專利名稱：慣性傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在汽車、飛機(jī)、船舶等運(yùn)輸設(shè)備和照相機(jī)、攝相機(jī)等圖像設(shè)備及電子設(shè)備的輸入裝置等使用的慣性傳感器。
背景技術(shù)：
慣性傳感器被用于例如攝相機(jī)。其公知的結(jié)構(gòu)是容器內(nèi)收容有檢測元件和電路部件。
這樣在一個(gè)容器內(nèi)收容有電路部件和檢測元件的結(jié)構(gòu)從用于固定電路部件的樹脂粘接劑產(chǎn)生的氣體和有機(jī)物有可能附著向檢測元件。且用于連接電路部件的焊錫及助焊劑也有可能附著在檢測元件上。這些都使檢測元件的檢測特性劣化。
因此近年來提出使用將兩端敞開的容器內(nèi)部間隔而形成兩個(gè)室的容器。其一個(gè)室收容檢測元件。另一個(gè)室收容電路部件。這樣地防止從固定電路部件用樹脂系粘接劑產(chǎn)生的氣體和有機(jī)物、焊錫和助焊劑向檢測元件附著。
上述形成兩個(gè)室的結(jié)構(gòu)中一個(gè)室安裝檢測元件、進(jìn)行其檢測特性的調(diào)整。然后在另一個(gè)室安裝電路部件、進(jìn)行特性調(diào)整和特性檢查。
這里，在安裝電路部件時(shí)和作上述的特性調(diào)整時(shí)，若該電路部件受損傷，則不但該電路部件、而且檢測元件和容器也將一起被廢棄。這從成本上看變得不利。
而且顯然地，即使把安裝次序反過來，在安裝電路部件之后安裝檢測元件時(shí)也發(fā)生同樣的狀況。
還有，在該電路部件造成損傷時(shí)也可僅從容器的另一室將電路部件拆下更換。但電路部件被樹脂系粘接劑和焊錫等固定。因而此時(shí)將電路部件取下并不容易。在拆下電路部件時(shí)有時(shí)還發(fā)生使容器機(jī)械性變形。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種具有高可靠性檢測元件部的慣性傳感器。提供一種結(jié)構(gòu)為部件的一部分受損傷時(shí)檢測元件部或電路部件部的任一方的合格件能再使用的慣性傳感器。
本發(fā)明的慣性傳感器中第一容器有開口部、安裝有電路部件。第一容器還具有外部電極和第一連接電極。第二容器內(nèi)部安裝有檢測元件、其開口部由密封板密封。第二容器還具有第二連接電極。這里，所述第二容器裝在第一容器上把第一容器的開口部蓋上。且第二連接電極與第一連接電極電連接。
通過該結(jié)構(gòu)，來自固定電路部件用樹脂系粘接劑的氣體和有機(jī)物、焊錫和助焊劑就不會(huì)附著在用于感受信號(hào)的重要部件即檢測元件上。因此本發(fā)明的慣性傳感器中制作了可靠性高的檢測元件部。與此同時(shí)該慣性傳感器的結(jié)構(gòu)，在其一部分受損傷之際檢測元件部或電路部件部的任一方的合格件能再使用。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的慣性傳感器的外觀立體圖；圖2是實(shí)施例1的慣性傳感器的分解立體圖；圖3是實(shí)施例1的慣性傳感器的正面圖；圖4是實(shí)施例1的慣性傳感器的平面圖；圖5是實(shí)施例1安裝了有源部件狀態(tài)的第一容器的平面圖；圖6是實(shí)施例1安裝了有源部件狀態(tài)的第一容器的正面半剖面圖；圖7是實(shí)施例1卸下密封板狀態(tài)的檢測元件的平面圖；圖8是實(shí)施例1的檢測元件的正面剖面圖；圖9是實(shí)施例1的電路框圖；圖10是實(shí)施例的第一容器上面配置有檢查電極的慣性傳感器的平面圖；圖11是本發(fā)明實(shí)施例2的慣性傳感器的正面剖面圖；圖12是實(shí)施例2的慣性傳感器的分解正面剖面圖；圖13是本發(fā)明實(shí)施例3的慣性傳感器的正面剖面圖；圖14是實(shí)施例3的慣性傳感器的平面圖；圖15是為說明本發(fā)明實(shí)施例4的慣性傳感器的要部正面剖面圖；圖16是本發(fā)明實(shí)施例5的慣性傳感器的正面圖；
