專利名稱：微機械感測裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種微機械裝置，更具體地，涉及一種電容式微機械感測裝置。
背景技術：
一般來說，現有的微機械制造技術包括通過薄膜沉積以及蝕刻技術在基 板層上進行一連串的增加以及移除若干材料層， 一直到所要的結構形成為 止。因此，微機械組件通常與其在大尺度下的對應結構有著相同的作用原理， 但與其大尺度下的對應結構相比較，微機械組件在設計上、性能上以及成本 上具有優(yōu)勢。此外，由于批量制造技術可應用于微機械組件，每單元的制造
成本得以大量的降低。
微機械結構經常用于例如加速度計或陀螺儀等的微機電慣性傳感器中。 利用差動電容來偵測加速度的微機電加速度計通常包括三個主要的微機械 組件質量塊、電容板以及支撐彈簧。參考圖1，現有的差動電容式微機電
加速度計100包括可動的質量塊102，該質量塊102由支撐彈簧104所支撐。 質量塊102包括有多個電極108，由質量塊102垂直向外延伸，并分別插入 多個由支撐梁112垂直延伸出的電極110的間隙內。上述組件利用常用的蝕 刻技術形成在基板118上的一個凹部116內，并可固定在下方的基板118上， 或者是固定在由基板118伸出的懸臂結構。電極108與110通常是由多晶硅 (polysilicon)或多層膜材料所組成，例如二氧化硅及鋁所形成，由此在每一對 相鄰的電極108、 110上，制造出個別的平行板電容器。在運作的時候，當 加速度計100被加速時，電極108會相對于電極110運動，以改變電極108、 110間的距離，電極108、 110間的電容則會因此產生變化。電極108、 110 間的電容值能夠由與連接器120連接的電路所確定，這些連接器120通過支 撐梁112連接至電極110。
上述微機電加速度計100的靈敏度取決于某些參數，例如質量塊102的 質量、彈簧104的彈性系數以及電極108、 110間的電容。 一般來說，質量 塊102的質量越大，感測裝置的慣性越好，這是因為對于某一給定的加速度， 較大的質量塊102將施加較大的力。因此，當質量塊102的質量增加時，將 會因此增加質量塊102與加速度計100的其它組件保持無相對運動的趨勢。 然而，由于一般的微機電加速度計需要周圍電路的配合方能運作，使得在加 速度計大小一定的情況下，可得到的質量塊102的大小受到實際上的限制。 此外，電極108與110間的總電容值越大，加速度計100的靈敏度也越好， 而電極108與110間的總電容值正比于電極108與110間的總重疊面積。一 種增加電極108與110間的總重疊面積的方法為增加電極108與110的數目。 然而，增加電極108與110的數目通常需要增加質量塊102的側邊面積，以 容納額外的電極108與110。如前所述，在加速度計大小一定的情況下，可 得到的質量塊102的大小受到實際上的限制。
因此，需要提供一種微機械感測裝置，以解決上述問題。

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于提供一種微機械感測裝置，該裝置通過增加電極數目 來提高靈敏度。
為達上述目的，本發(fā)明第一實施例的微機械感測裝置包括一質量塊，可 相對于一基板運動，包括有一第一部分、 一第二部分與一第三部分，其中第 二部分與第一部分分離，第三部分則連接第一部分與第二部分。 一框體設置
于基板上，并圍繞質量塊。多個彈簧連接質量塊與框體，多個第一電極與第 二電極從框體延伸出。多個第三電極從質量塊的第一部分延伸出，并分別插
入相鄰的第一電極之間，而多個第四電極從質量塊的第二部分延伸出，并分 別插入相鄰的第二電極之間。 一第一支撐梁從框體延伸出，并伸入至質量塊 的第一部分與第二部分之間的區(qū)域內。多個第七與第八電極從第一支撐梁延 伸出。多個第五電極從質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的第七電 極之間，而多個第六電極從質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相鄰的第 八電極之間。
本發(fā)明第二實施例的微機械感測裝置則另包括一第二支撐梁，從框體延 伸出，并伸入至質量塊的第一部分與第二部分之間的區(qū)域內，其中第一支撐 梁與第二支撐梁相互成一直線，并被質量塊的第三部分所分隔。多個第九電
極從第二支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的第五電極之間，而多個第十電極 從第二支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的第六電極之間。
