專利名稱：掃描電鏡中單根納米線原位力學(xué)綜合性能測(cè)試裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種安裝在掃描電子顯微鏡中對(duì)單根納米線原位力學(xué)性 能測(cè)量，以及在拉伸應(yīng)力作用下進(jìn)行電學(xué)測(cè)量的裝置，利用掃描電子顯微鏡 可以實(shí)時(shí)觀測(cè)納米線拉伸變形過程中的結(jié)構(gòu)變化，揭示單根納米線在單軸拉 伸應(yīng)力下的變形機(jī)制和應(yīng)力狀態(tài)下電學(xué)特性，屬于納米材料性能原位檢測(cè)領(lǐng) 域。
背景技術(shù)：
實(shí)現(xiàn)對(duì)單體納米結(jié)構(gòu)的操縱和原位性能測(cè)量，是當(dāng)今納米新結(jié)構(gòu)、新性 質(zhì)以及新器件研究的瓶頸性關(guān)鍵科學(xué)技術(shù)問題。應(yīng)該指出，盡管近年來人們對(duì)單體納米材料的力學(xué)性能和電學(xué)性能有了 深入的研究，但因其難度和復(fù)雜性，至今尚未形成公認(rèn)的結(jié)論。納米線作為 微機(jī)電系統(tǒng)和納機(jī)電系統(tǒng)的互連線或基本功能單元，因此充分了解單根納米 線的力學(xué)性能和電學(xué)性能以及在應(yīng)力作用下的電/力偶合性能是設(shè)計(jì)納米器 件的基本準(zhǔn)則。目前對(duì)于單根納米線力學(xué)性能的測(cè)試大致可以分為以下兩種方法。 以原子力顯孩i鏡或掃描隧道顯微鏡為基本手段的測(cè)試方法，由于這些設(shè) 備具有高的力學(xué)和位移分辨率，其中一種方法是報(bào)道于《advanced materials)) 1999， vol.11, 161-165頁(yè)上的"有序和雜亂排列的多壁彈納米管的彈性模量" (Elastic modulus of ordered and disordered multiwalled carbon nanotubes)，公開了一種橫跨在一個(gè)洞上面的碳納米管，利用原子力顯微鏡 針尖壓彎曲納米管，利用原子力顯孩"竟高的力學(xué)和位移傳感特性，測(cè)試了納 米管的彈性模量，隨后類似的方法多有報(bào)道用于測(cè)試其它納米線的力學(xué)性能。 另一中方法報(bào)道于《Nano Letters》2005， vol. 5， 1954-1958上的，"垂直 陣歹寸生長(zhǎng)納米線的PN"生寸生能"(elastic property of vertically alignednanowires)，同樣是利用原子力顯微鏡彎曲豎直生長(zhǎng)的氧化鋅納米線，利用 彎曲位移和力的關(guān)系，計(jì)算了氧化鋅納米線的彈性;漢量。由于優(yōu)越的力學(xué)和 位移分辨率，原子力顯微鏡基的力學(xué)測(cè)試方法非常適合于測(cè)量單根納米線的 力學(xué)性能，但是不能原位監(jiān)測(cè)納米線變形過程中的結(jié)構(gòu)變化，難于解釋納米 線的變形機(jī)制和斷裂過程。機(jī)械共振方法也是單根納米線力學(xué)性能測(cè)試的 一種方法，最早的文獻(xiàn)報(bào) 道于《Science》1999, vol. 283， 1513-1516頁(yè)上的"碳納米管的靜電偏轉(zhuǎn)和 共振，，(Electrostatic deflections and electromechanical resonances of carbon nanotubes )，此實(shí)驗(yàn)在透射電子顯孩t鏡中原位進(jìn)行，利用施加在一端 固定的納米管上的交變電場(chǎng)誘導(dǎo)納米管發(fā)生共振，利用共振頻率的變化測(cè)量 納米管的彎曲模量。隨后多個(gè)研究小組利用這種方法在透射電子顯微鏡和掃 描電子顯孩i鏡中，測(cè)量了不同納米線的彈性才莫量。