圖17是實(shí)施例5的彈性部件的平面圖；圖18是本發(fā)明實(shí)施例6的慣性傳感器的正面圖；圖19是實(shí)施例6的慣性傳感器的正面剖面圖；圖20是本發(fā)明實(shí)施例7的慣性傳感器的立體圖；圖21是實(shí)施例7的慣性傳感器的剖面圖；具體實(shí)施方式
下面用附圖1至附圖21說明本發(fā)明實(shí)施例。
(實(shí)施例1)圖1是本發(fā)明實(shí)施例1的慣性傳感器的外觀立體圖。圖2是其分解立體圖。圖3是其正面圖。圖4是其平面圖。
圖5是實(shí)施例安裝了有源部件狀態(tài)的第一容器的平面圖。圖6是其正面半剖面圖。
圖7是實(shí)施例1卸下密封板狀態(tài)的檢測元件的平面圖。圖8是其正面剖面圖。
圖9是實(shí)施例1的電路框圖。
圖10是實(shí)施例1的第一容器上面配置有檢查電極的慣性傳感器的平面圖。
圖1～圖10中第一容器1、第二容器6是由陶瓷板層合體形成的。如圖2、圖5和圖6所示，其成形為上面有開口部的箱形。該第一容器1的內(nèi)部通過粘接劑固定安裝有由電路部件結(jié)構(gòu)要素之一的裸芯片構(gòu)成的有源元件2。
第一容器1的外周壁3上粘接有電路部件的又一結(jié)構(gòu)要素即無源元件4a～4e。這里無源元件4a～4e是片狀電阻和電容。
這里無源部件裝在外周壁3上。因此，使用焊錫和導(dǎo)電性粘接劑連接它們時(shí)，為把焊錫和導(dǎo)電性粘接劑涂布在外周壁3上可使用網(wǎng)目印刷，故生產(chǎn)性提高。
還有，檢測元件5裝在第一容器1上把第一容器1的開口部蓋上。如圖1～圖3、圖7和圖8所示，檢測元件5由第二容器6、接縫環(huán)9、晶體振子7、金屬制的密封板8構(gòu)成。
第二容器6由陶瓷的層合體形成、上面有開口部。接縫環(huán)9固定在第二容器6的外周壁10上。晶體振子7作為用于檢測慣性力的檢測元件裝在第二容器6的內(nèi)部。這里，慣性力通過在晶體振子7中慣性力相應(yīng)產(chǎn)生的電荷變化而被檢測出。
金屬制的密封板8作為密封板，密封第二容器6的開口部。
且如圖8所示，通過將密封板8焊接在接縫環(huán)9上，晶體振子7被氣密密封在第二容器6的內(nèi)部。
氣密密封在焊接之外也可使用玻璃、焊錫或Au-Sn等進(jìn)行。
如圖1、圖2、圖7所示，第二容器6的外周壁10的外周面的六處設(shè)有缺口。該缺口的內(nèi)側(cè)和與之相連的底面形成有第二連接電極11a-11f。如圖9所示，第二連接電極11a～11e與晶體振子7電連接。第二連接電極11f是接地(GND)電極，與第二容器6和接縫環(huán)9電連接、與密封板8一起接地。
而如圖2、圖5和圖6所示，安裝在第一容器1的有源元件2通過導(dǎo)線12與設(shè)在第一容器1的電極13電連接。又如圖1、圖2、圖5所示，第一容器1的外周壁3的上面六處設(shè)有用于與電極13的某個(gè)連接的第一連接電極14a～14f。
第一連接電極14a～14f和第二連接電極11a～11f中，第一連接電極14a與第二連接電極11a、第一連接電極14b與第二連接電極11b、第一連接電極14c與第二連接電極11c、第一連接電極14d與第二連接電極11d、第一連接電極14e與第二連接電極11e、第一連接電極14f與第二連接電極11f分別由作為導(dǎo)電性粘接劑的焊錫電連接。
如圖7所示，第二連接電極11a～11d配置在第二容器6的外周壁10外周的角部。第一電極14a～14d也分別配置在與第二連接電極11a～11d對(duì)應(yīng)的位置上。這樣用焊錫等導(dǎo)電性粘接劑連接時(shí)，利用焊錫硬化時(shí)的表面張力能使檢測元件5對(duì)第一容器1作自對(duì)位。
該自對(duì)位特別在使用回風(fēng)式錫焊接時(shí)起顯著作用。
