用清洗模式P3 P6分別在向容器50供給氮?dú)鈺r(shí)首先將目標(biāo)流量設(shè)定為初始目標(biāo)流量、然后將目標(biāo)流量設(shè)定變更為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量這一點(diǎn)是共通，但設(shè)定為相互不同的模式。即，4個(gè)保管用清洗模式P3 P6分別是控制裝置H執(zhí)行將氮?dú)獾墓┙o流量調(diào)整為初始目標(biāo)流量后將氮?dú)獾墓┙o流量調(diào)整為比該初始目標(biāo)流量小的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的流量調(diào)整工序時(shí)的清洗模式。以下，將4個(gè)保管用清洗模式P3 P6記作第I保管用清洗模式P3、第2保管用清洗模式P4、第3保管用清洗模式P5、及第4保管用清洗模式P6，對(duì)各模式加以說(shuō)明。第I保管用清洗模式P3被設(shè)定為下述模式:在從將容器50收存到收存部IOS中的動(dòng)作完成的容器收存完成時(shí)點(diǎn)到設(shè)定供給時(shí)間t3的期間中，以作為初始目標(biāo)流量的供給流量L31供給氮?dú)猓缓笤谝粚?duì)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50的存在的期間中以作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L32繼續(xù)供給氮?dú)?。另外，在本?shí)施方式中，容器收存完成時(shí)點(diǎn)設(shè)定為在一對(duì)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50的存在后經(jīng)過(guò)了設(shè)定時(shí)間(例如2秒)的時(shí)點(diǎn)。第2保管用清洗模式P4被設(shè)定為下述模式:在從容器收存完成時(shí)點(diǎn)到設(shè)定供給時(shí)間t41的期間中以作為初始目標(biāo)流量的供給流量L41供給氮?dú)?，然后在一?duì)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50的存在的期間中以作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L42繼續(xù)將氮?dú)忾g歇地供
5口 O即，第2保管用清洗模式P4被設(shè)定為下述模式:在將目標(biāo)流量從作為初始目標(biāo)流量的供給流量L41變更為作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L42后，反復(fù)進(jìn)行如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間t43則將氮?dú)獾墓┙o停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作。即，在將目標(biāo)流量從供給流量L41變更為供給流量L42后，執(zhí)行間歇供給工序，所述間歇供給工序指反復(fù)進(jìn)行如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間t43則將氮?dú)獾墓┙o停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作的工序。S卩，在將目標(biāo)流量從作為初始目標(biāo)流量的供給流量L41變更為作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L42后，在由一對(duì)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50的期間中，反復(fù)執(zhí)行在反復(fù)周期t42中的設(shè)定供給時(shí)間t43的期間中以供給流量L42供給氮?dú)狻⒃谠O(shè)定休止時(shí)間t42 —t43的期間中停止氮?dú)獾墓┙o的動(dòng)作。
順便說(shuō)一下，在該第2保管用清洗模式P4中，反復(fù)周期t42也被使用者變更設(shè)定。第3保管用清洗模式P5被設(shè)定為下述模式:以在從容器收存完成時(shí)點(diǎn)到設(shè)定供給時(shí)間t51的期間中以作為初始目標(biāo)流量的供給流量L51供給氮?dú)猓又谠O(shè)定供給時(shí)間t52的期間中以作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L52供給氮?dú)鉃榛灸Ｊ?，將該基本模式在一?duì)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50的存在的期間中反復(fù)進(jìn)行。第4保管用清洗模式P6被設(shè)定為下述模式:以在從容器收存完成時(shí)點(diǎn)到設(shè)定供給時(shí)間t61的期間中以作為初始目標(biāo)流量的供給流量L61供給氮?dú)?，接著在設(shè)定供給時(shí)間t64 - t61的期間中以作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L62間歇地供給氮?dú)鉃榛灸Ｊ?，將該基本模式在一?duì)存貨傳感器IOz檢測(cè)到容器50的存在的期間中繼續(xù)進(jìn)行。S卩，在第4保管用清洗模式P6中，設(shè)定了第一反復(fù)周期t64以及第二反復(fù)周期t62，所述第一反復(fù)周期t64是反復(fù)以作為初始目標(biāo)流量的供給流量L61供給氮?dú)獾膭?dòng)作的周期，所述第二反復(fù)周期t62是反復(fù)以作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L62間歇地供給氮?dú)獾膭?dòng)作的周期。