這種方法避免了納米線直 接操縱的困難，同時(shí)可以利用透射電子顯孩t鏡原位獲得納米管/線的結(jié)構(gòu)信 息，但是這種方法僅限于納米線的彈性變形范圍，不能測(cè)量納米線的塑性變 形、斷裂強(qiáng)度等其他重要的力學(xué)性能。以上這些方法均不能在應(yīng)力狀態(tài)下對(duì)單根納米線進(jìn)行電學(xué)性能的測(cè)量， 已經(jīng)不能滿足目前在微觀尺度上對(duì)納米材料力學(xué)性，電學(xué)性能，力學(xué)電學(xué)耦 合性能測(cè)試的要求。掃描電子顯微鏡是人們依賴的可以直接揭示納米及原子 尺度信息的重要工具之一，掃描電子顯微鏡加速電壓較低，用背散射電子和 二次電子成像，適用于多種樣品形式(例如線狀，塊狀，粉末狀等)。其相 對(duì)較大的樣品觀察室為實(shí)施原位變形和施加外場(chǎng)作用提供了較方便的條件， 近年發(fā)展起來的熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡大幅度提高了空間分辨率和電子束 流密度，為納米材料的研究提供了方便的手段。在掃描電子顯微鏡中原位拉伸測(cè)量單根納米線的彈性模量，塑性變形， 屈服強(qiáng)度和斷裂強(qiáng)度是最直接的測(cè)試方法，同時(shí)可以利用背散射電子或二次 電子成像原位觀察納米線變形過程中的微結(jié)構(gòu)變化，為揭示一維納米材料變 形的表面效應(yīng)、尺寸效應(yīng)提供直接的實(shí)驗(yàn)證據(jù)。對(duì)于在掃描成像狀態(tài)下單根 納米線的電學(xué)性能測(cè)試，揭示在電流，電壓作用下的電學(xué)性質(zhì)以及結(jié)構(gòu)變化 也是一維納米材料應(yīng)用的基本性能參數(shù)和重要的依據(jù)，以及在拉伸應(yīng)力狀態(tài) 下測(cè)試一維納米材料的電學(xué)特性，是納米線作為基本器件和功能單元在實(shí)際 工作環(huán)境需要解決的重要問題。實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種安裝在掃描電 子顯微鏡中對(duì)單根納米線原位力學(xué)性能和電學(xué)性能測(cè)量，以及在應(yīng)力作用下 進(jìn)行電學(xué)測(cè)量的裝置，利用掃描電子顯纟敬鏡成^f象系統(tǒng)原位實(shí)時(shí)記錄納米線在 力場(chǎng)和電場(chǎng)作用下彈塑性變形過程、斷裂失效的方式以及電荷傳輸特性，將 納米線的力學(xué)性能，電學(xué)性能，力學(xué)和電學(xué)耦合的性能以及微觀結(jié)構(gòu)變化直 接對(duì)應(yīng)起來，從納米尺度上揭示一維納米線的綜合性能。為了實(shí)現(xiàn)上面的目的，本實(shí)用新型中提供了一種掃描電鏡中單根納米線 原位力學(xué)綜合性能測(cè)試裝置及方法，其特征在于，在帶有定位孔13的底座15 上固定一微懸臂梁固定座12，微懸臂梁11 一端與微懸臂梁固定座12連接， 一套位置粗調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座15上，粗調(diào)機(jī)構(gòu)的中心線與微懸臂梁11的中 心線成90°夾角。所述的粗調(diào)機(jī)構(gòu)包括固定在底座15上的粗調(diào)底盤14,粗 調(diào)底盤14上面連接粗調(diào)位移平臺(tái)5,位移平臺(tái)5的上面與緊固螺釘3連接， 位移平臺(tái)5的一端與調(diào)節(jié)螺桿4連接，另一端與壓電陶瓷2連接，壓電陶資2 與樣品固定平臺(tái)6的一端連接。通過調(diào)節(jié)螺桿4粗調(diào)樣品固定平臺(tái)6和微懸 臂梁11之間的距離，利用緊固螺釘來鎖緊調(diào)節(jié)好的距離。激光器8發(fā)射的激光束照射到微懸臂梁11前端部，在微懸臂梁11背部 反射的激光束照射到位置監(jiān)測(cè)器10中。位置監(jiān)測(cè)器10與載荷輸出單元9連 接，載荷輸出單元9直接將^:懸臂梁的變形量轉(zhuǎn)換為施加在納米線上的載荷 的大小，壓電陶資驅(qū)動(dòng)電源16與壓電陶瓷2連接，壓電陶資驅(qū)動(dòng)電源16驅(qū) 動(dòng)壓電陶資2發(fā)生孩t位移，壓電陶資2帶動(dòng)樣品固定平臺(tái)6運(yùn)動(dòng)，通過控制 施加在壓電陶瓷上2上驅(qū)動(dòng)電壓的大小和方向使壓電陶瓷2微位移，實(shí)現(xiàn)樣
