專利名稱：一種納米TiO的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于光電子技術(shù)領(lǐng)域。涉及納米TiO2薄膜紫外傳感器的制備方法。
背景技術(shù)：
納米TiO2薄膜作為一種寬帶隙(帶寬3.2eV)無機(jī)半導(dǎo)體功能材料，因其高多孔性、高表面積、高光電導(dǎo)性、高光電化學(xué)和催化活性等優(yōu)良特性而深受人們的青睞，并廣泛應(yīng)用于染料敏化太陽能電池、光催化分解污染物、自清潔薄膜等領(lǐng)域。但納米TiO2薄膜在380nm以下對紫外光強(qiáng)吸收的固有特性，僅在光催化方面做了大量的研究，而在紫外光電轉(zhuǎn)換方面的研究卻幾乎未見報導(dǎo)。近年來，為了將TiO2應(yīng)用于紫外光傳感器，我們借助標(biāo)準(zhǔn)三電極體系電池仔細(xì)研究了TiO2薄膜的紫外光電轉(zhuǎn)換特性，并做了大量的研究工作。
目前，用于制備紫外光探測器的材料很多，如已投入商業(yè)和軍事應(yīng)用的紫外光電倍增管和硅基紫外光電管。但是，光電倍增管需要在高壓下工作，而且體積笨重、效率低；而作為窄禁帶半導(dǎo)體，Si材料對可見光同樣存在吸收，因此硅基紫外光探測器件因不得不使用昂貴的濾光器而使得成本居高不下，這就使得二者的廣泛應(yīng)用受到了限制。為了降低成本，人們開始關(guān)注SiC[王麗玉，謝家純，劉文齊.SiC肖特基紫外光電探測器的研制，半導(dǎo)體光電，25(1)，2004，25-28]、金剛石薄膜[Giovanni Mazzeo，Stefano Salvatori，Maria Cristina Rossi，Gennaro Conte，Marie-Claude Castex，Deep UV pulsed laser monitoring by CVDdiamond sensors，Sensors and Actuators A，113(3)，2004，277-281]和GaN[王俊，趙德剛，劉宗順，馮淦，朱建軍，沈曉民，張寶順，楊輝.GaN基MSM結(jié)構(gòu)紫外光探測器，中國科學(xué)(G輯)，33(1)，2003，34-38]等寬帶隙半導(dǎo)體紫外光探測器。但這些材料制備的紫外光傳感器同樣存在許多的不足，如SiC具有間接帶隙，使得制造出的探測器靈敏度不高；金剛石薄膜和GaN需要應(yīng)用昂貴的制備設(shè)備和襯底材料，故成本較高，而且制備工藝還不夠成熟。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的就是提供一種工藝簡便、成本低的納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器及其制備方法。
本發(fā)明的技術(shù)解決方案是，一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器，由紫外光檢測器10、偏置電壓電路11、電流轉(zhuǎn)換電路12和信號處理電路13依次連接構(gòu)成，紫外光檢測器10中的納米TiO2薄膜光敏電極5和參比電極6連接到偏置電壓電路11，光敏電極5和對電極7連接到電流轉(zhuǎn)換電路12，電流轉(zhuǎn)換電路12輸出的電壓信號連接到信號處理電路13；其紫外光檢測器10的構(gòu)成為納米TiO2薄膜光敏電極5、參比電極6和對電極7依次設(shè)置在盛有電解液9的石英電解池4內(nèi)，三個電極極面保持并行，且彼此間距0.5-1.0cm，光敏電極5的納米TiO2薄膜3膜面朝向石英電解池4外側(cè)；三個電極由導(dǎo)線8連接并經(jīng)密封材料密封后引出電解池4，電解池4用密封材料密封；其紫外光檢測器10的光敏電極5由基底1、涂于基底1上的導(dǎo)電膜2、涂于導(dǎo)電膜2上的納米TiO2薄膜3三部分構(gòu)成。
