專利名稱：評(píng)估物體的方法和系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明主要涉及用于微制造、平板顯示器、微電子機(jī)械(MEM)器件等 等的諸如晶圓、掩?；蜓谀０娴奈矬w的自動(dòng)檢測(cè)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
在過去的幾十年中，對(duì)于檢測(cè)微觀制造缺陷的缺陷檢測(cè)已經(jīng)成為尤其是用 于半導(dǎo)體晶圓的微加工制造流程的標(biāo)準(zhǔn)部分。
適宜于極有可能發(fā)現(xiàn)多種類型缺陷的各種檢測(cè)技術(shù)通常應(yīng)用于半導(dǎo)體制 造流程的多個(gè)步驟中。檢測(cè)的經(jīng)濟(jì)效益己經(jīng)非常顯著并且一般認(rèn)為檢測(cè)技術(shù)對(duì) 20世紀(jì)九十年代出現(xiàn)的半導(dǎo)體晶圓制造領(lǐng)域的顯著增長(zhǎng)有重要貢獻(xiàn)。
檢測(cè)系統(tǒng)被應(yīng)用于大量的不同應(yīng)用中，所述應(yīng)用包括當(dāng)制造流程中的特定 工藝步驟具有超過在該步驟正常預(yù)期水平的增加的缺陷密度時(shí)，對(duì)標(biāo)記監(jiān)控的 工藝；通過檢測(cè)稱為短循環(huán)晶圓來解決問題，所述晶圓僅用制造工藝步驟的子 集進(jìn)行處理從而有助于故障檢修和診斷或者優(yōu)化工藝步驟的特定子集以及在 工藝發(fā)展期間，使得優(yōu)化新的制造工藝來減少或消除工藝特有的或系統(tǒng)缺陷機(jī) 制。
用于構(gòu)圖的晶圓檢測(cè)的晶圓檢測(cè)系統(tǒng)通常工作如下所述。高功率顯微鏡， 傳統(tǒng)為光學(xué)顯微鏡，或最近常用的SEM (掃描電子顯微鏡)或電子顯微鏡， 設(shè)置為受計(jì)算機(jī)控制以順序獲取物體的區(qū)域的圖像，所述物體諸如用于微加 工、平板顯示器、微電子機(jī)械(MEM)器件等等制造期間或之后的包括以小 塊(dice)排列的多個(gè)集成電路的晶圓、掩模或掩模版。
以這種方式獲取的圖像或?qū)Ρ葦?shù)據(jù)隨后與參考數(shù)據(jù)相比較。在參考圖像和 獲取圖像之間存在差別處發(fā)現(xiàn)或檢測(cè)到缺陷。參考圖像可從如常在掩模或掩模 版檢測(cè)時(shí)的計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)(CAD)數(shù)據(jù)得出。另外地或可選地，參考圖像可 簡(jiǎn)化緊鄰單元或晶圓上芯片或被處理的相似晶圓的圖像。對(duì)小缺陷的缺陷檢測(cè) 工藝靈敏度可通過調(diào)整圖像獲取參數(shù)諸如像素尺寸、對(duì)比度、亮度、充電和偏置條件等，以及用于比較所獲取的檢測(cè)圖像和參考圖像的圖像處理參數(shù)來控 物體諸如晶圓可包括重復(fù)區(qū)域，其包括許多重復(fù)的結(jié)構(gòu)元件，諸如存儲(chǔ)單
元(諸如靜態(tài)存儲(chǔ)器(SRAM)、動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器(DRAM)、鐵電存儲(chǔ)器(FRAM)、 閃存)。重復(fù)區(qū)域還可包括重復(fù)的結(jié)構(gòu)元件可編程邏輯單元諸如包含在可編程 邏輯器件(PLA)、可編程邏輯電路(PLD)中的可編程邏輯單元。其他物體 諸如MEM顯示器和平板顯示器可包括重復(fù)區(qū)域。
典型地，包括在相同重復(fù)區(qū)域內(nèi)的理想相同的結(jié)構(gòu)元件(稱為單元)相互 比較或與所謂的"黃金單元(golden cell)"相比較。兩種類型的比較稱為單 元與單元比較。
存儲(chǔ)陣列通常由非重復(fù)區(qū)域圍繞。這些非重復(fù)區(qū)域通常利用所謂的芯片與 芯片比較來相互比較。
芯片與芯片比較涉及將一個(gè)芯片的圖像信息與另一芯片的圖像信息相比
較。本技術(shù)領(lǐng)域已知芯片與芯片比較由于其減小的靈敏性因此對(duì)缺陷的敏感度
顯著低于單元與單元比較。后者優(yōu)于芯片與芯片比較，原因在于其對(duì)工藝變化、
顏色變化(當(dāng)應(yīng)用光場(chǎng)技術(shù)時(shí)以及當(dāng)局部透明層設(shè)置在單元上時(shí)發(fā)生的現(xiàn)象)，
以及對(duì)光圖像采集(和/或照射)過程的變化不太敏感。這些變化可包括輻射
強(qiáng)度變化、光行差;焦距不準(zhǔn)，傳感器飽和、傳感器陣列不均勻、不對(duì)準(zhǔn)等等。 盡管單元與單元比較具有一些優(yōu)點(diǎn)。其對(duì)靠近重復(fù)區(qū)域邊緣的單元的圖像
信息的采集和與重復(fù)區(qū)域的邊緣隔開的單元的圖像信息的采集之間的區(qū)別作 出響應(yīng)。注意到由于用于照射區(qū)域的輻射的較寬能量分布以及當(dāng)照射靠近陣列 的邊緣的結(jié)構(gòu)元件時(shí)產(chǎn)生通過空間頻率濾波器的圖案信息，因此特定的結(jié)構(gòu)元 件的圖形信息可能受特定結(jié)構(gòu)元件的圍繞物影響。典型地，所述空間頻率濾波 器適于阻擋重復(fù)結(jié)構(gòu)元件陣列的干涉波瓣。非重復(fù)區(qū)域可改變干涉波瓣的位 置，從而圖像信息可通過這些空間頻率濾波器。
圖1示出現(xiàn)有技術(shù)晶圓的區(qū)域8。多個(gè)存儲(chǔ)單元陣列10-18由垂直縫(以 V表示)和水平縫(以"H縫"20-30表示)圍繞。在通常實(shí)施的混合比較過 程期間，每個(gè)陣列內(nèi)的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與相同陣列內(nèi)的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件 的圖像信息相比較，而垂直縫的圖像信息與另一芯片的垂直縫的圖像信息相比 較。這種混合比較過程具有以上所述的芯片與芯片比較的缺點(diǎn)和單元與單元比較的缺點(diǎn)。
