一種高速平面度檢測儀的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種高速平面度檢測儀，所述底座1上安裝有Y向工作臺，Y向工作臺上安裝有X向工作臺，X向工作臺上安裝有Z向工作臺；所述Y向工作臺安裝在底座上，它由兩側(cè)立柱，中間橫梁組成，通過3組高精密滑軌滑塊組安裝在底座上；所述X向工作臺安裝在Y向工作臺的橫梁上；所述Z向工作臺主板上裝有CCD激光位移傳感器固定塊，上面固定有CCD激光位移傳感器；所述底座工作臺上設(shè)有定位板。本實用新型結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，自動化程度高，操作簡單，功能強大，精度高，性價比優(yōu)，適用范圍廣泛。
【專利說明】一種高速平面度檢測儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種全自動，高精度測量工件平面度，粗糙度及平行度的設(shè)備，具體地說是一種高速平面度檢測儀。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的不斷進(jìn)步，人們對檢測自動化的程度不斷提高。一種高效，全自動檢測玻璃工件平面度的設(shè)備是通過CCD激光位移傳感器采集放置于工作臺上的工件的高度數(shù)據(jù)，通過計算機運算處理，配合科學(xué)的軟件算法得到工件的平面度，平行度數(shù)據(jù)。它由大理石底座，Y向工作臺，X向工作臺以及Z向工作臺組成，機臺采用龍門結(jié)構(gòu)，右端單邊驅(qū)動橫梁移動。Z向工作臺上裝有CCD激光位移傳感器和光學(xué)影像集成裝置，可以通過視覺系統(tǒng)快速觀察被測目標(biāo)并精確定位。工作時Z軸固定不動，Y，Z向工作臺把測量點移到工件的不同點，CCD激光位移傳感器測量工件表面高度數(shù)據(jù)，可得到工件的平面度，粗糙度等數(shù)據(jù)。同時旁邊的光學(xué)影像集成裝置可以同時進(jìn)行產(chǎn)品的幾何尺寸測量，兩種測量模式可以同時進(jìn)行，節(jié)約時間，提高工作效率，還可以讓兩種測量模式下的測量數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)共享。但是現(xiàn)有的檢測儀結(jié)構(gòu)不夠穩(wěn)定，自動化程度不高，功能很少，精度不高，性價比低，適用范圍不狹窄。為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提出一種高速平面度檢測儀。
實用新型內(nèi)容
[0003]針對上述問題，本實用新型旨在提供一種高速平面度檢測儀。
[0004]為實現(xiàn)該技術(shù)目的，本實用新型的方案是:一種高度平面度檢測儀，包括底座、第一軸馬達(dá)、第一軸高精密絲桿、滑塊組、立柱、光柵尺、位置傳感器、中間橫梁、第二軸馬達(dá)、第二軸高精密絲桿、高精密滑軌滑塊、工作臺板、梯形螺桿螺母、滾珠導(dǎo)軌、主板、固定塊、上光學(xué)影像集成裝置、CCD激光位移傳感器、定位板；所述底座I上安裝有Y向工作臺，Y向工作臺上安裝有X向工作臺，X向工作臺上安裝有Z向工作臺；所述底座采用優(yōu)質(zhì)天然大理石制作，它具有高精度，高穩(wěn)定性；所述Y向工作臺安裝在底座上，它由兩側(cè)立柱，中間橫梁組成，通過3組高精密滑軌滑塊組安裝在底座上，左側(cè)兩滑軌滑塊組保證工作臺的運動精度，右滑軌滑塊組起輔助作用，主要支撐中間橫梁，保證橫梁與底座平面的平行度，通過安裝在底座上的第一軸馬達(dá)，第一軸高精密絲桿驅(qū)動，安裝在左立柱側(cè)的光柵尺準(zhǔn)確測量數(shù)據(jù)，安