品固定平臺(tái)6對(duì)固定在其上的納米線1的單向4立伸，納米線1的另一端4立伸 微懸臂梁11發(fā)生微位移，照射在微懸臂梁背面的反射激光束在位置監(jiān)測(cè)器10 上的變化信號(hào)傳輸?shù)捷d荷輸出單元9中計(jì)算微懸臂梁的變形量S,根據(jù)微懸臂 梁的彈性常數(shù)K,可以計(jì)算出施加在納米線上拉力F的大小，F(xiàn)-K-S。電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)7通過導(dǎo)線與樣品固定平臺(tái)6和微懸臂梁11連接，電學(xué)測(cè) 量系統(tǒng)包括可控電源，電流，電壓，電阻，電容，場(chǎng)發(fā)生測(cè)試儀器，進(jìn)行電 學(xué)性能測(cè)試時(shí)，固定平臺(tái)6和微懸臂梁11上表面首先要鍍一層金薄膜，保證 與納米線，測(cè)試導(dǎo)線接觸良好，電學(xué)性能可以在沒有施加應(yīng)力場(chǎng)作用下測(cè)量， 也可以在同時(shí)施加電場(chǎng)和應(yīng)力場(chǎng)作用下測(cè)量。試方法，其特征在于，該方法按如下步驟進(jìn)行1. 選用硅或氮化硅材質(zhì)的長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)的微懸臂梁，在光學(xué)顯微鏡下將 預(yù)先標(biāo)定好彈性常數(shù)K的微懸臂梁固定在懸臂梁固定座上，通過調(diào)節(jié)鏍桿，使 樣品臺(tái)靠近微懸臂梁，使懸臂梁和樣品臺(tái)之間的距離保持在幾個(gè)微米，用緊 固螺釘將樣品臺(tái)固定好。2. 將納米線放入與試樣不發(fā)生反應(yīng)的有機(jī)溶劑(例如，乙醇、丙酮等) 中，超聲波分散10-60分種，將懸浮液滴在樣品固定平臺(tái)和微懸臂梁上表面。3. 利用微機(jī)械手或聚焦離子束將橫跨在樣品固定平臺(tái)和微懸臂梁上 面的納米線兩端固定。將固定好納米線的拉伸裝置放入掃描電子顯微鏡樣品 室中，調(diào)整激光器和反射激光的位置檢測(cè)系統(tǒng)，使檢測(cè)位移回零。4. 調(diào)整掃描電子顯微鏡的電子束和成像系統(tǒng)，掃描參數(shù)，以及拉伸裝 置的位置，使兩端固定的納米線在掃描狀態(tài)下成像。5. 通過控制壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源，驅(qū)動(dòng)壓電陶瓷沿軸向收縮，使固定在 樣品臺(tái)上的納米線單軸拉伸并記錄拉伸位移量，同時(shí)通過掃描電子顯微鏡對(duì) 納米線進(jìn)行掃描成像，獲得納米線拉伸變形的序列圖像。6. 在拉伸的同時(shí)利用激光器和位置檢測(cè)器監(jiān)測(cè);微懸臂梁的彎曲變形
量S,將光反射的變形量輸入到栽荷輸出單元，乘以預(yù)先標(biāo)定好的彈性系數(shù)K， 即可獲得納米線的拉伸載荷F4S 。
7. 利用計(jì)算的拉伸載荷值和拉伸位移量即可得到力位移曲線、應(yīng)力應(yīng) 變曲線，和納米線的彈性模量。
同時(shí)可以利用電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量納米線^立伸前，^拉伸過程中的電流，電 壓，電容，電阻，場(chǎng)發(fā)射等電學(xué)性能，利用掃描電鏡成像系統(tǒng)原位記錄納米 線在應(yīng)力場(chǎng)和電場(chǎng)作用下的微觀結(jié)構(gòu)序列變化圖像。根據(jù)所測(cè)量的納米線在 應(yīng)力場(chǎng)和電場(chǎng)作用下的電學(xué)性能的變化和微觀結(jié)構(gòu)變化，分析納米線的力/電 耦合效應(yīng)。