越來越需要提供可評(píng)估物體的改進(jìn)的系統(tǒng)、方法和計(jì)算t幾程序產(chǎn)品。

發(fā)明內(nèi)容
一種用于評(píng)估物體的方法，該方法包括(i)獲得物體的區(qū)域的圖像； 其中該區(qū)域包括至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié) 構(gòu)元件；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同；其中非 重復(fù)區(qū)域以重復(fù)方式排列；以及(ii)響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰第一 子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中第一子區(qū)域 包括第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其中第二子區(qū)域包括第二陣 列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重復(fù)區(qū)域。
一種用于評(píng)估物體的系統(tǒng)；該系統(tǒng)包括適于存儲(chǔ)物體的區(qū)域的圖像的存 儲(chǔ)單元；其中該區(qū)域包括多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件，其至少部分由至少一組非 重復(fù)區(qū)域圍繞；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同； 其中非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)方式排列；以及處理器，其適于響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像 信息與緊鄰第一子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果； 其中第一子區(qū)域包括第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其中第二子 區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重復(fù)區(qū)域。
計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其包括具有計(jì)算機(jī)可讀程序的計(jì)算機(jī)可使用介質(zhì)，其中 計(jì)算機(jī)可讀程序，當(dāng)在計(jì)算機(jī)上執(zhí)行時(shí)，使得計(jì)算機(jī)接收物體的區(qū)域的圖像; 其中該區(qū)域包括多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件，其至少部分由至少一組非重復(fù)區(qū)域 圍繞；屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同；其中非重復(fù)區(qū) 域以重復(fù)方式排列；以及響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰第一子區(qū)域的第二 子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中第一子區(qū)域包括第一陣列 的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域;其中第二子區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu) 元件和第二非重復(fù)區(qū)域。


為了理解本發(fā)明并說明實(shí)際如何實(shí)施，將僅通過非限制實(shí)施例的方式，參 照附圖描述實(shí)施方式，其中圖1示出晶圓的區(qū)域；
圖2示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的兩個(gè)子區(qū)域； 圖3示出根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式的兩個(gè)子區(qū)域； 圖4示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的方法； 圖5示出根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式的方法；以及 圖6示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的系統(tǒng)。
具體實(shí)施例方式
一種用于為微加工、平板顯示器、微電子機(jī)械(MEM)器件等等制造期 間或之后來評(píng)估物體，諸如晶圓、掩?；蜓谀０娴姆椒ā⑾到y(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)
P
叩o
