專利名稱：測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座的制作方法
測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座
所屬技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種測(cè)量裝置，尤其涉及一種具有溫控功能和避免結(jié)露的測(cè)量 半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座。背景技術(shù)：
半導(dǎo)體發(fā)光器件的核心是PN結(jié)，PN結(jié)的溫度被稱為結(jié)溫。半導(dǎo)體發(fā)光器 件性能與結(jié)溫有關(guān)，不同結(jié)溫下的半導(dǎo)體發(fā)光器件的光電色參數(shù)不同。因此， 要正確地測(cè)試與評(píng)價(jià)半導(dǎo)體發(fā)光器件的光電色參數(shù)必須對(duì)半導(dǎo)體發(fā)光器件的溫 度進(jìn)行控制，使其保持相對(duì)恒定。
現(xiàn)有技術(shù)的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的座體分為具有溫控功能和不具有溫控 功能兩類(lèi)。不具有溫控功能的座體無(wú)法使被測(cè)試件的結(jié)溫保持相對(duì)恒定，測(cè)試 結(jié)果不具有可比性；具有溫控功能的座體一般不具有避免水汽凝結(jié)的裝置，在 低溫狀態(tài)下，被測(cè)試件表面容易出現(xiàn)結(jié)露、結(jié)霜甚至結(jié)冰，影響被測(cè)試件所發(fā) 的光的射出，影響測(cè)試的準(zhǔn)確性。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種可以使被測(cè)試件的結(jié)溫保持相對(duì)恒定，同時(shí)還 可以避免被測(cè)試件表面出現(xiàn)結(jié)露、結(jié)霜甚至結(jié)冰的現(xiàn)象，測(cè)試準(zhǔn)確，使測(cè)試結(jié) 果具有可比性，解決現(xiàn)有技術(shù)存在的難以使被測(cè)試件的結(jié)溫保持相對(duì)恒定，或 者，在低溫狀態(tài)下被測(cè)試件表面容易出現(xiàn)結(jié)露、結(jié)霜甚至結(jié)冰的現(xiàn)象，影響測(cè) 試的準(zhǔn)確性等的問(wèn)題。
本發(fā)明解決現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的 溫控座，其可與被測(cè)試件相配合，其特征在于它包括溫控裝置和與溫控裝置相
配合的密封罩，所述的被測(cè)試件可置于密封罩內(nèi)與溫控裝置相配合。溫控座既 具有恒溫功能，又具有使被測(cè)試件與外界環(huán)境隔絕的功能。溫控裝置使被測(cè)試 件的結(jié)溫保持相對(duì)恒定，密封罩有利于避免被測(cè)試件表面出現(xiàn)結(jié)露、結(jié)霜甚至 結(jié)冰的現(xiàn)象，使測(cè)試更準(zhǔn)確。
溫控裝置包括散熱裝置、測(cè)溫元件、與散熱裝置配合的溫控元件、與溫控 元件配合的恒溫座，所述恒溫座和溫控元件的裸露部分包覆有隔熱層，該隔熱 層上開(kāi)有被測(cè)試件放置口，所述的被測(cè)試件可通過(guò)放置口安裝在恒溫座上，所 述的測(cè)溫元件上的信號(hào)采集端可與放置在恒溫座上的被測(cè)試件殼體直接連接， 或者與恒溫座相連接，信號(hào)輸出端可與電驅(qū)動(dòng)、測(cè)量電路相連接。測(cè)溫元件用 來(lái)測(cè)量恒溫座或被測(cè)試件基殼的溫度，當(dāng)測(cè)得的溫度低于設(shè)定的目標(biāo)溫度時(shí)， 溫控元件工作處于加熱狀態(tài)，從而提高恒溫座和被測(cè)試件的溫度，使其達(dá)到預(yù) 定目標(biāo)溫度；反之，當(dāng)測(cè)得的溫度高于設(shè)定的目標(biāo)溫度時(shí)，溫控元件工作處于