本發(fā)明第三實施例的微機械感測裝置包括一質量塊，可相對于基板運 動，包括有一第一部分、 一第二部分、 一第三部分、 一第四部分與一第五部 分，其中第三部分設于第一部分與第二部分之間，第四部分連接第一部分與 第三部分，第五部分連接第二部分與第三部分。 一框體設置于基板上，并圍 繞質量塊。多個彈簧連接質量塊與框體，多個第一電極與十二電極則從框體 延伸出。多個第二電極從質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的第一 電極之間，而多個第十一電極，從質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相 鄰的第十二電極之間。多個第三電極從質量塊的第一部分延伸出，多個第十 電極則從質量塊的第二部分延伸出，而多個第六電極與第七電極，從質量塊 的第三部分延伸出。 一第一支撐梁從框體延伸出，并伸入至質量塊的第一部 分與第三部分之間的區(qū)域內，而一第二支撐梁從框體延伸出，并伸入至質量
塊的第二部分與第三部分之間的區(qū)域內。多個第四電極從第一支撐梁延伸 出，并分別插入相鄰的第三電極之間，而多個第五電極則從第一支撐梁延伸 出，并分別插入相鄰的第六電極之間。多個第八電極從第二支撐梁延伸出，
并分別插入相鄰的第七電極之間，而多個第九電極，從第二支撐梁延伸出， 并分別插入相鄰的第十電極之間。 一第三支撐梁從框體延伸出，并伸入至質 量塊的第一部分與第三部分之間的區(qū)域內，其中第一支撐梁與第三支撐梁相 互成一直線，并被質量塊的第四部分所分隔，而一第四支撐梁則從框體延伸 出，并伸入至質量塊的第二部分與第三部分之間的區(qū)域內，其中第二支撐梁 與第四支撐梁相互成一直線，并被質量塊的第五部分所分隔。多個第十三電 極從第三支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的第三電極之間，而多個第十四電 極則從第三支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的第六電極之間。多個第十五電 極從第四支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的第七電極之間，而多個第十六電 極則從第四支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的第十電極之間。
為了更清楚地解釋本發(fā)明的上述和其它目的、特征和優(yōu)點，在下文中對 本發(fā)明的實施例，并配合附圖，進行詳細說明如下。


圖1為現有的差動電容式微機電加速度計的頂視圖； 圖2為本發(fā)明第一實施例的微機械感測裝置的頂視圖; 圖3為本發(fā)明第二實施例的微機械感測裝置的頂視圖; 圖4為本發(fā)明第三實施例的微機械感測裝置的頂視圖。
主要組件符號說明
100微機電加速度計
104支撐彈簧
110電極
116凹部
120連接器
102質量塊 108電極 112支撐梁 118基板
200微機械感測裝置
210基板
221第一部分
221b縱向側
222a縱向側
223第三部分
231b電極
232b電極
241縱向側
243橫向側
251電極
253a彈簧
254a彈簧
260支撐梁
262縱向側
272電極
284固定部
300微機械感測裝置
3 72電極 390支撐梁 392縱向側
4 1 0基板
421第一部分 421b縱向側 422a縱向頂lj 423第三部分
220質量塊 221a縱向側 222第二部分 222b縱向偵U 23 1a電極 232a電極 240框體 242縱向側 244橫向偵!J 252電極 253b彈簧 254b彈簧 261縱向偵ij 271電極 282固定部 286固定部 371電極 388固定部 391縱向側 400微機械感 420質量塊 421a縱向側 422第二部分 422b縱向側 423a縱向偵U
423b縱向偵lj 425第五部分 431b電極 432b電極 43 3b電極 441縱向側 443橫向側 45 1電極 453a彈簧 453c彈簧 454b彈簧 461支撐梁 4 61b縱向側 462a縱向側 463支撐梁 463b縱向fi 464a縱向側 471a電極 472a電極 473a電極 474a電極 481固定部 483固定部 486固定部
424第四部分
431a電極
432a電極
433a電極
440框體
442縱向側 444橫向側
452電極 453b彈簧 454a彈簧 454c彈簧 461a縱向側 462支撐梁 462b縱向側 463a縱向偵U 464支撐梁 464b縱向偵lj 471b電極 472b電極 473b電極 474b電極 482固定部 484固定部 488固定部
具體實施例方式
