專(zhuān)利名稱：一種工業(yè)檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種機(jī)械裝置，更具體地，涉及一種工業(yè)檢測(cè)裝置。
技術(shù)背景在工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中，經(jīng)常需要對(duì)一些樣本、部件進(jìn)行^^查、測(cè)量。例如， 生產(chǎn)高檔手表時(shí)，需要對(duì)手表表殼的一些微小外觀缺陷(劃痕、凹坑、崩邊、 裂紋、砂眼等)進(jìn)行檢測(cè)?，F(xiàn)有技術(shù)中， 一般直接用人眼去檢測(cè)樣本、部件， 直接用人眼去檢測(cè)容易因?yàn)槿藶橐蛩禺a(chǎn)生誤判、漏判。為此，現(xiàn)有技術(shù)中， 有時(shí)候?qū)颖尽⒉考诺揭环N檢測(cè)裝置中通過(guò)光學(xué)顯微鏡進(jìn)行檢測(cè)，這種裝 置一般包括支架臺(tái)、設(shè)置在支架臺(tái)上的用于放置被檢測(cè)物的載物臺(tái)、固定在 支架臺(tái)上的豎向支撐件、設(shè)置在豎向支撐件上的光學(xué)物鏡(以及與光學(xué)物鏡 連接的光學(xué)目鏡或者相機(jī))，光學(xué)物鏡可沿著豎向支撐件上下移動(dòng)以調(diào)節(jié)光學(xué) 物鏡與載物臺(tái)的距離以達(dá)到理想的調(diào)焦。現(xiàn)有的這種工業(yè)檢測(cè)裝置的缺陷在于載物臺(tái)不能翻轉(zhuǎn)，導(dǎo)致光學(xué)物鏡只 能觀察到被檢測(cè)物的 一個(gè)面，不能方便地在一次裝夾工序中觀察到被檢測(cè)物 的其他各個(gè)面。例如，手表生產(chǎn)過(guò)程中，需要檢測(cè)手表表殼的正面以及周邊 側(cè)面是否存在缺陷，而由于現(xiàn)有的機(jī)械裝置中載物臺(tái)不能翻轉(zhuǎn)，不能夠在一 次裝載中檢測(cè)手表表殼的正面和周邊側(cè)面，使用很不方便。可見(jiàn)，現(xiàn)有的這 種工業(yè)檢測(cè)裝置載物臺(tái)不能翻轉(zhuǎn)，使用不夠方便，自動(dòng)化程度不高，影響檢 測(cè)效率。實(shí)用新型內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有的工業(yè)檢測(cè)裝置由于載物臺(tái)不能翻轉(zhuǎn)而導(dǎo)致光學(xué)物鏡只能觀察 到被檢測(cè)物的一個(gè)面、自動(dòng)化程度不高的缺陷，提供一種載物臺(tái)能夠翻轉(zhuǎn)的、 自動(dòng)化程度高的工業(yè)4全測(cè)裝置。為解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種工業(yè)檢測(cè)裝置，包括支架臺(tái)； 固定在所迷支架臺(tái)上的支撐件；通過(guò)調(diào)焦機(jī)構(gòu)連接到所述支撐件上部、可沿 著所述支撐件上下移動(dòng)的光學(xué)物鏡；位于光學(xué)物鏡下方的載物臺(tái)；安裝在支 架臺(tái)和所述載物臺(tái)之間的橫搖機(jī)構(gòu)、縱搖機(jī)構(gòu)以及控制電路，其中所述橫搖機(jī)構(gòu)包括橫搖支架、橫搖軸以及橫搖電機(jī)，橫搖支架安裝在支 架臺(tái)上，橫搖軸的兩端通過(guò)滾珠軸承座安裝到橫搖支架，橫搖軸的軸向與光 學(xué)物鏡的光軸方向空間垂直，橫搖電機(jī)安裝到橫搖支架，其輸出軸與橫搖軸 連接用于驅(qū)動(dòng)橫搖軸；所述縱搖機(jī)構(gòu)包括縱搖支架、縱搖軸以及縱搖電機(jī)，縱搖支架安裝在所 述橫搖軸上可隨橫搖軸轉(zhuǎn)動(dòng)，縱搖軸的兩端通過(guò)滾J朱軸承座安裝到縱搖支架， 縱搖軸與橫搖軸空間垂直，縱搖電機(jī)安裝到縱搖支架，其輸出軸與縱搖軸連 