制備一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的方法，在涂有導(dǎo)電薄膜2的基底1上涂上一層納米TiO2-M薄膜3，經(jīng)350-650℃、0.5-3小時熱處理制成紫外光敏電極5；將光敏電極5、參比電極6和對電極7依次固定在盛有電解液9的石英電解池4內(nèi)，電極極面保持并行，彼此間距0.5-1.0cm。光敏電極5的TiO2微晶薄膜3膜面朝向石英電解池4外；三個電極由導(dǎo)線8連接，連接點用導(dǎo)電膠固定，導(dǎo)線及電極金屬裸露處經(jīng)環(huán)氧樹脂密封后引出電解池4，而后將電解池4用密封材料密封；光敏電極5和參比電極6通過導(dǎo)線8連接到偏置電壓電路11，光敏電極5和對電極7通過導(dǎo)線8連接到電流轉(zhuǎn)換電路12，電流轉(zhuǎn)換電路12連接到信號處理電路13，信號處理電路13輸出與所接收紫外光強(qiáng)度成比例的電壓信號；偏置電壓電路11向光敏電極提供偏置電壓，當(dāng)紫外光照射到半導(dǎo)體微晶薄膜上時，光敏電極中產(chǎn)生光生電子-空穴對，其中光生電子經(jīng)導(dǎo)電膜2傳入外電路，而光生空穴則與電解液9發(fā)生氧化反應(yīng)，從而使形成循環(huán)回路，產(chǎn)生光電流信號。該電流信號經(jīng)電流轉(zhuǎn)換電路12轉(zhuǎn)為電壓信號，電流轉(zhuǎn)換電路12輸出的電壓信號連接到信號處理電路13，信號處理電路13輸出與所接收紫外光強(qiáng)度成比例的電壓信號，從而達(dá)到紫外光傳感的目的。
納米TiO2-M薄膜光敏電極5由基底1、導(dǎo)電膜2、納米TiO2薄膜3三部分構(gòu)成，作為薄膜襯底的基底材料1是金屬、半導(dǎo)體或玻璃。
基底材料1上所涂導(dǎo)電薄膜2為ITO或FTO薄膜。
M是金屬離子、寬禁帶半導(dǎo)體材料和只吸收紫外光的有機(jī)染料，按摩爾百分比，金屬離子、寬禁帶半導(dǎo)體材料或只吸收紫外光的有機(jī)染料占M總量的0-100％。
金屬離子是Zn、Cr、Cd、Er、Eu、Yb、La、Pr、Nd或Sm離子。
寬禁帶半導(dǎo)體材料是SnO或ZnO。
只吸收紫外光的有機(jī)染料是香豆素。
所述的電解液9，其陽離子為H、Li、Na、K、Cs、Ca、Mg、Sr、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn和Al離子，按摩爾百分比，H、Li、Na、K、Cs、Ca、Mg、Sr、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn或Al離子占陽離子總量的0-100％。
所述的電解液9，其陰離子為硝酸根、硫酸根、氯酸根、鹵素離子和氰離子，按摩爾百分比，硝酸根、硫酸根、氯酸根、鹵素離子或氰離子占陰離子總量的0-100％。
所述的電解液9，其溶劑為水、甲醇、乙醇和乙腈，按摩爾百分比，水、甲醇、乙醇或乙腈占溶劑總量的0-100％。
本發(fā)明所達(dá)到的有益效果和益處是，薄膜制備工藝簡便成熟，能夠采用低成本的制備方法，如溶膠-凝膠法、液相沉積法、水熱合成等方法制備納米TiO2薄膜，鈦源為比較便宜的鈦酸四丁酯、四氯化鈦或硫酸氧鈦。所制備的傳感器具有靈敏度高、響應(yīng)速度快、體積小、價格低、壽命長的優(yōu)點，并且只對波長短于380nm的紫外光具有高靈敏度的響應(yīng)輸出，而對紅外和可見光沒有任何響應(yīng)，能夠防止除紫外光以外的其它光源的干擾。


下面結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明作進(jìn)一步的說明。
