專利名稱：檢測修復(fù)系統(tǒng)及檢測修復(fù)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種檢測修復(fù)系統(tǒng)及檢測修復(fù)方法，特別關(guān)于一種用以檢測修復(fù)一有機發(fā)光面板或有機發(fā)光件的缺陷的檢測修復(fù)系統(tǒng)及檢測修復(fù)方法。
背景技術(shù)：
信息通訊產(chǎn)業(yè)已成為現(xiàn)今的主流產(chǎn)業(yè)，特別是可攜帶式的各種通訊顯示產(chǎn)品更是發(fā)展的重點。而由于平面顯示器是人與信息之間的溝通界面，因此其發(fā)展顯得特別重要。目前應(yīng)用在平面顯示器的技術(shù)包括有等離子顯示器(Plasma Display)、液晶顯示器(Liquid CrystalDisplay)、無機電激發(fā)光顯示器(Inorganic ElectroluminescenceDisplay)、發(fā)光二極管(Light Emitting Diode)、真空螢光顯示器(VacuumFluorescence Display)、場輻射顯示器(Field Emission Display)以及電變色顯示器(Electro-Chromic Display)等等。
相較于其它平面顯示器，有機發(fā)光面板或有機發(fā)光組件以其自發(fā)光、無視角、省電、制程簡易、低成本、操作溫度廣泛、高應(yīng)答速度以及全彩化等等的優(yōu)點，使其具有極大的淺力，因此可望成為下一代平面顯示器的主流。
有機發(fā)光面板或有機發(fā)光組件一種利用有機官能性材料(organicfunctional materials)的自發(fā)光的特性來達到顯示效果的組件。其發(fā)光結(jié)構(gòu)皆是由一對電極以及有機官能性材料層所構(gòu)成。當電流通過透明陽極及金屬陰極間，使電子和電洞在有機官能性材料層內(nèi)結(jié)合而產(chǎn)生激子時，便可以使有機官能性材料層依照其材料的特性，而產(chǎn)生不同顏色的放光機制。
在制造有機發(fā)光面板或有機發(fā)光件(以下總稱為有機發(fā)光裝置，device)時，若有些許微粒附著于待鍍膜的有機發(fā)光裝置的像素表面時，將會使得鍍膜后的有機發(fā)光裝置的像素表面產(chǎn)生膜層堆棧異常，甚至造成有機發(fā)光裝置的像素的陽極與陰極間的短路現(xiàn)象，造成面板整體的亮度變差而使得該有機發(fā)光面板的品質(zhì)及可靠度受影響，因此，為確保出貨品質(zhì)，產(chǎn)品的檢測及修復(fù)為不可忽視的重要課題。
為解決上述問題，業(yè)者一般利用一具有光學(xué)顯微鏡的檢測機臺以及一具有高能光束產(chǎn)生器的修復(fù)機臺來進行有機發(fā)光裝置的檢測及修復(fù)。
現(xiàn)有技術(shù)的檢測方式利用一具有光學(xué)顯微鏡的檢測機臺以掃描的方式檢視一有機發(fā)光裝置的像素是否存在缺陷并將該缺陷所在位置作定位。之后再將有缺陷的有機發(fā)光裝置移至具有高能光束產(chǎn)生器的修復(fù)機臺作缺陷修復(fù)，其修復(fù)原理利用該高能光束產(chǎn)生器將所檢測到的缺陷以高能光束照射將該缺陷作一非接觸式的隔絕。
就上述檢測、修復(fù)方式而言，由于在檢測出有機發(fā)光裝置的像素存在缺陷后，必須再將該有機發(fā)光裝置自測試機臺移至修復(fù)機臺，以便進行修復(fù)動作。然而，在實際作業(yè)上，該有機發(fā)光裝置自測試機臺移至修復(fù)機臺上后，并無法實時針對有機發(fā)光裝置的缺陷作修復(fù)動作，而是必須重新將缺陷位置在作一次搜尋、定位后，始能開始針對所檢測到的缺陷位置逐一修復(fù)。
此外，雖然微粒附著于待鍍膜的有機發(fā)光裝置的畫素表面時會造成鍍膜后的有機發(fā)光裝置產(chǎn)生膜層堆棧異常，甚至造成該有機發(fā)光裝置的畫素陽極與陰極間的短路現(xiàn)象。然而，當微粒顆粒極小時，雖然會造成有機發(fā)光裝置產(chǎn)生膜層堆棧異常但不會造成該有機發(fā)光裝置的畫素陽極與陰極間的短路，此類缺陷在實際利用上事實上可忽略的，不須作修復(fù)。然而習(xí)知的檢測方式中，利用光學(xué)顯微鏡以掃描的方式檢視有機發(fā)光面板的缺陷，此法并無法判斷所檢視的缺陷是否將造成陽極與陰極間的短路，因此在修復(fù)階段時必須將所有檢測出的缺陷一一修復(fù)，換言的，若以習(xí)知技術(shù)將所有存在的缺陷皆經(jīng)過一一掃描、定位、再掃描、再定位、修復(fù)的步驟，則將造成制程上成本的耗費。
承上所述，如何有效率地檢測、修復(fù)有機發(fā)光裝置的缺陷，乃是當前有機發(fā)光裝置生產(chǎn)上重要的課題之一。

發(fā)明內(nèi)容
針對上述問題，本發(fā)明的目的在于提供一種可有效率地檢測、修復(fù)有機發(fā)光裝置的檢測修復(fù)系統(tǒng)及檢測修復(fù)方法。
本發(fā)明的檢測修復(fù)系統(tǒng)及檢測修復(fù)方法的特征在于檢測缺陷位置時，將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域通以負向偏壓，并利用一微光子檢測器于放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；且利用一高能光束產(chǎn)生器來產(chǎn)生一高能光束，該高能光束用以將某一缺陷位置隔離。