制冷狀態(tài)，從而降低恒溫座和被測(cè)試件的溫度，使其達(dá)到預(yù)定目標(biāo)溫度。簡(jiǎn)而 言之，溫控裝置使被測(cè)試件始終處于相對(duì)恒溫狀態(tài)，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確。
所述的密封罩上設(shè)有可與恒溫座相配合的開(kāi)口。被測(cè)試件可通過(guò)開(kāi)口放置 到恒溫座上或者從恒溫座上取出。
所述的密封罩與恒溫座之間設(shè)有彈性密封圈，該彈性密封圈的形狀與開(kāi)口 相適應(yīng)。彈性密封圈的設(shè)置使密封罩與溫控裝置之間的密封效果更好。
所述的密封罩為一個(gè)透光的半球腔體，被測(cè)試件可置于球腔中心。
所述的密封罩為一個(gè)測(cè)光積分球，其上設(shè)有測(cè)試口，被測(cè)試件可置于開(kāi)口 的中心。開(kāi)口處于球體切面上。
所述的密封罩內(nèi)壁覆有漫反射材料層，所述的測(cè)試口上設(shè)有透光通道，該 透光通道的外端可連接光測(cè)量裝置。光測(cè)量裝置為帶探測(cè)器或帶光傳輸器的測(cè) 光儀器。透光通道的設(shè)置有利于保證密封罩的密封效果。
所述的密封罩上還設(shè)有抽氣口，在該抽氣口上連接有抽真空機(jī)。抽真空機(jī)
用于將密封罩內(nèi)的空氣抽出，其目的可減少水汽，避免水汽凝結(jié)到被測(cè)試件上， 同時(shí)，也能使被測(cè)試件所發(fā)出的光盡可能的全部從密封罩內(nèi)射出，盡量避免誤 差的產(chǎn)生，使測(cè)量結(jié)果準(zhǔn)確。
散熱裝置包含散熱座體、設(shè)于散熱座體上的對(duì)流腔，與對(duì)流腔配合的動(dòng)力 泵。散熱裝置的設(shè)置有利于對(duì)溫控裝置進(jìn)行良好的散熱，保證溫控裝置順利工 作。對(duì)流腔內(nèi)可通氣體或液體，通過(guò)動(dòng)力泵使氣體或液體在對(duì)流腔內(nèi)流動(dòng)，形 成對(duì)流，使散熱裝置具有散熱功能。動(dòng)力泵可為液壓泵或氣壓泵，分別對(duì)應(yīng)于 對(duì)流腔內(nèi)流動(dòng)的介質(zhì)。
所述的散熱裝置包含散熱座體、設(shè)于散熱座體上的對(duì)流腔，對(duì)流腔橫向設(shè) 置在散熱座體內(nèi)，至少在所述散熱座體的橫向一端設(shè)有散熱風(fēng)扇，使散熱裝置 形成橫向散熱方式?？梢栽谏嶙w的一端或兩端設(shè)置熱對(duì)流風(fēng)扇，熱風(fēng)扇和 散熱座體的設(shè)置位置關(guān)系能形成良好的對(duì)流環(huán)境，提高散熱效果。
本發(fā)明的顯著的進(jìn)步為1、溫控裝置的設(shè)置，使被測(cè)試件始終處于相對(duì)恒 溫狀態(tài)，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確；2、設(shè)有密封罩，可以使被測(cè)試件與周?chē)h(huán)境隔絕，避 免受周?chē)h(huán)境的影響；3、密封件的設(shè)置，使密封罩的密封效果更好；4、抽氣 口的設(shè)置，真空機(jī)通過(guò)抽氣口連接到密封罩上，可將密封罩內(nèi)空氣抽取，減少 水汽，避免水汽凝結(jié)到被測(cè)試件上。

圖1是本發(fā)明的一種結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是本發(fā)明的另一種結(jié)構(gòu)示意圖中l(wèi)l-l.散熱座體；11-2.對(duì)流腔；l-2.溫控元件；l-3.測(cè)溫元件；1-4.恒 溫座；1-5.隔熱層；2.密封罩；2-1.開(kāi)口； 2-2.測(cè)試口； 2-3.抽氣口； 3.被測(cè) 試件；4.電驅(qū)動(dòng)、測(cè)量裝置；5.風(fēng)扇；6.動(dòng)力泵；7.真空機(jī)；8.密封圈；9. 透光通道；IO.光測(cè)量裝置。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的說(shuō)明。
