專利名稱：用于監(jiān)測殺菌波長的能量的紫外線傳感器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種響應(yīng)對殺菌應(yīng)用讀出有效波長而定制的紫外線檢測器。
背景技術(shù)：
飲用水、工業(yè)用水、純水和廢水處理設(shè)備以及空氣凈化器采用發(fā)射紫外線的大功率燈來消毒流過燈的水或空氣中的潛在的有害微生物。為了確保紫外光在消毒水或空氣中的微生物過程中的效力，必須讀出燈的輸出功率。這些傳感器可用于控制燈的輸出功率以減少能量消耗，消毒微生物以及確定燈的更換要求。
紫外光的有效殺菌波長的范圍通常在200-300納米(nm)，最大效力在265nm。用于提供該能量的燈通常在超過600nm的更寬的光譜上產(chǎn)生能量。為了保證足夠的能量用于殺菌效力，傳感器測量應(yīng)限于有效波長中的能量。問題在于開發(fā)一種敏感元件，該元件僅對所需要的殺菌波長進行響應(yīng)并在所需要的強紫外線能量的條件下呈現(xiàn)長壽命。
很大量的燈的光譜強度在300nm之上。因此將檢測器的響應(yīng)度限制為小于300nm的波長是所希望的。因為隨著時間的推移燈退化或變得污濁且在短波長范圍內(nèi)總輸出可能減小，因此重要的是監(jiān)測300nm以下的光強度。否則，殺毒可能變得不徹底。
目前的廢水處理系統(tǒng)采用硅或碳化硅(SiC)光電探測器，其對寬范圍的紫外光敏感以讀出穿透被處理材料(水或空氣)的光功率量以控制燈的輸出功率。對燈的這種控制用于將能量消耗最小化，確保對細(xì)菌的消毒并用于確定何時需要更換燈。
當(dāng)前的硅傳感器檢測比峰值處于約1000nm的紅外線的有效殺菌波長更寬的寬波長范圍上的能量。因為在紅外線范圍中的靈敏度比在紫外線范圍內(nèi)的靈敏度更高，因此該寬的響應(yīng)將復(fù)雜的衰減要求施加在任何附加的濾波器上。另外，由于在強紫外光下的快速惡化，這些器件呈現(xiàn)非常短的預(yù)期壽命。由于為了檢測紫外(UV)光Si探測器要求添加磷光體這一事實，所以很容易出現(xiàn)上述情況。在根據(jù)有效消滅細(xì)菌所要求的由UV燈產(chǎn)生的高強度下，這些磷光體退化。
SiC光電二極管的出現(xiàn)提供了一種在不需要濾波器的情況下監(jiān)測該紫外線能量的有效方法。SiC光電二極管的光譜響應(yīng)很大程度地限制為200-400nm，峰值約270nm(圖1)。已證明SiC光電二極管在強紫外光下具有非常長的壽命。但是，殺菌波長(300-400nm)外的UV光譜可包含來自燈的強能量峰，該能量峰降低了對殺菌有效波長的強度的監(jiān)測精度。圖1示出的SiC光電二極管的響應(yīng)度已經(jīng)降低了SiC光電二極管對300nm以上燈輸出的靈敏度。但是SiC光電二極管對于300-400nm之間的那些波長仍將產(chǎn)生顯著的輸出光電流。因此，消除對300nm以上波長的響應(yīng)將是所希望的。

發(fā)明內(nèi)容
在本發(fā)明的實例性實施例中，提供一種紫外線傳感器用于監(jiān)測用于消滅微生物的預(yù)定波長的能量。該傳感器包括對寬范圍紫外光敏感的紫外線光電探測器，布置在一住置以截取指向紫外線光電探測器的光的濾波器。該濾波器被配置為阻擋預(yù)定波長范圍外的波長的光。
在本發(fā)明的另一實例性實施例中，用于監(jiān)測消毒系統(tǒng)中使用的紫外線燈的效力的紫外線傳感器包括配置用于檢測波長在200-300nm之間的光的彼此協(xié)作的紫外線光電探測器和濾波器。
在本發(fā)明的再一個實施例中，用于空氣或水的凈化系統(tǒng)包括將紫外光指向空氣或水的紫外線燈和本發(fā)明的紫外線傳感器。
在本發(fā)明的又一個實施例中，凈化空氣或水的方法包括以下步驟用紫外線燈將紫外光指向空氣或水；提供包括配置用于檢測波長在200-300nm之間的光的彼此協(xié)作的紫外線光電探測器和濾波器的紫外線傳感器；以及根據(jù)來自紫外線傳感器的信號監(jiān)測紫外線燈的效力。


