專利名稱：一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種超純水制造領(lǐng)域，尤其涉及超純水制造領(lǐng)域中一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工廠中的超純水制造系統(tǒng)中，對(duì)水中的微量離子的要求非常高，要求微量離子的含量小于10ppt。微量離子的去除主要是通過拋光樹脂來去除。在用微量離子進(jìn)行拋光樹脂去除時(shí)，拋光樹脂塔一般有好幾個(gè)，離子的殘留量是通過電阻率儀器測(cè)定的數(shù)據(jù)來反映出來。
但是當(dāng)拋光樹脂塔運(yùn)轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，由于樹脂更換、樹脂容量的設(shè)計(jì)、原水水質(zhì)的變化以及測(cè)試儀表準(zhǔn)確度問題等原因，處理水的電導(dǎo)率可能會(huì)有異常的緩慢下降，在緩慢下降初期，拋光樹脂中的陰離子樹脂或者陽(yáng)離子樹脂會(huì)被擊穿。一般來說，陽(yáng)離子的擊穿比陰離子的擊穿對(duì)制品的影響更大，而它的下降原因一般通過對(duì)處理水的取樣分析來判斷，目前國(guó)內(nèi)基本上沒有這樣的分析能力。委托國(guó)外分析需要2至3周時(shí)間，而且由于受樹脂塔的數(shù)量較多的影響、取樣的污染影響、分析項(xiàng)目的針對(duì)性不強(qiáng)的影響等因素，往往分析結(jié)果不能有效快速的為系統(tǒng)分析和改善提供依據(jù)。
已有技術(shù)不能滿足對(duì)樹脂擊穿類型分析的要求，在時(shí)間需要很長(zhǎng)的周期，增加生產(chǎn)的時(shí)間成本，而分析結(jié)果的針對(duì)性不強(qiáng)上也成為系統(tǒng)分析的一個(gè)障礙。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法，可以快速有效的判斷樹脂的擊穿類型，節(jié)約工藝時(shí)間，提高分析的針對(duì)性。
為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，包括水管、通過水管和樹脂塔相連接的取樣閥門、通過水管和取樣閥門相連接的轉(zhuǎn)換閥門，兩端分別通過水管與轉(zhuǎn)換閥門及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端相連接的裝有陰離子樹脂或者陽(yáng)離子樹脂的樹脂筒柱，電導(dǎo)率儀的進(jìn)水端通過水管與轉(zhuǎn)換閥門相連接。
本發(fā)明一種利用一種判斷樹脂擊穿類型的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，包括以下步驟第一步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經(jīng)過取樣閥門和轉(zhuǎn)換閥門，并將取樣水引至電導(dǎo)率儀的進(jìn)水端；第二步，測(cè)量該取樣水的電阻率；第三步，切換轉(zhuǎn)化閥門，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經(jīng)過取樣閥門和轉(zhuǎn)換閥門以及裝有樹脂的樹脂筒柱及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端；第四步，測(cè)量經(jīng)過樹脂筒柱處理后的取樣水的電阻率；第五步，比較第二步和第四步的測(cè)量結(jié)果，判斷樹脂的擊穿類型。
與已有技術(shù)相比，通過本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置利用本發(fā)明方法，分別測(cè)試取樣水和經(jīng)過樹脂筒柱的水電阻率，根據(jù)上述二者的電阻率是否有明顯變化判斷樹脂擊穿類型，本發(fā)明可以在現(xiàn)場(chǎng)對(duì)樹脂擊穿類型進(jìn)行快速準(zhǔn)確的分析，減少分析所需的時(shí)間，提高分析的針對(duì)性。同時(shí)，本發(fā)明的裝置既可以對(duì)單臺(tái)樹脂塔的處理水進(jìn)行分析，也可以對(duì)總處理水進(jìn)行分析，這種在線檢測(cè)避免了取樣過程中的污染。


下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步描述圖1為超純水系統(tǒng)處理過程示意簡(jiǎn)圖；圖2為本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的方法流程示意圖；圖4為利用本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置判斷樹脂擊穿類型的整體系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
超純水系統(tǒng)處理如圖1所示，在超純水制造系統(tǒng)中，拋光樹脂塔運(yùn)轉(zhuǎn)一段時(shí)間后，它的處理水的電阻率有時(shí)會(huì)異常的緩慢下降，在緩慢下降初期，必定是拋光樹脂中的陰離子樹脂或者陽(yáng)離子樹脂擊穿，一般來說，陽(yáng)離子的擊穿比陰離子的擊穿對(duì)制品的影響更大，此時(shí)需要通過對(duì)處理水的取樣分析來判斷樹脂的擊穿類型。