接用于驅(qū)動(dòng)縱搖軸；所述控制電路與橫搖電機(jī)、縱搖電機(jī)電連接用于控制和驅(qū)動(dòng)橫搖電機(jī)和 縱搖電機(jī)；所述載物臺(tái)安裝在所述縱搖軸上可隨縱搖軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括安裝 到橫搖支架的橫搖編碼器，其輸入軸通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與橫搖軸的端部同軸連接； 安裝到縱搖支架的縱搖編碼器，其輸入軸通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與縱搖軸的端部同軸連 接；與橫搖編碼器和縱搖編碼器電連接的編碼器控制電路。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述橫搖電機(jī)和所述橫搖編碼器 位于所述橫搖軸的兩端，橫搖軸的遠(yuǎn)離橫搖編碼器的端部通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與所漆 橫搖電機(jī)的輸出軸同軸連接；所述縱搖電機(jī)和所述縱搖編碼器位于所述縱搖軸的兩端，縱搖軸的遠(yuǎn)離縱搖編碼器的端部通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與所述縱搖電機(jī)的輸 出軸同軸連接。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述載物臺(tái)設(shè)置有用于夾持被檢 測(cè)物的夾持件或者設(shè)置有用于吸附金屬被檢測(cè)物的強(qiáng)磁性材料。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括真空泵， 所述真空泵與所述載物臺(tái)連接以吸附被一僉測(cè)物。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述光學(xué)物鏡上部連接成像設(shè)備，優(yōu)選地連接工業(yè)CCD成像設(shè)備。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括碗狀光 源，所述碗狀光源設(shè)置在光學(xué)物鏡的下端，光學(xué)物鏡位于所述碗狀光源中心。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括安裝在 所述支架臺(tái)和所述橫搖支架之間的經(jīng)緯調(diào)節(jié)臺(tái)，所述經(jīng)緯調(diào)節(jié)臺(tái)用于將所述 載物臺(tái)移到或者移出所述光學(xué)物鏡的正下方的經(jīng)向調(diào)節(jié)旋鈕和緯向調(diào)節(jié)旋鈕。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括安裝在 經(jīng)綿調(diào)節(jié)臺(tái)與所述橫搖支架之間的轉(zhuǎn)臺(tái)，所述轉(zhuǎn)臺(tái)位于所述載物臺(tái)的正下方， 轉(zhuǎn)臺(tái)的旋轉(zhuǎn)面與所述光學(xué)物鏡的光軸方向空間垂直。在本實(shí)用新型所述的工業(yè)檢測(cè)裝置中，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括用于切 換光學(xué)物鏡的鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)，所述鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)一端通過(guò)所述調(diào)焦機(jī)構(gòu)連接到所述支 撐件的上部，另一端連接多個(gè)可更換的光學(xué)物鏡。