圖1是示出常規(guī)碳化硅光電二極管響應(yīng)度與波長關(guān)系的曲線；圖2是示出由SiC光電二極管響應(yīng)度改性的燈譜的曲線；圖3是示出具有涂敷到頂面的多層的介質(zhì)濾波器的碳化硅光電二極管的橫截面示意圖；圖4說明具有與光電二極管分開的濾波器的探測器的替換結(jié)構(gòu)；圖5是示出對最佳的濾波器透射特征的預(yù)測的曲線；
圖6是示出濾波器對SiC光電二極管響應(yīng)度的作用以消除對300nm以上的燈發(fā)射的響應(yīng)的曲線；圖7是示出探測器實例性應(yīng)用的控制回路示意圖；圖8是示出添加了用于周期性地測試光電二極管的功能性的諸如UV LED的紫外線光源的光電二極管外殼的示意圖；以及圖9示出可移動反射快門在測試傳感器窗的透明度方面的應(yīng)用。
具體實施例方式
圖3示出本發(fā)明的探測器10的示意性橫截面圖，該探測器包括具有涂敷到頂面的多重介質(zhì)濾波器14的SiC光電二極管12。該介質(zhì)濾波器14優(yōu)選淀積在SiC光電二極管12的表面上以將其響應(yīng)定制用于有效監(jiān)測紫外線范圍內(nèi)的特定光譜帶。使用碳化硅和淀積的(多個)濾波器將提供能夠在強紫外線輻射下具有長壽命的穩(wěn)固的探測器10。在圖3中，提供實例SiC光電二極管的橫截面。這里，封裝頭部16用作光電二極管芯片的固定件。管芯接合金屬18用于將光電二極管保持在位。SiC襯底20和外延層22、25包括該光電二極管實例的半導(dǎo)體部分。這里，n+(負(fù))24和p-(正)22外延層用于有效地收集由預(yù)先規(guī)定的波長的紫外光導(dǎo)致的光產(chǎn)生的載流子。光學(xué)濾波器14可以由前面提到的材料組成，并且在該實施例中，是芯片的整體部分。至少部分地由Au構(gòu)成的觸頭金屬26用于為器件提供低的電阻接觸，并且通過使用到這些通常也為Au的觸點的引線接合28接觸到光電二極管封裝引線。
優(yōu)選，任一已知的濺射技術(shù)可用于淀積介質(zhì)濾波器，并因此不再進一步說明淀積工藝的細(xì)節(jié)。其他合適的淀積方法對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員也是顯而易見的，并不意在將本發(fā)明限于所描述的實例性應(yīng)用?；蛘?，參照圖4，不附于光電二極管的單獨的濾波器32可以置于接收通過透鏡34輸入的光的SiC光電二極管12的前面，元器件包含在具有UV透明窗38的外殼36中。該布置雖然可行但沒有利用集成，集成允許同時制造整體濾波器在適當(dāng)位置的多個光電二極管。通過在處理順序中包括濾波器，可以容易地完成具有整體濾波器的光電二極管的制造。例如，對于介質(zhì)材料可以在一個淀積步驟中涂覆～1000或更多的器件，由此大大降低了最終器件的成本。
在一個單獨的構(gòu)造中，濾波器材料優(yōu)選淀積在諸如石英或藍寶石的UV透明襯底上，然后被切削到應(yīng)有的尺寸或整體使用并插入在光路中。
再一個實施例可以利用更昂貴、復(fù)雜且較小實用性的光學(xué)分光計或光電分光計(photospectrometer)，帶有或不帶有光纖輸入，和/或光電倍增管。這些選項需要濾波器或者軟件以確定燈功率在200-300nm所關(guān)心的范圍內(nèi)。