參考圖2，本發(fā)明第一實施例的微機械感測裝置200包括可相對于一基 板210運動的一質量塊220。質量塊220包括有一第一部分221、 一第二部 分222與一第三部分223，其中第二部分222與第一部分221分離，第三部 分223連接第一部分221與第二部分222。多個電極231a由第一部分221 的一縱向側221a垂直延伸出，同樣地，多個電極232a由第二部分222的一 縱向側222a垂直延伸出。 一框體240具有兩個相對的縱向側241、 242與兩 個相對的橫向側243、 244，設置于基板210上，并圍繞質量塊220。 一固定 部284連接至框體240的橫向側243，并固定在基板210上，而另一固定部 286則連接至框體240的橫向側244，并固定在基板210上。多個電極251 則由框體240的縱向側241延伸出，并分別插入相鄰的電極231a之間。多 個電極252由框體240的縱向側242延伸出，并分別插入相鄰的電極232a 之間。一彈簧253a連接質量塊220的第一部分221與框體240的橫向側243， 而另一彈簧253b則連接質量塊220的第二部分222與框體240的橫向側243 。 另外，彈簧254a與254b則連接質量塊220的第三部分223與框體240的橫 向側244。
為了增加微機械感測裝置200的靈敏度， 一支撐梁260由框體240的橫 向側243垂直延伸出，并伸入至質量塊220的第一部分221與第二部分222 之間的區(qū)域內。一固定部282固定于基板210上，而支撐梁260的縱向側261、 262的末端則連接至固定部282上。多個電極271由支撐梁260的一縱向側 261垂直延伸出，并分別插入由第一部分221的另一縱向側221b垂直延伸出 的多個電極231b的間隙內。多個電極272由支撐梁260的另一縱向側262 垂直延伸出，并分別插入由第二部分222的另一縱向側222b垂直延伸出的 多個電極232b的間隙內。在運作的時候，當感測裝置200被加速時，電極 231a、 231b、 232a與232b將分別相對于電極251、 271、 252與272運動，
從而改變電極間的距離，電極231a、 231b、 232a、 232b與251、 271、 252、 272間的電容則會因此產生變化。電極對231b與271間以及電極對232b與 272間的電容變化的信號能夠通過布設在支撐梁260上的電路被送至外部電 路(未顯示)，這些電極與其相對電極之間的電容變化能夠用來確定微機械 感測裝置200的加速度。由于電極對23 lb與271以及電極對232b與272的 引入可增加感測裝置200的總電容，本發(fā)明的感測裝置200的靈敏度因此比 現有的感測裝置100的靈敏度更好。
應注意的是，當微機械感測裝置200以CMOS制程形成時，較高的殘 余應力將會留存在框體240上，因此框體240容易發(fā)生翹曲，該翹曲會造成 電極與其相對電極間發(fā)生不匹配的情形，從而降低感測裝置200的靈敏度。 當微機械感測裝置200以CMOS或其它制程形成時，為避免對感測裝置200 造成不良的影響，固定部282、 284與286優(yōu)選地彼此成一直線排列。
請參考圖3，圖3表示本發(fā)明第二實施例的微機械感測裝置300，其中 相同的標號標示著相同的組件，因此，相同組件的進一步說明將在此省略。 微機械感測裝置300實質上與微機械感測裝置200相同，兩者的差異在于感 測裝置300的質量塊220實質上呈H形，且其第三部分223實質上連接至第 一部分221的縱向側221b的中央與第二部分222的縱向側222b的中央。感 測裝置300的彈簧254a與254b則分別連接質量塊220的第一部分221與第 二部分222至框體240的橫向側244。感測裝置300另包括一支撐梁390， 該支撐梁390由框體240的橫向側244垂直延伸出，并伸入至質量塊220的 第一部分221與第二部分222之間的區(qū)域內。 一固定部388固定于基板210 上，而支撐梁390的縱向側391、 392的末端則連接至固定部388上。兩個 支撐梁260與390相互成一直線，并被質量塊220的第三部分223所分隔。 多個電極371由支撐梁390的一縱向側391垂直延伸出，并分別插入由第一 部分221的縱向側221b垂直延伸出的多個電極231b的間隙內。多個電極372
由支撐梁390的另一縱向側392垂直延伸出，并分別插入由第二部分222的 縱向側222b垂直延伸出的多個電極232b的間隙內.。同樣地，當感測裝置300 被加速時，電極371與372將分別相對于電極231b與232b運動，電極371、 372與其相對電極231b、 232b間的電容將因此產生變化。電極對23lb與371 間以及電極對232b與372間的電容變化的信號能夠通過布設在支撐梁390 上的電路被送至外部電路(未顯示)。這些電極與其相對電極之間的電容變 化能夠用來確定微機械感測裝置300的加速度。同樣地，如前所述，當微機 械感測裝置300以CMOS或其它制程形成時，為避免對感測裝置300造成 不良的影響，固定部388優(yōu)選地與固定部282、 284與286成一直線排列。