圖1是本發(fā)明的納米TiO2薄膜光敏電極結(jié)構(gòu)示意2是本發(fā)明的紫外光電化學(xué)電池結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本發(fā)明的納米TiO2薄膜紫外光傳感器整機(jī)示意4是本發(fā)明的實施例1同條件下制得的納米粉晶X射線分析結(jié)果圖。
圖5是本發(fā)明的實施例1的原子力顯微照片圖。
圖6是本發(fā)明的實施例1的紫外-可見吸收光譜分析圖。
圖7是本發(fā)明的實施例1的瞬態(tài)光電流特性分析圖。
圖8是本發(fā)明的實施例2同條件下制得的納米粉晶X射線分析結(jié)果圖。
圖9是本發(fā)明的實施例2的紫外-可見吸收光譜分析圖。
圖10是本發(fā)明的實施例2的光電流作用譜分析圖。
圖11是本發(fā)明的實施例3的瞬態(tài)光電流特性分析圖。
圖12是本發(fā)明的實施例4的光電流-電極電位曲線圖。
圖13是本發(fā)明的實施例5的光電流作用譜分析圖。
圖中，1.基底，2.導(dǎo)電薄膜，3.納米TiO2薄膜，4.石英電解池，5.以導(dǎo)電基底為載體的納米TiO2薄膜光敏電極，6.參比電極，7.，對電極，8.導(dǎo)線，9.電解液，10.紫外光檢測器，11.偏置電壓電路，12.電流轉(zhuǎn)換電路，13.信號處理電路。
具體實施例方式
實施例1配比鈦酸四丁酯∶無水乙醇∶去離子水∶二乙醇胺＝20∶100∶1∶6體積比以鈦酸四丁酯為前驅(qū)體。將鈦酸四丁酯和二乙醇胺溶于無水乙醇(占總量的60％)，攪拌60min得到混合溶液。另將去離子水與無水乙醇(占總量的40％)混和均勻后，于不斷攪拌下逐滴滴入到上述混合液中，滴加結(jié)束后繼續(xù)攪拌60min，得到均勻、透明的淡黃色TiO2溶膠。
納米TiO2薄膜光敏電極5的制備以潔凈的導(dǎo)電玻璃為基片，用自制拉膜機(jī)(速度精度10μm/s)采用浸漬-提拉法制膜。每次拉膜后將基片放入溫度為80-120℃的烘箱中干燥10-20min，即完成一次涂膜過程。通過增加涂膜次數(shù)可改變薄膜厚度。制得的薄膜放入電阻爐中，于350-650℃的不同溫度下焙燒30-120min。之后樣品隨爐冷卻至室溫，即得到均勻透明的TiO2薄膜光敏電極5。其結(jié)構(gòu)如圖1所示。
紫外光檢測器10的制備以納米TiO2-M薄膜電極做光敏電極5，以光敏電極5為工作電極，連同參比電極6和對電極7依次固定在盛有電解液9的石英電解池4內(nèi)，電極極面保持并行，彼此間距0.5-1.0cm。光敏電極5的TiO2微晶薄膜3膜面朝向石英電解池4外，從而構(gòu)成紫外光電化學(xué)電池，即傳感器的紫外光檢測器10部分。三個電極由導(dǎo)線8連接并經(jīng)環(huán)氧樹脂密封后引出電解池4，而后將電解池4用密封材料密封。其結(jié)構(gòu)如圖2所示。
紫外光傳感器增機(jī)的組裝順序如圖3所示光敏電極5和參比電極6通過導(dǎo)線8連接到偏置電壓電路11，光敏電極5和對電極7通過導(dǎo)線8連接到電流轉(zhuǎn)換電路12，電流轉(zhuǎn)換電路12連接到信號處理電路13，信號處理電路13輸出與所接收紫外光強(qiáng)度成比例的電壓信號，從而構(gòu)成紫外光傳感器的整機(jī)。偏置電壓電路11向光敏電極5提供偏置電壓，當(dāng)紫外光照射到納米TiO2微晶薄膜3上時，光敏電極5中產(chǎn)生光生電子-空穴對，其中光生電子經(jīng)導(dǎo)電膜2傳入外電路，而光生空穴則與電解液9發(fā)生氧化反應(yīng)，從而使形成循環(huán)回路，產(chǎn)生光電流信號。該電流信號經(jīng)電流轉(zhuǎn)換電路12轉(zhuǎn)為電壓信號，電流轉(zhuǎn)換電路12輸出的電壓信號連接到信號處理電路13，信號處理電路13輸出與所接收紫外光強(qiáng)度成比例的電壓信號，從而達(dá)到紫外光傳感的目的。
