專利名稱：圖案檢查裝置及圖案檢查方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及圖案檢査裝置及圖案檢查方法，特別涉及檢查在形成
于TAB (Tape Automated Bonding)帶等的光透射性的基板上的布線 圖案等的圖案表面上有無(wú)產(chǎn)生凹坑(坑)的圖案檢査裝置及圖案檢查 方法。
背景技術(shù)：
以往，在布線圖案的檢査中，區(qū)別附著于基板表面或背面的污物 (異物)與布線圖案的缺陷而防止誤檢測(cè)的方法或裝置，例如被公開 于專利文獻(xiàn)1或?qū)＠墨I(xiàn)2。在上述公報(bào)中，記載了比較將來(lái)自形成 有布線圖案的基板的反射照明光成像而得到的反射照明圖像、和將來(lái) 自形成有布線圖案的基板背面?zhèn)鹊耐干湔彰鞴獬上穸玫降耐干湔?明圖像，將其兩者的畫像中同時(shí)出現(xiàn)的不良點(diǎn)作為布線圖案的缺陷的 技術(shù)。
專利文獻(xiàn)l:(日本)特開2004-61491號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:(日本)特開2005-24386號(hào)公報(bào)
圖11是表示具有形成于基板101上的被稱為凹坑103的凹陷 (坑)或突起104的布線圖案102的局部剖面圖。
通常，形成于基板101上的布線圖案102的表面是平坦的。但是， 有時(shí)如圖ll (a)所示地在形成于基板101上的布線圖案102的表面 會(huì)產(chǎn)生凹坑103，或者如圖11 (b)所示地在形成于基板101上的布 線圖案102的表面產(chǎn)生突起104。另外，在這些圖中，極端地放大表 示了相對(duì)于基板101的布線圖案102的大小。在布線圖案102的表面產(chǎn)生凹坑103時(shí)，在檢查工序中需要作為 不良進(jìn)行檢測(cè)。其原因是，由于只有該部分的布線較細(xì)，因此有產(chǎn)生 斷線的可能。特別是，在進(jìn)行折彎的部分使用的撓性基板上形成圖案 時(shí)，若反復(fù)折彎，則在凹坑部分有時(shí)會(huì)發(fā)生斷線。與此相比，在布線 圖案102的表面產(chǎn)生突起104時(shí)，即使折彎也不會(huì)有斷線的顧慮，不 會(huì)特別成為問(wèn)題。但是，在布線圖案檢査裝置中，會(huì)產(chǎn)生無(wú)法區(qū)別在 布線圖案102的表面產(chǎn)生的凹坑103和突起104的問(wèn)題。
使用圖11說(shuō)明該問(wèn)題。在圖案檢查裝置中，檢查布線圖案是依 據(jù)拍攝了由照明光照明的區(qū)域的畫像進(jìn)行的，但使用反射照明光進(jìn)行 檢查時(shí)，相對(duì)于基板101，照明單元被配置在形成有布線圖案102的 一側(cè)，拍攝布線圖案102的攝像單元也位于同一側(cè)。當(dāng)對(duì)布線圖案 102照射照明光時(shí)，如果表面平坦，則照射在布線圖案102表面的照 明光被反射，入射到攝像單元。照射在布線圖案102以外的部分的照 明光透過(guò)基板101或被基板101吸收，而不會(huì)入射到攝像單元。因此， 在攝像單元中，布線圖案102的表面表現(xiàn)為明亮，基板101表現(xiàn)為較 暗。
如圖11 (a)所示，如果在布線圖案102的表面有凹坑103，則 照射在該凹坑103部分的照明光在凹坑103中反復(fù)進(jìn)行反射而減弱， 光線不會(huì)入射到攝像單元。因此，產(chǎn)生凹坑103的部分較暗。但是， 如圖11 (b)所示，即使在布線圖案102的表面產(chǎn)生的是突起104， 照射到突起104的照明光也被突起104的外壁(斜面)反射，光線不 會(huì)入射到攝像單元。因此，突起104的部分也較暗。所以，在攝像單 元中，凹坑103的部分和突起104的部分都較暗地顯示，無(wú)法區(qū)別兩 者。這樣，在利用反射照明光的檢查中，可以檢測(cè)出在布線圖案表面 產(chǎn)生凹坑103或突起104的部分，但是無(wú)法區(qū)別凹坑103與突起104。 如上所述，凹坑103必須要作為不良檢測(cè)出來(lái)，但是突起104則不需 要如此。假如將在布線圖案102的表面產(chǎn)生較暗部分的圖案都作為不