與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本實(shí)用新型工業(yè)檢測(cè)裝置包括橫搖機(jī)構(gòu)和縱搖機(jī) 構(gòu)，使得載物臺(tái)可以朝四個(gè)方向轉(zhuǎn)動(dòng)， 一次裝載工序能夠檢測(cè)被檢測(cè)物的多個(gè)面，使用方便；此外，在橫搖電機(jī)、縱搖電機(jī)及控制電路的配合下，能夠 方便地控制載物臺(tái)的轉(zhuǎn)動(dòng)方向、擺角大小及速度等，自動(dòng)化程度高，可用于7自動(dòng)化檢測(cè)，提高檢測(cè)效率。

圖1是本實(shí)用新型工業(yè)檢測(cè)裝置的第一實(shí)施例的立體示意圖； 圖2是本實(shí)用新型工業(yè)檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的立體示意圖； 圖3是本實(shí)用新型工業(yè)^r測(cè)裝置的第二實(shí)施例的俯^L圖；以及 圖4和圖5是本實(shí)用新型工業(yè)檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的側(cè)面視圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一圖1是本實(shí)用新型工業(yè)檢測(cè)裝置的第一實(shí)施例的立體示意圖。如圖1所 示，該工業(yè)檢測(cè)裝置包括支架臺(tái)1、支撐件2、調(diào)焦機(jī)構(gòu)3和4、光學(xué)物鏡6、 經(jīng)綷調(diào)節(jié)臺(tái)8、安裝在經(jīng)煒調(diào)節(jié)臺(tái)8上的橫搖機(jī)構(gòu)(橫搖支架12、橫搖軸13 和橫搖電機(jī)17 )和縱搖機(jī)構(gòu)(包括縱搖支架22、縱搖軸23以及縱搖電機(jī)27 ), 以及縱搖軸23上的載物臺(tái)30。其中支撐件2固定在支架臺(tái)l上，用于支撐光學(xué)物鏡6;光學(xué)物鏡6通過(guò)調(diào)焦機(jī)構(gòu)3和4連接到支撐件2的上部，可沿著支撐件2 上下移動(dòng)，優(yōu)選地，為快速和準(zhǔn)確地控制光學(xué)物鏡6的移動(dòng)距離，調(diào)焦結(jié)構(gòu) 包括4且動(dòng)調(diào)焦纟幾構(gòu)3和樣i動(dòng)調(diào)焦一幾構(gòu)4;經(jīng)綿調(diào)節(jié)臺(tái)8位于在光學(xué)物鏡6下方，安裝在支架臺(tái)l上，經(jīng)緯調(diào)節(jié)臺(tái)8 是可選的，主要用于方便地將其上的載物臺(tái)30移到或者移出光學(xué)物鏡6的正 下方，優(yōu)選地，經(jīng)綽調(diào)節(jié)臺(tái)8設(shè)有經(jīng)向調(diào)節(jié)旋4丑9和緯向調(diào)節(jié)旋鈕10,該經(jīng) 向和綿向與光學(xué)物鏡6的光軸方向空間垂直；橫搖機(jī)構(gòu)安裝在經(jīng)煒調(diào)節(jié)臺(tái)8上，橫搖機(jī)構(gòu)包括橫搖支架12、橫搖軸13和橫搖電機(jī)17，橫搖支架12固定安裝在經(jīng)綷調(diào)節(jié)臺(tái)8上，可在經(jīng)向調(diào)節(jié)旋鈕 9和綽向調(diào)節(jié)旋鈕10的作用下進(jìn)行經(jīng)向和綿向移動(dòng)，橫搖軸13的兩端通過(guò)滾 珠軸承座安裝在橫搖支架12上可相對(duì)于橫搖支架12轉(zhuǎn)動(dòng)，優(yōu)選地，橫搖軸 13的軸向與光學(xué)物鏡6的光軸方向空間垂直；橫搖電機(jī)17用于驅(qū)動(dòng)橫搖軸 13,橫搖電機(jī)17安裝到橫搖支架12,其輸出軸與橫搖軸13連接以驅(qū)動(dòng)橫搖 