專利名稱：準(zhǔn)直光束檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種準(zhǔn)直光束檢測裝置，尤其涉及一種對準(zhǔn)直光束的平行度進(jìn)行檢測
的裝置。
背景技術(shù)：
激光(Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation,LASER)是 現(xiàn)代新光源，因具有擴散角小、亮度高、單色性好、可長距離傳播等特點而被廣泛應(yīng)用，如激 光測距、激光鉆孔和切割、地震監(jiān)測、激光手術(shù)、激光唱頭等。同時，激光的空間控制性和時 間控制性很好，對加工對象的材質(zhì)、形狀、尺寸和加工環(huán)境的自由度均很大，適用于自動化 加工，激光加工系統(tǒng)與計算機數(shù)控技術(shù)相結(jié)合可構(gòu)成高效自動化加工設(shè)備，已成為企業(yè)實 行適時生產(chǎn)的關(guān)鍵技術(shù)，為優(yōu)質(zhì)、高效和低成本的加工生產(chǎn)開辟了廣闊的前景。
激光為具有一定發(fā)散角的點光源，因此激光發(fā)出后一般要經(jīng)過準(zhǔn)直鏡形成與準(zhǔn)直 鏡的對稱軸平行的準(zhǔn)直光束，該準(zhǔn)直光束的平行度和準(zhǔn)直度影響著激光的性能，其平行度 即出射光與激光頭的機械軸的重合度；準(zhǔn)直度即出射光是否存在發(fā)散性或會聚性，度量指 標(biāo)可定性為出射光的邊緣光線與中心光線是否存在夾角；因此準(zhǔn)直光束的準(zhǔn)直度及平行度 是其光束性能評價的重要指標(biāo)，為了保證激光的性能，通常采用準(zhǔn)置儀對準(zhǔn)直光束的準(zhǔn)直 度或平行度進(jìn)行檢測，現(xiàn)有的準(zhǔn)直儀對準(zhǔn)直光束的檢測主要是基于光學(xué)干涉原理，即利用 干涉法進(jìn)行檢測，其系統(tǒng)原理示意圖如圖1所示，電光源P產(chǎn)生的光束經(jīng)準(zhǔn)直鏡L后出射 一待測的準(zhǔn)直光束，待測的準(zhǔn)直光束入射到楔形鏡W上后，被分成兩部分，一部分是楔形鏡 前、后兩表面的反射光，它們形成沿X軸正向的剪切量S，經(jīng)反射鏡M1反射后在探測器上形 成干涉條紋；另一部分是透射光，由反射鏡M2反射后入射到楔形鏡上，在其兩表面發(fā)生反 射，由于此時入射方向相反，將形成沿X軸負(fù)向的剪切量S，同時也在探測器上形成干涉條 紋。將反射鏡Ml的上(下)半部分和M2的下(上)半部分擋住，在探測器上會形成上下 兩個半場的干涉條紋，調(diào)整遮住的位置，使兩個半場的干涉條紋拼在一起形成一個整場，當(dāng) 入射光的波前曲率半徑改變時，上下兩個半場的條紋寬度或方向會以相反的趨勢變化。利 用這種方法檢測得到的干涉條紋如圖2a-2c所示，當(dāng)待測光束準(zhǔn)直時，干涉場中將看到平 行等距且沿分界線連續(xù)的直條紋，如圖2a所示；在兩種特殊的情況下，即當(dāng)楔形鏡的楔角 方向垂直于X軸方向時，兩組干涉條紋沿X軸方向彼此平行，如圖2b所示；當(dāng)楔形鏡的楔角 方向平行于X軸方向時，兩組干涉條紋沿Y軸方向平行，如圖2c所示。采用此種方法檢測 準(zhǔn)直光束的準(zhǔn)直度，調(diào)整兩反射鏡的遮住的位置時，調(diào)整難度高，且在技術(shù)上難以保證拼在 一起的兩個半場的干涉條紋的精確度；同時，計算機與光電處理方法復(fù)雜，實用性差；采用 這種方法的干涉儀制造成本高，難以推廣。 