專利名稱：多晶粒針測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于一種多晶粒針測裝置，特別是關于一種可同時測試多個待測集成電路組件的電氣特性的多晶粒針測裝置。
背景技術：
在集成電路組件的制造過程中均會以針測卡測試其電氣特性，藉以篩選出不符合產品規(guī)格的集成電路組件。傳統(tǒng)上，針測卡的設計是依據(jù)一待測組件的信號墊的規(guī)格與位置，將每根探針設置于探針支撐物上，再利用環(huán)氧樹脂將探針黏合固定于支撐物上。之后，將針測卡放置于與待測儀器相符合的印刷電路板的上，最后精調每根針的規(guī)格，使其真正符合待測組件的規(guī)格以便進行準確與穩(wěn)定的電性測量。
圖1是一已知針測卡10的剖視圖。如圖1所示，該針測卡10包含一電路板12、一設置在電路板12上的支撐物14、若干根固定在支撐物14上的探針16以及一電氣連接該探針16與一導線26的導通孔20。為了確保探針16的水平位置不因使用時間的增加而產生針位偏移的情況，探針16是以環(huán)氧樹脂24固定于支撐物14上。在測量一待測組件30的電氣特性時，針測卡10安置于一測量機臺(未顯示圖1)上。之后，測量機臺再移動針測卡10以使探針16與該待測組件30的信號接點38形成電氣接觸，以便進行電性參數(shù)測量信號的傳送。
然而，一旦針測卡10制作完成后，其僅能應用于測量相同規(guī)格的待測組件的電氣特性。若待測組件的信號接點38的排列方式或距離有所改變，則必須重新制作符合該待測組件的針測卡。因此，傳統(tǒng)針測卡10并不具有多種條件下使用的靈活性，因而測量成本無法降低。
再者，由于新產品及制程的量產日程大幅縮短，使得產品測量時間的控制便成為有效控制產品整體生產時間的重點。因此，近年來許多針測卡制造廠嘗試借助改變現(xiàn)有探針技術以進行多點測量，進而縮短產品的測量時間。然而，目前針測卡制造廠都面臨到一個限制，那就是即使是多點測量，針測卡的針測點彼此之間的相對位置也是固定的。例如，如果針測卡是設計成同時測量四個相鄰待測組件，一旦使用者想要測量四個不相鄰或相對位置不一樣的待測組件時，此一針測卡即需更換，亦無法轉替使用。如此，制造商仍必須另花費時間及成本制備新的測試卡，而無法縮短產品測量時間。
圖2至圖4是一已知針測裝置的示意圖，揭示于美國專利US 6,011,405號。如圖2所示，該針測裝置是將若干根探針42擺置于一楔形卡40上，且該楔形卡40是架設于一調整器44上，其中借助轉動螺栓45可驅動該調整器44在Z軸方向的移動而調整該楔形卡40與一特測組件的相對位置。
請參考圖3，一圓棒70的兩末端是分別以一調整器74架設于兩平行滑軌60，另一圓棒72的兩末端則分別以一調整器76架設于另兩平行滑軌60，且一調整器66是承載于該兩圓棒70、72上。亦即，兩組平行滑軌60圍繞一開口64，而該兩圓棒70、72分別架設于平行滑軌60上。若將楔形卡40架設于該調整器66，則可經由該兩圓棒70、72在滑軌60上移動(即X、Y方向的移動)而調整楔形卡40上的探針42與一待測組件在X、Y方向的相對位置。惟，上述設計由于采用圓棒承載該調整器66，因此需兩彼此垂直的圓棒70、72方可確保該調整器66不致于翻轉。
如圖4所示，上述設計可借助增加該兩圓棒70、72的數(shù)量而增加調整器66的數(shù)量以實現(xiàn)同時針測多顆待測組件的電氣特性。然，由于該調整器66必須以兩彼此垂直圓棒70、72承載，因此限制了該調整器66在X、Y方向的移動彈性。例如，架設于同一圓棒70上的三個調整器66在Y方向的位置一定相同，而架設于同一圓棒72上的三個調整器66在Y方向的位置一定相同。亦即，上述設計僅適用針測呈矩陣形式排列的待測組件的電氣特性。若，上述設計欲應用于非矩陣形式排列的待測組件的電氣特性，則每個調整器66均必須以單個獨立的圓棒70、72承載。如此，不但增加了設計復雜度，也降低了可同時針測的待測組件的數(shù)量。
發(fā)明內容本發(fā)明的目的是提供一種可同時測試多個待測集成電路組件的電氣特性的多晶粒針測裝置。