并且，在容器收存完成時(shí)點(diǎn)及第一反復(fù)周期t64的開(kāi)始時(shí)點(diǎn)，在設(shè)定供給時(shí)間t61的期間中，以作為初始目標(biāo)流量的供給流量L61供給氮?dú)?，在作為初始目?biāo)流量的供給流量L61下的氮?dú)獾墓┙o結(jié)束后，交替地反復(fù)執(zhí)行在設(shè)定供給時(shí)間t63的期間中以作為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的供給流量L62供給氮?dú)?、和在設(shè)定休止時(shí)間t62 - t63的期間中停止氮?dú)獾墓┙o的動(dòng)作。順便說(shuō)一下，在該第4保管用清洗模式P6中，第一反復(fù)周期t64及第二反復(fù)周期t62也由使用者變更設(shè)定。在本實(shí)施方式中，控制裝置H構(gòu)成為，在包括剛在收存部IOS中收存容器50之后將惰性氣體最初供給時(shí)、在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向初始目標(biāo)流量變更時(shí)，對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令目標(biāo)流量(流量指令)，以使氮?dú)獾墓┙o流量朝向初始目標(biāo)流量逐漸增加。同樣，控制裝置H構(gòu)成為，在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令目標(biāo)流量(流量指令)，以使氮?dú)獾墓┙o流量朝向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量逐漸增加。這樣，控制裝置H在將氮?dú)獾墓┙o流量從向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量為零的狀態(tài)向初始目標(biāo)流量或穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)執(zhí)行對(duì)注入裝置N指令朝向目標(biāo)流量逐漸增加的流量指令的流量漸增工序。此外，控制裝置H構(gòu)成為，在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令目標(biāo)流量(流量指令)，以使氮?dú)獾墓┙o流量以比使氮?dú)獾墓┙o流量朝向初始目標(biāo)流量逐漸增加的情況下的供給流量的每單位時(shí)間的變化量大的變化量減少。同樣，控制裝置H構(gòu)成為，在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量向零(供給停止?fàn)顟B(tài))變更時(shí)，對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令目標(biāo)流量(流量指令)，以使氮?dú)獾墓┙o流量以比使氮?dú)獾墓┙o流量朝向初始目標(biāo)流量逐漸增加的情況下的該供給流量的每單位時(shí)間的變化量大的變化量減小。這樣，控制裝置H在將氮?dú)獾墓┙o流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)或從穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量向零變更時(shí)，對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令以比將氮?dú)獾墓┙o流量向初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)的流量漸增工序中的流量指令的變化率高的變化率朝向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量或零減小的流量指令。
以下，基于圖6及圖7，舉出第4保管用清洗模式P6作為代表例加以說(shuō)明。如圖7所示，在本實(shí)施方式中，構(gòu)成為，在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向初始目標(biāo)流量變更時(shí)，即在執(zhí)行以初始目標(biāo)流量為目標(biāo)流量的流量漸增工序時(shí)，從控制裝置H對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令每經(jīng)過(guò)設(shè)定單位時(shí)間Tx (例如I秒)每次增加作為設(shè)定量的設(shè)定單位量Lx的目標(biāo)流量(流量指令)。順便說(shuō)一下，設(shè)定單位量Lx例如設(shè)定為3升/分鐘。同樣，構(gòu)成為，在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)、即執(zhí)行以穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量為目標(biāo)流量的流量漸增工序時(shí)，從控制裝置H對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令每經(jīng)過(guò)設(shè)定單位時(shí)間Tx (例如I秒)每次增加設(shè)定單位量Lx的目標(biāo)流量(流量指令)。即，控制裝置H構(gòu)成為，在使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加時(shí)，控制質(zhì)量流量控制器40的動(dòng)作，以便以每經(jīng)過(guò)作為設(shè)定等待時(shí)間的設(shè)定單位時(shí)間Tx使供給流量增加設(shè)定單位量Lx的形態(tài)使氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加。結(jié)果，如圖6所示，使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加。