因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡單、容易調(diào)整、制造低廉且易于推廣的準(zhǔn)直光束檢測裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、容易調(diào)整、制造低廉且易于推廣的準(zhǔn)直光束檢測裝置。 為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為提供一種準(zhǔn)直光束檢測裝置，用于與點光 源配合來檢測準(zhǔn)直光束的平行度，其包兩柱面鏡、兩光電探測器、準(zhǔn)直鏡、第一透射鏡及第 二透射鏡，兩所述柱面鏡相互平行設(shè)置，兩所述柱面鏡為第一柱面鏡及第二柱面鏡，所述第 一柱面鏡及第二柱面鏡的柱面方向呈正交設(shè)置；兩所述光電探測器為第一光電探測器及第 二探測器，所述第一光電探測器安裝于所述第一柱面鏡的焦點處，所述第二光電探測器安 裝于所述第二柱面鏡的焦點處；所述準(zhǔn)直鏡正對所述第一柱面鏡；所述第一透射鏡為透明 介質(zhì)，所述第一透射鏡傾斜設(shè)置于所述準(zhǔn)直鏡與所述第一柱面鏡之間，所述準(zhǔn)直鏡、所述第 一透射鏡、所述第一柱面鏡及第一光電探測器依次排列于一條直線上；所述第二透射鏡與 所述第一透射鏡相互平行且位于同一直線上，所述第二透射鏡面對所述第二柱面鏡，所述 第二透射鏡、第二柱面鏡及第二光電探測器依次排列于一條直線上。 較佳地，所述第一透射鏡為半反射半透射鏡，所述準(zhǔn)直鏡產(chǎn)生的待測準(zhǔn)直光束經(jīng) 過所述半透射半反射鏡后，半透射半反射鏡產(chǎn)生分光作用，把待測的準(zhǔn)直光束分開為兩部 分， 一部分透射后出射到第一柱面鏡，另一部分反射到第二透射鏡，經(jīng)第二透射鏡反射后出 射到第二柱面鏡，使本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置的結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)試方便。 較佳地，所述第二透射鏡為全反射鏡；所述全反射鏡與所述半反射半透射鏡相互 平行且位于同一直線上并與所述第二柱面鏡對應(yīng)安裝，經(jīng)半透射半反射鏡反射后的光束入 射到全反射鏡，經(jīng)全反射鏡轉(zhuǎn)折光路后，待測光束出射到第二柱面鏡，全反射鏡與半反射半 透射鏡配合應(yīng)用，減小裝置的整體體積，使裝置的生產(chǎn)成本降低。 較佳地，所述第一透射鏡及第二透射鏡的口徑均大于所述準(zhǔn)直鏡產(chǎn)生的準(zhǔn)直光束 的直徑，使準(zhǔn)直光束經(jīng)過半透射半反射鏡及全反射鏡時能被完全的反射和透射，提高檢測 質(zhì)量及精度。 較佳地，本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置還包括與所述第一光電探測器及第二光電探測 器相對應(yīng)的第一顯示器及第二顯示器，所述第一顯示器與所述第一光電探測器對應(yīng)安裝， 所述第二顯示器與所述第二光電探測器對應(yīng)安裝，顯示器用于將光電探測器檢測到的線性 光斑清楚顯示。 較佳地，所述點光源、所述準(zhǔn)直鏡、所述第一透射鏡、所述第一柱面鏡及所述第一 光電探測器依次排列于一條直線上；點光源產(chǎn)生的光束經(jīng)準(zhǔn)直鏡后形成待測的準(zhǔn)直光束， 待測的準(zhǔn)直光束經(jīng)過排列于一條直線上的第一透射鏡及第一柱面鏡，減少光路轉(zhuǎn)折，提高 檢測質(zhì)量。 