為達到上述目的，本發(fā)明揭示一種多晶粒針測裝置，其特征在于其包含一具有一開口的平臺，兩設置于該開口的兩側的滑軌，至少一非圓形懸梁，其兩末端設置于該兩滑軌上；至少一設置于該非圓形懸梁上微調臺，該微調臺包含一承載一針測卡的載具，以及一可通過旋轉該載具而調整該針測卡與一待測組件的相對角度的角度調整組件。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該角度調整組件包含一設置于該載具上的蝸輪，及一與該蝸輪嚙合的蝸桿。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該蝸桿垂直于該蝸輪的旋轉軸。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該角度調整組件包含一設置于該載具上的第一齒輪、一與該第一齒輪嚙合的第二齒輪、以及一連接于該第二齒輪的旋轉構件。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該第一齒輪的轉軸與該第二齒輪的轉軸呈一銳角。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該微調臺另包含用于調整該針測卡與該待測組件在X軸方向的相對位置的一X軸驅動組件；用于調整該針測卡與該待測組件在Y軸方向的相對位置的一Y軸驅動組件；用于調整該針測卡與該待測組件在Z軸方向的相對位置的一Z軸驅動組件。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁與該滑軌是借助一第一滑座連接。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該微調臺與該非圓形懸梁是借助一第二滑座連接。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該平臺的開口是呈一矩形。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁是一矩形懸梁。
本發(fā)明還揭示一種多晶粒針測裝置，其特征在于包含一具有一開口的平臺；兩設置于該開口的兩側的滑軌；至少一非圓形懸梁，其兩末端設置于該兩滑軌上；至少設置于該非圓形懸梁上的一微調臺，該微調臺包含一用于調整該針測卡與該待測組件在X軸方向的相對位置的X軸驅動組件、一用于調整該針測卡與該待測組件在Y軸方向的相對位置的Y軸驅動組件、及一用于調整該針測卡與該待測組件在Z軸方向的相對位置的Z軸驅動組件，。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁與該滑軌是借助一第一滑座連接。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該微調臺與該非圓形懸梁是借助一第二滑座連接。
所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該平臺的開口是呈一矩形。
相較于已知技藝，本發(fā)明是將各個針測卡架設于單獨的微調臺上，可提供使用者依照其所需的待測組件的規(guī)格，彈性地調整針測卡在X、Y及Z方向的位置。亦即，本發(fā)明可真正實現(xiàn)多點測量的目的，可有效地縮短產品的測量時間。此外，本發(fā)明的角度調整組件亦可調整針測卡與待測組件的相對角度，更進一步地提供使用者更大的調整彈性來調整針測卡在測量不同規(guī)格待測組件的電氣特性。
圖1是一已知針測卡的剖視圖；圖2至圖4是一已知針測裝置的示意圖；圖5是本發(fā)明多晶粒針測裝置的示意圖；圖6及圖7示例本發(fā)明的微調臺；圖8及圖9示例本發(fā)明第一實施例的角度調整組件；圖10及圖11示例本發(fā)明第二實施例的角度調整組件。
圖中組件符號說明
具體實施方式圖5是本發(fā)明多晶粒針測裝置100的示意圖。如圖5所示，該多晶粒針測裝置100包含一具有一矩形開口112的平臺110、兩平行設置于該矩形開口112兩側的滑軌116、若干個非圓形懸梁120以及架設于該非圓形懸梁120上的微調臺140。該非圓形懸梁120較佳地是一矩形懸梁，其兩末端是分別借助一第一滑座118架設于該滑軌116上。該平臺110可借助若干個固定裝置114(例如螺絲)固設于一測試機臺(未顯示于圖中)上。
與美國專利US 6,011,405號揭示的針測裝置——實質上僅適用于呈矩陣型式排列的待測組件(請參圖4)相比較，本發(fā)明的微調臺140僅由單一非圓形懸梁120承載，因而該微調臺140的橫向位置并不受限制而可自由地調整。亦即，借助彈性地調整該微調臺140在該非圓形懸梁120上的橫向位置，本發(fā)明的針測裝置100可適用于針測呈非矩陣型式排列的待測組件的電氣特性。