順便說(shuō)一下，在使氮?dú)獾墓┙o流量每次增加設(shè)定單位量Lx時(shí)，在最終的階段中，有為比設(shè)定單位量Lx小的尾數(shù)量的情況，但在此情況下使該尾數(shù)量增加。此外,構(gòu)成為，當(dāng)將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，從控制裝置H對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令立即(即瞬間或分步地)向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變化的目標(biāo)流量(流量指令)。同樣，構(gòu)成為，當(dāng)將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量向零(供給停止?fàn)顟B(tài))變更時(shí)，從控制裝置H對(duì)質(zhì)量流量控制器40指令立即(即瞬間或分步地)向零變化的目標(biāo)流量(流量指令)。即，控制裝置H構(gòu)成為，當(dāng)使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量減少時(shí)，控制質(zhì)量流量控制器40的動(dòng)作，以成為使該供給流量迅速減少的目標(biāo)流量(流量指令)。結(jié)果，如圖6所示，向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量迅速地減少。另外，如第3保管用清洗模式P5那樣，在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量向初始目標(biāo)流量變更時(shí)，也與將氮?dú)獾墓┙o流量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向初始目標(biāo)流量變更時(shí)同樣，控制裝置H構(gòu)成為，控制質(zhì)量流量控制器40的動(dòng)作，以使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加。如以上那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，當(dāng)將容器50向收存部IOS收存時(shí)，由于將氮?dú)庀蛉萜?0的內(nèi)部注入，所以能夠?qū)⑹沾嬖谌萜鲀?nèi)的半導(dǎo)體晶片W維持為適當(dāng)狀態(tài)。并且，如圖6所示，當(dāng)將氮?dú)庀蛉萜?0的內(nèi)部注入時(shí)，通過(guò)使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加，能夠抑制因半導(dǎo)體晶片W振動(dòng)、存在于半導(dǎo)體晶片W的背面上的溶劑掉落、掉落的溶劑附著到位于下方的別的半導(dǎo)體晶片W的表面上而半導(dǎo)體晶片W從適當(dāng)狀態(tài)惡化。此外，能夠抑制堆積在容器50的底部的微粒浮起、附著到半導(dǎo)體晶片W上。另外，在本實(shí)施方式中，設(shè)定單位量Lx及設(shè)定單位時(shí)間Tx是一定值，但也可以使這些設(shè)定單位量Lx及設(shè)定單位時(shí)間Tx能夠由使用者增減設(shè)定。具體而言，例如也可以使用操作臺(tái)HS作為將作為設(shè)定量的設(shè)定單位量Lx變更設(shè)定的人為操作式的設(shè)定裝置，將設(shè)定單位量Lx變更設(shè)定，同樣，也可以使用操作臺(tái)HS作為將設(shè)定單位時(shí)間Tx變更設(shè)定的設(shè)定裝置，將設(shè)定單位時(shí)間Tx變更設(shè)定。進(jìn)而，在本實(shí)施方式中，在使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加的期間中，將設(shè)定單位量Lx設(shè)定為一定值，但也可以以使設(shè)定單位量Lx逐漸變大的形態(tài)、使設(shè)定單位量Lx逐漸變小的形態(tài)、或者使設(shè)定單位量Lx逐漸變大到中間點(diǎn)后逐漸變小的形態(tài)來(lái)設(shè)定設(shè)定單位量Lx。在這些情況下，也可以使該設(shè)定單位量Lx能夠由使用者變更設(shè)定。具體而言，例如也可以使用操作臺(tái)HS作為將作為設(shè)定量的設(shè)定單位量Lx變更設(shè)定的人為操作式的設(shè)定裝置，將設(shè)定單位量Lx變更設(shè)定。(其他實(shí)施方式)
(I)在上述實(shí)施方式中，作為支承容器50的支承部而例示了保管擱板10的收存部10S，但作為支承部，例如對(duì)于裝備在基板處理裝置中的惰性氣體注入用的支承部、或設(shè)在吊車(chē)式的輸送車(chē)D的導(dǎo)軌G的橫側(cè)旁的保管用的支承部等各種支承部能夠應(yīng)用本發(fā)明。(2)在上述實(shí)施方式中，例示了在使氮?dú)獾墓┙o量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量增加時(shí)也使氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加的情況，但在穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量為充分小的值的情況下等，當(dāng)使氮?dú)獾墓┙o量從零(供給停止?fàn)顟B(tài))向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量增加時(shí)，也可以不使氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加，而一下子(即，瞬間或分步地)增加。(3)在上述實(shí)施方式中，例示了在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從初始目標(biāo)流量向穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)將氮?dú)獾墓┙o流量一下子變更為穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量的情況，但也可以以逐漸減小的形態(tài)來(lái)實(shí)施。