與現(xiàn)有技術(shù)相比，由于本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置具有兩相互平行設(shè)置的第一柱面 鏡及第二柱面鏡，所述第一柱面鏡及第二柱面鏡的柱面方向呈正交設(shè)置；對應(yīng)的第一光電 探測器和第二光電探測器分別對應(yīng)安裝于所述第一柱面鏡及第二柱面鏡的焦點處；準(zhǔn)直鏡 正述第一柱面鏡安裝；第一透射鏡為透明介質(zhì)，第一透射鏡傾斜設(shè)置于所述準(zhǔn)直鏡與所述 第一柱面鏡之間，所述準(zhǔn)直鏡、第一透射鏡、第一柱面鏡及第一光電探測器依次排列于一條 直線上；第二透射鏡與第一透射鏡相互平行且位于同一直線上，第二透射鏡面對第二柱面 鏡，且第二透射鏡、第二柱面鏡及第二光電探測器依次排列于一條直線上；點光源產(chǎn)生的 光束經(jīng)過準(zhǔn)直鏡后形成待測的準(zhǔn)直光束，該待測準(zhǔn)直光束經(jīng)半反射半透射鏡后被分為兩部 分，其中一部分透過第一透射鏡后出射到第一柱面鏡，另一部分被第一透射鏡反射到第二透射鏡上，經(jīng)第二透射鏡反射鏡后出射到第二柱面鏡上，經(jīng)兩柱面鏡后形成兩截面上的線 性光斑，并通過兩光電探測器分別對兩個截面上的線性光斑進(jìn)行檢測，檢測到的線性光斑 通過顯示器顯示，并通過比較線性光斑的長度，進(jìn)而實現(xiàn)對準(zhǔn)直光束的平行度的檢測；由于 柱面鏡具有只存在單一的軸對稱曲率的特性，通過兩柱面方向正交的柱面鏡對兩個截面上 的準(zhǔn)直光束進(jìn)行檢測，并通過比較檢測所得兩個方向上的線性光斑的長度，實現(xiàn)對準(zhǔn)直光 束的平行度的檢測，原理簡單，易于操作，且裝置構(gòu)造簡潔，整體體積小，生產(chǎn)成本低，適用 面廣，易于推廣。


圖1是現(xiàn)有準(zhǔn)直光束檢測的原理示意圖。 圖2是現(xiàn)有準(zhǔn)直光束檢測所得的干涉條紋示意圖。 圖3是本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置的原理示意圖。 圖4是本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置的準(zhǔn)直鏡的原理示意圖。 圖5是本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置的柱面鏡的原理示意圖。
具體實施例方式
現(xiàn)在參考附圖描述本發(fā)明的實施例，附圖中類似的元件標(biāo)號代表類似的元件。
如圖3所示，本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置100包括焦距相等的第一柱面鏡40a和第 二柱面鏡40b，第一柱面鏡40a的焦距為Fx，第二柱面鏡40b的焦距為Fy，因此有Fx = Fy， 第一柱面鏡40a和第二柱面鏡40b相互平行設(shè)置，且兩柱面鏡40a、40b的柱面方向在同一 側(cè)并呈正交的設(shè)置，第一柱面鏡40a設(shè)置為X軸方向柱面鏡，第二柱面鏡40b設(shè)置為Y軸方 向柱面鏡，第一柱面鏡40a和第二柱面鏡40b位于一條直線上，且兩者的中心距離為S ;第 一光電探測器50a和第二光電探測器50b分別與第一柱面鏡40a和第二柱面鏡40b對應(yīng)安 裝，且兩光電探測器50a、50b分別對應(yīng)安裝于兩柱面鏡40a、40b的焦點位置處，第一電探測 器50a與第一顯示器60a對應(yīng)連接，第二電探測器50b與第二顯示器60b對應(yīng)連接，高分辨 率的光電探測器50a、50b用于對線性光斑的長度進(jìn)行檢測，提高檢測精度，顯示器60a、60b 