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      一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法

      文檔序號(hào):5837472閱讀:199來(lái)源:國(guó)知局
      專利名稱:一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法,特別涉及一種用于 顯示面板或顯示器基板的缺陷的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。
      背景技術(shù)
      目前,在制造薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)的前端薄膜晶體管 陣列段(Array)的制程中, 一般利用鹵素?zé)?。參?jiàn)圖1,現(xiàn)有的檢測(cè)裝置 100是將鹵素?zé)?0'發(fā)出的光經(jīng)濃度補(bǔ)正濾色片(ND filter) 23,、平面鏡 24,、反射鏡25',以及偏光鏡26'的處理后,輸出至平臺(tái)2,上的待檢基片 IO,上,而后便可從顯微裝置30,及攝影裝置40,獲得的待檢基片的圖像資 料,來(lái)分析待檢基片IO'可能存在的缺陷;當(dāng)待檢基板面積較大時(shí),平臺(tái) 2'可由控制馬達(dá)5'控制沿Y方向走行軸3'和X方向走行軸4'運(yùn)動(dòng)。這種 通過(guò)人眼觀看面板表面顏色是否異常,來(lái)判斷可能是哪一層膜質(zhì)或膜厚 存在異常,進(jìn)而判斷面板是否存在水波紋缺陷的檢測(cè)方式,可能帶來(lái)較 大的人為誤差,甚至?xí)?dǎo)致錯(cuò)誤的判斷,而且使用鹵素?zé)舫杀据^高、易 耗能。中國(guó)專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N200610091230.9公開(kāi)了一種顯示面板檢測(cè)裝 置,該檢測(cè)裝置雖采用了發(fā)光二極管(LED)組件作為檢測(cè)光源,但該技術(shù) 方案仍需要進(jìn)行目視檢查。發(fā)明內(nèi)容為解決現(xiàn)有技術(shù)所存在的缺陷,本發(fā)明提供一種能提高檢測(cè)精度, 并能降低成本的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。本發(fā)明為了解決其技術(shù)問(wèn)題是采用以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的。本發(fā)明揭 露一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,用于檢測(cè)電子式顯示器之基板的水波紋缺陷, 其至少包括平臺(tái)用來(lái)承載基板;取像單元如CCD電子顯微攝像機(jī)或 CMOS數(shù)字?jǐn)z像機(jī);控制馬達(dá),用來(lái)調(diào)整平臺(tái)作不同旋轉(zhuǎn)角度及不同軸 向的變化;混光鏡頭模塊,包括具有各種不同色光的發(fā)光二極管點(diǎn)光源、偏光鏡及混光板用來(lái)產(chǎn)生一混光光源輸出至基板以供取像單元自基板讀取圖像數(shù)據(jù);檢測(cè)裝置,用來(lái)判斷取像單元取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差 異大小,且所述檢測(cè)裝置還包括一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置,其至少存儲(chǔ)一標(biāo)準(zhǔn)的 灰度值或灰度誤差范圍值用來(lái)與取像單元自基板讀出圖像數(shù)據(jù)作比對(duì)以 供檢測(cè)裝置判斷灰度差異,及用以寫入不同算法的可擦除式模塊,該算 法用來(lái)判斷取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差異大??;及一控制裝置,用來(lái)控 制檢測(cè)裝置、控制馬達(dá)、控制混光鏡頭模塊及取像單元,且所述控制裝 置根據(jù)需求而使用不同色光并使待測(cè)基板產(chǎn)生不同的灰度圖像。本發(fā)明同時(shí)提供一種顯示質(zhì)量檢測(cè)方法,用于檢測(cè)電子式顯示器之 基板,該顯示質(zhì)量檢測(cè)方法包括下列步驟利用光源照射一待測(cè)基板;檢測(cè)裝置使用取像單元讀取待測(cè)基板的圖案圖像,將取得的圖像分成若干個(gè)處理區(qū)域;在每一個(gè)特定處理區(qū)域中,將每個(gè)像素的灰度值讀出;判斷待測(cè)基板的處理區(qū)域內(nèi)的每個(gè)像素的灰度值的灰度誤差范圍值 是否處于至少一預(yù)存的標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外;及如果有處于標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外的灰度誤差范圍值,則檢測(cè)裝 置統(tǒng)計(jì)該處于標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外的灰度誤差范圍值并顯示其像素 或區(qū)域以作為缺陷區(qū)域。