專(zhuān)利名稱(chēng)：氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)樣系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體流體領(lǐng)域，主要涉及一種氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)樣方式。
技術(shù)背景目前氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)樣方式采用的是逆擴(kuò)散原理。其中檢漏儀包含機(jī)械泵1、旁路預(yù)抽閥2、分子泵前級(jí)閥3、分子泵4、進(jìn)樣閥5、質(zhì)譜檢測(cè)器6、檢漏 口 7和旁路系統(tǒng)8。因?yàn)楹ぴ淤|(zhì)量比空氣的氮、氧分子質(zhì)量小很多(氦原子量 4、氧分子量32、氮分子量28)，氦原子的擴(kuò)散速度更快，更大比例的氦原子可 以從分子泵的下部逆擴(kuò)散進(jìn)入質(zhì)譜MS檢測(cè)系統(tǒng)。國(guó)內(nèi)外常規(guī)的連接方法是在 檢漏過(guò)程中，先關(guān)閉分子泵的前級(jí)閥3和進(jìn)樣閥5，然后開(kāi)旁路預(yù)抽閥2，當(dāng)旁 路真空度達(dá)到檢測(cè)范圍以后，關(guān)旁路預(yù)抽閥2，開(kāi)前級(jí)閥3和進(jìn)樣閥5，氣體從 進(jìn)樣閥進(jìn)入分子泵4，由于氦原子的擴(kuò)散速度快，可以從下面逆擴(kuò)散進(jìn)入質(zhì)譜檢 測(cè)器6。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提出另一種進(jìn)樣方式可以獲得高很多的檢漏靈敏度。本發(fā)明的檢漏 儀的結(jié)構(gòu)不變，具體的操作做法是，先關(guān)閉分子泵前級(jí)閥3和進(jìn)樣閥5，開(kāi)旁路預(yù)抽閥2，當(dāng)真空度達(dá)到5-30Pa以后，關(guān)閉前級(jí)閥3，打開(kāi)進(jìn)樣閥5。兩種進(jìn)樣方式的差異在于前者，氣體樣品進(jìn)入分子泵4后，有很大一部分氣體被抽速較高的分子泵下部葉片抽走，只有小部分逆擴(kuò)散進(jìn)入質(zhì)譜檢測(cè)器6;而后者，氣體樣品只有一小部分被抽速低得多的機(jī)械泵抽走，大部分進(jìn)入分子泵4，逆擴(kuò)散到達(dá)質(zhì)譜檢測(cè)器6，進(jìn)入的氣體不會(huì)被分子泵下部的葉片抽走，因?yàn)榍凹?jí)閥門(mén)3是關(guān)閉的。經(jīng)上述改進(jìn)，檢漏儀的靈敏度由8X10—"Pa m7s提高到1X10—"Pa mVs，因此，具有更高的靈敏度。
權(quán)利要求
1.一種氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)樣方式，其特征在于，包括以下步驟先關(guān)閉分子泵前級(jí)閥3和進(jìn)樣閥5，開(kāi)旁路預(yù)抽閥2，當(dāng)真空度達(dá)到5-30Pa以后，關(guān)閉前級(jí)閥3，打開(kāi)進(jìn)樣閥5。
全文摘要
一種氦質(zhì)譜檢漏儀的進(jìn)樣方式，包括以下步驟先關(guān)閉分子泵前級(jí)閥3和進(jìn)樣閥5，開(kāi)旁路預(yù)抽閥2，當(dāng)真空度達(dá)到5-30Pa以后，關(guān)閉前級(jí)閥3，打開(kāi)進(jìn)樣閥5。檢漏儀的靈敏度指標(biāo)提高8倍。
文檔編號(hào)G01M3/02GK101303265SQ20081013274
公開(kāi)日2008年11月12日 申請(qǐng)日期2008年7月14日 優(yōu)先權(quán)日2008年7月14日
發(fā)明者黃慶文 申請(qǐng)人:北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司