適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀的制作方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于質譜儀領域，具體涉及一種適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀。
【背景技術】
[0002]氦質譜檢漏法是利用氦質譜檢漏儀的氦分壓力測量原理，實現被檢件的氦泄漏量測量。當被檢件密封面上存在漏孔時，示漏氣體氦氣及其它成分的氣體均會從漏孔泄出，泄漏出來的氣體進入氦質譜檢漏儀后，由于氦質譜檢漏儀的選擇性識別能力，僅給出氣體中的氦氣分壓力信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。傳統(tǒng)檢漏儀不能進行大型密封容器的漏，否則由于密封腔體容積太大，導致加壓時間太長。此外，每個測量漏率都對應兩個等效標準漏率，在細檢完成后還需要采用其它方法進行粗檢，排除大漏的可能。
【實用新型內容】
[0003]本實用新型的目的是提供一種適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，以解決上述方案中存在的不足。
[0004]為了達到上述目的，本實用新型所采用的技術方案為:
[0005]一種適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，主要由檢漏口、檢漏口壓力閥、標準漏率棒、質譜管、吸槍口、預抽閥、前級泵、前級真空壓力泵、分子泵和質譜儀組成，所述的檢漏口設置在質譜管頂端、質譜管右側壁上端設有檢漏口壓力閥、質譜管上檢漏口壓力閥下設有標準漏率棒，前級泵連接質譜管，前級泵上設有預抽閥，前級真空壓力泵連接前級泵，分子泵連接前級真空壓力泵，質譜儀連接分子泵。
[0006]所述的質譜管上標準漏率棒與預抽閥之間設有吸槍口。
[0007]所述的前級真空壓力泵與前級泵之間設有檢漏閥。
[0008]本實用新型檢測靈敏度高，可以精確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結構示意圖；
[0010]1-檢漏口 ；2_檢漏口壓力閥；3_標準漏率棒4_質譜管；5_預抽閥；6_前級泵；7-前級真空壓力泵；8分子泵；9_質譜儀。
【具體實施方式】
[0011]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型作進一步地說明。
[0012]如圖1所示，一種適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，主要由檢漏口 1、檢漏口壓力閥2、標準漏率棒3、質譜管4、預抽閥5、前級泵6、前級真空壓力泵7、分子泵8和質譜儀9組成，所述的檢漏口 I設置在質譜管4頂端、質譜管4右側壁上端設有檢漏口壓力閥2、質譜管4上檢漏口壓力閥2下設有標準漏率棒3，前級泵6連接質譜管4，前級泵6上設有預抽閥5，前級真空壓力泵7連接前級泵6，分子泵8連接前級真空壓力泵7，質譜儀9連接分子泵8 ;所述的質譜管4上標準漏率棒3與預抽閥5之間設有吸槍口 ；所述的前級真空壓力泵7與前級泵6之間設有檢漏閥。
【主權項】
1.一種適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，主要由檢漏口、檢漏口壓力閥、標準漏率棒、質譜管、吸槍口、預抽閥、前級泵、前級真空壓力泵、分子泵和質譜儀組成，其特征在于:所述的檢漏口設置在質譜管頂端、質譜管右側壁上端設有檢漏口壓力閥、質譜管上檢漏口壓力閥下設有標準漏率棒，前級泵連接質譜管，前級泵上設有預抽閥，前級真空壓力泵連接前級泵，分子泵連接前級真空壓力泵，質譜儀連接分子泵。
2.根據權利要求1所述的適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，其特征在于:所述的質譜管上標準漏率棒與預抽閥之間設有吸槍口。
3.根據權利要求1所述的適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，其特征在于:所述的前級真空壓力泵與前級泵之間設有檢漏閥。
【專利摘要】本實用新型公開了一種適用于復雜結構的氦質譜儀檢漏儀，主要由檢漏口、檢漏口壓力閥、標準漏率棒、質譜管、吸槍口、預抽閥、前級泵、前級真空壓力泵、分子泵和質譜儀組成，所述的檢漏口設置在質譜管頂端、質譜管右側壁上端設有檢漏口壓力閥、質譜管上檢漏口壓力閥下設有標準漏率棒，前級泵連接質譜管，前級泵上設有預抽閥，前級真空壓力泵連接前級泵，分子泵連接前級真空壓力泵，質譜儀連接分子泵。本實用新型檢測靈敏度高，可以精確定位，能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
【IPC分類】G01M3-20
【公開號】CN204405271
【申請?zhí)枴緾N201520097303
【發(fā)明人】相鵬
【申請人】相鵬
【公開日】2015年6月17日
【申請日】2015年2月11日