碳化硅特別適合于光電二極管12，因為其響應(yīng)曲線覆蓋了所關(guān)心的光譜。替換的光電二極管材料可以是AlGaN，可以將其制造為在更短的波長截止。例如，GaN光電二極管具有在365nm處的截止。添加約26％的Al來制造AlGaN光電二極管可以得到300nm的截止。然而，目前還不能從市場上買到優(yōu)質(zhì)的AlGaN光電二極管。相反，已良好地建立并易于得到SiC光電二極管。目前優(yōu)選SiC光電二極管，雖然在未來AlGaN光電二極管可以用或不用濾波器來進行相同的功能。仍可有其他的材料適于光電二極管，例如硅、磷化砷化鎵(gallium arsenidephosphode GaAsP)、氧化鋅(ZnO2)、氮化鋁(AlN)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁銦鎵(AlInGaN)和氮化銦鎵(InGaN)?；蛘?，紫外線光電探測器可以是光電倍增管。優(yōu)選，組合的紫外線光電探測器和濾波器的響應(yīng)度對應(yīng)于微生物紫外線消毒對例如水或空氣這樣的特殊介質(zhì)特定的效力?；蛘?，可以使用光電分光計，這將不需要前述的那種光學(xué)濾波器。在此情況下，分光計提供了光電二極管的陣列，其中每個光電二極管讀出特定的波長。然而，光電分光計比基于半導(dǎo)體的光電探測器更昂貴，因此優(yōu)選半導(dǎo)體光電二極管。
濾波器14優(yōu)選是短波長濾過器，它將在300nm截止。在一個實施例中，濾波器包括多層的、由SiO2、HfO2、SiO2和/或Si3N4交替層構(gòu)成的介質(zhì)濾波器。材料的其他組合也是適合的?？梢灾圃鞛V波器14具有窄帶寬特性，以監(jiān)測紫外線燈的譜線組。這樣一種選擇性的帶通濾波器可優(yōu)選是例如以254nm為中心。254nm線是Hg弧光燈的強線(intense line)。也可以采用利用摻雜稀土元素的玻璃(Shott濾波器)或半導(dǎo)體材料的濾波器，所述半導(dǎo)體材料是諸如GaAsP、ZnO2、AlInGaN、GaN、AlGaN、InGaN、AlN或它們的組合。
圖5示出基于典型的SiC光電二極管的靈敏度(響應(yīng)度)(方形點劃線)和對于這些系統(tǒng)典型的適合于消滅細(xì)菌的光(輻射)的有效波長帶(菱形點劃線)的最佳的濾波器透射特性。對于最佳的濾波器特性的預(yù)測從高強度水銀燈(中心輻射在254nm)獲取典型的光輸出，并允許光電二極管僅響應(yīng)最有效的殺傷帶(中心處于265nm)。
這是“最佳”設(shè)計的一個實施例，其提議最佳響應(yīng)度曲線具有接近258nm的中心響應(yīng)波長。當(dāng)然，當(dāng)置于光路中在其響應(yīng)度快速下降到低于270nm的SiC光電二極管的前面時，任何阻擋300nm以上輻射的濾波器都可以是合適的。
圖6中的方形點劃線示出典型的水銀燈譜的輸出。注意，發(fā)射峰在254nm。已模擬阻擋300nm以上的輻射的濾波器的一個原理(三角點化線)，其消除了對300nm以上光的(如光電二極管所讀出的)靈敏度。該光(300nm以上)基本上是無用的，并可能對評估燈的條件即其殺傷/消毒細(xì)菌的效力沒有益處。
經(jīng)濾波的SiC光電二極管被連接到信號調(diào)節(jié)電路，以提供特定應(yīng)用所需要的電流、電壓頻率或數(shù)字輸出。
來自消毒燈的光通過要被消毒的介質(zhì)(水或空氣)并照射到濾波器上，然后由探測器10測量。濾波器和傳感器的組合僅測量對消滅微生物有效的光波長。其增益由反饋網(wǎng)絡(luò)確定的電流電壓放大器放大光電二極管信號。該網(wǎng)絡(luò)能夠提供可調(diào)增益用于校準(zhǔn)。來自放大器的輸出可被轉(zhuǎn)換為工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)電流輸出，或轉(zhuǎn)換為所需要的電壓、頻率或數(shù)字輸出。