用于對檢測到的線性光斑進(jìn)行顯示；準(zhǔn)直鏡20與第一柱面鏡40a對應(yīng)安裝，用于產(chǎn)生待測 的準(zhǔn)直光束，準(zhǔn)直鏡20、第一柱面鏡40a、第一光電探測器50a依次排列于一條直線上，且準(zhǔn) 直鏡20、第一柱面鏡40a的光軸位于一條直線上，即光軸Cl ;半透射半反射鏡30a傾斜的安 裝于準(zhǔn)直鏡20與第一柱面鏡40a之間，該半透射半反射鏡30a位于第一柱面鏡40a與準(zhǔn)直 鏡20的光軸所確定的光軸Cl上，用于透射并轉(zhuǎn)折準(zhǔn)直鏡20所產(chǎn)生的待測準(zhǔn)直光束；經(jīng)過 準(zhǔn)直鏡20形成的待測準(zhǔn)直光束的直徑為d，該半透射半反射鏡30a的口徑大于待測準(zhǔn)直光 束的直徑d ;全反射鏡30b與第二柱面鏡40b對應(yīng)安裝，且全反射鏡30b與半透射半反射鏡 30a相互平行地安裝并位于同一直線上，全反射鏡30b、第二柱面鏡40b及第二光電探測器 60b依次排列于一條直線上，即位于第二柱面鏡40b的光軸C2上，全反射鏡30b用于接收 并轉(zhuǎn)折半透射半反射鏡30a反射的光束；全反射鏡30b的口徑大于待測準(zhǔn)直光束的直徑d ; 由于第一柱面鏡40a和第二柱面鏡40b的中心距為S，半透射半反射鏡30a與全反射鏡30b 之間的光程差也為S ;準(zhǔn)直鏡20的焦點一側(cè)具有點光源10，點光源10發(fā)出的光經(jīng)準(zhǔn)直鏡 20后形成待測的準(zhǔn)直光束，待測的準(zhǔn)直光束經(jīng)過半透射半反射鏡30a時產(chǎn)生分光作用，待測的準(zhǔn)直光束被分開為兩部分， 一部分透過半透射半反射鏡30a后出射到第一柱面鏡40a， 另一部分被半透射半反射鏡30a反射到全反射鏡30b，經(jīng)全反射鏡30b反射到第二柱面鏡 40b ;光束經(jīng)過第一柱面鏡40a和第二柱面鏡40b后形成兩線性光斑，分別用兩光電探測器 50a、50b對兩線性光斑進(jìn)行檢領(lǐng)U，再對檢測到的兩線性光斑的長度進(jìn)行計算比較，進(jìn)而判斷 準(zhǔn)直光束的平行度。 結(jié)合圖4a-4b，對本發(fā)明的準(zhǔn)直鏡20的原理進(jìn)行說明。如圖4a所示，當(dāng)點光源位 于準(zhǔn)直鏡20的焦點位置D時，光線經(jīng)準(zhǔn)直鏡20后出射的光線平行于光軸C3，所有光束的截 面面積在任何位置都相等；如圖4b所示，當(dāng)點光源位于準(zhǔn)直鏡20的焦點位置D外側(cè)，即位 于外焦點Dl處時，光線經(jīng)準(zhǔn)直鏡20后出射的光線向光軸C3會聚，所以其光束截面的面積 沿準(zhǔn)直光束的出射方向逐漸減小，直至為零；如圖4c所示，當(dāng)點光源位于準(zhǔn)直鏡20的焦點 位置D內(nèi)側(cè)，即位于內(nèi)焦點D2處時，光線經(jīng)準(zhǔn)直鏡20后出射的光線遠(yuǎn)離光軸C3發(fā)散，所以 其光束截面的面積沿準(zhǔn)直光束的出射方向逐步增大；由此可知，準(zhǔn)直鏡20產(chǎn)生準(zhǔn)直光束的 條件是點光源位于其焦點位置D處。 