軸13,優(yōu)選地，橫搖電機(jī)17的輸出軸通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與橫搖軸13的一端同軸連 接，更優(yōu)選地，同軸度誤差小于或者等于土0.05MM以獲得更精準(zhǔn)的觀察、檢 測(cè)結(jié)果；縱搖機(jī)構(gòu)安裝在橫搖機(jī)構(gòu)上，縱搖機(jī)構(gòu)包括縱搖支架22、縱搖軸23以及 縱搖電機(jī)27,縱搖支架22固定到橫搖軸13可隨橫搖軸13轉(zhuǎn)動(dòng)，優(yōu)選地，為 了獲得更好的平衡，縱搖支架22位于橫搖軸13的中部；縱搖軸23的兩端通 過(guò)滾珠軸承座24安裝到縱搖支架22,縱搖軸23與橫搖軸13空間垂直而不相 交；縱搖電機(jī)27用于驅(qū)動(dòng)縱搖軸23，縱搖電機(jī)27安裝到縱搖支架22,其輸 出軸與縱搖軸23連接以驅(qū)動(dòng)縱搖軸23,優(yōu)選地，縱搖電機(jī)27的輸出軸通過(guò) 聯(lián)軸節(jié)與縱搖軸23的一端同軸連接，更優(yōu)選地，同軸度誤差小于或者等于土 0.05MM以獲得更精準(zhǔn)的觀察、檢測(cè)結(jié)果；載物臺(tái)30用于放置被檢測(cè)物31,載物臺(tái)30固定到縱搖軸23上可隨縱搖 軸23轉(zhuǎn)動(dòng)，同樣，載物臺(tái)優(yōu)選地位于縱搖軸23的中部以達(dá)到更好的平衡效果；控制電路(圖中未示出)，該控制電路與橫搖電機(jī)17、縱搖電機(jī)27電連 接，以控制和驅(qū)動(dòng)4黃搖電才幾17和縱搖電才幾27。優(yōu)選地，采用步進(jìn)電機(jī)來(lái)驅(qū)動(dòng)橫搖軸13和縱搖軸23。步進(jìn)電機(jī)可在脈沖 信號(hào)的控制下按設(shè)定的方向轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)預(yù)定的角度(及步進(jìn)角)，可以通過(guò)控制 脈沖個(gè)數(shù)來(lái)控制角位移量，A^v而達(dá)到準(zhǔn)確定位的目的；同時(shí)，還可以通過(guò)控 制脈沖頻率來(lái)控制電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的速度和加速度，從而達(dá)到調(diào)速的目的。根據(jù)需要，載物臺(tái)30可以設(shè)置夾持件以?shī)A持被檢測(cè)物31,或者采用強(qiáng)磁 性材料以吸附金屬被檢測(cè)物，或者與真空源(例如真空泵)配合以吸附被檢 測(cè)物實(shí)現(xiàn)快速作業(yè)。在使用時(shí)，先通過(guò)粗動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)3升起光學(xué)物鏡6,然后通過(guò)經(jīng)煒調(diào)節(jié)臺(tái) 8將載物臺(tái)30移到合適位置，接著將被檢測(cè)物31放置在載物臺(tái)30,然后通 過(guò)經(jīng)綿調(diào)節(jié)臺(tái)8將載物臺(tái)30及被檢測(cè)物31移到光學(xué)物鏡6的正下方，接著 將光學(xué)物鏡6下調(diào)到合適位置鎖緊并開(kāi)始觀察或者檢測(cè)。在觀察或者檢測(cè)過(guò) 程中，可通過(guò)橫搖電機(jī)17、縱搖電機(jī)27方便地控制載物臺(tái)30的轉(zhuǎn)動(dòng)角度、 速度，實(shí)現(xiàn)橫搖與縱搖的聯(lián)動(dòng)，滿足自動(dòng)化的檢測(cè)的要求?？