本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)和突出性效果本實(shí)用新型 的納米線力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)筒單，性能可靠，安裝筒便，便于操作，應(yīng) 用范圍廣的特點(diǎn)，可以適用于長(zhǎng)度大于3)im的所有納米線。該實(shí)用新型利用 微懸臂梁靈敏的力學(xué)傳感性能，和壓電陶瓷精確的位移傳感特性，可以實(shí)現(xiàn) 納米量級(jí)的位移分辨和納牛量級(jí)的力學(xué)分辨。與現(xiàn)有的原子力或掃描隧道顯 微鏡納米線力學(xué)測(cè)試裝置相比較，本實(shí)用新型在對(duì)單根納米線力學(xué)性能和電 學(xué)性能測(cè)試過程中利用掃描電子顯微鏡原位記錄納米線變形的微結(jié)構(gòu)變化， 將納米線的力學(xué)性能，電學(xué)性能和微觀結(jié)構(gòu)直接對(duì)應(yīng)起來，具有直觀性和定 量檢測(cè)的特性，便于解釋和發(fā)現(xiàn)納米材料優(yōu)異的力學(xué)性能，與現(xiàn)有的共振技 術(shù)相比，本實(shí)用新型可以實(shí)現(xiàn)對(duì)納米線的彈性，塑性和斷裂過程的全部測(cè)量， 同時(shí)可以得到納米線在單軸拉伸作用下的應(yīng)力應(yīng)變曲線，可以全方位解釋納 米線的力學(xué)性能。此外，本實(shí)用新型的裝置將力學(xué)性能測(cè)量和電學(xué)性能測(cè)量 有機(jī)的結(jié)合起來，測(cè)量納米線在應(yīng)力狀態(tài)下的電學(xué)性能，實(shí)現(xiàn)了研究人員對(duì) 納米線的力/電耦合性能的測(cè)量，可以揭示一維納米材料豐富的物理性能。


圖l是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)俯視圖 圖2樣品粗調(diào)結(jié)構(gòu)的主視圖
其中l(wèi)樣品2壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器3緊固螺4丁 4千分尺和調(diào)節(jié)螺桿5
單元IO位置監(jiān)測(cè)器ll微懸臂梁12懸臂梁固定座13定位孔14粗
調(diào)底盤15底座16壓電陶資驅(qū)動(dòng)電源
圖3 Sn02納米線在室溫下I-V曲線
圖4 Sn02納米線電阻率與溫度的關(guān)系
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式
進(jìn)一步描述本實(shí)用新型。
本實(shí)用新型在帶有定位孔13的底座15上固定一微懸臂梁固定座12,微 懸臂梁11 一端與微懸臂梁固定座12連接， 一套位置粗調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座15 上，該粗調(diào)機(jī)構(gòu)的中心線與微懸臂梁11的中心線成90。夾角；
所述的粗調(diào)機(jī)構(gòu)包括固定在底座15上的粗調(diào)底盤14,粗調(diào)底盤14上 面連接粗調(diào)位移平臺(tái)5,位移平臺(tái)5的上面與緊固螺釘3連接，位移平臺(tái)5的 一端與調(diào)節(jié)螺桿4連接，另一端與壓電陶資2連接，壓電陶資2與樣品固定 平臺(tái)6的一端連接；
本實(shí)用新型還包括激光器8以及位置監(jiān)測(cè)器10,位置監(jiān)測(cè)器10與載荷輸 出單元9連接；壓電陶資驅(qū)動(dòng)電源16與壓電陶資2連接。