同樣，例示了在將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量從穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量向零(供給停止?fàn)顟B(tài))變更時(shí)將氮?dú)獾墓┙o流量一下子變更為零(供給停止?fàn)顟B(tài))的情況，但也可以以逐漸減少的形態(tài)來(lái)實(shí)施。(4)在上述實(shí)施方式中，例示了作為惰性氣體而使用氮?dú)獾那闆r，但作為惰性氣體可以使用氬氣等各種氣體。順便說(shuō)一下，本發(fā)明中的惰性氣體，需要是含氧量較低、絕對(duì)濕度較低的氣體。(5)在上述實(shí)施方式中，例示了在使向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量逐漸增加時(shí)、每經(jīng)過(guò)作為設(shè)定等待時(shí)間的設(shè)定單位時(shí)間Tx使氮?dú)獾墓┙o流量每次增加作為設(shè)定量的設(shè)定單位量Lx的情況，但也可以以使氮?dú)獾墓┙o流量連續(xù)增加的形態(tài)來(lái)實(shí)施。(6)在上述實(shí)施方式中，例示了以吐出嘴IOi及具備內(nèi)部控制部的質(zhì)量流量控制器40為主要部而構(gòu)成注入裝置N的情況，但例如也可以以在氮?dú)獾墓┙o路徑中設(shè)置將向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量變更調(diào)節(jié)的流量調(diào)節(jié)閥及計(jì)測(cè)向容器50的氮?dú)獾墓┙o流量的流量傳感器、控制裝置H基于流量傳感器的檢測(cè)信息控制流量調(diào)節(jié)閥的動(dòng)作的形態(tài)來(lái)實(shí)施。在此情況下，以吐出嘴IOi及流量調(diào)節(jié)閥為主要部而構(gòu)成注入裝置N。(7)在上述實(shí)施方式中，例示了 4個(gè)保管用清洗模式P3 P6，但作為保管用清洗模式，例如也可以使用間歇地進(jìn)行以初始目標(biāo)流量供給惰性氣體的模式等各種模式。附圖標(biāo)記說(shuō)明 10保管擱板
IOS支承部 50容器 50 i供氣口50ο排氣口H控制裝置HS設(shè)定裝置N注入裝置Tx設(shè)定等待時(shí)間Lx設(shè)定量W基板。
權(quán)利要求
1.一種惰性氣體注入設(shè)備，具備: 注入裝置，設(shè)在支承收存基板的容器的支承部上，以從上述容器的排氣口使上述容器內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)，從上述容器的供氣口將惰性氣體向上述容器的內(nèi)部注入； 控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作； 其特征在于， 上述注入裝置可變更上述惰性氣體的供給流量而構(gòu)成； 上述控制裝置構(gòu)成為，在向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量朝向目標(biāo)流量逐漸增加。
2.如權(quán)利要求1所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在上述容器被支承在上述支承部上后將上述惰性氣體最初供給時(shí)，使上述供給流量從零朝向上述目標(biāo)流量逐漸增加。
3.如權(quán)利要求1所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述支承部是保管上述容器的保管擱板的收存部； 作為上述目標(biāo)流量，設(shè)定初始目標(biāo)流量和比該初始目標(biāo)流量少的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量； 上述控制裝置構(gòu)成為，當(dāng)向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以在將上述供給流量調(diào)整為上述初始目標(biāo)流量后將上述供給流量調(diào)整為上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量，并且在將上述供給流量向上述初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量朝向上述初始目標(biāo)流量逐漸增加。
4.如權(quán)利要求3所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量以比使上述供給流量朝向上述初始目標(biāo)流量逐漸增加的情況下的上述供給流量的變化率高的變化率減少。
5.如權(quán)利要求3所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量變更為上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量后，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以重復(fù)如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間則將上述惰性氣體的供給停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作，并且在上述設(shè)定休止時(shí)間的經(jīng)過(guò)后將上述供給流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使上述供給流量朝向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量逐漸增加。