裝在左立柱兩端的位置傳感器可防止工作臺超出工作范圍，兩側(cè)立柱及中間橫梁采用優(yōu)質(zhì)天然大理石和優(yōu)質(zhì)航空硬鋁合金制作，材料特性穩(wěn)定質(zhì)量輕，使設(shè)備具有高精度，高穩(wěn)定性和很低的運動慣性；所述X向工作臺安裝在Y向工作臺的橫梁上；所述工作臺板采用優(yōu)質(zhì)航空硬鋁合金制作，通過兩組高精密滑軌滑塊與橫梁連接導(dǎo)向，保證與Y工作臺運動方向的垂直度及與底座平面的平行度，通過安裝在橫梁上的第二軸馬達(dá)和第二軸高精密絲桿驅(qū)動；所述Z向工作臺主板安裝在X向工作臺板上，通過高精密交叉滾子導(dǎo)軌與X向工作臺板連接，保證運動方向與Y、X工作臺運動方向及底座平面垂直，通過梯形螺桿螺母調(diào)節(jié)高度；所述主板上裝有CCD激光位移傳感器固定塊，上面固定有CCD激光位移傳感器，通過更換固定塊可對不同的產(chǎn)品進(jìn)行檢測；所述主板上還裝有光學(xué)影像集成裝置，以同時進(jìn)行產(chǎn)品的幾何尺寸測量，兩種測量模式可以同時進(jìn)行，節(jié)約時間，提高工作效率，還可以讓兩種測量模式下的測量數(shù)據(jù)關(guān)聯(lián)共享。所述底座工作臺上設(shè)有定位板可使更換工件時快速定位夾具。
[0005]作為優(yōu)選，所述Y向運動工作臺采用龍門結(jié)構(gòu)。
[0006]作為優(yōu)選，所述安裝在Z向上的CXD位移傳感器偏移20。測量。
[0007]本實用新型可準(zhǔn)確讀出Y向位置并向電腦傳遞數(shù)據(jù)，滑塊兩端裝有位置傳感器以防工作臺超出測量范圍，底座工作臺上裝有測量定位板，以便更換工件時可以快速定位，不需要調(diào)整產(chǎn)品，且結(jié)構(gòu)穩(wěn)定，自動化程度高，操作簡單，功能強大，精度高，性價比優(yōu)，適用范圍廣泛。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型中高速平面度測量儀的立體示意圖；
[0009]圖2為本實用新型中CXD激光位移傳感器工作的示意圖；
[0010]圖中:底座1、第一軸馬達(dá)2、第一軸高精密絲桿3、滑塊組4、立柱5、光柵尺6、位置傳感器7、中間橫梁8、第二軸馬達(dá)9、第二軸高精密絲桿10、高精密滑軌滑塊11、工作臺板12、梯形螺桿螺母13、滾珠導(dǎo)軌14、主板15、固定塊16、光學(xué)影像集成裝置17、CCD激光位移傳感器18、視覺照明裝置19、定夾具20。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0012]如圖1?2所示，本實用新型實施例的一種高速平面度檢測儀，包括底座1、第一軸馬達(dá)2、第一軸高精密絲桿3、滑塊組4、立柱5、光柵尺6、位置傳感器7、中間橫梁8、第二軸馬達(dá)9、第二軸高精密絲桿10、高精密滑軌滑塊11、工作臺板12、梯形螺桿螺母13、滾珠導(dǎo)軌14、主板15、CXD激光位移傳感器固定塊16、光學(xué)影像集成裝置17、CXD激光位移傳感器18、視覺照明裝置19、定夾具20 ;所述底座I上安裝有Y向工作臺，Y向工作臺上安裝有X向工作臺，X向工作臺上安裝有Z向工作臺；所述底座I采用優(yōu)質(zhì)天然大理石制作，它具有高精度，高穩(wěn)定性；所述Y向工作臺安裝在底座I上，它由兩側(cè)立柱5，中間橫梁8組成，通過3組高精密滑軌滑塊組4安裝在底座I上，左側(cè)兩滑軌滑塊組保證工作臺的運動精度，右滑軌滑塊組起輔助作用，主要支撐中間橫梁，保證橫梁與底座平面的平行度，通過安裝在底座I上的第一軸馬達(dá)2，第一軸高精密絲桿3驅(qū)動，安裝在左立柱側(cè)的光柵尺6準(zhǔn)確測量數(