4良，則本來(lái)應(yīng)該是合格的具有突起104的布線圖案102也可能成為不 良，導(dǎo)致生產(chǎn)率降低。
另一方面，在利用透射照明光的布線圖案的檢査中，相對(duì)于基板， 照明單元被配置在形成有布線圖案一側(cè)的相反側(cè)，而攝像單元配置在 形成有布線圖案的一側(cè)。所以，布線圖案的表面成為布線圖案的背光 處，而無(wú)法檢測(cè)有無(wú)凹坑103。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問(wèn)題而做出，其目的在于提供一種圖案檢査裝 置，利用反射照明光與透射照明光來(lái)區(qū)別產(chǎn)生于圖案表面的凹坑與突 起，可以只將凹坑作為不良檢測(cè)出來(lái)。
本發(fā)明為了解決上述課題，采用下述方法。
第1方案是一種圖案檢查裝置，對(duì)形成于光透射性的基板上的圖 案照射照明光，根據(jù)拍攝照射了該照明光的區(qū)域的圖像，判斷所述圖 案的合格與否，該圖案檢查裝置包括第1照明單元，從形成于所述 基板上的圖案?jìng)?cè)，照射中心光線相對(duì)于所述基板大致垂直的照明光； 第2照明單元，在與形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè)相反的一側(cè)，從將被 所述第1照明單元照明的區(qū)域按法線方向朝所述基板投影的區(qū)域之 外，對(duì)所述基板照射照明光；攝像單元，相對(duì)于所述基板被設(shè)置在與 所述第1照明單元的照明光的照射方向相同的方向；以及，控制單元， 控制所述第1照明單元與所述第2照明單元；所述控制單元對(duì)所述基 板同時(shí)進(jìn)行所述第1照明單元的照明和所述第2照明單元的照明，所 述攝像單元拍攝由所述第1照明單元與所述第2照明單元同時(shí)照明的 圖案。
第2方案是一種圖案檢查方法，對(duì)形成于光透射性的基板上的圖 案照射照明光，根據(jù)拍攝照射了該照明光的區(qū)域的圖像，判斷所述圖 案的合格與否，該圖案檢查方法同時(shí)進(jìn)行第l照明單元的照明，從形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè)，照射中心光線相對(duì)于所述基板大致垂直
的照明光；和第2照明單元的照明，在與形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè) 相反的一側(cè)，從將被所述第1照明單元照明的區(qū)域按法線方向在朝所 述基板投影的區(qū)域之外，對(duì)所述基板照射照明光；然后，利用相對(duì)于 所述基板被設(shè)置在與所述第1照明單元的照明光的照射方向相同方 向的攝像單元，拍攝所述基板的圖案；根據(jù)拍攝的圖像，檢測(cè)圖案表 面有無(wú)凹坑。
根據(jù)本發(fā)明，利用反射照明光與透射照明光來(lái)區(qū)別產(chǎn)生于圖案表 面的凹坑與突起，可以容易地只將凹坑作為不良檢測(cè)出來(lái)。


圖1是表示本發(fā)明涉及的圖案檢査裝置的結(jié)構(gòu)的框圖。 圖2是圖1所示檢查部3的放大圖。
圖3是表示具有形成于由TAB帶構(gòu)成的基板1上的凹坑21和突 起22的圖案2的局部剖面圖。
圖4是表示實(shí)際拍攝了形成于由TAB帶構(gòu)成的基板1上的圖案2 的圖像的圖。
圖5是與圖2所示反射照明單元(第1照明單元)31不同的反 射照明單元(第1照明單元)31的結(jié)構(gòu)圖。
圖6是用于說(shuō)明透射照明單元(第2照明單元)32的照明光向 基板1上的檢查區(qū)域6入射的入射角度的適當(dāng)范圍的說(shuō)明圖。