所述顯示質(zhì)量檢測(cè)方法,還包括下列步驟利用各種不同色光的發(fā) 光二極管點(diǎn)光源發(fā)出至少一個(gè)色光構(gòu)成的光源以輸出至待測(cè)基板。所述顯示質(zhì)量檢測(cè)方法利用發(fā)光二極管點(diǎn)光源輸出一種色光至待測(cè) 基板后,取像單元即將讀取的待測(cè)基板的圖案圖像通過(guò)一控制裝置傳送 至檢測(cè)裝置,之后,控制裝置接著控制光源輸出另一種不同的色光至待 測(cè)基板。所述標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍的取得過(guò)程包括如下步驟使用點(diǎn)光源對(duì)多片標(biāo)準(zhǔn)片中的每一片進(jìn)行灰度值測(cè)量,并依序調(diào)整, 調(diào)配出所需要的色光,通過(guò)混光板,將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)換為面光源形式輸出;將被選出的標(biāo)準(zhǔn)片的像素分成N個(gè)區(qū)域,分別照射這些區(qū)域;在每 一個(gè)被照射區(qū)域中,將每一個(gè)像素的灰度值讀出,并通過(guò)該數(shù)學(xué)式設(shè)定該標(biāo)準(zhǔn)片所允許的灰度誤差值為L(zhǎng) (j) ^E(i)^L (j+5) , i=l~N; j=0 250, 其中該灰度值用L (j)表示,j表示照射該區(qū)域的色光的RGB值,以 得到這每一片標(biāo)準(zhǔn)片的灰度誤差值,及將多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)片所獲得的灰度誤差值,作為標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值。 本發(fā)明顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法可以檢測(cè)基板所具有的水波紋 缺陷,應(yīng)用混光光源以及平臺(tái)控制馬達(dá),提高了檢測(cè)精度;將圖像和灰 度信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),通過(guò)計(jì)算機(jī)技術(shù)處理數(shù)據(jù),避免了人眼判斷可能帶來(lái)的誤差。


      圖1顯示現(xiàn)有的一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖2顯示根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3顯示根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置的光源的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4顯示根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值的取得步驟。 圖5顯示根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的每片標(biāo)準(zhǔn)片的灰度誤差值的取得 步驟。圖6顯示根據(jù)本發(fā)明較佳實(shí)施例的檢測(cè)待測(cè)基板的品質(zhì)的步驟。
      具體實(shí)施方式
      為讓關(guān)于本發(fā)明的上述內(nèi)容能更明顯易懂,下文特舉一較佳實(shí)施例, 并配合所附圖式,作詳細(xì)說(shuō)明。 圖2中, 2平臺(tái)3 Y方向走行軸4 X方向走行軸5 X、 Y、 e方向控制馬達(dá)6 e軸轉(zhuǎn)動(dòng)方向10待測(cè)基板 12膜面23濃度補(bǔ)正濾色片25. 透鏡鏡頭模塊26. 偏光鏡27點(diǎn)光源主體28.點(diǎn)光源遮光板29混光板30顯微裝置40取像單元41透鏡鏡頭 '42透鏡鏡頭43調(diào)相補(bǔ)償器(Compensator)44檢偏鏡(Analyer)45傳感器50控制裝置60檢測(cè)裝置70數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置200顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置300混光鏡頭模塊較佳實(shí)施例參見(jiàn)圖2,本發(fā)明為顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置200,用于檢測(cè)電子式顯示器 之基板。顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置200主要包括平臺(tái)2、控制馬達(dá)5、顯微裝 置30、取像單元40、控制裝置50、檢測(cè)裝置60、過(guò)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置70及 數(shù)據(jù)混光鏡頭模塊300。該平臺(tái)2用來(lái)承載基板10如一薄膜晶體管陣列基板。所述平臺(tái)2通過(guò)控制馬達(dá)5與控制裝置50連接,該控制馬達(dá)5用來(lái)調(diào)整平臺(tái)3作不同 旋轉(zhuǎn)角度及不同軸向的變化。所述混光鏡頭模塊300采用發(fā)光二極管(LED)混光鏡頭,如圖3所 示,該LED混光鏡頭包括一個(gè)點(diǎn)光源主體27,該點(diǎn)光源主體27由依次 并排的紅色點(diǎn)光源(簡(jiǎn)寫為R) 201、綠色點(diǎn)光源(簡(jiǎn)寫為G) 202、 藍(lán)色點(diǎn)光源(簡(jiǎn)寫為B) 203,以及白色點(diǎn)光源204構(gòu)成,各個(gè)點(diǎn)光源 之間通過(guò)點(diǎn)光源遮光板28相互隔開(kāi)。所述點(diǎn)光源主體27下方依次設(shè)置 有混光板29、濃度補(bǔ)正濾色片(ND Filter) 23、 偏光鏡(Polarizer) 26, 以及透鏡鏡頭模塊25,藉此數(shù)據(jù)混光鏡頭模塊300使用各個(gè)點(diǎn)光源發(fā)出 其中一種色光或多種色光經(jīng)由混光板29混光來(lái)產(chǎn)生一混光光源照射基 板IO之模面12。在數(shù)據(jù)混光鏡頭模塊300用一混光光源照射基板10上的模面12之 后,所述取像單元40自基板10的模面12的各區(qū)域上讀取電路圖案的圖 像及其灰度值。取像單元40可以為CCD電子顯微攝像機(jī)或CMOS數(shù)字 攝像機(jī),其包括依次連接的顯微裝置30、透鏡鏡頭41、透鏡鏡頭42、 調(diào)相補(bǔ)償器(Compensator) 43、檢偏鏡(Analyer) 44,以及傳感器45 構(gòu)成,且所述取像單元40通過(guò)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置70與檢測(cè)裝置60連接。該 檢測(cè)裝置60用來(lái)判斷取像單元40取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差異大小, 并連接數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置70用于存儲(chǔ)至少一標(biāo)準(zhǔn)的灰度值或標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差 范圍值來(lái)與取像單元40自基板10讀出圖像數(shù)據(jù)作比對(duì),以供檢測(cè)裝置 60判斷灰度差異。該檢測(cè)裝置60還具有用以寫入不同算法的可擦除式 模塊,所述算法用來(lái)判斷取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差異大小。所述控制裝置50控制并調(diào)整檢測(cè)裝置60、顯微裝置30、控制馬達(dá)5、混光鏡頭模塊300以及取像單元40之間的工作,該控制裝置50可以根 據(jù)需求,調(diào)整混光鏡頭模塊300發(fā)出不同色光而使待測(cè)基板10顯示不同 色彩和灰度的圖像。本發(fā)明顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置200在使用時(shí),在平臺(tái)2 上放置待測(cè)基板10,然后由控制裝置50控制光源主體27輸入不同的發(fā) 光色,可以為紅色、綠色、藍(lán)色、紅綠色、紅藍(lán)色、綠藍(lán)色、紅綠藍(lán)色, 以及白色這八種,這些不同的色光經(jīng)混光板29折射與散射后,以面光源 的方式通過(guò)濃度補(bǔ)正濾色片23與偏光鏡26過(guò)濾與折射后,由透鏡鏡頭 模塊25輸出,該過(guò)程中,控制裝置50除了調(diào)配不同的色光輸出外,也 根據(jù)預(yù)先設(shè)定的XYe方向來(lái)控制控制馬達(dá)5做不同角度的轉(zhuǎn)換變化同 時(shí)參見(jiàn)圖2所示的小坐標(biāo)軸示意圖,沿X方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的走行軸為X方向 走行軸3,沿Y方向運(yùn)動(dòng)時(shí)的運(yùn)動(dòng)時(shí)的走行軸為Y方向走行軸4,而e軸 6的轉(zhuǎn)動(dòng)方向可以用Y、 Z的值來(lái)確定;進(jìn)而,檢測(cè)裝置6將顯微裝置 30與取像單元40將所取得到的圖像與存儲(chǔ)裝置70中的一標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差 范圍值進(jìn)行比較,獲得檢測(cè)結(jié)果。