圖4為同條件下制得的納米粉晶樣品的X射線衍射分析結(jié)果。在本實例中，改變焙燒溫度，得到的不同結(jié)果為350℃焙燒得到的樣品含有部分尚未燒去的炭，薄膜略顯黑色，TiO2顆粒已發(fā)生晶化，晶型為銳鈦礦向。450℃焙燒的樣品為純銳鈦礦相，并且其衍射峰更加尖銳，說明晶化程度有所增強(qiáng)。550℃焙燒的樣品，XRD曲線上出現(xiàn)較強(qiáng)的金紅石相特征峰，粉體已開始發(fā)生相變。650℃焙燒的樣品銳鈦礦相已完全消失，粉體全部轉(zhuǎn)化為金紅石相。
一定溫度下的焙燒能夠除去薄膜中含有的有機(jī)成分和水份，促進(jìn)薄膜中TiO2顆粒的晶化，并使其結(jié)晶度提高，膜內(nèi)缺陷減少。過低的焙燒溫度，使得薄膜的結(jié)晶度較差，膜內(nèi)含有大量缺陷及尚為除去的有機(jī)物質(zhì)，不利于光生載流子在薄膜內(nèi)的傳輸，甚至成為光生電子-空穴對的復(fù)合中心。而過高的焙燒溫度促使TiO2納米粒子發(fā)生銳鈦礦→金紅石相變，使得薄膜電極光電活性較弱。我們的實驗證實，高于400℃的焙燒溫度能夠有效除去薄膜中的有機(jī)物和水份，而焙燒溫度在450-550℃時，薄膜電極具有最佳的光電活性。
圖5為450℃焙燒1小時的TiO2納米薄膜原子力顯微照片；圖6為涂于石英玻璃上的經(jīng)450℃焙燒1小時的納米TiO2薄膜紫外-可見吸收光譜；圖7為450℃焙燒的納米TiO2薄膜不同電位下的瞬態(tài)光電流譜(白光照射)。
實施例2
配比鈦酸四丁酯∶無水乙醇∶去離子水∶二乙醇胺∶硝酸鋅＝20∶100∶1∶6∶m(m＝0.0448g)將0.0448gZn(NO3)2溶于30ml無水乙醇，再加入10ml鈦酸四丁酯和3ml二乙醇胺，攪拌60min得到混合溶液。另將0.5ml去離子水與10ml無水乙醇混和均勻，于不斷攪拌下逐滴滴入到上述混合液中，滴加結(jié)束后繼續(xù)攪拌60min，得到均勻、透明的TiO2∶Zn溶膠。
薄膜電極和紫外光化學(xué)電池的制備及紫外光傳感器器件的組裝同實施例1。
圖8為同條件下制得的TiO2溶膠經(jīng)450℃焙燒所得粉晶樣品的X射線衍射分析結(jié)果。晶粒尺寸約15nm，為銳鈦礦相。在本實施例中，改變Zn2+的摻雜濃度得到了不同的結(jié)果當(dāng)摻雜濃度低于5％時，Zn2+的摻雜對TiO2粒子的尺寸和晶相無明顯影響。較低濃度的Zn2+摻雜能夠有效提高TiO2薄膜電極的光電特性，而過渡的摻雜則對TiO2薄膜電極的光電特性具有不利影響，最佳的摻雜濃度范圍為0.1-1％。
Zn2+的電子結(jié)構(gòu)為3d104s0，其具有全充滿的穩(wěn)定結(jié)構(gòu)，作為摻雜劑的Zn2+可對光生電子進(jìn)行捕獲，且捕獲的電子易重新釋放出來，即形成淺度捕獲。在TiO2納米粒子中，對于高效分離光生電子-空穴對存在一個最佳的Zn2+摻雜濃度。當(dāng)Zn2+摻雜濃度≤0.5％時，這種淺度捕獲有益于提高光生電子-空穴對的分離效率，延長光生載流子的壽命，進(jìn)而提高光生電流值；但當(dāng)摻雜濃度≥1.0％時，大量的光生電子遭捕獲而被束縛于Zn2+所形成的受主能級上，被束縛的光生電子加大了其與光生空穴的復(fù)合幾率，成為復(fù)合中心，使薄膜光電流降低。
圖9為本實施例所得樣品的吸收光譜，以導(dǎo)電玻璃為參比。圖10為本實施例所得樣品的光電流作用譜，電解液為0.2mol/L的Na2SO4水溶液。
實施例3配比鈦酸四丁酯∶無水乙醇∶去離子水∶二乙醇胺∶聚乙二醇2000＝20∶100∶1∶6∶m(m＝1.0g)將鈦酸四丁酯和二乙醇胺溶于無水乙醇(占總量的60％)，攪拌60min得到混合溶液。另將去離子水與無水乙醇(占總量的40％)混和均勻后，于不斷攪拌下逐滴滴入到上述混合液中，滴加結(jié)束后向溶液中加入1.0g聚乙二醇2000繼續(xù)攪拌60min，得到均勻、透明的淡黃色TiO2溶膠。