實(shí)施例1:測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，如圖1所示，其可與被測(cè)試 件3、光測(cè)量裝置10相配合，它包括溫控裝置和與溫控裝置相配合的密封罩2， 被測(cè)試件3可置于密封罩2內(nèi)與溫控裝置相配合。
溫控裝置包括散熱裝置、測(cè)溫元件1-3、與散熱裝置配合的溫控元件1-2、 與溫控元件1-2配合的恒溫座1-4，恒溫座1-4和溫控元件1-2的裸露部分包覆 有隔熱層1-5，該隔熱層1-5上開(kāi)有被測(cè)試件3放置口 ，被測(cè)試件3可通過(guò)放置 口安裝在恒溫座1-4上，測(cè)溫元件1-3上的信號(hào)采集端可與放置在恒溫座1-4上 的被測(cè)試件3殼體直接連接，或者與恒溫座l-4相連接，信號(hào)輸出端可與電驅(qū) 動(dòng)、測(cè)量裝置4相連接。
密封罩2為一個(gè)光學(xué)透光的半球形腔體，其上設(shè)有抽氣口 2-3，在該抽氣口 2-3上連接有抽真空機(jī)7。在密封罩2上還開(kāi)有可與恒溫座1-4相配合的開(kāi)口 2-1 ， 在它們的配合處設(shè)有彈性密封圈8，用于提高密封性。
散熱裝置包含散熱座體ll-l、設(shè)于散熱座體11-1上的對(duì)流腔11-2，對(duì)流腔 11-2橫向設(shè)置在散熱座體11-1內(nèi)，散熱座體11-1的橫向兩端設(shè)有散熱風(fēng)扇5， 使散熱裝置形成橫向散熱方式，散熱效果好。
使用過(guò)程中，溫控器使被測(cè)試件3的溫度保持相對(duì)恒定，密封罩2與恒溫 座1-4緊密配合用于密封被測(cè)試件3，抽真空機(jī)7通過(guò)抽氣口 2-3對(duì)密封罩2抽 氣，從而使被測(cè)試件3周?chē)h(huán)境中水汽的濃度降低，避免水汽凝結(jié)現(xiàn)象的出現(xiàn)。
實(shí)施例2:測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，如圖2所示，在該溫控座上， 密封罩2為一個(gè)測(cè)光積分球，與恒溫座1-4相配合的開(kāi)口 2-1位于球體下方壁體 上，且處于球體切面上，被測(cè)試件3位于開(kāi)口 2-1的中心。球體側(cè)壁上還開(kāi)有 測(cè)試口 2-2，測(cè)試口 2-2上安裝有一個(gè)透光通道9，透光通道9的外端連接光測(cè) 量裝置，光測(cè)量裝置可以為帶探測(cè)器或帶光傳輸器的測(cè)光儀器10。
散熱裝置包含散熱座體ll-l、設(shè)于散熱座體11-1上的對(duì)流腔11-2，與對(duì)流 腔11-2配合的動(dòng)力泵6，對(duì)流腔11-2內(nèi)可通氣體或液體，對(duì)應(yīng)的動(dòng)力泵為液壓 泵或氣壓泵(若對(duì)流腔內(nèi)通氣體，動(dòng)力泵為氣壓泵，若對(duì)流腔內(nèi)通液體，則動(dòng) 力泵為液壓泵)，氣體或液體可相對(duì)散熱座體11-1做橫向?qū)α鬟\(yùn)動(dòng)，使散熱裝 置形成橫向散熱方式，散熱效果好。
其余結(jié)構(gòu)同實(shí)施例l。
權(quán)利要求
1.測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其可與被測(cè)試件(3)相配合，其特征在于它包括溫控裝置和與溫控裝置相配合的密封罩(2)，所述的被測(cè)試件(3)可置于密封罩(2)內(nèi)與溫控裝置相配合。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的溫控裝置包括散熱裝置、測(cè)溫元件(l-3)、與散熱裝置配合的溫控元件(l-2)、 與溫控元件(1-2)配合的恒溫座(1-4)，所述恒溫座(1-4)和溫控元件(1-2) 的裸露部分包覆有隔熱層(1-5)，該隔熱層(1-5)上開(kāi)有被測(cè)試件(3)放置口， 所述的被測(cè)試件(3)可通過(guò)放置口安裝在恒溫座(1-4)上，所述的測(cè)溫元件(1-3)上的信號(hào)采集端可與放置在恒溫座(1-4)上的被測(cè)試件(3)殼體直接 連接，或者與恒溫座(1-4)相連接，信號(hào)輸出端可與電驅(qū)動(dòng)、測(cè)量裝置(4) 相連接。