圖7是表示與圖2所示透射照明單元(第2照明單元)32不同 的透射照明單元(第2照明單元)32的結(jié)構(gòu)的側(cè)視剖面圖及俯視圖。
圖8是表示與圖2及圖7所示透射照明單元(第2照明單元)32 不同的其他透射照明單元(第2照明單元)32的結(jié)構(gòu)的俯視圖、側(cè) 視圖及主視圖。
圖9是使用圖8所示透射照明單元(第2照明單元)32照明形成于基板1上的圖案2的結(jié)構(gòu)圖。
圖10是與圖2、圖7及圖8所示的透射照明單元(第2照明單 元)32不同的其他透射照明單元(第2照明單元)32的結(jié)構(gòu)圖。
圖11是表示具有形成于基板101上的稱為凹坑103的凹陷(穴) 和突起104的布線圖案102的局部剖面圖。 (標(biāo)記說(shuō)明)
1: TAB帶等基板
2: 布線圖案等圖案
21:凹坑
22:突起
3: 檢査部
31:反射照明單元(第1照明單元)
311:光源
312:半透半反鏡
313:透鏡
314:鹵素?zé)?br> 315:反射鏡
316:光入射端
317:導(dǎo)光光纖
318:光射出端
32:透射照明單元(第2照明單元)
321:光源
322:箱體 323:遮光板 324:聚光透鏡 325:光射出口 326:鹵素?zé)?27:反射鏡
328:光入射端
329:導(dǎo)光光纖
330:光射出部
33:攝像單元
34:透鏡
4:控制部
5:帶輸送機(jī)構(gòu)
51:輸出巻軸
52:巻線筒
53:標(biāo)記部
具體實(shí)施例方式
使用圖1至圖IO說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
圖1是表示本實(shí)施方式的發(fā)明涉及的圖案檢査裝置的整體結(jié)構(gòu) 的框圖。
在圖1中，1是聚酰亞胺(樹脂)等構(gòu)成的TAB帶等光透射性的 基板，2是形成于基板1上且由銅等構(gòu)成的布線圖案等圖案，3是檢 査部，31是從形成有基板1上的圖案2的一側(cè)照射經(jīng)過(guò)照明光的光 束中心的中心光線相對(duì)于基板1的檢查區(qū)域大致垂直的照明光的反 射照明單元(第1照明單元)，311是光源，312是半透半反鏡，32 是在與形成有基板1上的圖案2的一側(cè)相反的相反側(cè)，從將基板1上 的由第1照明單元照明的區(qū)域向基板1在法線方向上投影的區(qū)域之 外，照射照明光的2個(gè)透射照明單元(第2照明單元)，33是攝像單 元，34是透鏡，4是控制部，5是帶輸送機(jī)構(gòu)，51是輸出巻軸，52 是巻線筒，53是標(biāo)記部，6是檢査區(qū)域。在此，檢查區(qū)域6是指被照 射照明光、且由攝像單元33拍攝的區(qū)域。在標(biāo)記部53，對(duì)判斷為不良的圖案2實(shí)施利用穿孔機(jī)的穿孔或 涂色等的標(biāo)記，以便通過(guò)目視可以立即確認(rèn)該部分為不良品。而且， 控制部4預(yù)先輸入作為圖案檢查基準(zhǔn)的基準(zhǔn)圖案，對(duì)拍攝的圖案2和 基準(zhǔn)圖案進(jìn)行比較，判斷產(chǎn)品的好壞，并且控制檢査部3、標(biāo)記部53 及帶輸送部5的動(dòng)作。另外，基準(zhǔn)圖案既可以是拍攝了判斷為合格品 的實(shí)際圖案的圖像，也可以是利用CAD數(shù)據(jù)的圖像。
圖2是圖1所示檢查部3的放大圖。
在圖2中，透射照明單元(第2照明單元)32的光源321適當(dāng) 選擇能發(fā)射具有透射由TAB帶的樹脂薄片所構(gòu)成的基板1、并且被圖 案2反射的波長(zhǎng)的光源。來(lái)自反射照明單元(第1照明單元)31的 照明光，從由多個(gè)LED構(gòu)成的光源311射出，由透鏡313會(huì)聚，以 該光的中心光線相對(duì)于基板1上的檢查區(qū)域6垂直或大致垂直的方向 照射。而且，從透射照明單元(第2照明單元)32發(fā)出的照明光， 從由多個(gè)LED構(gòu)成的光源321射出，從基板1的背面向檢查區(qū)域6 (即，由第l照明單元照明的區(qū)域)傾斜入射地進(jìn)行照射。