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式子區(qū)域被限定。每個(gè)子區(qū)域包括重復(fù)的結(jié)構(gòu)元件陣 列。該重復(fù)的結(jié)構(gòu)元件陣列由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞。屬于單一組非重復(fù)區(qū) 域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同。非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)方式排列。取代芯片與 芯片比較，該方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品應(yīng)用其他比較。該比較在屬于彼此 緊鄰的子區(qū)域(通常屬于相同芯片)的多個(gè)非重復(fù)區(qū)域的圖像信息之間進(jìn)行。 這種類型的比較由于較少受工藝變化、顏色變化或圖像采集條件變化的影響而 更可靠。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，取代重復(fù)圖案陣列的一個(gè)結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與 相同陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的另一結(jié)構(gòu)元件的圖像信息比較，第一子區(qū)域的重復(fù) 結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與第二子區(qū)域的對(duì)應(yīng)重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的圖像信息比較。這種 比較克服了比較誤差，該誤差由將位于重復(fù)結(jié)構(gòu)元件陣列的邊緣附近的結(jié)構(gòu)元 件的圖像信息與遠(yuǎn)離重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的陣列的邊緣的結(jié)構(gòu)元^^的圖像信息比較 引起。
根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，重復(fù)元件的陣列分離為內(nèi)部分和外部分。外 部分可定位在內(nèi)部分和圍繞重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的陣列的非重復(fù)區(qū)域之間。該內(nèi)部分 包括結(jié)構(gòu)元件，其被選擇使得它們的圖像信息不受非重復(fù)區(qū)域影響而外部分的 結(jié)構(gòu)元件的圖像信息可能受非重復(fù)區(qū)域影響。重復(fù)結(jié)構(gòu)元件陣列的內(nèi)部分內(nèi)的 結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與相同內(nèi)部分內(nèi)的其他結(jié)構(gòu)元件的圖像信息比較。屬于特 定子區(qū)域的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件陣列的外部分內(nèi)的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與屬于另一子區(qū)域的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件另一陣列的外部分內(nèi)的結(jié)構(gòu)元件的^t應(yīng)圖像信息相比較。
除非另外說明，術(shù)語(yǔ)諸如"第一"和"第二"用于任意區(qū)別所述術(shù)語(yǔ)描述 的元件。因此，這些術(shù)語(yǔ)不意在指出所述元件的時(shí)間或其他優(yōu)先次序。
除非另外說明，術(shù)語(yǔ)"對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)元件"意指屬于不同子區(qū)域的結(jié)構(gòu)元件， 該不同子區(qū)域關(guān)于它們所屬的子區(qū)域的邊界而實(shí)質(zhì)上定位在相同位置處。
術(shù)語(yǔ)"圖像信息"意指描述在圖像的光采集期間獲得的信息。該信息通常 包括一個(gè)或多個(gè)灰階像素，但這不是必須的。注意圖像信息可通過利用成像鏡 片或不成像鏡片而獲得。圖像信息可在與其他圖像信息比較前進(jìn)行數(shù)字處理 (例如通過應(yīng)用濾波器)。
圖2示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的兩個(gè)子區(qū)域。第一子區(qū)域的圖像信息與 第二子區(qū)域的對(duì)應(yīng)圖像信息相比較。圖2示出連續(xù)的子區(qū)域。注意圖像信息比 較可在彼此緊鄰的子區(qū)域之間進(jìn)行，即使這些子區(qū)域彼此隔開。參照?qǐng)D1描述 的實(shí)施例，包括陣列10和水平縫20的子區(qū)域可與包括陣列18和水平縫27 的另一子區(qū)域相比較。注意第一子區(qū)域的圖像信息可與表示多個(gè)其他子區(qū)域的 信息相比較。這可包括第一子區(qū)域的信息與多個(gè)其他子區(qū)域的平均(或其他統(tǒng) 計(jì)或統(tǒng)計(jì)相關(guān)函數(shù))的比較。
如果這些區(qū)域之間由于工藝變化引起的預(yù)期變化低于牛寺定的工藝變化閾 值，兩個(gè)子區(qū)域可認(rèn)為緊鄰。另外地或可選地，如果顏色變化、光圖像采集和 /或照射過程的時(shí)間變化對(duì)比較過程的影響低于特定閾值，則兩個(gè)子區(qū)域可認(rèn) 為緊鄰。這些閾值的每個(gè)可由用戶、評(píng)估工具操作者或物體制造商響應(yīng)不同參 數(shù)諸如要求的靈敏度、要求的信噪比，期望的待檢測(cè)缺陷等等來設(shè)定。如果這 些子區(qū)域之間的距離不超過芯片的長(zhǎng)度(或?qū)挾?的一小部分，則通常子區(qū)域 認(rèn)為彼此緊鄰。