梢?jiàn)，實(shí)施本實(shí) 用新型， 一次裝載工序能夠檢測(cè)到被檢測(cè)物的多個(gè)面，便于使用以及工業(yè)應(yīng) 用；在橫搖電機(jī)17、縱搖電機(jī)27及控制電路的作用下，自動(dòng)地控制載物臺(tái) 30的轉(zhuǎn)動(dòng)方向、速度等，自動(dòng)化程度高，可用于自動(dòng)化檢測(cè)，提高檢測(cè)效率。 例如，本實(shí)用新型用于檢測(cè)的裝置與機(jī)械手的配合，能夠?qū)崿F(xiàn)自動(dòng)裝載、自 動(dòng)卸載被觀測(cè)物，實(shí)現(xiàn)在線自動(dòng)檢測(cè)，能夠大大提高檢測(cè)效率和保證檢測(cè)質(zhì) 量。在實(shí)施例中，光學(xué)物鏡6上方連接成像設(shè)備5，例如，相機(jī)、攝像機(jī)。但' 是本實(shí)用新型不局限于成像設(shè)備，例如，根據(jù)應(yīng)用的需要，光學(xué)物鏡6上方 可以連接光學(xué)目鏡。另外，還可以根據(jù)需要增加光源7。優(yōu)選地，光源7位于光學(xué)物鏡6的下 端，光源碗狀，包圍光學(xué)物鏡6。在本實(shí)施例中，光源7為碗狀LED光源， 光學(xué)物鏡6位于光源7的中心。作為一個(gè)改進(jìn)方案，還可以增加側(cè)面光源，或者在光學(xué)物鏡6附近增加 鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)，鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)一端通過(guò)調(diào)焦機(jī)構(gòu)3、 4連接到支撐件2的上部，另一端 連接多個(gè)可更換光學(xué)物鏡，這樣，可通過(guò)旋轉(zhuǎn)鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)切換不同的光學(xué)物鏡 (及其光源)。實(shí)施例二、圖2是本實(shí)用新型工業(yè)檢測(cè)裝置的第二實(shí)施例的立體示意圖，圖3是對(duì) 應(yīng)的俯視狀態(tài)的示意圖，圖4和圖5是相應(yīng)的側(cè)面視圖。實(shí)施例二與實(shí)施例 一的主要區(qū)別在于，實(shí)施例二還包括了編碼器反饋系 統(tǒng)，編碼器反饋系統(tǒng)與電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)一起構(gòu)成了閉環(huán)控制電路。編碼器反饋 系統(tǒng)包括橫搖編碼器19、縱搖編碼器29以及控制電路(圖中未示出)。更具體地，本實(shí)施例中，橫搖軸13的一端連接橫搖電機(jī)17的輸出軸， 另一端連接橫搖編碼器19的輸入軸。優(yōu)選地，橫搖電機(jī)17的輸出軸通過(guò)橫 搖聯(lián)軸節(jié)32 (參見(jiàn)圖3)連接橫搖軸13的一端，而橫搖編碼器19的輸入軸 通過(guò)橫搖聯(lián)軸節(jié)32連接橫搖軸13的另一端。即，橫搖電機(jī)17的輸出軸、橫 搖軸13、橫搖編碼器19的輸入軸同軸連接，優(yōu)選地，同軸度誤差小于或者等 于± 0.05MM以獲得更精準(zhǔn)的觀察、檢測(cè)結(jié)果。類(lèi)似地，縱搖軸23的一端連接縱搖電機(jī)27的輸出軸，另一端連接縱搖 編碼器29的輸入軸。優(yōu)選地，縱搖電機(jī)27的輸出軸通過(guò)縱搖聯(lián)軸節(jié)33 (參 見(jiàn)圖3)連接縱搖軸23的一端，而縱搖編碼器29的輸入軸通過(guò)縱搖聯(lián)軸節(jié) 33 (參見(jiàn)圖3)連接縱搖軸23的另一端。即，縱搖電機(jī)27的輸出軸、縱搖軸 23、縱搖編碼器29的輸入軸同軸連接，優(yōu)選地，同軸度誤差小于或者等于士 0.05MM以獲得更精準(zhǔn)的觀察、檢測(cè)結(jié)果。橫搖編碼器19、縱搖編碼器29與編碼器控制電路連接，在編碼器控制.