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的密封罩(2)上設(shè)有可與恒溫座(1-4)相配合的開(kāi)口 (2-1)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的密封罩(2)與恒溫座(1-4)之間設(shè)有彈性密封圈(8)，該彈性密封圈(8) 的形狀與開(kāi)口 (2-1)相適應(yīng)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的密封罩(2)為一個(gè)透光的半球腔體，被測(cè)試件(3)可置于球腔中心。
6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的密封罩(2)為一個(gè)測(cè)光積分球，其上設(shè)有測(cè)試口 (2-2)，被測(cè)試件(3) 可置于開(kāi)口 (2-1)的中心。
7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的密封罩(2-1)內(nèi)壁覆有漫反射材料層，所述的測(cè)試口 (2-2)上設(shè)有透光通道(9)，該透光通道(9)的外端可連接光測(cè)量裝置(10)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求5或6或7所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特 征在于所述的密封罩(2)上還設(shè)有抽氣口 (2-3)，在該抽氣口 (2-3)上連接有 抽真空機(jī)(7)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于所 述的散熱裝置包含散熱座體(11-1)、設(shè)于散熱座體(11-1)上的對(duì)流腔(11-2)， 與對(duì)流腔(11-2)配合的動(dòng)力泵(6)。
10. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座，其特征在于 所述的散熱裝置包含散熱座體(11-1 )、設(shè)于散熱座體(11-1)上的對(duì)流腔(11-2)， 所述的對(duì)流腔(11-2)橫向設(shè)置在散熱座體(11-1 )內(nèi)，至少在所述散熱座體(11-1 ) 的橫向一端設(shè)有散熱風(fēng)扇(5)，使散熱裝置形成橫向散熱方式。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種具有溫控功能和避免結(jié)露的測(cè)量半導(dǎo)體發(fā)光器件用的溫控座。它包括溫控裝置和與溫控裝置相配合的密封罩，被測(cè)試件可置于密封罩內(nèi)與溫控裝置相配合。本發(fā)明的顯著的進(jìn)步為1.溫控裝置的設(shè)置，使被測(cè)試件始終處于相對(duì)恒溫狀態(tài)，測(cè)試結(jié)果準(zhǔn)確；2.設(shè)有密封罩，可以使被測(cè)試件與周?chē)h(huán)境隔絕，避免受周?chē)h(huán)境的影響；3.密封件的設(shè)置，使密封罩的密封效果更好；4.抽氣口的設(shè)置，真空機(jī)通過(guò)抽氣口連接到密封罩上，可將密封罩內(nèi)空氣抽取，減少水汽，避免水汽凝結(jié)到被測(cè)試件上。
文檔編號(hào)G01R31/26GK101187689SQ20071016472
公開(kāi)日2008年5月28日 申請(qǐng)日期2007年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月10日
發(fā)明者牟同升 申請(qǐng)人:杭州浙大三色儀器有限公司