參考圖4，本發(fā)明第三實施例的微機械感測裝置400包括可相對于一基 板410運動的一質量塊420。質量塊420包括有一第一部分421、 一第二部 分422、 一第三部分423、 一第四部分424與一第五部分425，其中第三部分 423設于第一部分421與第二部分422之間，第四部分424連接第一部分421 與第三部分423，而第五部分425則連接第二部分422與第三部分423。多 個電極431a由第一部分421的一縱向側421a垂直延伸出，而多個電極431b 則由第一部分421的另一縱向側421b垂直延伸出。多個電極432a由第二部 分422的一縱向側422a垂直延伸出，而多個電極432b則由第二部分422的 另一縱向側422b垂直延伸出。多個電極433a由第三部分423的一縱向側423a 垂直延伸出，而多個電極433b則由第三部分423的另一縱向側423b垂直延 伸出。 一框體440具有兩個相對的縱向側441、 442與兩個相對的橫向側443、 444，設置于基板410上，并圍繞質量塊420。 一固定部486連接至框體440 的橫向側443，并固定在基板410上，而另一固定部488則連接至框體440 的橫向側444，并固定在基板410上。多個電極451由框體440的縱向側441 延伸出，并分別插入相鄰的電極431a之間。多個電極452則由框體440的縱 向側442延伸出，并分別插入相鄰的電極432a之間。彈簧453a、 453b與453c
分別連接質量塊420的第一部分421、第二部分422與第三部分423至框體 440的橫向側443，而彈簧454a、 454b與454c則分別連接質量塊420的第一 部分421、第二部分422與第三部分423至框體440的橫向側444。
為了增加微機械感測裝置400的靈敏度， 一支撐梁461由框體440的橫 向側443垂直延伸出，并伸入至質量塊420的第一部分421與第三部分423 之間的區(qū)域內。 一固定部481固定于基板410上，而支撐梁461的縱向側 461a、 461b的末端則連接至固定部481上。多個電極471a由支撐梁461的 縱向側461a垂直延伸出，并分別插入電極431b的間隙內，而多個電極471b 由支撐梁461的縱向側461b垂直延伸出，并分別插入電極433a的間隙內。 一支撐梁462由框體440的橫向側443垂直延伸出，并伸入至質量塊420的 第二部分422與第三部分423之間的區(qū)域內。 一固定部482固定于基板410 上，而支撐梁462的縱向側462a、 462b的末端則連接至固定部482上。多 個電極472a由支撐梁462的縱向側462a垂直延伸出，并分別插入電極433b 的間隙內，而多個電極472b由支撐梁462的縱向側462b垂直延伸出，并分 別插入電極432b的間隙內。 一支撐梁463由框體440的橫向側444垂直延 伸出，并伸入至質量塊420的第一部分421與第三部分423之間的區(qū)域內。 兩個支撐梁461與463相互成一直線，并被質量塊420的第四部分424所分 隔。 一固定部483固定于基板410上，而支撐梁463的縱向側463a、 463b 的末端則連接至固定部483上。多個電極473a由支撐梁463的縱向側463a 垂直延伸出，并分別插入電極43lb的間隙內，而多個電極473b由支撐梁463 的縱向側463b垂直延伸出，并分別插入電極433a的間隙內。 一支撐梁464 由框體440的橫向側444垂直延伸出，并伸入至質量塊420的第二部分422 與第三部分423之間的區(qū)域內。兩個支撐梁462與464相互成一直線，并被 質量塊420的第五部分425所分隔。 一固定部484固定于基板410上，而支 撐梁464的縱向側464a、464b的末端則連接至固定部484上。多個電極474a
由支撐梁464的縱向側464a垂直延伸出，并分別插入電極433b的間隙內， 而多個電極474b由支撐梁464的縱向側464b垂直延伸出，并分別插入電極 432b的間隙內。同樣地，當感測裝置400被加速時，電極431a、 431b、 433a、 433b、 432a與432b將分別相對于各自的相對電極運動，電極431a、 43lb、 433a、 433b、 432a、 432b與其相對電極間的電容將因此產生變化。布設在支 撐梁461、 462、 463與464上的電路(未顯示)能夠將這些電極與其相對電 極間的電容變化的信號送出至外部電路，使得感測裝置400的加速度能夠根 據這些信號來確定。
雖然本發(fā)明己通過上述優(yōu)選實施例得以說明，然所述實施例并非用以限 定本發(fā)明，任何本領域普通技術人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內，可 作出各種更動與修改。因此本發(fā)明的保護范圍應由本發(fā)明的權利要求書所限 定的范圍為準。
權利要求