電 路的配合下，能夠及時(shí)反饋橫搖軸13、縱搖軸23的轉(zhuǎn)動(dòng)角度、速度、偏差等 參數(shù)，并與步進(jìn)電機(jī)及其控制電路配合實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制，有效地提高了電機(jī)的 精度，降低了細(xì)分誤差。編碼器可以根據(jù)應(yīng)用需要選用光學(xué)編碼器、光電編 碼器、旋轉(zhuǎn)編碼器等。作為一個(gè)改進(jìn)方案，為了方便地安裝橫搖電機(jī)17和橫搖編碼器19，可以 沿著橫搖軸13的軸向在橫搖支架12的兩側(cè)分別設(shè)置橫搖電機(jī)架16和橫搖編ii碼器架18。更具體地，橫搖電機(jī)架16固定到橫搖支架12的一側(cè)，而橫搖電 機(jī)架16上安裝橫搖電機(jī)17，橫搖電機(jī)17的輸出軸連接橫搖軸13的一端；橫 搖編碼器架18固定到橫搖支架12的另一側(cè)，橫搖編碼器架18上安裝橫搖編 碼器19,橫搖編碼器19的輸入軸連接橫搖軸13的另一端。類(lèi)似地，可以根 據(jù)縱搖軸23的軸向在縱搖支架22的兩側(cè)分別設(shè)置縱搖電才幾架26和縱搖編碼 器架28。圖3是對(duì)應(yīng)的俯視狀態(tài)的示意圖，圖3中為了簡(jiǎn)明省略了碗形光源 7。如圖3所示，橫搖軸13通過(guò)滾珠軸承座14 (參考圖3)安裝到橫搖支架 12, —端通過(guò)聯(lián)軸節(jié)32與橫搖電機(jī)17的輸出軸連接；縱搖軸23通過(guò)滾珠軸 承座24安裝到縱搖支架22, —端通過(guò)聯(lián)軸節(jié)33與縱搖電機(jī)27的輸出軸連接， 另一端通過(guò)聯(lián)軸節(jié)33與縱搖編碼器29的輸入軸連接。作為另一個(gè)改進(jìn)方案，由于編碼器的重量一般小于電機(jī)的重量，為了獲 得更好的平衡以助于提高檢測(cè)結(jié)果的精準(zhǔn)度，可以適當(dāng)增加編碼器座18和28 的重量，或者在編碼器側(cè)增加平^^莫塊34 (參見(jiàn)圖4)。作為再一個(gè)改進(jìn)的方案，還可以增加一個(gè)轉(zhuǎn)臺(tái)11。轉(zhuǎn)臺(tái)ll可安裝在經(jīng)緯 調(diào)節(jié)臺(tái)8與橫搖機(jī)構(gòu)之間，位于所述載物臺(tái)30的正下方，轉(zhuǎn)臺(tái)11的旋轉(zhuǎn)面 與光學(xué)物鏡6的光軸方向空間垂直。在使用時(shí)，可通過(guò)轉(zhuǎn)臺(tái)ll轉(zhuǎn)動(dòng)載物臺(tái)30 及其上的被檢測(cè)物31,讓光學(xué)物鏡6能夠從最佳的角度、位置進(jìn)行檢測(cè)，避 免出現(xiàn)檢測(cè)不到的"死角"。本領(lǐng)域的技術(shù)人員將意識(shí)到，實(shí)施例一的方案以及上述的改進(jìn)方案都可 以添加轉(zhuǎn)臺(tái)11。另外，雖然實(shí)施例一和實(shí)施例二的附圖中，支架臺(tái)1處于水平位置，但 是本實(shí)用新型不局限于這種情況。例如，可以調(diào)節(jié)支架臺(tái)l底部的調(diào)節(jié)旋鈕，讓支架臺(tái)1上的整個(gè)裝置傾斜一定的角度，以滿足特定的檢測(cè)需要；還可以 將整個(gè)裝置可轉(zhuǎn)動(dòng)地安裝到一個(gè)基座上，便于將支架臺(tái)1上的整個(gè)裝置傾斜 任意的角度以滿足特定的檢測(cè)需要。以上所述的本實(shí)用新型實(shí)施方式，并不構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限_____均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的權(quán)利要求保護(hù)范圍之內(nèi)°