攝像單元33使用對(duì)上述照明光的波長(zhǎng)具有感光靈敏度的、例如 CCD線傳感器或面?zhèn)鞲衅?，在由TAB帶構(gòu)成的基板1上設(shè)置在與反 射照明單元(第1照明單元)31的照明光相同的朝正上方的方向上， 拍攝來(lái)自基板1上的圖案2的圖案像。而且，在攝像單元33的光入 射側(cè)設(shè)置有透鏡34，其用于將進(jìn)行由TAB帶構(gòu)成的基板1的圖案2 的檢查的區(qū)域放大并投影，透鏡34組合多個(gè)透鏡后收納于鏡筒中。
反射照明單元(第1照明單元)31必須使對(duì)由TAB帶構(gòu)成的基 板1照射照明光的方向和攝像單元33拍攝圖案像的方向一致。所以， 使用半透半反鏡312，使反射照明光照射由TAB帶構(gòu)成的基板1的光 路和從圖案2反射后入射到攝像單元33的光線的光路一致。具體來(lái) 講，用半透半反鏡312將來(lái)自反射照明單元(第1照明單元)31的 光折返90°，從由TAB帶構(gòu)成的基板1的正上方照射。由圖案2反射的光通過(guò)半透半反鏡312后，入射到攝像單元33。
接著，利用圖3說(shuō)明本發(fā)明的圖案檢查裝置的凹坑檢測(cè)原理。 圖3 (a)是表示具有形成于由TAB帶構(gòu)成的基板1上的稱為凹 坑21的凹陷(坑)的圖案2的局部剖面圖，圖3 (b)是表示具有形 成于由TAB帶構(gòu)成的基板1上的突起22的圖案2的局部剖面圖。而 且，在這些圖中，極端地放大表示相對(duì)于基板l的圖案2的大小。另 外，反射照明光與透射照明光只示出中心光線。
利用反射照明單元(第1照明單元)31，從正上方對(duì)圖案2照射 照明光，使得照明光的中心光線相對(duì)于基板l垂直或大致垂直時(shí)，只 要圖案2的表面平坦，照明光會(huì)被反射，入射到攝像單元33上，該 攝像單元33設(shè)置于與被照射反射照明單元(第1照明單元)31的照 明光的方向相同的方向上。照射在圖案2以外部分的照明光，透射基 板l或被基板l吸收，不會(huì)入射到攝像單元33。而且，如果在圖案2 的表面有凹坑21或突起22，則如上所述照射在該部分的照明光不會(huì) 入射到攝像單元33。
但是，如果從基板1的相反側(cè)，利用透射照明單元(第2照明單 元)32照射中心光線從相對(duì)于基板1傾斜的方向入射的透射照明光， 則如圖3 (b)所示，存在于表面的是突起22時(shí)，透射照明光在突起 22的斜面反射后入射到攝像單元33，突起22的部分同表面為平坦的 情況一樣表現(xiàn)為明亮。另一方面，如圖3 (a)所示，存在于表面的 是凹坑21時(shí)，透射照明光直接通過(guò)而不會(huì)入射到攝像單元33，所以 凹坑21的部分仍然較暗。
艮P，根據(jù)本圖案檢査裝置，在圖案2上具有突起22時(shí)，在攝像 單元33中照出與表面平坦時(shí)一樣明亮的畫像，而在圖案2上具有凹 坑21時(shí)，攝像單元33中表現(xiàn)為較暗，可以檢測(cè)出只存在凹坑21。 接著，利用圖1及圖2說(shuō)明圖案檢查裝置的檢査動(dòng)作。 在由TAB帶構(gòu)成的基板1上連續(xù)地制作多個(gè)相同的布線圖案2，控制部4驅(qū)動(dòng)帶輸送部5，將由TAB帶構(gòu)成的基板1輸送到檢查部3。 如果由TAB帶構(gòu)成的基板1上的成為檢査對(duì)象的檢査圖案2，通過(guò)帶 輸送部5輸送到檢査部3的規(guī)定位置，在該位置由TAB帶構(gòu)成的基 板1停止?？刂撇?點(diǎn)亮反射照明單元(第1照明單元)31與透射 照明單元(第2照明單元)32的各個(gè)光源(LED) 311、 321，對(duì)進(jìn)行 檢查的檢査圖案2從兩照明單元31、 32同時(shí)照射照明光?？刂撇? 利用攝像單元33拍攝被兩照明單元31、 32同時(shí)照明的圖案像?？