1. 一種微機械感測裝置，包括基板；質量塊，可相對于該基板運動，該質量塊包括第一部分、第二部分和第三部分，其中所述第二部分與所述第一部分分離，所述第三部分則連接所述第一部分和所述第二部分；框體，設置于所述基板上，并圍繞所述質量塊；多個彈簧，連接所述質量塊與所述框體；多個第一電極，從所述框體延伸出；多個第二電極，從所述框體延伸出；多個第三電極，從所述質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的所述第一電極之間；多個第四電極，從所述質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相鄰的所述第二電極之間；第一支撐梁，從所述框體延伸出，并伸入至所述質量塊的第一部分與第二部分之間的區(qū)域內；多個第七電極，從所述第一支撐梁延伸出；多個第八電極，從所述第一支撐梁延伸出；多個第五電極，從所述質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的所述第七電極之間；及多個第六電極，從所述質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相鄰的所述第八電極之間。
2. 根據權利要求l所述的微機械感測裝置，還包括第二支撐梁，從所述框體延伸出，并伸入至所述質量塊的第一部分與第 二部分之間的區(qū)域內，其中所述第一支撐梁與第二支撐梁相互成一直線，并 被所述質量塊的第三部分所分隔；多個第九電極，從所述第二支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第五電極之間；及多個第十電極，從所述第二支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第六 電極之間。
3. 根據權利要求1所述的微機械感測裝置，其中所述框體具有兩個相 對側，所述微機械感測裝置還包括兩個第三固定部，分別連接至所述框體的兩個相對側，并固定在所述基 板上，其中所述第三固定部與所述第一支撐梁成一直線排列。
4. 根據權利要求2所述的微機械感測裝置，其中所述框體具有兩個相對側，所述微機械感測裝置還包括兩個第三固定部，分別連接至所述框體的兩個相對側，并固定在所述基 板上，其中所述第三固定部與所述第一支撐梁及第二支撐梁成一直線排列。
5. 根據權利要求l所述的微機械感測裝置，還包括-第一固定部，固定于所述基板上，并與所述第一支撐梁的末端連接。
6. 根據權利要求2所述的微機械感測裝置，還包括第一固定部，固定于所述基板上，并與所述第一支撐梁的末端連接；及第二固定部，固定于所述基板上，并與所述第二支撐梁的末端連接。
7. 根據權利要求4所述的微機械感測裝置，還包括第一固定部，固定于所述基板上，并與所述第一支撐梁的末端連接；及 第二固定部，固定于所述基板上，并與所述第二支撐梁的末端連接。
8. 根據權利要求l所述的微機械感測裝置，還包括第一電路，布設在所述第一支撐梁上，用以將所述第五電極與第七電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路。
9. 根據權利要求2所述的微機械感測裝置，還包括第一電路，布設在所述第一支撐梁上，用以將所述第五電極與第七電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路；及第二電路，布設在所述第二支撐梁上，用以將所述第五電極與第九電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路。
10. —種微機械感測裝置，包括 基板；質量塊，可相對于該基板運動，該質量塊包括第一部分、第二部分、第 三部分、第四部分和第五部分，其中所述第三部分設于所述第一部分與第二 部分之間，所述第四部分連接所述第一部分和第三部分，所述第五部分連接 所述第二部分和第三部分；框體，設置于所述基板上，并圍繞所述質量塊；多個彈簧，連接所述質量塊和所述框體；多個第一電極，從所述框體延伸出；多個第十二電極，從所述框體延伸出；多個第二電極，從所述質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的所 述第一電極之間；多個第十一電極，從所述質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相鄰的 所述第十二電極之間；多個第三電極，從所述質量塊的第一部分延伸出；多個第十電極，從所述質量塊的第二部分延伸出； 多個第六電極，從所述質量塊的第三部分延伸出； 多個第七電極，從所述質量塊的第三部分延伸出；第一支撐梁，從所述框體延伸出，并伸入至所述質量塊的第一部分與第 三部分之間的區(qū)域內；第二支撐梁，從所述框體延伸出，并伸入至所述質量塊的第二部分與第 三部分之間的區(qū)域內；多個第四電極，從所述第一支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第三 電極之間；多個第五電極，從所述第一支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第六 電極之間；多個第八電極，從所述第二支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第七 電極之間；及多個第九電極，從所述第二支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第十 電極之間。