如圖2所示，一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，包括水管、通過水管和樹脂塔相連接的取樣閥門、通過水管和取樣閥門相連接的轉(zhuǎn)換閥門，兩端分別通過水管與轉(zhuǎn)換閥門及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端相連接的裝有陰離子樹脂或者陽(yáng)離子樹脂的樹脂筒柱，電導(dǎo)率儀的進(jìn)水端通過水管與轉(zhuǎn)換閥門相連接。
如圖4所示，在利用本發(fā)明的裝置判斷樹脂塔樹脂擊穿類型時(shí)，在樹脂塔的處理水管路上，用軟管將處理水連接到本發(fā)明的裝置。如圖3所示，首先，將轉(zhuǎn)換閥門切換到電導(dǎo)率儀方向，打開取樣閥門，取樣水從樹脂塔經(jīng)過取樣閥門、轉(zhuǎn)換閥門直接流經(jīng)電導(dǎo)率儀，電導(dǎo)率儀直接測(cè)定取樣水的電導(dǎo)率，穩(wěn)定數(shù)據(jù)穩(wěn)定后，記錄該值；然后將轉(zhuǎn)換閥門切換到樹脂柱筒處理水方向，取樣水從樹脂塔經(jīng)過取樣閥門、轉(zhuǎn)換閥門、樹脂筒柱再流到電導(dǎo)率儀，電導(dǎo)率儀測(cè)定經(jīng)過樹脂柱筒處理后的取樣水的電導(dǎo)率，數(shù)據(jù)穩(wěn)定后，記錄該經(jīng)過處理的取樣水的電導(dǎo)率值。測(cè)定結(jié)束，根據(jù)兩個(gè)測(cè)定值的變化，判斷樹脂的擊穿是陰離子擊穿還是陽(yáng)離子擊穿。
其中，當(dāng)樹脂筒柱所裝有的樹脂為陰離子樹脂，當(dāng)取樣水和經(jīng)過處理的取樣水的電阻率測(cè)定值差值超過0.05MΩ.cm，樹脂為陰離子擊穿。如果電阻率值無明顯變化，則為陽(yáng)離子擊穿。而當(dāng)樹脂筒柱所裝有的樹脂為陽(yáng)離子樹脂，當(dāng)取樣水和經(jīng)過處理的取樣水的電阻率測(cè)定值差值超過0.05MΩ.cm，樹脂為陽(yáng)離子擊穿。如果電阻率值無明顯變化，則為陰離子擊穿。
權(quán)利要求
1.一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，其特征在于，包括水管、通過水管和樹脂塔相連接的取樣閥門、通過水管和取樣閥門相連接的轉(zhuǎn)換閥門，兩端分別通過水管與轉(zhuǎn)換閥門及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端相連接的裝有陰離子樹脂或者陽(yáng)離子樹脂的樹脂筒柱，電導(dǎo)率儀的進(jìn)水端通過水管與轉(zhuǎn)換閥門相連接。
2.一種利用權(quán)利要求1所述的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，其特征在于，包括以下步驟第一步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經(jīng)過取樣閥門和轉(zhuǎn)換閥門，并將取樣水引至電導(dǎo)率儀的進(jìn)水端；第二步，測(cè)量該取樣水的電阻率；第三步，切換轉(zhuǎn)化閥門，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經(jīng)過取樣閥門和轉(zhuǎn)換閥門以及裝有樹脂的樹脂筒柱及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端；第四步，測(cè)量經(jīng)過樹脂筒柱處理后的取樣水的電阻率；第五步，比較第二步和第四步的測(cè)量結(jié)果，判斷樹脂的擊穿類型。
3.如權(quán)利要求2所述的一種利用權(quán)利要求1所述的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，其特征在于，第三步中樹脂筒柱所裝有的樹脂為陰離子樹脂，當(dāng)?shù)谒牟胶偷诙街兴鶞y(cè)的兩個(gè)電阻率測(cè)定值差值超過0.05MΩ.cm，則判斷樹脂為陰離子擊穿。
4.如權(quán)利要求2所述的一種利用權(quán)利要求1所述的裝置判斷樹脂擊穿類型的方法，其特征在于，第三步中樹脂筒柱所裝有的樹脂為陽(yáng)離子樹脂，當(dāng)?shù)谒牟胶偷诙街兴鶞y(cè)的兩個(gè)電阻率測(cè)定值差值超過0.05MΩ.cm，則判斷樹脂為陽(yáng)離子擊穿。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種判斷樹脂擊穿類型的裝置和方法。本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的裝置，包括水管、取樣閥門、轉(zhuǎn)換閥門，兩端分別通過水管與轉(zhuǎn)換閥門及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端相連接的樹脂筒柱。本發(fā)明一種判斷樹脂擊穿類型的方法，包括以下步驟第一步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經(jīng)過取樣閥門和轉(zhuǎn)換閥門，將取樣水引至電導(dǎo)率儀的進(jìn)水端；第二步，測(cè)量取樣水的電阻率；第三步，通過水管使樹脂塔中的取樣水依次經(jīng)過取樣閥門和轉(zhuǎn)換閥門以及裝有樹脂的樹脂筒柱及電導(dǎo)率儀進(jìn)水端；第四步，測(cè)量經(jīng)過樹脂筒柱處理后的取樣水的電阻率；第五步，比較第二步和第四步的測(cè)量結(jié)果，判斷樹脂的擊穿類型。本發(fā)明適用于超純水制造領(lǐng)域。
文檔編號(hào)G01N27/06GK1963479SQ20051011023
公開日2007年5月16日 申請(qǐng)日期2005年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月10日
發(fā)明者唐世權(quán) 申請(qǐng)人:上海華虹Nec電子有限公司