刂?部4存儲(chǔ)拍攝的圖像。如上所述，只有在檢查圖案2的表面有凹坑 21時(shí)，該部分會(huì)變暗。因此，與基準(zhǔn)圖案相比，如果有較暗的部分， 則該部分是產(chǎn)生凹坑21的部分，該圖案被判定為不良品。在控制部 4中存儲(chǔ)具有凹坑21的不良圖案2的位置，當(dāng)該圖案2通過(guò)帶輸送 部5輸送到標(biāo)記部53時(shí)，進(jìn)行穿孔或著色等的標(biāo)記。當(dāng)檢查圖案2 的檢查結(jié)束時(shí)，由帶輸送機(jī)構(gòu)5輸送由TAB帶構(gòu)成的基板1，成為下 一個(gè)檢查對(duì)象的檢查圖案2被輸送到檢査部3的規(guī)定位置。
圖4是表示實(shí)際拍攝了形成于由TAB帶構(gòu)成的基板1上的圖案 的圖像的圖。而且，在圖4中，為了容易分辨圖案2，將所有明暗反 置，較暗部分為圖案2，明亮部分為基板l。
圖4 (a)是本發(fā)明的圖案檢查裝置的情形，是利用攝像單元33 拍攝了同時(shí)照射來(lái)自反射照明單元(第1照明單元)31與透射照明 單元(第2照明單元)32的照明光的圖案2的圖案圖像，圖4 (b) 是現(xiàn)有技術(shù)的圖案檢查裝置的情形，是利用攝像單元33拍攝了只照 射來(lái)自反射照明單元的照明光的圖案2的圖案圖像。這些圖的上列是 在圖案2的表面具有突起22的部分的圖案圖像，下列是在圖案2的 表面具有凹坑21的圖案圖像。無(wú)論是本發(fā)明的圖案檢查裝置還是現(xiàn) 有技術(shù)的圖案檢查裝置，反射照明光對(duì)圖案2從正上方照射，使得照 明光的中心光線相對(duì)于基板1的攝影區(qū)域垂直或大致垂直，而在本發(fā) 明的圖案檢査裝置中，透射照明光以中心光線相對(duì)于基板1的攝影區(qū)
ii域傾斜入射地照射。攝像單元33設(shè)置于與照射反射照明光的方向相 同的方向上。如圖4 (b)的O記號(hào)所示，只有在反射照明光中凹坑 21與突起22同樣，對(duì)于圖案2的黑色以白色被檢測(cè)出，可知無(wú)法區(qū) 別凹坑21與突起22。對(duì)此，如圖4 (a)的O記號(hào)所示，對(duì)基板1同 時(shí)照射反射照明光與透射照明光時(shí)，以白色只能檢測(cè)出凹坑21，所 以能夠區(qū)別凹坑21與突起22，可知能夠僅檢測(cè)出凹坑21。
圖5 (a)、 (b)是分別表示與圖2中所示的反射照明單元(第1 照明單元)31不同的反射照明單元(第1照明單元)31的結(jié)構(gòu)。
圖5(a)是作為反射照明單元(第1照明單元)31的光源311使用 1個(gè)LED的情形，從LED射出的光在半透半反鏡312折返90。，其 光束的中心光線相對(duì)于基板1上的檢査區(qū)域6大致垂直地入射。而且， 圖5(b)的構(gòu)成是，作為反射照明單元(第1照明單元)31的光源使用 鹵素?zé)?14，用反射鏡315聚光從鹵素?zé)?14射出的光，從導(dǎo)光光纖 317的光入射端316入射，在導(dǎo)光光纖317內(nèi)導(dǎo)光后，從光射出端318 射出。從光射出端318射出的光在半透半反鏡312折返90。，其光束 的中心光線相對(duì)于基板1上的檢查區(qū)域6大致垂直地入射。
圖6是用于說(shuō)明本發(fā)明的圖案檢查裝置的透射照明單元(第2照 明單元)32的照明光向基板1上的檢查區(qū)域6入射的入射角度的適 當(dāng)范圍的圖。
在圖6中，如果透射照明光只是入射檢查區(qū)域6的入射角度小于 20。的光，則透射照明光不會(huì)照射到圖案2表面的突起22上，由此可 知能夠檢測(cè)出突起22。而且，通過(guò)了基板1的部分的透過(guò)照明光入 射到攝像單元33，在圖案2的表面反射而與入射到攝像單元33的反 射照明光的對(duì)比度變差，圖案2的線寬的測(cè)量變困難。而且，如果透 射照明光只是入射檢査區(qū)域6的入射角度大于70°的光，則照射到突 起22后反射的光不會(huì)入射到攝像單元33，與入射角度小于等于20° 時(shí)一樣可以檢測(cè)出突起22。而且，圖案2的輪廓線會(huì)模糊?？梢钥紤]到這是因?yàn)樵趫D案2側(cè)壁反射后入射到攝像單元33的光的成分增 加而造成的。因此，為了只檢測(cè)凹坑21，認(rèn)為透射照明光適于以20° 70。的入射角度范圍入射到基板1的檢査區(qū)域的光。