圖4示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式用于評(píng)估物體的方法100。 方法100開始于步驟110，獲得物體的區(qū)域的圖像；其中該區(qū)域包括至少 部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的多個(gè)陣列。屬于單一組的 非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同。非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)的方式排列。 注意該區(qū)域可比芯片小得多，可包括一個(gè)或多個(gè)小塊(dice)等等。 參照?qǐng)D2描述的實(shí)施例，重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的陣列是陣列IO和陣列13。第一組的非重復(fù)區(qū)域包括水平縫20、23和26，而第二組非重復(fù)區(qū)域包括垂直縫(以 V表示)。
步驟IIO可包括光學(xué)(包括使用電子光學(xué))獲得這些圖像，或者表示這些 圖像等等的圖像信息。注意區(qū)域，諸如圖1的區(qū)域8的圖像可涉及采集區(qū)域8 的各部分的圖像并生成合成圖像，其包括多個(gè)獨(dú)立光學(xué)采集圖像的部分。另外， 注意圖像的光學(xué)采集可能需要對(duì)準(zhǔn)。當(dāng)每個(gè)子區(qū)域完成對(duì)準(zhǔn)時(shí)，對(duì)準(zhǔn)通常更容 易(以及花費(fèi)更少時(shí)間)。注意圖像的各部分的光學(xué)獲得的圖像可能部分覆蓋 從而補(bǔ)償圖像的光學(xué)采集相關(guān)的各種未對(duì)準(zhǔn)問題。另外，注意區(qū)域8的圖像可 在采集該區(qū)域的多個(gè)圖像并處理這些圖形后生成(例如，通過求和這些圖像從 而平均隨機(jī)噪音)。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將理解該圖像可通過^f吏用單色輻射、帶 電粒子束、寬帶輻射、脈沖光源、連續(xù)光源等等而采集。
步驟IIO后接著歩驟130，響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰第一子區(qū)域 的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較而提供評(píng)估結(jié)果。第一子區(qū)域包括第一陣 列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域。第二子區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元 件和第二非重復(fù)區(qū)域。注意每個(gè)子區(qū)域可包括一個(gè)或多個(gè)非重復(fù)區(qū)域的一個(gè)或 多個(gè)部分。
合宜地，步驟130包括步驟132、 134和136中至少一個(gè)步驟。
步驟132包括第一子區(qū)域的圖像信息和第二子區(qū)域的圖像信息之間的比 較，其中第一子區(qū)域包括第一陣列的存儲(chǔ)單元以及第一非重復(fù)區(qū)域包括第一 縫。第二子區(qū)域包括第二陣列的存儲(chǔ)單元以及第二非重復(fù)區(qū)域包括第二縫。圖 2提供所述子區(qū)域的實(shí)施例。
步驟134包括比較不同子區(qū)域的對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)元件的圖像信息。每個(gè)結(jié)構(gòu)元件 定位在關(guān)于包括該結(jié)構(gòu)元件的子區(qū)域的邊界的實(shí)質(zhì)上相同位置處。步驟134 包括，例如(i)將屬于第一子區(qū)域且不靠近它們陣列的邊緣定位的重復(fù)結(jié) 構(gòu)元件的圖像信息與不靠近另一陣列的邊緣定位的第二子區(qū)域的對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)元 件相比較，以及(ii)將第一子區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與第 二子區(qū)域的另一非重復(fù)區(qū)域的對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)元件相比較。
步驟136包括將靠近第一陣列的邊緣的結(jié)構(gòu)元件的圖《象信息和靠近第二 陣列的對(duì)應(yīng)邊緣的對(duì)應(yīng)元件的圖像信息相比較。注意步驟134可認(rèn)為包括步驟 136，但這不是必須的。圖3示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的兩個(gè)子區(qū)域。
圖3示出陣列10和13中每個(gè)陣列分配到內(nèi)部分(分別為10 (1)和13 (1))和外部分(分別為10 (3)和13 (3))。外區(qū)域包括結(jié)構(gòu)元件，它們 的圖像信息受圍繞其陣列的一個(gè)或多個(gè)非重復(fù)區(qū)域影響(至少大于特定閾值)。 內(nèi)部區(qū)域包括結(jié)構(gòu)元件，它們的圖像信息不受非重復(fù)區(qū)域的影響(或影響低于 特定閾值)。注意閾值可以表示單元與單元比較的特征和子區(qū)域與子區(qū)域比較 的特征之間的平衡。
圖5示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的方、法200。
