專利名稱：圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種檢測儀，尤其涉及一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀。
背景技術(shù)：
隨著全球光盤存儲、光電子、微電子產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展，激光光盤母盤基片、集成電路掩膜版基片、各類圓形超高質(zhì)量表面光學(xué)基片在該領(lǐng)域的應(yīng)用越來越大。在這些超高質(zhì)量表面要求的光盤母盤基片的生產(chǎn)過程中，需要對這些產(chǎn)品的各類尺寸誤差進(jìn)行全面檢測?！肮獗P母盤玻璃基片平面度”質(zhì)量指標(biāo)對產(chǎn)品的應(yīng)用十分重要，直接影響到光盤行業(yè)大批量產(chǎn)品生產(chǎn)的使用效果。
在以往的平面度檢驗(yàn)測試中，常使用“激光平面干涉儀”(如中科院光機(jī)所制PG15-J4型激光平面干涉儀)測量光圈的方法，雖然精度高達(dá)0.2～0.3um，但對于大規(guī)模生產(chǎn)使用不便，影響生產(chǎn)效率；特別是在研磨階段，毛面不能檢測；并且對于大面積大尺寸(如φ160～φ240mm)和超薄型(外經(jīng)/厚度＝10∶1～200∶1)的光盤母盤基片測量十分困難(光圈變形無法數(shù)清)，并無法實(shí)行數(shù)字化直讀。

發(fā)明內(nèi)容
本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是提供了一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，旨在解決上述的缺陷。
為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的本實(shí)用新型包括一個三角形工作臺面，在所述的三角形工作臺面上分別安置三個圓座，每個圓座上安置一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球；在所述的三角形工作臺面的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座；在所述的三角形工作臺面的中心位置孔下方安置了一臺千分表；與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是克服了各類規(guī)格圓形光盤母盤基片由于玻璃自重而產(chǎn)生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高達(dá)到0.001mm；特別適應(yīng)于常用大面積(如φ160～φ240mm)超薄型易變形的圓形光盤母盤玻璃基片(外經(jīng)/厚度＝10∶1～200∶1)；不僅操作方便，檢查直觀，而且工作效率極高，十幾秒種即可從千分表中讀出數(shù)值。


圖1是本實(shí)用新型的主視圖；圖2是圖1中K處的放大圖；圖3是本實(shí)用新型的俯視圖；具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式
對本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述由圖1、圖2、圖3可見本實(shí)用新型包括一個三角形工作臺面3，在所述的三角形工作臺面3上分別安置三個圓座1，每個圓座1上安置一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球11；在所述的三角形工作臺面3的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座2；在所述的三角形工作臺面3的中心位置孔下方安置了一臺千分表4；所述的圓座1可以分級調(diào)整，與其相應(yīng)的小滾珠軸承連固定座2也作分級調(diào)整；所述的級可以是2或3或4；在本實(shí)用新型的底座上方有一三角形工作臺面，利用三點(diǎn)決定一個平面的科學(xué)原理中部分布三個固定小圓座上分別安放可轉(zhuǎn)動的金屬小球(使平板玻璃成點(diǎn)接觸定位)，并且三小圓座的相對距離是可以分級調(diào)整的，以適應(yīng)不同直徑大小圓形光盤基片5的測量要求，另外，在三角形工作臺面的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座，它的用途是起旋轉(zhuǎn)測量的靠山作用，三組滾動軸承的相對位置亦可分級調(diào)整的，以適應(yīng)不同直徑基片的測量要求。
在工作臺面中心位置孔下方安置了一臺千分表(精度為1um)，利用標(biāo)準(zhǔn)平面樣板(平面度等于0.5um)。校準(zhǔn)零位后放上被測工件(圓形光盤母盤玻璃基片)，轉(zhuǎn)動工件便可測量它的平面度，千分表讀數(shù)直觀、方便、實(shí)用。
測量各類直徑圓片玻璃時可以將被測工件擱置在三定位金屬球上，邊緣分別靠在相應(yīng)的三滾珠軸承滾動面上(小滾珠軸承連固定座2)，工件轉(zhuǎn)動靈活(按不同直徑分別采用三組定位球及軸承位置)。
由于采用了本實(shí)用新型大大提高了檢驗(yàn)工件平面度的精度和工作效率，使光盤母盤玻璃基片生產(chǎn)行業(yè)的規(guī)范生產(chǎn)得以順利進(jìn)行。
權(quán)利要求1.一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于包括一個三角形工作臺面(3)，在所述的三角形工作臺面(3)上分別安置三個圓座(1)，每個圓座(1)上安置一個可轉(zhuǎn)動的小鋼球(11)；在所述的三角形工作臺面(3)的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座(2)；在所述的三角形工作臺面(3)的中心位置孔下方安置了一臺千分表(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，其特征在于所述的圓座(1)可以分級調(diào)整，與其相應(yīng)的小滾珠軸承連固定座(2)也作分級調(diào)整；所述的級可以是2或3或4。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種圓形光盤母盤玻璃基片平面度檢測儀，包括一個三角形工作臺面(3)，在所述的三角形工作臺面(3)上分別安置三個圓座(1)，每個圓座(1)上安置一個圓球(11)；在所述的三角形工作臺面(3)的邊緣三角位置，分別均布一組小滾珠軸承連固定座(2)；在所述的三角形工作臺面(3)的中心位置孔下方安置了一臺千分表(4)；克服了各類規(guī)格圓形光盤母盤基片由于玻璃自重而產(chǎn)生的變形影響測量精度的不利因素，使測量精度大大提高達(dá)到0.001mm；特別適應(yīng)于常用大面積(如φ160～φ240mm)超薄型易變形的圓形光盤母盤玻璃基片(外經(jīng)/厚度＝10∶1～200∶1)；不僅操作方便，檢查直觀，而且工作效率極高，十幾秒種即可從千分表中讀出數(shù)值。
文檔編號G01B3/22GK2814329SQ20052004109
公開日2006年9月6日 申請日期2005年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年4月22日
發(fā)明者應(yīng)永偉, 周德林 申請人:上海申菲激光光學(xué)系統(tǒng)有限公司