上述檢測(cè)裝置60通過(guò)獲得檢測(cè)結(jié)果的過(guò)程由兩個(gè)步驟構(gòu)成:步驟1: 獲得標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值,并將其存入存儲(chǔ)裝置70中,步驟2:將待測(cè) 基板的灰度誤差值與該標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值進(jìn)行比較。步驟1詳述如下標(biāo)準(zhǔn)片在此處定義為經(jīng)過(guò)其他技術(shù)確認(rèn)后,無(wú)任何瑕疵點(diǎn)與水波 紋缺陷的膜片;標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值的取得過(guò)程為①.首先取10片標(biāo)準(zhǔn)片。(g).然 后對(duì)這10片標(biāo)準(zhǔn)片中的其中一片進(jìn)行灰度值測(cè)量,其步驟為a.混光 鏡頭模塊300的(R、 G、 B)點(diǎn)光源,依序調(diào)整,調(diào)配出所需要的色光,通過(guò)混光板29,將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)換為面光源形式輸出;b.將被選出的標(biāo)準(zhǔn)片的像素分成N個(gè)區(qū)域,分別照射這些區(qū)域;在每一個(gè)被照射區(qū)域中,將每一個(gè)像素的灰度值讀出,并通過(guò)該數(shù)學(xué)式設(shè)定該標(biāo)準(zhǔn)片所允許的灰度誤差值為L(zhǎng) (j) ^E(i)^L (j+5) ,i=l N;j=0 250,其中該灰度值用L (j)表示,j表示照射該區(qū)域的色光的RGB值,以得到該片標(biāo)準(zhǔn)片的灰 度誤差值。③.重復(fù)步驟②,獲得這10片標(biāo)準(zhǔn)片的灰度誤差值。④.將 多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)片所獲得的灰度誤差值,作為標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值。在實(shí)際使用中,TFT面板內(nèi)部的電路圖案可分成兩種設(shè)計(jì),當(dāng)取像 單元對(duì)這兩種不同的電路圖案進(jìn)行取像時(shí),所得圖像的灰度數(shù)據(jù)會(huì)有差 別,因此,獲取標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍時(shí),需要區(qū)分電路圖案的設(shè)計(jì),其過(guò) 程參見(jiàn)圖4和圖5:如圖4所示,獲得標(biāo)準(zhǔn)灰度范圍值的過(guò)程為步驟501,取10片待測(cè)基板,分別對(duì)每片進(jìn)行取像和灰度值測(cè)量;步驟502,計(jì)算獲得每片的灰度誤差值,灰度誤差值定義為L(zhǎng) (j) ^E(i)^L (j+5) ,i=l N;j=0 250,其中排除變異數(shù)大於灰階差異值5以 上之資料,當(dāng)成比對(duì)之允許灰階誤差值;步驟503,將多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)片所獲得的灰度誤差值,作為標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范 圍值,標(biāo)準(zhǔn)片灰階誤差範(fàn)圍讀取與記憶即可完成。如圖5所示,獲得每片標(biāo)準(zhǔn)片的灰度誤差值的過(guò)程為步驟504,對(duì)混光鏡頭模塊300的三原色(RGB)點(diǎn)光源主體27進(jìn)行 依序變換(如依序?yàn)镽, G B, RQ RB, GB, RGB,W等8種),以調(diào)配出相對(duì) 二次色,通過(guò)混光板,將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)換為面光源形式輸出;步驟505,選定預(yù)測(cè)產(chǎn)品設(shè)計(jì)圖案的標(biāo)準(zhǔn)片,將像素分成N個(gè)區(qū)域分別照射這些區(qū)域;步驟506,在每一個(gè)處理區(qū)域中,將每一個(gè)像素的灰度值L (j)讀出;步驟507,設(shè)定該標(biāo)準(zhǔn)片所允許的灰度誤差范圍E(i):為L(zhǎng) (j) ■ E(i)^L (j+5) ,i=l N;j=0 250,通過(guò)該數(shù)學(xué)式處理所獲得灰度值,得到 該片標(biāo)準(zhǔn)片的灰度誤差值。接著,將待測(cè)基板的灰度誤差值與該標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值進(jìn)行比較 的詳細(xì)過(guò)程參見(jiàn)圖6:步驟508,利用混光鏡頭模塊300輸出至少一種色光照射待測(cè)基板;步驟509,使用取像單元讀取該待測(cè)基板的電路圖案圖像,將取得的 圖像分成N個(gè)處理區(qū)域;步驟510,在每一個(gè)特定處理區(qū)域中,將每個(gè)像素的灰度值讀出。