方法200開始于步驟110，獲得物體的區(qū)域的圖像；其中該區(qū)域包括重復(fù) 結(jié)構(gòu)元件的多個(gè)陣列，該重復(fù)結(jié)構(gòu)元件至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍 繞。屬于單一組的非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同；其中非重復(fù)區(qū) 域以重復(fù)的方式排列。
步驟110之后是步驟144和146。這些步驟可彼此并行地執(zhí)行，但為簡(jiǎn)化 說明，圖5示出步驟144之后為步驟146。
步驟144包括將包含在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的第一重復(fù) 元件的圖像信息與包含在第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的對(duì)應(yīng)重復(fù)元 件的圖像信息相比較。第一陣列屬于第一子區(qū)域以及第二陣列屬于第二子區(qū) 域。第一和第二子區(qū)域彼此緊鄰。
步驟146包括將包含在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的第一重復(fù) 元件的圖像信息與包含在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的另一重復(fù)元 件的圖像信息相比較。
步驟146后是步驟148，其響應(yīng)步驟144和146的至少其中一個(gè)比較來提 供評(píng)估結(jié)果。
圖6示出根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式的系統(tǒng)300。
系統(tǒng)300包括存儲(chǔ)單元320、處理器310和圖像采集單元330。系統(tǒng)300 可從包括圖像采集單元的檢測(cè)工具來光學(xué)獲得區(qū)域的圖像或可接收?qǐng)D像(或表 示所述圖像的信息)。
存儲(chǔ)單元320適于存儲(chǔ)物體的區(qū)域的圖像。該區(qū)域包括至少部分地由至少 一組非重復(fù)區(qū)域圍的多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件；其中屬于單一組的非重復(fù)區(qū)域 的非重復(fù)區(qū)域理想地彼此相同；其中非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)的方式排列。處理器310適于響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰第一子區(qū)域的第二子 區(qū)域的圖像信息的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中第一子區(qū)域包括第一陣列的重復(fù) 結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其中第二子區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和
第二非重復(fù)區(qū)域。
合宜地，處理器310適于將第一子區(qū)域的圖像信息與第二子區(qū)域的圖像信 息相比較；其中第一子區(qū)域包括第一陣列的存儲(chǔ)單元以及第一非重復(fù)區(qū)域包括 第一縫；其中第二子區(qū)域包括第二陣列的存儲(chǔ)單元和包括第二縫的第二非重復(fù) 區(qū)域。
合宜地，處理器310適于將不同子區(qū)域的不同結(jié)構(gòu)元件的圖像信息比較， 其中每個(gè)結(jié)構(gòu)元件定位在相對(duì)于包括該結(jié)構(gòu)元件的子區(qū)域的邊界的實(shí)質(zhì)上相 同位置處。
合宜地，處理器310適于將靠近第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件邊緣的結(jié)構(gòu)元件 的圖像信息與靠近第二陣列的對(duì)應(yīng)邊緣的對(duì)應(yīng)元件的圖像信息相比較。
合宜地，處理器310適于將包括在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的 第一重復(fù)元件的圖像信息與包括在第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的對(duì) 應(yīng)重復(fù)元件的圖像信息相比較。
合宜地，處理器310適于將包含在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的 第一重復(fù)元件的圖像信息與包含在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的另 一重復(fù)元件的圖像信息相比較。
合宜地，提供一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品。其包括具有計(jì)算機(jī)可讀程序的計(jì)算機(jī) 可用介質(zhì)，其中該計(jì)算機(jī)可讀程序，當(dāng)在計(jì)算機(jī)上執(zhí)行時(shí)，使計(jì)算機(jī)接收物 體的區(qū)域的圖像；其中該區(qū)域包括至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的多 個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼 此相同；其中非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)方式排列；以及響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與 靠近第一子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中第 一子區(qū)域包括第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其中第二子區(qū)域包 括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重復(fù)區(qū)域。