具體說來，已知技藝欲應用于針測呈非矩陣型式排列的待測組件時，每個調整器66均必須以個別獨立的圓棒70、72承載(請參圖4)。相對地，本發(fā)明的針測裝置100應用于針測呈非矩陣型式排列的待測組件的電氣特性時，若干個微調臺140仍可架設于同一懸梁120上而不影響彼此在橫向位置的調整彈性。再者，已知技藝使用兩對滑軌60且每一調整臺66均使用兩彼此垂直的圓棒70、72承載；而本發(fā)明僅使用一對平行滑軌116，且每一微調臺140僅使用一懸梁120承載，因而設計相對地較為簡易。因此，本發(fā)明的針測裝置100除了具有較簡單的設計外，可同時針測的待測組件的數(shù)量亦明顯地高于已知技藝。
圖6及圖7示例本發(fā)明的微調臺140。如圖所示，該微調臺140是借助一第二滑座142架設于該非圓形懸梁120上，而借助螺栓144可將該微調臺140固定于該非圓形懸梁120的任意位置上。該微調臺140包含一X軸驅動組件150、一Y軸驅動組件160、一Z軸驅動組件170、一角度調整組件180及一載具190。該載具190是用于承載一針測卡92，而該角度調整組件180則可調整該針測卡192與一待測組件(未顯示于圖中)的相對角度。
該X軸驅動組件150是一螺旋測調計(micrometer screw gauge)，其借助旋轉該X軸驅動組件150來調整構件152與構件154的橫向位置，用以調整該針測卡192與該待測組件在X軸方向的相對位置。構件172是固定于構件154上，而借助旋轉該Z軸驅動組件170來調整構件172與構件174在垂直方向的相對位置，用于調整該針測卡192與該待測組件在Z軸方向的相對位置。構件162是固定于構件174上，而構件164是連接于該載具190。借助旋轉該Y軸驅動組件160來調整構件162與構件164的縱向位置，用于調整該針測卡192與該待測組件在Y軸方向的相對位置。
圖8及圖9示例本發(fā)明第一實施例的角度調整組件180。如圖所示，構件164是以兩組傳動組件200卡接于構件162，且構件164以一緩沖件186連接于該載具190。具體說來，各傳動組件200包含四根鋼棒202及若干顆設置于該四根鋼棒202間的滾珠204，其中兩根鋼棒202是設置于構件162的凹槽166內，且另兩鋼棒202是設置于構件164的凹槽168內。針測卡192是設置于凹槽194中，并以螺栓196固定。該角度調整組件180包含一設置于該載具190上的蝸輪182以及一與該蝸輪182嚙合的蝸桿184。該角度調整組件180是借助該蝸桿184的轉動來驅動該蝸輪182旋轉，進而調整該構件164與載具190的相對角度。該蝸桿184是垂直于該蝸輪182的旋轉軸，如圖6所示。
圖10及圖11示例本發(fā)明第二實施例的角度調整組件230。如兩圖所示，該角度調整組件230包含一設置于該載具190上的第一齒輪232、一與該第一齒輪232嚙合的第二齒輪234以及一連接于該第二齒輪234的旋轉構件236。該角度調整組件230是借助轉動該旋轉構件236來驅動該第二齒輪234旋轉，進而驅動該第一齒輪232旋轉以調整該構件164與載具190的相對角度。該第一齒輪232的轉軸與該第二齒輪234的轉軸呈一銳角，如圖7所示。
本發(fā)明應用時，首先依據(jù)所需測量的待測組件數(shù)量及位置，規(guī)劃所需的懸梁120的數(shù)量。之后，利用第一滑座118將該懸梁120分別架設于該矩形開口112兩側的滑軌116上。由于第一滑座118可在滑軌116上滑動，因此懸梁120可同步地滑行于該矩形開口112兩側的滑軌116上(即Y方向)。之后，依據(jù)所需測量的待測組件數(shù)量及位置，將第二滑座42大略架設于懸梁120上對應于待測組件的位置。接著將微調臺140與第二滑座142緊密結合，并利用螺栓144將微調臺140固定于懸梁120上。
將針測卡192置入微調臺140的固定凹槽194中并予以固定后，使用者可依據(jù)待測組件的位置，先以調整第一滑座118在滑軌116的位置以概略地調整針測卡192在Y軸的位置。之后，再松開螺栓144并借助調整承載微調臺140的第二滑座142，以大略地調整針測卡192在X軸的位置。最后，再針對誤差較小的部份，利用微調臺140上的X軸驅動組件150、Y軸驅動組件160及Z軸驅動組件170，進行最后的位置調整，以使針測卡192能正確無誤的探測到待測組件。
相較于已知技藝，本發(fā)明的針測裝置100可將若干個針測卡192分別架設于單個的微調臺140上。使用者可依據(jù)待測組件的規(guī)格，彈性地調整針測卡192在X、Y及Z方向的位置。亦即，本發(fā)明真正地實現(xiàn)多點測量的目的，可有效地縮短產品的測量時間。此外，本發(fā)明的角度調整組件180可調整針測卡192與待測組件的相對角度，更進一步地提供使用者更大的調整彈性來調整針測卡192在不同規(guī)格待測組件的電氣特性測量。