但是，即使假設(shè)在透射照明光中包含20。 70。的入射角度范圍的 光，如果包含入射角度小于20。的光，則如上所述，通過(guò)了基板l的 部分的透射照明光入射到攝像單元，因此在圖案2的部分反射的透射 照明光與反射照明光的對(duì)比度變差，而且，如果包含入射角度70。以 上的光，則如上所述，圖案2的輪廓線會(huì)模糊，所以圖案2的線寬的 測(cè)量變困難。
圖7 (a)是表示與圖2所示的透射照明單元(第2照明單元) 32不同的透射照明單元(第2照明單元)32的結(jié)構(gòu)的側(cè)視剖面圖， 圖7 (b)是從圖7 (a)所示的透射照明單元(第2照明單元)32的 基板1的一側(cè)觀看時(shí)的俯視圖。
如這些圖所示，該透射照明單元32在形成有光射出口 325的圓 形箱體322中，具備由射出照明光的排列多個(gè)的LED構(gòu)成的光源321， 在箱體322的光射出口 325上，設(shè)置有圓形及圓環(huán)狀的遮光板323， 在遮光板323的基板1 一側(cè)設(shè)置有圓形的聚光透鏡324,在聚光透鏡 324的聚光點(diǎn)配置有基板1。從箱體322的光源(LED) 321射出的光 中，利用聚光透鏡324將沒有被遮光板323遮光的部分的光聚光，從 與形成有基板1的圖案2的一側(cè)相反的相反側(cè)對(duì)檢查區(qū)域6 (即，照 射第1照明單元的照射光的區(qū)域)傾斜照射。在此，調(diào)整遮光板323 的寬度(箱體322的徑向長(zhǎng)度)，使從射出口 225射出的照明光以20° 70。的角度范圍入射檢查區(qū)域6。
圖8 (a)是表示與圖2及圖7所示的透射照明單元(第2照明 單元)32不同的其他透射照明單元(第2照明單元)32的結(jié)構(gòu)的俯 視圖，圖8 (b)是圖8 (a)所示的透射照明單元(第2照明單元) 32的側(cè)視圖，圖8 (c)是圖8 (a)所示的透射照明單元(第2照明
13單元)32的主視圖。
如這些圖所示，該透射照明單元(第2照明單元)32在長(zhǎng)方形 箱體322中，具備由射出照明光的排列多個(gè)的LED構(gòu)成的光源321。
圖9是使用圖8所示的透射照明單元(第2照明單元)32對(duì)形 成于基板1上的圖案2進(jìn)行照明的結(jié)構(gòu)圖。
在圖9中，從圖8的透射照明單元(第2照明單元)32射出的 照明光的光束的中心光線，相對(duì)于基板1的檢查區(qū)域6 (由第1照明 單元照明的區(qū)域)以外的某一位置大致垂直地入射。在這樣的配置中 照明光的利用效率變差，但是照明光從斜方向向檢査區(qū)域6入射，因 此可以獲得與在先前的圖2或圖7中所述的透射照明單元(第2照明 單元)32的情形一樣的效果。g卩，來(lái)自透射照明單元(第2照明單 元)32的照明光，從將基板1上的檢查區(qū)域6 (由第1照明單元照明 的區(qū)域)按法線方向?qū)錶投影的區(qū)域之外照明，而相對(duì)于檢查區(qū) 域6使照明光從斜向入射，從法線方向不入射強(qiáng)光，這點(diǎn)是重要的。 另外，該透射照明單元(第2照明單元)32中，圖8所示的長(zhǎng)方形 的透射照明單元(第2照明單元)32的長(zhǎng)邊對(duì)應(yīng)于基板1的寬度方 向(與輸送基板1的方向垂直的方向)。
圖10是與圖2、圖7及圖8所示的透射照明單元(第2照明單 元)32不同的其他透射照明單元(第2照明單元)32的結(jié)構(gòu)圖。