但 因?yàn)橐话鉚FT面板內(nèi)部電路圖案大約可分類成電容在共享線(Cs on common line)與電容在閘極線(Cs on gate line)兩種設(shè)計(jì),差異在于電容儲(chǔ) 存供應(yīng)方式不同,故當(dāng)取像單元40攝取此兩種不同電路圖案時(shí),所得影像 與光灰階數(shù)據(jù)會(huì)有差異,傳送至控制裝置50的灰階值亦不相同;步驟511,求得所有N個(gè)區(qū)域之「灰階誤差範(fàn)圍」E(1) E(N)之后, e.於所有的灰階誤差範(fàn)圍值取得後,算出其統(tǒng)計(jì)分布、標(biāo)準(zhǔn)差、變異數(shù) 值,判斷待測(cè)基板的處理區(qū)域內(nèi)的每個(gè)像素的灰度值的灰度誤差范圍值 是否處于標(biāo)準(zhǔn)灰度范圍值之外;步驟512,如果有處于標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外的灰度誤差范圍值, 則統(tǒng)計(jì)該處于標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外的灰度誤差范圍值并顯示其像素 或區(qū)域以作為缺陷區(qū)域。亦即將所有E(i)其值比對(duì)標(biāo)準(zhǔn)片於所有統(tǒng)計(jì)分 佈中距整體平均值超過(guò)某特定標(biāo)準(zhǔn)差數(shù)量或其它統(tǒng)計(jì)方式之近似範(fàn)圍之外者特別挑出,其相對(duì)的區(qū)域即為有瑕疵之缺陷區(qū)域而被認(rèn)定為有顯示品質(zhì)異常者。將一或數(shù)個(gè)異常區(qū)域之點(diǎn)位(gate line或data line)位置報(bào)出 並記憶於指定資料庫(kù)檔案中,即可準(zhǔn)確的指出顯示品質(zhì)異常處者。上述步驟508和步驟509中,利用混光鏡頭模塊300輸出至少一種 色光至待測(cè)基板10后,取像單元40即將讀取的待測(cè)基板10的數(shù)據(jù)通過(guò) 控制裝置50傳送至檢測(cè)裝置60,之后,控制裝置50控制混光鏡頭模塊 300可以輸出另一種不同的色光至待測(cè)基板10作檢測(cè)。綜上所述,雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭露如上,但該較佳實(shí)施例 并非用以限制本發(fā)明,該領(lǐng)域的普通技術(shù)人員,在不脫離本發(fā)明的精神 和范圍內(nèi),均可作各種更動(dòng)與潤(rùn)飾,因此本發(fā)明的保護(hù)范圍以權(quán)利要求 界定的范圍為準(zhǔn)。
      權(quán)利要求
      1.一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,用于檢測(cè)電子式顯示器之基板,其至少包括平臺(tái),用來(lái)承載基板,以及取像單元,其特征在于該顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置還包括控制馬達(dá),用來(lái)調(diào)整平臺(tái)作不同旋轉(zhuǎn)角度及不同軸向的變化;混光鏡頭模塊,用來(lái)產(chǎn)生一混光光源輸出至基板以供取像單元自基板讀取圖像數(shù)據(jù);檢測(cè)裝置,用來(lái)判斷取像單元取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差異大?。患耙豢刂蒲b置用來(lái)控制檢測(cè)裝置、控制馬達(dá)、混光鏡頭模塊及取像單元。
      2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述基 板為一薄膜晶體管陣列基板。
      3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述取 像單元為CCD電子顯微攝像機(jī)。
      4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述取 像單元為CMOS數(shù)字?jǐn)z像機(jī)。
      5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述混 光鏡頭模塊還包括具有各種不同色光的發(fā)光二極管點(diǎn)光源、偏光鏡及混 光板。
      6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述檢 測(cè)裝置包括一數(shù)據(jù)存儲(chǔ)裝置,其至少存儲(chǔ)一標(biāo)準(zhǔn)的灰度值用來(lái)與取像單 元自基板讀出圖像數(shù)據(jù)作比對(duì)以供檢測(cè)裝置判斷灰度差異。
      7. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述檢 測(cè)裝置還包括用以寫入不同算法的可擦除式模塊,所述算法用來(lái)判斷取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差異大小。