無源元件4a～4e也用焊錫電連接在第一容器1的規(guī)定的圖形上。
如上完成晶體振子7、有源元件2和無源元件4a～4e的電連接。
有源元件2除用導(dǎo)線12與電極13連接之外，通過倒裝片安裝與電極13連接也可。
在第一連接電極14a～14f與第二連接電極11a～11f分別完成電連接后，則如圖3和圖4所示，在第二容器6的底面外周部涂布粘接和密封用的樹脂15。因此第二容器6牢固地粘接固定在第一容器1的外周壁3的上面。與此同時(shí)，設(shè)于第一容器1上面的開口部被第二容器6密封、有源元件2被保護(hù)。
且利用該密封處理不需要使有源元件2的外周樹脂密封。在需要對(duì)有源元件2進(jìn)行更可靠的保護(hù)時(shí)也可進(jìn)行外周樹脂密封。
如圖1～圖5、圖10所示，第一容器1的外周壁3外周設(shè)有缺口。各缺口處設(shè)有外部電極16a～16d、檢查電極16e～16h。外部電極16a、16b、16c、16d不僅在缺口內(nèi)部、在與之相連的第一容器1的底面上也形成。外部電極16a是電源端子(Vcc)、外部電極16b是輸出端子(OUT)、外部電極16c及外部電極16d是接地端子。
檢查電極16e、16f、16g、16h設(shè)在離開第一容器1的底面規(guī)定距離的上方位置。因此能防止安裝第一容器的基板上的導(dǎo)電圖形與檢查電極短路。
使用這些檢查電極16e～16h進(jìn)行向有源元件2內(nèi)部的存儲(chǔ)器寫入數(shù)據(jù)和各種檢查。因此能在第一容器安裝了無源部件的狀態(tài)下作檢查。且能在慣性傳感器完成的狀態(tài)下作檢查。
而圖10中檢查電極16i～16l設(shè)在第一容器1的外周壁3上。這里能從上方使檢查用探頭接觸檢查電極16i～16l。該檢查能在第一容器安裝了無源部件的狀態(tài)下進(jìn)行。
外部電極16a～16d設(shè)在第一容器1的外周壁3的外周角部。因此該慣性傳感器安裝在基板上時(shí)在反流焊接等自動(dòng)錫焊接時(shí)生效。即利用焊錫硬化時(shí)的表面張力使該慣性傳感器自對(duì)位、能減小安裝偏移。
(實(shí)施例2)圖11和圖12分別表示本發(fā)明實(shí)施例2的慣性傳感器的正面剖面圖和分解正面剖面圖。
本實(shí)施例中對(duì)與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)部件附以相同的號(hào)碼而省略詳細(xì)說明，僅對(duì)不同的部分加以詳述。
如圖11、圖12所示，第一容器1A的外周部3A的上面內(nèi)周部形成有凹狀臺(tái)階部3B。該臺(tái)階部3B支承第二容器6。若像這樣使第二容器6支承在臺(tái)階部3B上，則僅以此就可使第二容器6對(duì)第一容器1A定位。因此第一連接電極14a～14f和第二連接電極11a～11f的各相對(duì)位置關(guān)系也被正確設(shè)定。因而兩者的電連接能更可靠地進(jìn)行。且第一容器1A的開口部用第二容器6可靠密封。
(實(shí)施例3)圖13和圖14是本發(fā)明實(shí)施例3的慣性傳感器的正面剖面圖和平面圖。
本實(shí)施例中對(duì)與實(shí)施例1、實(shí)施例2相同的結(jié)構(gòu)部分附以相同的號(hào)碼而省略詳細(xì)說明，僅對(duì)不同的部分加以詳述。
如圖13所示，第一容器1B的外周壁3C與實(shí)施例2所示的外周壁3A相比更向上方延長了。具體說就是外周壁3C的上面比第二容器6的第二連接電極11a～11f(未以符號(hào)顯示)還延長至上方。
如圖14所示，密封電極17在對(duì)無源元件4a～4e不短路的范圍內(nèi)大致設(shè)置在該外周壁3C的上面的全周上。如圖13所示，該密封電極17通過在外周壁3C內(nèi)部形成的導(dǎo)電路20與接地端子即外部電極16c或外部電極16d電連接。這里外部電極16c和16d的符號(hào)未被顯示出。