在一個實施例中，參考圖7，探測器10用作包括諸如CPU等的處理器和紫外線等44的控制回路的一部分。處理器42接收來自紫外線傳感器10的信號并根據(jù)紫外線傳感器信號控制紫外線等44的輸出。以這種方式，可以監(jiān)測紫外線燈44的效力并可實時控制燈輸出。此外，參考圖8，可以利用發(fā)射200-300nm光的附加紫外線光源46，使得其發(fā)射可以由光電二極管12讀出。該UV光源46可用于偶爾測試光電二極管，并確定其在時間過程上的功能性。該附加紫外線光源46可例如是UV LED器件，其可用非整體的或整體的濾波器測試光電二極管。此外，如圖9所示，反射可動板48和快門50可恰好安裝在窗外與再一個UV發(fā)射器52和不透明墻54組合以便測定窗涂層。
本發(fā)明的傳感器適用于紫外線消毒工業(yè)，以便監(jiān)測提供在殺菌譜中的能量。傳感器確保在合適波長的足夠能量總是可用于有效的消毒。信號可用于控制燈輸出并用于不適當(dāng)?shù)淖贤饩€水平的報警。
雖然已結(jié)合目前被認(rèn)為是最實用和優(yōu)選的實施例對本發(fā)明進行了說明，應(yīng)該理解，本發(fā)明不限于所公開的實施例，相反，本發(fā)明意在覆蓋包括在所附權(quán)利要求的精神和范圍內(nèi)的各種變型和等效方案。
權(quán)利要求
1.一種紫外線傳感器，用于監(jiān)測用于消滅微生物的預(yù)定波長的能量，該傳感器包括對寬范圍紫外光敏感的紫外線光電探測器(12)；布置在截取指向紫外線光電探測器的光的位置處的濾波器(14，32)，該濾波器被配置為阻擋處于所述預(yù)定波長外的波長的光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的傳感器，其中該傳感器(14，32)被配置為允許200和300nm之間的波長的光通過。
3.根據(jù)權(quán)利要求2的傳感器，其中紫外線光電探測器(12)是光電二極管。
4.根據(jù)權(quán)利要求3的傳感器，其中紫外線光電探測器(12)是碳化硅光電二極管。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的傳感器，其中紫外線光電探測器(12)是從由硅、磷化砷化鎵(GaAsP)、氧化鋅(ZnO2)、氮化鋁(AlN)、氮化鋁鎵(AlGaN)、氮化鎵(GaN)、氮化鋁銦鎵(AlInGaN)和氮化銦鎵(InGaN)所組成的組中選擇的一個材料的光電二極管。
6.根據(jù)權(quán)利要求2的傳感器，其中紫外線光電探測器(12)是光電倍增管。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的傳感器，其中濾波器(14，32)是具有從約220nm到300nm的帶通區(qū)域的帶通濾波器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的傳感器，其中組合的紫外線光電探測器(12)和濾波器(14，32)的響應(yīng)度對應(yīng)于對特殊介質(zhì)特定的紫外線消滅微生物的效力。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的傳感器，其中通過將濾波器(14)淀積在紫外線光電探測器(12)上將該濾波器形成為該紫外線光電探測器的整體部件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1的傳感器，其中濾波器(32)在紫外線光電探測器(12)的外部。
全文摘要
一種紫外線傳感器(10)，監(jiān)測在消毒系統(tǒng)中使用的紫外線燈的效力。該傳感器包括被配置為用于檢測200－300nm波長的光的協(xié)同操作的紫外線光電探測器(12)和濾波器(14，32)。用于空氣或水的凈化系統(tǒng)結(jié)合將紫外光指向空氣或水的紫外線燈(44)使用該傳感器。
文檔編號G01J1/04GK1538151SQ20041003297
公開日2004年10月20日 申請日期2004年4月14日 優(yōu)先權(quán)日2003年4月14日
發(fā)明者D·M·布朗, K·馬托查, P·M·桑維克, L·羅姆巴多, D M 布朗, 桑維克, 脅, 釩投 申請人:通用電氣公司