shù)據(jù)，安裝在左立柱兩端的位置傳感器7可防止工作臺超出工作范圍，兩側(cè)立柱及中間橫梁采用優(yōu)質(zhì)天然大理石和優(yōu)質(zhì)航空硬鋁合金制作，材料特性穩(wěn)定質(zhì)量輕，使設(shè)備具有高精度，高穩(wěn)定性和很低的運動慣性；所述X向工作臺安裝在Y向工作臺的橫梁上；所述工作臺板12采用優(yōu)質(zhì)航空硬鋁合金制作，通過兩組高精密滑軌滑塊11與橫梁連接導(dǎo)向，保證與Y工作臺運動方向的垂直度及與底座平面的平行度，通過安裝在橫梁上的第二軸馬達(dá)9和第二軸高精密絲桿10驅(qū)動；所述Z向工作臺主板15安裝在X向工作臺板上，通過高精密交叉滾子導(dǎo)軌14與X向工作臺板連接，保證運動方向與Y，X工作臺運動方向及底座平面垂直，通過梯形螺桿螺母13調(diào)節(jié)高度；所述主板15上裝有CCD激光位移傳感器固定塊16，上面固定有CCD激光位移傳感器18，可對不同的產(chǎn)品進(jìn)行檢測；所述主板15上還裝有上光學(xué)影像集成裝置17和下光學(xué)影像集成裝置19，可測量工件的幾何形狀和尺寸并對被測目標(biāo)進(jìn)行準(zhǔn)確定位；所述底座I工作臺上設(shè)有定夾具20可使更換工件時快速定位。
[0013]作為優(yōu)選，所述Y向運動工作臺采用龍門結(jié)構(gòu)。
[0014]作為優(yōu)選，所述安裝在Z向上的CXD位移傳感器18偏移20e測量。
[0015]以上所述，僅為本實用新型的較佳實施例，并不用以限制本實用新型，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何細(xì)微修改、等同替換和改進(jìn)，均應(yīng)包含在本實用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種高速平面度檢測儀，包括底座、第一軸馬達(dá)、第一軸高精密絲桿、滑塊組、立柱、光柵尺、位移傳感器、中間橫梁、第二軸馬達(dá)、第二軸高精密絲桿、高精密滑軌滑塊、工作臺板、梯形螺桿螺母、滾珠導(dǎo)軌、主板、固定塊、上光學(xué)影像集成裝置、CCD激光位移傳感器、下光學(xué)影像集成裝置、定位板；其特征在于:所述底座(I)上安裝有Y向工作臺，Y向工作臺上安裝有X向工作臺，X向工作臺上安裝有Z向工作臺；所述底座采用優(yōu)質(zhì)天然大理石制作；所述Y向工作臺安裝在底座上，它由兩側(cè)立柱，中間橫梁組成，通過3組高精密滑軌滑塊組安裝在底座上；所述X向工作臺安裝在Y向工作臺的橫梁上；所述工作臺板采用優(yōu)質(zhì)航空硬鋁合金制作，通過兩組高精密滑軌滑塊與橫梁連接導(dǎo)向，通過安裝在橫梁上的第二軸馬達(dá)和第二軸高精密絲桿驅(qū)動；所述主板上裝有CCD激光位移傳感器固定塊，上面固定有CCD激光位移傳感器；所述底座工作臺上設(shè)有定位板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高速平面度檢測儀，其特征在于:所述Z向工作臺主板安裝在X向工作臺板上，通過高精密交叉滾子導(dǎo)軌與X向工作臺板連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種高速平面度檢測儀，其特征在于:所述Y向運動工作臺采用龍門結(jié)構(gòu)。
【文檔編號】G01B11/30GK203785643SQ201320876074
【公開日】2014年8月20日 申請日期:2013年12月26日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月26日
【發(fā)明者】黃宏臻 申請人:東莞市兆豐精密儀器有限公司