這樣，通過該密封電極17使外來干擾難于侵入第一連接電極14a～14f、第二連接電極11a～11f的各連接部。還能防止因操作者手指接觸使有源元件2靜電損壞。這里符號(hào)11a～11f和14a～14f未被顯示出。
通過把外周壁3C向上方延長，使焊錫難于插入第一連接電極14a～14f和第二連接電極11a～11f的各自的連接部。為使焊錫容易插入，形成有缺口18a～18f直達(dá)與第一連接電極14a～14f和第二連接電極11a～11f對(duì)應(yīng)的臺(tái)階部3B。通過向該缺口18a～18f的內(nèi)部注入焊錫，使第一連接電極14a～14f和第二連接電極11a～11f的各自的電連接狀態(tài)穩(wěn)定。
另外，焊錫只注入缺口18a～18f的內(nèi)部。其上方用粘接及密封用樹脂15(圖中未示出)覆蓋。這樣，第一連接電極14a～14f、第二連接電極11a～11f就不會(huì)不小心與密封電極17短路。
通過如上將焊錫和導(dǎo)電性粘接劑從缺口18a～18f填充來連接第一、第二連接電極容易而且可靠。作為其結(jié)果，能減小第一、第二連接電極的面積。因而更易防止外來干擾的侵入。
且因?yàn)槿笨?8a～18f的內(nèi)面設(shè)有電極所以能提高導(dǎo)電性粘接劑的粘接強(qiáng)度。
而且僅從缺口18a～18f內(nèi)的開口部向下方填充導(dǎo)電性粘接劑。因而能防止該導(dǎo)電性粘接劑將上面的密封電極與第一、第二連接電極短路。
(實(shí)施例4)
圖15是為說明本發(fā)明實(shí)施例4的慣性傳感器的要部正面剖面圖。
本實(shí)施例中對(duì)與實(shí)施例1～實(shí)施例3相同的結(jié)構(gòu)部分附以相同的號(hào)碼而省略詳細(xì)說明，僅對(duì)不同的部分加以詳述。
圖15是圖14所示B-B線的剖面圖。
圖15詳細(xì)表示了第一容器1C中從臺(tái)階部3C部分向下方形成的小徑孔19。在第一連接電極14a～14f和第二連接電極11a～11f分別用焊錫連接時(shí)，該孔19防止焊錫擴(kuò)散到第一連接電極14a～14f、第二連接電極11a～11f之外而電短路。即該孔19有使多余的焊錫流入孔19內(nèi)部的功能。
這時(shí)，當(dāng)孔19是直孔時(shí)焊錫就會(huì)流出至第一容器1C的外部。因此將孔19制成直徑漸漸變小的結(jié)構(gòu)以防止焊錫的流出。
這樣防止焊錫和導(dǎo)電性粘接劑通過孔向下方流出。作為其結(jié)果是防止發(fā)生第一、第二連接電極的導(dǎo)通不良。
(實(shí)施例5)圖16和圖17分別是本發(fā)明實(shí)施例5的慣性傳感器的正面圖和彈性部件的平面圖。
本實(shí)施例中對(duì)與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)部件附以相同的號(hào)碼而省略詳細(xì)說明，僅對(duì)不同的部分加以詳述。
如圖16所示，在第一容器1和第二容器6連接時(shí)，它們通過薄的彈性部件21電連接。如圖17所示，彈性部件21在其兩面具有第三連接電極22a～22f，分別與第一連接電極14a～14f、第二連接電極11a～11f相對(duì)應(yīng)。彈性部件21是用由硅構(gòu)成的絕緣件和硅中含碳的導(dǎo)電件成型為一體的構(gòu)件所形成。
將第一連接電極14a～14f與第三連接電極22a～22f的各自間及第二連接電極11a～11f與第三連接電極22a～22f的各自間用焊錫連接。這樣來彈性支承檢測元件5。
根據(jù)以上結(jié)構(gòu)，安裝在第二容器內(nèi)部的檢測元件被彈性保持。因此能抑制由于外部振動(dòng)和沖擊造成的檢測元件的檢測信號(hào)水平的惡化、謀求特性的穩(wěn)定性。
彈性部件的底面積與第一容器和第二容器相互重疊面的面積大致相同。而彈性部件上形成有第三連接電極，用于使第一連接電極和第二連接電極的相互電連接。因此包括電極部能彈性保持。