合宜地，計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品使得計(jì)算機(jī)將第一子區(qū)域的圖像信息與第二子區(qū) 域的圖像信息比較；其中第一子區(qū)域包括第一陣列的存儲(chǔ)單元以及第一非重復(fù) 區(qū)域包括第一縫；其中第二子區(qū)域包括第二陣列的存儲(chǔ)單元和包括第二縫的第二非重復(fù)區(qū)域。
合宜地，計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品使得計(jì)算機(jī)比較不同子區(qū)域的不同結(jié)構(gòu)元件的圖 像信息；其中每個(gè)結(jié)構(gòu)元件定位在相對(duì)于包括結(jié)構(gòu)元件的子區(qū)域的邊界的實(shí)質(zhì) 上相同位置處。
合宜地，計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品使得計(jì)算機(jī)將靠近第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的邊 緣的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與靠近第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的對(duì)應(yīng)邊緣的對(duì)應(yīng) 元件的圖像信息相比較。
合宜地，計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品使得計(jì)算機(jī)將包括在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的 外部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包括在第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外 部分中的對(duì)應(yīng)重復(fù)元件的圖像信息相比較。
合宜地，計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品使得計(jì)算機(jī)將包括在第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的 內(nèi)部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包括在第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi) 部分中的另一重復(fù)元件的圖像信息相比較。
注意雖然以上正文涉及兩個(gè)子區(qū)域的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息之間的比較，但 可實(shí)施超過兩個(gè)不同子區(qū)域的結(jié)構(gòu)元件之間的多個(gè)比較。例如，如果兩個(gè)子區(qū) 域的兩個(gè)理想地相同的對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)元件的圖像信息之間存在差別，則可進(jìn)行至少 一個(gè)額外比較，從而確定被比較的該兩個(gè)理想相同的對(duì)應(yīng)結(jié)構(gòu)元件中的哪個(gè)結(jié) 構(gòu)元件為缺陷的。
進(jìn)一步注意到該方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品可作必要的修正用于子區(qū)域 的圖像信息與"黃金"子區(qū)域的圖像信息之間的比較。因此，第一子區(qū)域的圖 像信息可與第二子區(qū)域的圖像信息相比較。
本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將容易理解不同的修改和變化可應(yīng)用于如以上所 述的本發(fā)明的實(shí)施方式，而不偏離所附權(quán)利要求書限定的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種用于評(píng)估物體的方法；該方法包括獲得物體的區(qū)域的圖像；其中該區(qū)域包括至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同；其中非重復(fù)區(qū)域以相同方式排列；以及響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰該第一子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中所述第一子區(qū)域包括第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其中所述第二子區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重復(fù)區(qū)域。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括比較所述第一子區(qū)域 的圖像信息與第二子區(qū)域的圖像信息；其中所述第一子區(qū)域包括第一陣列存儲(chǔ) 單元以及第一非重復(fù)區(qū)域包括第一縫；其中所述第二子區(qū)域包括第二陣列的存 儲(chǔ)單元和包括第二縫的第二非重復(fù)區(qū)域。