本發(fā)明的技術內容及技術特點已揭示如上，然而熟悉本項技術的人士仍可能基于本發(fā)明的教示及揭示而作種種不背離本發(fā)明精神的替換及修飾。因此，本發(fā)明的保護范圍應不限于所揭示的實施例，而應包括各種不背離本發(fā)明的替換及修飾。
權利要求
1.一種多晶粒針測裝置，其特征在于其包含一具有一開口的平臺；兩設置于該開口的兩側的滑軌；至少一非圓形懸梁，其兩末端設置于該兩滑軌上；至少一設置于該非圓形懸梁上微調臺，該微調臺包含一承載一針測卡的載具，以及一可通過旋轉該載具而調整該針測卡與一待測組件的相對角度的角度調整組件。
2.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該角度調整組件包含一設置于該載具上的蝸輪，及一與該蝸輪嚙合的蝸桿。
3.如權利要求2所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該蝸桿垂直于該蝸輪的旋轉軸。
4.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該角度調整組件包含一設置于該載具上的第一齒輪、一與該第一齒輪嚙合的第二齒輪、以及一連接于該第二齒輪的旋轉構件。
5.如權利要求4所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該第一齒輪的轉軸與該第二齒輪的轉軸呈一銳角。
6.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該微調臺另包含用于調整該針測卡與該待測組件在X軸方向的相對位置的一X軸驅動組件；用于調整該針測卡與該待測組件在Y軸方向的相對位置的一Y軸驅動組件；用于調整該針測卡與該待測組件在Z軸方向的相對位置的一Z軸驅動組件。
7.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁與該滑軌是借助一第一滑座連接。
8.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該微調臺與該非圓形懸梁是借助一第二滑座連接。
9.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該平臺的開口是呈一矩形。
10.如權利要求1所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁是一矩形懸梁。
11.一種多晶粒針測裝置，其特征在于包含一具有一開口的平臺；兩設置于該開口的兩側的滑軌；至少一非圓形懸梁，其兩末端設置于該兩滑軌上；至少設置于該非圓形懸梁上的一微調臺，該微調臺包含一用于調整該針測卡與該待測組件在X軸方向的相對位置的X軸驅動組件、一用于調整該針測卡與該待測組件在Y軸方向的相對位置的Y軸驅動組件、及一用于調整該針測卡與該待測組件在Z軸方向的相對位置的Z軸驅動組件，。
12.如權利要求11所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁與該滑軌是借助一第一滑座連接。
13.如權利要求11所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該微調臺與該非圓形懸梁是借助一第二滑座連接。
14.如權利要求11所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該平臺的開口是呈一矩形。
15.如權利要求11所述的多晶粒針測裝置，其特征在于該非圓形懸梁是一矩形懸梁。
全文摘要
本發(fā)明的多晶粒針測裝置，包含一具有一矩形開口的平臺、兩平行設置于該矩形開口的兩側的滑軌、至少一非圓形懸梁以及至少一架設于該非圓形懸梁上的微調臺。該非圓形懸梁較佳地是一矩形懸梁，其兩末端是分別借助一第一滑座架設于該滑軌上。該微調臺包含一X軸驅動組件、一Y軸驅動組件以及一Z軸驅動組件、一角度調整組件及一承載針測卡的載具。該微調臺是借助一第二滑座架設于該非圓形懸梁上，而該角度調整組件則可調整該針測卡與一待測集成電路組件的相對角度。本發(fā)明的多晶粒針測裝置可同時測試多個待測集成電路組件的電氣特性。
文檔編號G01R31/28GK1737581SQ20041005778
公開日2006年2月22日 申請日期2004年8月19日 優(yōu)先權日2004年8月19日
發(fā)明者劉俊良, 徐梅淑 申請人:思達科技股份有限公司