另外，本實(shí)施例是以彈性支承檢測元件5為目的。因此不進(jìn)行實(shí)施例1那樣的由粘接和密封用樹脂15作的檢測元件5的固定。
本實(shí)施例中對(duì)作為彈性部件21的絕緣體使用硅作了說明，但只要是有防振性能的彈性體則不問材質(zhì)。
且本實(shí)施例中用的彈性部件也能裝配適用于實(shí)施例1～4中說明的結(jié)構(gòu)。
這時(shí)在使用了上述彈性部件的各自裝配中將各自有用的特征與因使用了彈性部件而產(chǎn)生的有用特征組合。因此能得到具有更有用特征的結(jié)構(gòu)。
(實(shí)施例6)圖18和圖19分別是本發(fā)明實(shí)施例6的慣性傳感器彈性部件的平面圖和正面剖面圖。
本實(shí)施例中圖16的彈性部件21被換成別的材料。
圖18、圖19中彈性部件21A是由硅構(gòu)成的絕緣件23a和含碳的導(dǎo)電件23b按規(guī)定間距所形成，且層合后切薄成適當(dāng)厚度。這被稱之為各向異性導(dǎo)電性橡膠。這樣沒有實(shí)施例5中所說明的第三電極組就能分別將彈性部件21A與第一連接電極14a～14f、第二連接電極11a～11f之間分別連接。
本實(shí)施例中對(duì)作為彈性部件21A的絕緣件使用硅作了說明，但只要是有防振性能的彈性體則不問材質(zhì)。
本實(shí)施例中用的彈性部件也能裝配適用于實(shí)施例1～5中說明的結(jié)構(gòu)。
這時(shí)，在使用了上述彈性部件的各自裝配中將各自有用的特征與因使用了彈性部件而產(chǎn)生的有用特征組合。因而能得到具有更有用特征的結(jié)構(gòu)。
(實(shí)施例7)圖20和圖21分別是本發(fā)明實(shí)施例7的慣性傳感器的立體圖和剖面圖。
本實(shí)施例中對(duì)與實(shí)施例1相同的結(jié)構(gòu)部分附以相同的號(hào)碼而省略詳細(xì)說明，僅對(duì)不同的部分加以詳述。
如圖20所示，第一容器1D的外部電極16m～16p上用釬焊分別固定著端子24a～24d。端子24a～24d其大小為能插入該慣性傳感器安裝基板上的圓孔、由具有導(dǎo)電性的鍍錫鋼板形成。
如圖21所示，可在第一容器1D的制作工序中將端子24a～24d同時(shí)層合構(gòu)成。例如在層合陶瓷板制作第一容器1D的工序途中層合長方狀的端子24a～24d來形成。這時(shí)也進(jìn)行各個(gè)外部電極的層間導(dǎo)通及各個(gè)外部電各自與端子24a～24d的連接。之后將端子24a～24d彎曲加工、得到規(guī)定的形狀。
通過利用該端子24a～24d，在基板安裝該慣性傳感器時(shí)提高其安裝位置精度。與此同時(shí)，能向表面安裝不可能的基板上進(jìn)行安裝、能適應(yīng)汽車等使用環(huán)境嚴(yán)酷、安裝可靠性要求更高的用途。
端子24a～24d也可與第一容器1D層合成一體。這時(shí)更提高可靠性。
另外，在實(shí)施例1～7中，作為第一、第二容器，就由陶瓷板的層合體制作的例子作了說明。在將板層合的結(jié)構(gòu)之外也可使用模具成形品、用從坯料形成加工形成品的結(jié)構(gòu)。所用材料除陶瓷以外，玻璃環(huán)氧樹脂等各種材料均能適用。
實(shí)施例1～7中作為檢測元件說明了使用晶體振子的例。檢測元件并不限定于晶體振子，可以利用可由慣性力而使物理量變化、且其變化量能電檢測的各種材料。
產(chǎn)業(yè)上的可利用性如上所述，本發(fā)明的慣性傳感器中第一容器有開口部、安裝有電路部件，具備外部電極和第一連接電極。第二容器內(nèi)部裝有檢測元件，開口部用密封板密封，具備第二連接電極。第二容器裝在第一容器上將第一容器的開口部覆蓋。第二連接電極與第一連接電極電連接。
因此作為感受信號(hào)用的重要部件即檢測元件上不會(huì)附著來自固定電路部件用的樹脂系粘接劑的氣體和有機(jī)物、焊錫和助焊劑。