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括比較不同子區(qū)域的不 同結(jié)構(gòu)元件的圖像信息；其中每個(gè)結(jié)構(gòu)元件定位在相對(duì)于包括該結(jié)構(gòu)元件的子 區(qū)域的邊界的實(shí)質(zhì)上相同位置處。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括比較靠近所述第一陣 列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的邊緣的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與靠近所述第二陣列的重復(fù) 結(jié)構(gòu)元件的對(duì)應(yīng)邊緣的對(duì)應(yīng)元件的圖像信息。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括比較包含在所述第一 陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包括在所述第 二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的對(duì)應(yīng)重復(fù)元件的圖像信息。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，包括比較包含在所述第一 陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包含在所述第 一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的另一重復(fù)元件的圖像信息。
7. —種用于評(píng)估物體的系統(tǒng)；該系統(tǒng)包括適于存儲(chǔ)所述物體的區(qū)域的 圖像的存儲(chǔ)單元；其中該區(qū)域包括至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的多 個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼 此相同；其中所述非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)的方式排列；以及處理器，其適于響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰所述第一子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的 比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中所述第一子區(qū)域包括第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第 一非重復(fù)區(qū)域；其中所述第二子區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重 復(fù)區(qū)域。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器適于比較所述 第一區(qū)域的圖像信息與第二子區(qū)域的圖像信息；其中所述第一子區(qū)域包括第一 陣列的存儲(chǔ)單元以及第一非重復(fù)區(qū)域包括第一縫；其中所述第二子區(qū)域包括第 二陣列的存儲(chǔ)單元和包括第二縫的第二非重復(fù)區(qū)域。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器適于比較不同 子區(qū)域的不同結(jié)構(gòu)元件的圖像信息；其中每個(gè)結(jié)構(gòu)元件定位在相對(duì)于包括該結(jié) 構(gòu)元件的子區(qū)域的邊緣的實(shí)質(zhì)上相同位置處。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器適于比較靠近 所述第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的邊緣的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與靠近所述第二 陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的對(duì)應(yīng)邊緣的對(duì)應(yīng)元件的圖像信息。
11. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器適于比較包含在所述第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包含在所述第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的對(duì)應(yīng)重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的圖像信 阜/E、 o
12. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器適于比較包含 在所述第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包 含在所述第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的另一重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的圖像信 息。
13. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的系統(tǒng)，其特征在于，包括圖像采集單元，其適 于光學(xué)獲得所述物體的區(qū)域的圖像。
14. 一種計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其包括具有計(jì)算機(jī)可讀程序的計(jì)算機(jī)可用介質(zhì)， 其特征在于，該計(jì)算機(jī)程序，當(dāng)在計(jì)算機(jī)上執(zhí)行時(shí)，使得該計(jì)算機(jī)接收所述 物體的區(qū)域的圖像；其中該區(qū)域包括至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的 多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為 彼此相同；其中所述非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)方式排列；以及響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像 信息與緊鄰所述第一子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中所述第一子區(qū)域包括第一陣列重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其 中所述第二子區(qū)域包括第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重復(fù)區(qū)域。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，使得計(jì)算機(jī) 比較所述第一子區(qū)域的圖像信息與第二子區(qū)域的圖像信息；其中所述第一子區(qū) 域包括第一陣列存儲(chǔ)單元以及第一非重復(fù)區(qū)域包括第一縫；其中所述第二子區(qū) 域包括第二陣列存儲(chǔ)單元和包括第二縫的第二非重復(fù)區(qū)域。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，使得計(jì)算機(jī) 比較不同子區(qū)域的不同結(jié)構(gòu)元件的圖像信息；其中每個(gè)結(jié)構(gòu)元件定位在相對(duì)于 包括該結(jié)構(gòu)元件的子區(qū)域的邊界的實(shí)質(zhì)上相同位置處。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，使得計(jì)算機(jī) 比較靠近所述第一陣列重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的邊緣的結(jié)構(gòu)元件的圖像信息與靠近所 述第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的對(duì)應(yīng)邊緣的圖像信息。
18. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，使得計(jì)算機(jī)比較包含在所述第一陣列重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的第一重復(fù)元件的圖像信息與包含在所述第二陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的外部分中的對(duì)應(yīng)重復(fù)元件的圖像 A自
19. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品，其特征在于，使得計(jì)算機(jī) 比較包含在所述第一陣列重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的第一重復(fù)元件的圖像信 息與包含在所述第一陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件的內(nèi)部分中的另一重復(fù)元件的圖像 信息。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于評(píng)估物體的方法、系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)程序產(chǎn)品；該方法包括(i)獲得物體的區(qū)域的圖像；其中該區(qū)域包括至少部分地由至少一組非重復(fù)區(qū)域圍繞的多個(gè)陣列的重復(fù)結(jié)構(gòu)元件；其中屬于單一組非重復(fù)區(qū)域的非重復(fù)區(qū)域理想地為彼此相同；其中所述非重復(fù)區(qū)域以重復(fù)方式排列；以及(ii)響應(yīng)第一子區(qū)域的圖像信息與緊鄰所述第一子區(qū)域的第二子區(qū)域的圖像信息之間的比較來提供評(píng)估結(jié)果；其中所述第一子區(qū)域包括第一陣列重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第一非重復(fù)區(qū)域；其中所述第二子區(qū)域包括第二陣列重復(fù)結(jié)構(gòu)元件和第二非重復(fù)區(qū)域。
文檔編號(hào)G01N21/88GK101566585SQ20081009460
公開日2009年10月28日 申請(qǐng)日期2008年4月22日 優(yōu)先權(quán)日2008年4月22日
發(fā)明者加特·維里德, 多德新·尼爾·本-戴維 申請(qǐng)人:以色列商·應(yīng)用材料以色列公司