      8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置,其特征在于所述控 制裝置根據(jù)需求而使待測(cè)基板顯示不同色彩和灰度的圖像。
      9. 一種顯示質(zhì)量檢測(cè)方法,用于檢測(cè)電子式顯示器之基板,其特征 在于該顯示質(zhì)量檢測(cè)方法包括下列步驟利用光源照射一待測(cè)基板;使用取像單元讀取待測(cè)基板的圖案圖像,將取得的圖像按照分成若 干個(gè)處理區(qū)域;檢測(cè)裝置在每一個(gè)特定處理區(qū)域中,將每個(gè)像素的灰度值讀出; 判斷待測(cè)基板的處理區(qū)域內(nèi)的每個(gè)像素的灰度值的灰度誤差范圍值是否處于至少一預(yù)存的標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外;及如果有處于標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外的灰度誤差范圍值,則檢測(cè)裝置統(tǒng)計(jì)該處于標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值之外的灰度誤差范圍值并顯示其像素或區(qū)域以作為缺陷區(qū)域。
      10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)方法,其特征在于還包 括下列步驟利用具有各種不同色光的發(fā)光二極管點(diǎn)光源發(fā)出至少一個(gè) 色光構(gòu)成的光源以輸出至待測(cè)基板。
      11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)方法,其特征在于利用 發(fā)光二極管點(diǎn)光源照射至少其中一種色光或多種混光色光至待測(cè)基板 后,取像單元讀取的待測(cè)基板的數(shù)據(jù)通過(guò)一控制裝置傳送至檢測(cè)裝置。
      12. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的顯示質(zhì)量檢測(cè)方法,其特征在于所述 標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值的取得過(guò)程包括如下步驟使用點(diǎn)光源對(duì)多片標(biāo)準(zhǔn)片中的每一片進(jìn)行灰度值測(cè)量,并依序調(diào)整,調(diào)配出所需要的色光,通過(guò)混光板,將點(diǎn)光源轉(zhuǎn)換為面光源形式輸出;將被選出的標(biāo)準(zhǔn)片的像素分成N個(gè)區(qū)域,分別照射這些區(qū)域;在每一個(gè)被照射區(qū)域中,將每一個(gè)像素的灰度值讀出,并通過(guò)該數(shù)學(xué)式設(shè)定該標(biāo)準(zhǔn)片所允許的灰度誤差值為L(zhǎng) (j) ^E(i)^L (j+5) , i=l N; j=0~250, 其中該灰度值用L (j)表示,j表示照射該區(qū)域的色光的RGB值,以 得到這每一片標(biāo)準(zhǔn)片的灰度誤差值,及將多數(shù)標(biāo)準(zhǔn)片所獲得的灰度誤差值,作為標(biāo)準(zhǔn)灰度誤差范圍值。
      全文摘要
      本發(fā)明提供一種顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置包括平臺(tái),用來(lái)承載基板;取像單元;控制馬達(dá),用來(lái)調(diào)整平臺(tái)作不同旋轉(zhuǎn)角度及不同軸向的變化;混光鏡頭模塊,用來(lái)產(chǎn)生一混光光源輸出至基板以供取像單元自基板讀取圖像數(shù)據(jù);檢測(cè)裝置,用來(lái)判斷取像單元取得的圖像數(shù)據(jù)中的灰度差異大小的;及控制裝置,用來(lái)控制檢測(cè)裝置、控制馬達(dá)、混光鏡頭模塊及取像單元。本發(fā)明顯示質(zhì)量檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法可以檢測(cè)基板所具有的缺陷,應(yīng)用混光光源以及平臺(tái)控制馬達(dá),提高了檢測(cè)精度;將圖像和灰度信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào),通過(guò)計(jì)算機(jī)技術(shù)處理數(shù)據(jù),避免了人眼判斷可能帶來(lái)的誤差。
      文檔編號(hào)G01N21/88GK101251658SQ20081008114
      公開(kāi)日2008年8月27日 申請(qǐng)日期2008年3月12日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月12日
      發(fā)明者施宏偉 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司
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