本實(shí)用新型還包括電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)7，該電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)7通過導(dǎo)線分別與樣 品固定平臺(tái)6和微懸臂梁11連接。
掃描電鏡中單根納米線原位力學(xué)電學(xué)綜合測(cè)試裝置，是根據(jù)FEI Quanta 200環(huán)境掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的，該裝置粗調(diào)量程5咖，壓電陶位移精度為 5nm,最大位移量程為20um,所用的微懸臂梁為硅材料，尺寸是350 u m x 50 jum x2)am,相應(yīng)的彈性常數(shù)是K=0. 35N/m,利用激光位移檢測(cè)器檢測(cè)其彎曲 變形量，可以得到的載荷精度為lnm。首先將拉伸裝置放在光學(xué)顯微鏡下，調(diào) 整光學(xué)顯微鏡的放大倍數(shù)和最佳焦距，在顯微鏡觀測(cè)下利用千分尺調(diào)節(jié)，使 樣品臺(tái)靠近微懸臂梁，并保持在幾個(gè)微米之間，然后用緊固螺釘鎖緊。將制 備好的納米線，放在丙酮中超聲分散10min-60min,將懸浮在丙酮中的納米線 隨機(jī)分散在拉伸裝置的樣品固定平臺(tái)上，利用微機(jī)械手將拾取分布在樣品固 定平臺(tái)上的納米線搭接并固定在樣品固定臺(tái)和微懸臂梁之間，使納米線的軸 線與拉伸方向一致，然后將固定好納米線的樣品臺(tái)整體放入掃描電子顯微鏡
中，調(diào)整激光器和檢測(cè)器使懸臂梁的位置歸零。關(guān)上掃描電子顯微鏡樣品室 門，抽真空到掃描電鏡工作范圍。調(diào)整掃描電子顯微鏡電子束顯微成像系統(tǒng)， 掃描參數(shù)，使電子束聚焦于被測(cè)試的納米線表面，接收二次電子像。調(diào)整壓 電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源，使壓電陶瓷沿拉伸方向收縮運(yùn)動(dòng)，拉伸固定在樣品固定平 臺(tái)上的納米線，同時(shí)用激光器檢測(cè)微懸臂梁的彎曲變形量S,利用已經(jīng)標(biāo)定過 的微懸臂梁的K值，計(jì)算拉伸載荷的大小F=KS,通過壓電陶資的位置控制系 統(tǒng)確定納米線的變形量，通過壓電陶覺的位移控制反饋系統(tǒng)確定納米線的拉 伸位移，則可以計(jì)算出納米線拉伸變形的力位移曲線和應(yīng)力應(yīng)變曲線。同時(shí) 在拉伸變形過程中順次記錄納米線的微結(jié)構(gòu)變化，通過納米線的微結(jié)構(gòu)圖像 和應(yīng)力應(yīng)變曲線對(duì)應(yīng)分析納米線的變形特點(diǎn)，計(jì)算納米線的彈性模量，屈服 強(qiáng)度，最大斷裂應(yīng)變，斷裂強(qiáng)度等，揭示納米線斷裂的脆韌機(jī)制等。
對(duì)于納米線原位電學(xué)性能測(cè)量，拉伸裝置的樣品固定平臺(tái)和微懸臂梁表 面鍍一層200nm-lpm厚的金導(dǎo)電薄膜，納米線兩端用導(dǎo)電膠固定，保證歐姆 接觸，對(duì)搭接在兩端的納米線進(jìn)行電學(xué)測(cè)量，對(duì)于納米線電學(xué)測(cè)量需要用商 業(yè)化的物理性能測(cè)試系統(tǒng)和配套的微小信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)。同時(shí)在拉伸應(yīng)力狀態(tài) 下對(duì)納米線電學(xué)性能進(jìn)行測(cè)量，結(jié)合力學(xué)測(cè)量結(jié)果和原位圖像分析，解釋納 米線的電學(xué)性質(zhì)，力學(xué)和電學(xué)耦合的物理機(jī)制，為微電機(jī)系統(tǒng)和納米電子器 件的設(shè)計(jì)和應(yīng)用提供可靠的性能數(shù)據(jù)。