本發(fā)明的檢測修復(fù)系統(tǒng)包含一光學(xué)顯微放大器、一影像擷取器、一微光子檢測器、一處理控制器、及一高能光束產(chǎn)生器。該光學(xué)顯微放大器用以將一有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域影像放大；該影像擷取器用以擷取該光學(xué)顯微放大器所放大的影像；該微光子檢測器自該光學(xué)顯微放大器所放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；該處理控制器用以儲存該影像擷取器所擷取的放大影像及該微光子檢測器所檢測出的缺陷位置，且依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第一控制訊號；該高能光束產(chǎn)生器依據(jù)該第一控制訊號來產(chǎn)生一用以將某一缺陷位置隔離的高能光束，該高能光束經(jīng)由該光學(xué)顯微放大器射出。
本發(fā)明的檢測修復(fù)方法包含以下步驟利用一光學(xué)顯微放大器將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域影像放大；利用一影像擷取器擷取放大的影像；將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域通以負向偏壓，并利用一微光子檢測器于放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；利用一處理控制器分別儲存該放大影像及缺陷位置資料，且依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第一控制訊號；以及利用一高能光束產(chǎn)生器來產(chǎn)生一高能光束，該高能光束產(chǎn)生器依據(jù)該第一控制訊號來產(chǎn)生一用以將某一缺陷位置隔離的高能光束。
承上所述，由于本發(fā)明的檢測修復(fù)系統(tǒng)及檢測修復(fù)方法在檢測缺陷位置時，將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域通以負向偏壓，并利用一微光子檢測器于放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；且利用一高能光束產(chǎn)生器來產(chǎn)生一高能光束，該高能光束用以將某一缺陷位置隔離，不必使用兩種機臺來完成檢測、修復(fù)。因此，可有效率地檢測、修復(fù)有機發(fā)光裝置的缺陷。


圖1為本發(fā)明的檢測修復(fù)為系統(tǒng)的構(gòu)成方塊圖；圖2為利用本發(fā)明的檢測修復(fù)為系統(tǒng)來進行檢測、修復(fù)時，特定區(qū)域畫素的狀態(tài)示意圖；圖3為本發(fā)明的檢測修復(fù)為系統(tǒng)的簡單構(gòu)成示意圖；圖4為本發(fā)明的檢測修復(fù)方法的流程說明圖。
圖中符號說明1 檢測修復(fù)系統(tǒng)11 光學(xué)顯微放大器12 影像擷取器13 微光子檢測器14 處理控制器15 高能光束產(chǎn)生器
16 測試平臺161電源1611 電源端子1612 負電源端子P1 影像擷取器(影像CCD)所擷取的影像P2 微光子檢測器所檢測的產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷影像P3 經(jīng)高能光束進行隔離處理后的影像S21～S25 檢測修復(fù)方法的步驟3 有機發(fā)光裝置具體實施方式
以下將參照圖式來說明依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的檢測修復(fù)系統(tǒng)。在此須再次說明的是，于本實施例中所述的有機發(fā)光裝置包含有機發(fā)光面板及有機發(fā)光組件。
如圖1所示，本發(fā)明的檢測修復(fù)系統(tǒng)1包含一光學(xué)顯微放大器11、一影像擷取器12、一微光子檢測器13、一處理控制器14、及一高能光束產(chǎn)生器15。
該光學(xué)顯微放大器11用以將一有機發(fā)光裝置3(請先參考圖3)的待檢測區(qū)域影像放大。該影像擷取器12與該光學(xué)顯微放大器11做光學(xué)性連結(jié)，并擷取由該光學(xué)顯微放大器11所放大的影像(如圖2所示的P1所示)，于本實施例中，該影像擷取器12可為影像CCD。
該微光子檢測器13與該光學(xué)顯微放大器做光學(xué)性連結(jié)，并自該光學(xué)顯微放大器11所放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置(如圖2所示的P2所示)。該處理控制器14分別與該影像擷取器12與該微光子檢測器13電性連結(jié)，其用以儲存該影像擷取器12所擷取的放大影像及該微光子檢測器13所檢測出的缺陷位置，且依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第一控制訊號。于本實施例中，該處理控制器14可為計算機。