薄膜電極和紫外光化學(xué)電池的制備及紫外光傳感器器件的組裝同實施例1。
圖11為本實施例所得樣品不同電位下的瞬態(tài)光電流譜。本實驗例中，改變PEG2000的添加量得到了不同的結(jié)果，其最佳添加量為0.5-1.5％。適量PEG2000的添加，可以使薄膜形成多孔結(jié)構(gòu)，增大薄膜與電解液的接觸面積，有助于光生載流子的傳輸，從而提高TiO2薄膜電極的光電特性。
實施例4將鈦酸四丁酯12.5ml溶入33.3ml無水乙醇中，攪拌15min，然后將少量的濃HNO3注入上面溶液中，持續(xù)強(qiáng)烈攪拌30min，得到溶液A；將16.7ml無水乙醇、1.5ml去離子水及摻雜為Eu3+/Ti4+＝1％(摩爾分?jǐn)?shù))的Eu(NO3)·5H2O(自制白色粉末)的混合溶液加入到溶液A中，在室溫下，強(qiáng)烈攪拌40min，得到淡黃色透明溶膠。
薄膜電極和紫外光化學(xué)電池的制備及紫外光傳感器器件的組裝同實施例1。
圖12為本實施例所得樣品的光電流-電極電位曲線。
實施例5將10ml四氯化鈦于劇烈攪拌下緩慢滴加到90ml無水乙醇中形成溶液A；隨后，將10ml體積分?jǐn)?shù)為5％的氨水溶液逐滴滴入到溶液A中，并持續(xù)攪拌60min，即得到均勻透明的淡黃色溶膠。
薄膜電極和紫外光化學(xué)電池的制備及紫外光傳感器器件的組裝同實施例1。
權(quán)利要求
1.一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器，其特征在于，由紫外光檢測器(10)、偏置電壓電路(11)、電流轉(zhuǎn)換電路(12)和信號處理電路(13)依次連接構(gòu)成，紫外光檢測器(10)中的納米TiO2薄膜光敏電極(5)和參比電極(6)連接到偏置電壓電路(11)，光敏電極(5)和對電極(7)連接到電流轉(zhuǎn)換電路(12)，電流轉(zhuǎn)換電路(12)輸出的電壓信號連接到信號處理電路(13)；其紫外光檢測器(10)的構(gòu)成為納米TiO2薄膜光敏電極(5)、參比電極(6)和對電極(7)依次設(shè)置在盛有電解液(9)的石英電解池(4)內(nèi)，三個電極極面保持并行，且彼此間距0.5-1.0cm，光敏電極(5)的納米TiO2薄膜(3)膜面朝向石英電解池(4)外側(cè)；三個電極由導(dǎo)線(8)連接并經(jīng)密封材料密封后引出電解池(4)，電解池(4)用密封材料密封；其紫外光檢測器(10)的光敏電極(5)由基底(1)、涂于基底(1)上的導(dǎo)電膜(2)、涂于導(dǎo)電膜(2)上的納米TiO2薄膜(3)三部分構(gòu)成。
2.制備權(quán)利要求1所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的方法，其特征在于，在涂有導(dǎo)電薄膜(2)的基底(1)上涂上一層納米TiO2-M薄膜(3)，經(jīng)350-650℃、0.5-3小時熱處理制成紫外光敏電極(5)；將光敏電極(5)、參比電極(6)和對電極(7)依次固定在盛有電解液(9)的石英電解池(4)內(nèi)，電極極面保持并行，彼此間距0.5-1.0cm；光敏電極(5)的TiO2微晶薄膜(3)膜面朝向石英電解池(4)外；三個電極由導(dǎo)線(8)連接，連接點用導(dǎo)電膠固定，導(dǎo)線及電極金屬裸露處經(jīng)環(huán)氧樹脂密封后引出電解池(4)，而后將電解池(4)用密封材料密封；光敏電極(5)和參比電極(6)通過導(dǎo)線(8)連接到偏置電壓電路(11)，光敏電極(5)和對電極(7)通過