6.如權(quán)利要求1 5中任一項(xiàng)所述的惰性氣體注入設(shè)備,其特征在于， 上述控制裝置構(gòu)成為，在使上述供給流量逐漸增加時(shí)，控制上述注入裝置的動(dòng)作，以使得每經(jīng)過(guò)設(shè)定等待時(shí)間則使上述供給流量增加設(shè)定量。
7.如權(quán)利要求6所述的惰性氣體注入設(shè)備，其特征在于， 還具備將上述設(shè)定量變更設(shè)定的人為操作式的設(shè)定裝置。
8.一種惰性氣體注入方法，是利用惰性氣體注入設(shè)備的惰性氣體注入方法，其特征在于， 上述惰性氣體注入設(shè)備具備: 注入裝置，設(shè)在支承收存基板的容器的支承部上，以從上述容器的排氣口使上述容器內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)，從上述容器的供氣口將惰性氣體向上述容器的內(nèi)部注入； 控制裝置，控制上述注入裝置的動(dòng)作；上述注入裝置可匹配于從上述控制裝置指令的流量指令來(lái)變更上述惰性氣體的供給流量而構(gòu)成； 上述惰性氣體注入方法包括由上述控制裝置執(zhí)行的以下的工序:在向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)、對(duì)上述注入裝置指令朝向目標(biāo)流量逐漸增加的流量指令的流量漸增工序。
9.如權(quán)利要求8所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述流量漸增工序中，在上述容器被支承在上述支承部上后將上述惰性氣體最初供給時(shí)，對(duì)上述注入裝置指令從零朝向上述目標(biāo)流量逐漸增加的流量指令。
10.如權(quán)利要求8所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 上述支承部是保管上述容器的保管擱板的收存部； 作為由上述控制裝置執(zhí)行的工序，還包括在向支承在上述支承部上的上述容器供給上述惰性氣體時(shí)、在將上述供給流量調(diào)整為初始目標(biāo)流量后將上述供給流量向比上述初始目標(biāo)流量少的穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整的流量調(diào)整工序； 在上述流量調(diào)整工序中， 在將上述供給流量向上述初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，將上述初始目標(biāo)流量作為上述目標(biāo)流量 執(zhí)行上述流量漸增工序。
11.如權(quán)利要求10所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述流量調(diào)整工序中，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量變更時(shí)，對(duì)上述注入裝置指令以比將上述供給流量向上述初始目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)的上述流量漸增工序中的流量指令的變化率高的變化率朝向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量減少的流量指令。
12.如權(quán)利要求10所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述流量調(diào)整工序中，在將上述供給流量從上述初始目標(biāo)流量變更為上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量后，執(zhí)行反復(fù)進(jìn)行如果經(jīng)過(guò)設(shè)定供給時(shí)間則將上述惰性氣體的供給停止設(shè)定休止時(shí)間的期間的動(dòng)作的間歇供給工序； 在上述間歇供給工序中，在上述設(shè)定休止時(shí)間的經(jīng)過(guò)后將上述供給流量向上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量調(diào)整時(shí)，將上述穩(wěn)態(tài)目標(biāo)流量作為上述目標(biāo)流量執(zhí)行上述流量漸增工序。
13.如權(quán)利要求8 12中任一項(xiàng)所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 在上述流量漸增工序中，對(duì)上述注入裝置指令每經(jīng)過(guò)設(shè)定等待時(shí)間則增加設(shè)定量的流量指令。
14.如權(quán)利要求13所述的惰性氣體注入方法，其特征在于， 上述惰性氣體注入設(shè)備具備將上述設(shè)定量變更設(shè)定的人為操作式的設(shè)定裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種惰性氣體注入設(shè)備。惰性氣體注入設(shè)備具備注入裝置(N)，設(shè)在支承收存基板(W)的容器(50)的支承部上，在從容器(50)的排氣口(50o)使容器(50)內(nèi)的氣體向外部排出的狀態(tài)下，從容器(50)的供氣口(50i)將惰性氣體向容器(50)的內(nèi)部注入；控制裝置(H)，控制注入裝置(N)的動(dòng)作。注入裝置(N)可變更惰性氣體的供給流量而構(gòu)成；控制裝置(H)構(gòu)成為，在向支承在支承部上的容器(50)供給惰性氣體時(shí)，控制注入裝置(N)的動(dòng)作，以使供給流量朝向目標(biāo)流量逐漸增加。
文檔編號(hào)F17C13/02GK103174934SQ20121056091
公開(kāi)日2013年6月26日 申請(qǐng)日期2012年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月22日
發(fā)明者高原正裕, 上田俊人 申請(qǐng)人:株式會(huì)社大福