該透射照明單元(第2照明單元)32將鹵素?zé)?26作為光源利用， 從鹵素?zé)?26射出的光由反射鏡327聚光后，從光入射端328入射到 導(dǎo)光光纖329，入射光在2個(gè)方向上分支的導(dǎo)光光纖329內(nèi)導(dǎo)光。設(shè) 置于分支的導(dǎo)光光纖329的各個(gè)射出側(cè)的多個(gè)導(dǎo)光光纖，從捆束成長(zhǎng) 方形的光射出部330向基板1上的檢查區(qū)域6斜向入射照明光。此時(shí)， 2個(gè)光射出部330，從將基板1上的檢查區(qū)域6 (由第1照明單元照 明的區(qū)域)在法線方向上向基板1投影的區(qū)域之外，對(duì)檢查區(qū)域6入 射照明光。
權(quán)利要求
1.一種圖案檢查裝置，對(duì)形成于光透射性的基板上的圖案照射照明光，根據(jù)拍攝照射了該照明光的區(qū)域的圖像，判斷所述圖案的合格與否，其特征在于，該圖案檢查裝置包括第1照明單元，從形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè)，照射中心光線相對(duì)于所述基板大致垂直的照明光；第2照明單元，在與形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè)相反的一側(cè)，從將被所述第1照明單元照明的區(qū)域按法線方向朝所述基板投影的區(qū)域之外，對(duì)所述基板照射照明光；攝像單元，相對(duì)于所述基板被設(shè)置在與所述第1照明單元的照明光的照射方向相同的方向；以及，控制單元，控制所述第1照明單元與所述第2照明單元；所述控制單元對(duì)所述基板同時(shí)進(jìn)行所述第1照明單元的照明和所述第2照明單元的照明，所述攝像單元拍攝由所述第1照明單元與所述第2照明單元同時(shí)照明的圖案。
2. —種圖案檢查方法，對(duì)形成于光透射性的基板上的圖案照射 照明光，根據(jù)拍攝照射了該照明光的區(qū)域的圖像，判斷所述圖案的合 格與否，其特征在于，該圖案檢查方法同時(shí)進(jìn)行第l照明單元的照明，從形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè)，照射中心 光線相對(duì)于所述基板大致垂直的照明光；和第2照明單元的照明，在與形成于所述基板上的圖案?jìng)?cè)相反的一 側(cè)，從將被所述第1照明單元照明的區(qū)域按法線方向在朝所述基板投 影的區(qū)域之外，對(duì)所述基板照射照明光；然后，利用相對(duì)于所述基板被設(shè)置在與所述第1照明單元的照明光的 照射方向相同方向的攝像單元，拍攝所述基板的圖案；根據(jù)拍攝的圖像，檢測(cè)圖案表面有無(wú)凹坑。
全文摘要
一種圖案檢查裝置，利用反射照明光與透射照明光，區(qū)分在圖案的表面產(chǎn)生的凹坑與突起，只將凹坑作為不良檢測(cè)出。該圖案檢查裝置，根據(jù)對(duì)形成于光透射性基板(1)上的圖案(2)照明的照明光的攝像圖像，判斷圖案的合格與否，其包括第1照明單元(31)，照射中心光線相對(duì)于基板大致垂直的照明光；第2照明單元(32)，從將設(shè)置于基板的背面?zhèn)鹊臋z查區(qū)域(6)向基板在法線方向上投影的區(qū)域之外，對(duì)基板照射照明光；攝像單元(33)，設(shè)置在與第1照明單元(31)的照射方向相同的方向上；以及控制單元(4)，控制第1照明單元與第2照明單元(32)。控制單元同時(shí)進(jìn)行第1照明單元和第2照明單元的照明，攝像單元拍攝同時(shí)被照明的圖案。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101290296SQ200810009490
公開日2008年10月22日 申請(qǐng)日期2008年2月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月17日
發(fā)明者松田僚三, 林宏樹, 野本憲太郎 申請(qǐng)人:優(yōu)志旺電機(jī)株式會(huì)社