該高能光束產(chǎn)生器15與該處理控制器14電性連結(jié)，且與該光學(xué)顯微放大器11做光學(xué)性連結(jié)，該高能光束產(chǎn)生器15依據(jù)該第一控制訊號來產(chǎn)生一用以將某一缺陷位置隔離的高能光束，該高能光束經(jīng)由該光學(xué)顯微放大器11射出(未示于圖中)。如此即可將一有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域中的缺陷修復(fù)。
又，如圖3所示，依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的檢測修復(fù)系統(tǒng)更可包含一測試平臺16，該有機發(fā)光裝置3置于該測試平臺16上。該測試平臺16上設(shè)有一電源161，如圖3所示，該電源161分別具有一正電源端子1611及一負電源端子1612，當該微光子檢測器13欲檢測是否有微光現(xiàn)象時，該有機發(fā)光裝置3由該電源161提供負向偏壓，此一負向偏壓將會使短路缺陷處產(chǎn)生微光現(xiàn)象(如圖3中虛線所示)。值得一提的是，此時，該處理控制器14更依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第二控制訊號，該測試平臺16依據(jù)該處理控制器14所產(chǎn)生的第二控制訊號做動。于本實施例中，該測試平臺16可為三軸移動定位平臺。
另外，依據(jù)本發(fā)明較佳實施例的檢測修復(fù)系統(tǒng)更可包含一顯示器(未示于圖中)，其與該處理控制器14電性連結(jié)，用以顯示該處理控制器14所輸出的畫面。
以下將依據(jù)圖4來具體說明本發(fā)明較佳實施例的檢測修復(fù)方法。為便于說明，于本實施例中將引用上述實施例中的圖號說明。
如圖4所示，本發(fā)明的檢測修復(fù)方法包含以下步驟于步驟S21中利用光學(xué)顯微放大器11將該有機發(fā)光裝置3的待檢測區(qū)域影像放大；再于步驟S22中利用影像擷取器12擷取放大的影像；之后，再于步驟S23中將該有機發(fā)光裝置3的待檢測區(qū)域通以負向偏壓，并利用微光子檢測器13于放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；再于步驟S24中利用處理控制器14分別儲存該放大影像及缺陷位置資料，且依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第一控制訊號；之后，再于步驟S25中利用高能光束產(chǎn)生器15來產(chǎn)生一高能光束，該高能光束產(chǎn)生器15依據(jù)該第一控制訊號來產(chǎn)生一用以將某一缺陷位置隔離的高能光束。
為使該高能光束產(chǎn)生器15所產(chǎn)生的高能光束能準確地射到該有機發(fā)光裝置3的缺陷處，該處理控制器14更依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第二控制訊號。該處理控制器14所產(chǎn)生的第二控制訊號可做動一測試平臺。而該有機發(fā)光裝置3置于該測試平臺上。
承上所述，由于本發(fā)明的檢測修復(fù)方法以一影像擷取器及一微光子檢測器來精準定位出短路缺陷位置，且接著利用一高能光束產(chǎn)生器來修復(fù)短路缺陷，因此，在檢測修復(fù)有機發(fā)光裝置的缺陷時，不須將待測的有機發(fā)光裝制作機臺間的搬移，故不須重復(fù)對同一待測的有機發(fā)光裝置所有存在的缺陷一一掃描、定位、再掃描、再定位、修復(fù)的步驟。另外，由于本發(fā)明的檢測修復(fù)方法于檢測缺陷時，將有機發(fā)光裝置通以一負向偏壓，因此，當其缺陷屬于短路缺陷時，可因此產(chǎn)生微光現(xiàn)象，故，可在檢測有機發(fā)光裝置時直接判斷出需要修復(fù)的缺陷，不會有修復(fù)不須修復(fù)缺陷的現(xiàn)象，不但使整個檢測修復(fù)方法得以簡化，也節(jié)省了檢測修復(fù)的成本。
上述詳細說明中所提出的具體的實施例僅為了易于說明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，而并非將本發(fā)明狹義地限制于該實施例，在不超出本發(fā)明的精神及權(quán)利要求的范圍下，可作種種變化實施。
權(quán)利要求