導(dǎo)線(8)連接到電流轉(zhuǎn)換電路(12)，電流轉(zhuǎn)換電路(12)連接到信號處理電路(13)，信號處理電路(13)輸出與所接收紫外光強(qiáng)度成比例的電壓信號；偏置電壓電路(11)向光敏電極提供偏置電壓，當(dāng)紫外光照射到半導(dǎo)體微晶薄膜上時，光敏電極中產(chǎn)生光生電子-空穴對，其中光生電子經(jīng)導(dǎo)電膜(2)傳入外電路，而光生空穴則與電解液(9)發(fā)生氧化反應(yīng)，從而使形成循環(huán)回路，產(chǎn)生光電流信號；該電流信號經(jīng)電流轉(zhuǎn)換電路(12)轉(zhuǎn)為電壓信號，電流轉(zhuǎn)換電路(12)輸出的電壓信號連接到信號處理電路(13)，信號處理電路(13)輸出與所接收紫外光強(qiáng)度成比例的電壓信號，從而達(dá)到紫外光傳感的目的。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，納米TiO2-M薄膜光敏電極(5)由基底(1)、導(dǎo)電膜(2)、納米TiO2薄膜(3)三部分構(gòu)成，作為薄膜襯底的基底材料(1)是金屬、半導(dǎo)體或玻璃。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，基底材料(1)上所涂導(dǎo)電薄膜(2)為ITO或FTO薄膜。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，M是金屬離子、寬禁帶半導(dǎo)體材料和只吸收紫外光的有機(jī)染料，按摩爾百分比，金屬離子、寬禁帶半導(dǎo)體材料或只吸收紫外光的有機(jī)染料占M總量的0-100％。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，金屬離子是Zn、Cr、Cd、Er、Eu、Yb、La、Pr、Nd或Sm離子。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，寬禁帶半導(dǎo)體材料是SnO或ZnO。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，只吸收紫外光的有機(jī)染料是香豆素。
9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，所述的電解液(9)，其陽離子為H、Li、Na、K、Cs、Ca、Mg、Sr、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn和Al離子，按摩爾百分比，H、Li、Na、K、Cs、Ca、Mg、Sr、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn或Al離子占陽離子總量的0-100％。
10.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，所述的電解液(9)，其陰離子為硝酸根、硫酸根、氯酸根、鹵素離子和氰離子，按摩爾百分比，硝酸根、硫酸根、氯酸根、鹵素離子或氰離子占陰離子總量的0-100％。
11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種納米TiO2-M薄膜紫外光傳感器的制備方法，其特征在于，所述的電解液(9)，其溶劑為水、甲醇、乙醇和乙腈，按摩爾百分比，水、甲醇、乙醇或乙腈占溶劑總量的0-100％。
全文摘要
一種納米TiO
文檔編號G01J1/02GK1819278SQ200510136798
公開日2006年8月16日 申請日期2005年12月28日 優(yōu)先權(quán)日2005年12月28日
發(fā)明者曹望和, 付姚 申請人:大連海事大學(xué)