權(quán)利要求1、一種工業(yè)檢測(cè)裝置，包括支架臺(tái)(1)；固定在所述支架臺(tái)(1)上的支撐件(2)；通過(guò)調(diào)焦機(jī)構(gòu)(3，4)連接到所述支撐件(2)上部、可沿著所述支撐件(2)上下移動(dòng)的光學(xué)物鏡(6)；位于光學(xué)物鏡(6)下方的載物臺(tái)(30)；其特征在于，所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括安裝在支架臺(tái)(1)和所述載物臺(tái)(30)之間的橫搖機(jī)構(gòu)、縱搖機(jī)構(gòu)以及控制電路，其中所述橫搖機(jī)構(gòu)包括橫搖支架(12)、橫搖軸(13)以及橫搖電機(jī)(17)，橫搖支架(12)安裝在支架臺(tái)(1)上，橫搖軸(13)的兩端通過(guò)滾珠軸承座安裝到橫搖支架(12)，橫搖軸(13)的軸向與光學(xué)物鏡(6)的光軸方向空間垂直，橫搖電機(jī)(17)安裝到橫搖支架(12)，其輸出軸與橫搖軸(13)連接用于驅(qū)動(dòng)橫搖軸(13)；所述縱搖機(jī)構(gòu)包括縱搖支架(22)、縱搖軸(23)以及縱搖電機(jī)(27)，縱搖支架(22)安裝在所述橫搖軸(13)上可隨橫搖軸(13)轉(zhuǎn)動(dòng)，縱搖軸(23)的兩端通過(guò)滾珠軸承座(24)安裝到縱搖支架(22)，縱搖軸(23)與橫搖軸(13)空間垂直，縱搖電機(jī)(27)安裝到縱搖支架(22)，其輸出軸與縱搖軸(23)連接用于驅(qū)動(dòng)縱搖軸(23)；所述控制電路與橫搖電機(jī)(17)、縱搖電機(jī)(27)電連接用于控制和驅(qū)動(dòng)橫搖電機(jī)(17)和縱搖電機(jī)(27)；所述載物臺(tái)(30)安裝在所述縱搖軸(23)上可隨縱搖軸(23)轉(zhuǎn)動(dòng)。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述工業(yè)檢測(cè)裝 置還包括安裝到橫搖支架(12)的橫搖編碼器(19),其輸入軸通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與橫搖軸(13)的端部同軸連接；安裝到縱搖支架(22)的縱搖編碼器(29)，其輸入軸通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與縱搖 軸(23)的端部同軸連接；與橫搖編碼器(19)和縱搖編碼器(29)電連接的編碼器控制電路。
3、 根據(jù)權(quán)利要求2所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于所述橫搖電機(jī)(17)和所述橫搖編碼器(19)位于所述橫搖軸(13)的 兩端，橫搖軸(13)的遠(yuǎn)離橫搖編碼器(19)的端部通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與所述橫搖 電機(jī)(17)的輸出軸同軸連接；所述縱搖電機(jī)(27)和所述縱搖編碼器(29)位于所述縱搖軸(23)的 兩端，縱搖軸(23)的遠(yuǎn)離縱搖編碼器(29)的端部通過(guò)聯(lián)軸節(jié)與所述縱搖 電機(jī)(27)的輸出軸同軸連接。
4、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述載物臺(tái)(30) 設(shè)置有用于夾持被檢測(cè)物的夾持件或者設(shè)置有用于吸附金屬被檢測(cè)物的強(qiáng)磁 性材料。
5、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述工業(yè)檢測(cè)裝 置還包括真空泵，所述真空泵與所述載物臺(tái)(30)連接以吸附被檢測(cè)物。
6、 根據(jù)權(quán)利要求3所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光學(xué)物鏡(6) 上部連接成像設(shè)備(5 )。