這樣，就能制作具有高可靠性檢測元件部的慣性傳感器。與此同時(shí)該慣性傳感器，能得到安裝電路部件時(shí)和特性調(diào)整時(shí)其一部分受損傷之際，檢測元件部或電路部件部的任一方的合格件能再使用的優(yōu)點(diǎn)。
以上敘述了檢測慣性力的慣性力傳感器，但對(duì)檢測其它物理量的傳感器裝置本發(fā)明的結(jié)構(gòu)也能適用。
權(quán)利要求
1.一種慣性傳感器，具有第一容器，其有開口部、裝有電路部件，包含外部電極和第一連接電極；第二容器，其裝有檢測元件，開口部用密封板密封，包含第二連接電極，所述第二容器覆蓋所述第一容器的開口部、同時(shí)裝在所述第一容器上，所述第二連接電極與所述第一連接電極電連接。
2.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，所述外部電極在所述第一容器的外周壁的至少兩處角部從下部至底面而形成。
3.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，所述第一連接電極在所述第一容器的外周壁的上面至少兩處設(shè)置，所述第二連接電極在所述第二容器的外周壁從下部至底面設(shè)置、與所述第一連接電極對(duì)應(yīng)。
4.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，有源部件裝在所述第一容器的內(nèi)部，無源部件裝在所述第一容器的外周壁的上面。
5.如權(quán)利要求1或4所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器外周壁的外周面上設(shè)有檢查電極，所述檢查電極設(shè)在從所述第一容器的底面離開規(guī)定距離的位置。
6.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器外周壁的上面設(shè)有檢查電極，所述檢查電極設(shè)在從所述第一連接電極離開規(guī)定距離的位置。
7.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，所述第二容器底面的外周部近旁設(shè)有粘接及密封用的樹脂。
8.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器外周壁的上面內(nèi)周部形成有凹狀的臺(tái)階部，用所述臺(tái)階部支承所述第二容器。
9.如權(quán)利要求8所述的慣性傳感器，其中，把所述第一容器外周壁的上面配置在所述第二容器的所述第二連接電極上，同時(shí)在所述第一容器外周壁的上面設(shè)密封電極。
10.如權(quán)利要求8或9所述的慣性傳感器，其中，在所述第一容器外周壁的內(nèi)面?zhèn)扰c所述第二容器的所述第二連接電極對(duì)應(yīng)位置上設(shè)有從所述第一容器外周壁的上面?zhèn)认蛳轮僚_(tái)階部上面的缺口。
11.如權(quán)利要求10所述的慣性傳感器，其中，所述缺口的內(nèi)面設(shè)有電極。
12.如權(quán)利要求10或11所述的慣性傳感器，其中，僅從所述缺口內(nèi)的開口部向下方填充導(dǎo)電性粘接劑。
13.如權(quán)利要求8至12任一項(xiàng)所述的慣性傳感器，其中，在所述第一容器臺(tái)階部的底面與所述第二容器底面的所述第二連接電極對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)有孔。
14.如權(quán)利要求13所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器臺(tái)階部的孔其直徑向下方變小。
15.如權(quán)利要求1所述的慣性傳感器，其中，所述第二連接電極與第一連接電極通過彈性部件電連接。