利用上述裝置和方法，在樣品固定平臺(tái)和微懸臂梁表面鍍一層300nm厚 的導(dǎo)電金薄膜，Sn02納米線在丙酮溶液中超聲60min,然后將Sn02納米線溶液 滴在基片上，配合商業(yè)化的物理性能測(cè)試系統(tǒng)對(duì)一根56nm粗的Sn02納米線在 300K下進(jìn)行了 I-V曲線測(cè)量，如圖3顯示，從圖3中可以看出，在室溫下， Sn02納米線的I-V曲線呈很好的線性。同時(shí)測(cè)量了 Sn02納米線的電阻率隨溫 度變化曲線，如圖4所示。從圖中可以看出從室溫到50K左右，電阻率緩慢 增加，50K以下，電阻率急劇增加，比SnOz薄膜高近一個(gè)數(shù)量級(jí)。
權(quán)利要求1、一種掃描電鏡中單根納米線原位力學(xué)綜合性能測(cè)試裝置，其特征在于在帶有定位孔(13)的底座(15)上固定一微懸臂梁固定座(12)，微懸臂梁(11)一端與微懸臂梁固定座(12)連接，一套位置粗調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座(15)上，該粗調(diào)機(jī)構(gòu)的中心線與微懸臂梁(11)的中心線成90°夾角；所述的粗調(diào)機(jī)構(gòu)包括固定在底座(15)上的粗調(diào)底盤(14)，粗調(diào)底盤(14)上面連接粗調(diào)位移平臺(tái)(5)，位移平臺(tái)(5)的上面與緊固螺釘(3)連接，位移平臺(tái)(5)的一端與調(diào)節(jié)螺桿(4)連接，另一端與壓電陶瓷(2)連接，壓電陶瓷(2)與樣品固定平臺(tái)(6)的一端連接；還包括激光器(8)以及位置監(jiān)測(cè)器(10)，位置監(jiān)測(cè)器(10)與載荷輸出單元(9)連接；壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源(16)與壓電陶瓷(2)連接。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡中單根納米線原位力學(xué) 綜合性能測(cè)試裝置，其特征在于還包括電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)(7)，該電學(xué) 測(cè)量系統(tǒng)(7)通過導(dǎo)線分別與樣品固定平臺(tái)(6)和微懸臂梁(11) 連接。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掃描電鏡中單根納米線原位力學(xué) 綜合性能測(cè)試裝置，其特征在于所述的電學(xué)測(cè)量系統(tǒng)為可控電源， 電流，電壓，電阻，電容，場(chǎng)發(fā)生測(cè)試儀器之一。
專利摘要一種掃描電鏡中單根納米線原位力學(xué)綜合性能測(cè)試裝置屬于納米材料性能原位檢測(cè)領(lǐng)域。該實(shí)用新型在帶有定位孔(13)的底座(15)上固定一微懸臂梁固定座(12)，微懸臂梁(11)一端與微懸臂梁固定座(12)連接，一套位置粗調(diào)機(jī)構(gòu)設(shè)置在底座(15)上，該粗調(diào)機(jī)構(gòu)的中心線與微懸臂梁(11)的中心線成90°夾角；還包括激光器(8)以及位置監(jiān)測(cè)器(10)，位置監(jiān)測(cè)器(10)與載荷輸出單元(9)連接；壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源(16)與壓電陶瓷(2)連接。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于操作，應(yīng)用范圍廣，具有直觀性和定量檢測(cè)的特性，便于解釋和發(fā)現(xiàn)納米材料優(yōu)異的力學(xué)等綜合性能。
文檔編號(hào)G01N23/22GK201034883SQ20062017281
公開日2008年3月12日 申請(qǐng)日期2006年12月29日 優(yōu)先權(quán)日2006年12月29日
發(fā)明者澤 張, 張躍飛, 韓曉東 申請(qǐng)人:北京工業(yè)大學(xué)