7、 根據(jù)權(quán)利要求6所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述工業(yè)檢測(cè)裝 置還包括碗狀光源(7),所述碗狀光源設(shè)置在光學(xué)物鏡(6)的下端，光學(xué)物 鏡(6)位于所述碗狀光源(7)中心。
8、 根據(jù)權(quán)利要求1至7中任意一項(xiàng)所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于， 所述工業(yè)檢測(cè)裝置還包括安裝在所述支架臺(tái)(1 )和所述橫搖支架(l2)之向的經(jīng)緯調(diào)節(jié)臺(tái)(8),所述經(jīng)緯調(diào)節(jié)臺(tái)(8)包括用于將所述載物臺(tái)(30)移到或者移出所述光學(xué)物鏡的正下方的經(jīng)向調(diào)節(jié)旋鈕(9)和綿向調(diào)節(jié)旋鈕(10)。
9、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述工業(yè)檢測(cè)裝 置還包括安裝在經(jīng)綿調(diào)節(jié)臺(tái)(8)與所述橫搖支架(12)之間的轉(zhuǎn)臺(tái)(11), 所述轉(zhuǎn)臺(tái)(11)位于所述載物臺(tái)(30)的正下方，轉(zhuǎn)臺(tái)(11)的旋轉(zhuǎn)面與所 述光學(xué)物鏡(6)的光軸方向空間垂直。
10、 根據(jù)權(quán)利要求8所述的工業(yè)檢測(cè)裝置，其特征在于，所述工業(yè)檢測(cè) 裝置還包括用于切換光學(xué)物鏡的鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)，所述鏡頭轉(zhuǎn)盤(pán)一端通過(guò)所述調(diào)焦 機(jī)構(gòu)(3, 4)連接到所述支撐件(2)的上部，另一端連接多個(gè)光學(xué)物鏡。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型提供一種工業(yè)檢測(cè)裝置，包括支架臺(tái)(1)、支撐件(2)、支撐件(2)上部的光學(xué)物鏡(6)、支架臺(tái)(1)和載物臺(tái)(30)之間的橫搖機(jī)構(gòu)和縱搖機(jī)構(gòu)，橫搖機(jī)構(gòu)包括橫搖支架(12)、橫搖軸(13)及用于驅(qū)動(dòng)橫搖軸的橫搖電機(jī)(17)，橫搖支架安裝在支架臺(tái)上，橫搖軸通過(guò)滾珠軸承座安裝到橫搖支架；縱搖機(jī)構(gòu)包括縱搖支架(22)、縱搖軸(23)及用于驅(qū)動(dòng)縱搖軸的縱搖電機(jī)(27)，縱搖支架固定到橫搖軸，縱搖軸安裝到縱搖支架，縱搖軸與橫搖軸空間垂直。本裝置的載物臺(tái)可以朝四個(gè)方向翻轉(zhuǎn)，讓光學(xué)物鏡能夠檢測(cè)到被檢測(cè)物的正面及各個(gè)側(cè)面，使用方便；可通過(guò)電機(jī)和光學(xué)編碼器方便地控制載物臺(tái)的翻轉(zhuǎn)情況，自動(dòng)化程度高。
文檔編號(hào)G01N21/89GK201170772SQ20082004550
公開(kāi)日2008年12月24日 申請(qǐng)日期2008年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2008年3月26日
發(fā)明者宇 何, 偉 李, 沈大剛, 浩 肖, 蒲常華, 釗 鄧, 鄔紀(jì)澤 申請(qǐng)人:廣州中國(guó)科學(xué)院工業(yè)技術(shù)研究院;中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)自動(dòng)化研究所