11.根據權利要求10所述的微機械感測裝置，還包括第三支撐梁，從所述框體延伸出，并伸入至所述質量塊的第一部分與第 三部分之間的區(qū)域內，其中所述第一與第三支撐梁相互成一直線，并被所述 質量塊的第四部分所分隔；第四支撐梁，從所述框體延伸出，并伸入至所述質量塊的第二部分與第 三部分之間的區(qū)域內，其中所述第二與第四支撐梁相互成一直線，并被所述 質量塊的第五部分所分隔；多個第十三電極，從所述第三支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第 三電極之間；多個第十四電極，從所述第三支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第六電極之間；多個第十五電極，從所述第四支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第 七電極之間；及多個第十六電極，從所述第四支撐梁延伸出，并分別插入相鄰的所述第 十電極之間。
12. 根據權利要求10所述的微機械感測裝置，其中所述框體具有兩個 相對側，所述微機械感測裝置還包括兩個第五固定部，分別連接至所述框體的兩個相對側，并固定在所述基 板上，其中所述第五固定部與所述質量塊的第三部分成一直線排列。
13. 根據權利要求11所述的微機械感測裝置，其中所述框體具有兩個相對側，所述微機械感測裝置還包括兩個第五固定部，分別連接至所述框體的兩個相對側，并固定在所述基 板上，其中所述第五固定部與該質量塊的第三部分成一直線排列。
14. 根據權利要求IO所述的微機械感測裝置，還包括 第一固定部，固定于所述基板上，并與所述第一支撐梁的末端連接；及 第二固定部，固定于所述基板上，并與所述第二支撐梁的末端連接。
15. 根據權利要求ll所述的微機械感測裝置，還包括 第一固定部，固定于所述基板上，并與所述第一支撐梁的末端連接； 第二固定部，固定于所述基板上，并與所述第二支撐梁的末端連接； 第三固定部，固定于所述基板上，并與所述第三支撐梁的末端連接；及第四固定部，固定于所述基板上，并與所述第四支撐梁的末端連接。
16. 根據權利要求13所述的微機械感測裝置，還包括 第一固定部，固定于所述基板上，并與所述第一支撐梁的末端連接； 第二固定部，固定于所述基板上，并與所述第二支撐梁的末端連接； 第三固定部，固定于所述基板上，并與所述第三支撐梁的末端連接；及 第四固定部，固定于所述基板上，并與所述第四支撐梁的末端連接。
17. 根據權利要求IO所述的微機械感測裝置，還包括-第一電路，布設在所述第一支撐梁上，用以將所述第三電極與第四電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路；及第二電路，布設在所述第二支撐梁上，用以將所述第九電極與第十電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路。
18. 根據權利要求ll所述的微機械感測裝置，還包括第一電路，布設在所述第一支撐梁上，用以將所述第三電極與第四電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路；及第二電路，布設在所述第二支撐梁上，用以將所述第九電極與第十電極 之間的電容變化的信號傳送至外部電路；第三電路，布設在所述第三支撐梁上，用以將所述第三電極與第十三電 極之間的電容變化的信號傳送至外部電路；及第四電路，布設在所述第四支撐梁上，用以將所述第十電極與第十六電 極之間的電容變化的信號傳送至外部電路。
全文摘要
一種微機械感測裝置包括可相對于基板運動的質量塊。質量塊包括第一至第三部分，第二部分與第一部分分離，第三部分連接第一部分與第二部分?？蝮w設置于基板上并圍繞質量塊。多個彈簧連接質量塊與框體。多個第一電極與第二電極從框體延伸出。多個第三電極從質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的第一電極之間。多個第四電極從質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相鄰的第二電極之間。第一支撐梁從框體延伸出，并伸入質量塊的第一部分與第二部分之間。多個第七電極與第八電極從第一支撐梁延伸出。多個第五電極從質量塊的第一部分延伸出，并分別插入相鄰的第七電極之間。多個第六電極從質量塊的第二部分延伸出，并分別插入相鄰的第八電極之間。
文檔編號G01P15/125GK101382564SQ20071016378
公開日2009年3月11日 申請日期2007年11月1日 優(yōu)先權日2007年9月7日
發(fā)明者王傳蔚 申請人:原相科技股份有限公司