1.一種檢測修復(fù)系統(tǒng)，其用以檢測、修復(fù)一有機發(fā)光裝置(device)，其特征在于，該檢測修復(fù)系統(tǒng)包含一光學(xué)顯微放大器，用以將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域影像放大；一影像擷取器，與該光學(xué)顯微放大器連結(jié)，并擷取該光學(xué)顯微放大器所放大的影像；一微光子檢測器，與該光學(xué)顯微放大器連結(jié)，并自該光學(xué)顯微放大器所放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；一處理控制器，分別與該影像擷取器與該微光子檢測器電性連結(jié)，用以儲存該影像擷取器所擷取的放大影像及該微光子檢測器所檢測出的缺陷位置，且依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第一控制訊號；以及一高能光束產(chǎn)生器，與該處理控制器電性連結(jié)，且與該光學(xué)顯微放大器連結(jié)，該高能光束產(chǎn)生器依據(jù)該第一控制訊號來產(chǎn)生一用以將某一缺陷位置隔離的高能光束，該高能光束經(jīng)由該光學(xué)顯微放大器射出。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該處理控制器更依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第二控制訊號。
3.如權(quán)利要求2所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該檢測修復(fù)系統(tǒng)更包含一測試平臺，其設(shè)有一電源，當該微光子檢測器檢測微光現(xiàn)象時，該有機發(fā)光裝置由該電源提供負向偏壓；該測試平臺依據(jù)該處理控制器所產(chǎn)生的第二控制訊號做動。
4.如權(quán)利要求3所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該測試平臺三軸移動定位平臺。
5.如權(quán)利要求1所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該檢測修復(fù)系統(tǒng)更包含一顯示器，其與該處理控制器電性連結(jié)，用以顯示該處理控制器所輸出的畫面。
6.如權(quán)利要求1所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該影像擷取器為CCD影像擷取器。
7.如權(quán)利要求1所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該處理控制器為計算機。
8.如權(quán)利要求1所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該有機發(fā)光裝置為有機發(fā)光面板。
9.如權(quán)利要求1所述的檢測修復(fù)系統(tǒng)，其特征在于，該有機發(fā)光裝置為有機發(fā)光元件。
10.一種檢測修復(fù)方法，其用以檢測、修復(fù)一有機發(fā)光裝置(device)，其特征在于，該檢測修復(fù)方法包含以下步驟利用一光學(xué)顯微放大器將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域影像放大；利用一影像擷取器擷取放大的影像；將該有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域通以負向偏壓，并利用一微光子檢測器于放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；利用一處理控制器分別儲存該放大影像及缺陷位置資料，且依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第一控制訊號；以及利用一高能光束產(chǎn)生器來產(chǎn)生一高能光束，該高能光束產(chǎn)生器依據(jù)該第一控制訊號來產(chǎn)生一用以將某一缺陷位置隔離的高能光束。
11.如權(quán)利要求10所述的檢測修復(fù)方法，其特征在于，該處理控制器更依據(jù)其所儲存的放大影像以及缺陷位置資料產(chǎn)生一第二控制訊號。
12.如權(quán)利要求10所述的檢測修復(fù)方法，其特征在于，該影像擷取器CCD影像擷取器。
13.如權(quán)利要求10所述的檢測修復(fù)方法，其特征在于，該處理控制器為計算機。
14.如權(quán)利要求10所述的檢測修復(fù)方法，其特征在于，該有機發(fā)光裝置為有機發(fā)光面板。
15.如權(quán)利要求10所述的檢測修復(fù)方法，其特征在于，該有機發(fā)光裝置為有機發(fā)光元件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種檢測修復(fù)系統(tǒng)包含一光學(xué)顯微放大器、一影像擷取器、一微光子檢測器、一處理控制器、及一高能光束產(chǎn)生器。檢測修復(fù)系統(tǒng)于檢測缺陷位置時，將一有機發(fā)光裝置的待檢測區(qū)域通以負向偏壓，并利用微光子檢測器于放大的影像中檢測出產(chǎn)生微光現(xiàn)象的缺陷位置；且利用高能光束產(chǎn)生器來產(chǎn)生一高能光束，該高能光束用以將某一缺陷位置隔離。另，本發(fā)明更提供一種檢測修復(fù)方法。
文檔編號G01N21/896GK1506676SQ02155730
公開日2004年6月23日 申請日期2002年12月9日 優(yōu)先權(quán)日2002年12月9日
發(fā)明者廖孟傑, 李君浩, 陳濟中, 廖孟 申請人:錸寶科技股份有限公司