16.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，所述彈性部件上形成有第三連接電極，用于使所述第一連接電極與所述第二連接電極電連接。
17.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，所述彈性部件具有各向異性導(dǎo)電性。
18.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，所述外部電極在所述第一容器外周壁的至少兩處角部從下部至底面而形成。
19.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，有源部件裝在所述第一容器的內(nèi)部，無源部件裝在所述第一容器外周壁的上面。
20.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器外周壁的外周面上設(shè)有檢查電極，所述檢查電極設(shè)在從所述第一容器的底面離開規(guī)定距離的位置。
21.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器外周壁的上面設(shè)有檢查電極，所述檢查電極設(shè)在從所述第一連接電極離開規(guī)定距離的位置。
22.如權(quán)利要求15所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器外周壁的上面內(nèi)周部形成有凹狀的臺(tái)階部，用所述臺(tái)階部支承所述第二容器。
23.如權(quán)利要求22所述的慣性傳感器，其中，把所述第一容器外周壁的上面配置在所述第二容器的所述第二連接電極之上，同時(shí)在所述第一容器外周壁的上面設(shè)密封電極。
24.如權(quán)利要求22或23所述的慣性傳感器，其中，在所述第一容器外周壁的內(nèi)面?zhèn)扰c所述第二容器的所述第二連接電極對(duì)應(yīng)的位置上，設(shè)有從所述第一容器外周壁的上面向下至臺(tái)階部上面的缺口。
25.如權(quán)利要求24所述的慣性傳感器，其中，所述缺口的內(nèi)面設(shè)有電極。
26.如權(quán)利要求24或25所述的慣性傳感器，其中，僅從所述缺口內(nèi)的開口部向下方填充導(dǎo)電性粘接劑。
27.如權(quán)利要求22至26任一項(xiàng)所述的慣性傳感器，其中，在所述第一容器的臺(tái)階部的底面與所述第二容器底面的所述第二連接電極對(duì)應(yīng)的位置上設(shè)有孔。
28.如權(quán)利要求27所述的慣性傳感器，其中，所述第一容器臺(tái)階部的孔其直徑向下方變小。
29.如權(quán)利要求2或18所述的慣性傳感器，其中，所述外部電極設(shè)在所述第一容器外周壁的外周，所述外部電極上設(shè)有用于插入基板上的接合孔的端子。
30.如權(quán)利要求29所述的慣性傳感器，其中，所述端子與所述第一容器層合為一體。
全文摘要
一種慣性傳感器，其具有不附著來自樹脂系粘接劑的氣體或有機(jī)物等的高可靠性的檢測元件部。第一容器有開口部、裝有電路部件。第一容器還具有外部電極和第一連接電極。第二容器內(nèi)部裝有檢測元件，開口部用密封板密封。第二容器還具有第二連接電極。這里所述第二容器裝在第一容器上以覆蓋第一容器的開口部。而第二連接電極與第一連接電極電連接。該慣性傳感器的結(jié)構(gòu)中在其一部分受到損傷時(shí)，檢測元件部或電路部件部的某一方的合格件可再使用。
文檔編號(hào)G01P1/00GK1460172SQ02800858
公開日2003年12月3日 申請(qǐng)日期2002年1月28日 優(yōu)先權(quán)日2001年1月29日
發(fā)明者吉內(nèi)茂裕, 川﨑周作, 野添利幸, 植村猛 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社