結(jié)合圖4a_圖5，對本發(fā)明兩呈正交設(shè)置的柱面鏡40a、40b的原理進(jìn)行說明，由于 柱面鏡為在光學(xué)上只存在單向的軸對稱曲率的光學(xué)鏡片，不同于旋轉(zhuǎn)軸對稱的球面鏡，所 以柱面鏡產(chǎn)生的光焦度只存在一個方向上，對其他方向沒有光焦度，所以對光線沒有偏折 效果，利用此原理，準(zhǔn)直光束A經(jīng)過X軸方向的第一柱面鏡40a時，會形成Y軸方向的線性 光斑，該線性光斑的長度為Ly，其在X軸方向沒有光焦度，對光線沒有偏折聚集效果；準(zhǔn)直 光束B經(jīng)過Y軸方向的第二柱面鏡40b會形成X軸方向的線性光斑，該線性光斑的長度為 Lx，而在Y軸方向沒有光焦度，對光線也沒有偏折聚集效果；若準(zhǔn)直鏡20出射的光束沒有發(fā) 散角時，對與XY正交的兩個截面上檢測到的線性光斑長度相等，即Lx = Ly ;而當(dāng)點光源位 于外焦點Dl處時，經(jīng)準(zhǔn)直鏡出射的光線向光軸會聚，經(jīng)過半透射半反射鏡30a和全反射鏡 30b的光路轉(zhuǎn)折后，Y軸方向的第二柱面鏡40b形成的線性光斑小于X軸方向的第一柱面鏡 40a形成的線性光斑，即Lx < Ly ;相應(yīng)地，當(dāng)點光源位于內(nèi)焦點D2處時，經(jīng)準(zhǔn)直鏡出射的光 線遠(yuǎn)離光軸發(fā)散，因此線性光斑的長度與點光源位于外焦點Dl處時相反，即Lx > Ly ;因此 通過檢測與XY正交的兩截面上線性光斑的長度Lx、Ly既可判斷準(zhǔn)直光束的平行度；根據(jù)檢 測到的正交的兩個截面上的線性光斑的長度，進(jìn)行計算可得到準(zhǔn)直光束的發(fā)散角，進(jìn)而檢 測準(zhǔn)直光束的準(zhǔn)直度。 結(jié)合圖3-圖5，對本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置100的原理進(jìn)行詳細(xì)說明。點光源10 發(fā)出的光束經(jīng)過準(zhǔn)直鏡20后形成平行于光軸CI的待測準(zhǔn)直光束，該準(zhǔn)直光束的直徑為d， 該待測的準(zhǔn)直光束經(jīng)過半透射半反射鏡30a時，半透射半反射鏡30a對其產(chǎn)生分光作用，把 需要檢測的準(zhǔn)直光束分開為兩部分，一部分透過半透射半反射鏡30a后出射到第一柱面鏡 40a，另一部分經(jīng)半透射半反射鏡30a反射到全反射鏡30b，半透射半反射鏡30a與全反射 鏡30b之間的光程差為S，再經(jīng)全反射鏡30b反射后出射到第二柱面鏡40b ;由于第一柱面 鏡40a設(shè)置于X軸方向上，因此待測準(zhǔn)直光束經(jīng)過第一柱面鏡40a后形成Y軸方向的線性 光斑，其長度為Ly，通過第一光電探測器50a檢測光束通過第一柱面鏡40a后形成的線性光 斑，并通過第一顯示器60a顯示；第二柱面鏡40b設(shè)置于Y軸方向上，因此待測準(zhǔn)直光束經(jīng) 過第二柱面鏡40b后形成X軸方向的線性光斑，其長度為Lx，通過第二光電探測器50b檢 測光束經(jīng)過第二柱面鏡40b后形成的線性光斑，并通過第二顯示器60b顯示；再通過比較兩線性光斑的長度Lx、Ly，判斷待測準(zhǔn)直光束的平行度，若Lx = Ly，說明準(zhǔn)直光束平行于光軸 Cl，準(zhǔn)直鏡20出射的準(zhǔn)直光束沒有發(fā)散角，即點光源10位于準(zhǔn)直鏡20的焦點處；相應(yīng)地， 若Lx < Ly，說明點光源10位于準(zhǔn)直鏡20的外焦點Dl處；若Lx > Ly，說明點光源10位于 準(zhǔn)直鏡20的內(nèi)焦點D2處；因此，通過比較與XY呈現(xiàn)正交的兩截面上的線性光斑的長度Lx、 Ly，就可判斷待測準(zhǔn)直光束是否平行與光軸；再根據(jù)線性光斑的長度Lx、 Ly，準(zhǔn)直光束的直 徑d，光程差S，兩柱面鏡的焦距Fx、 Fy，可計算出被測準(zhǔn)直光束的發(fā)散角，根據(jù)計算出的光 束發(fā)散角可對點光源進(jìn)行調(diào)整，保證準(zhǔn)直光束的平行度和準(zhǔn)直度；根據(jù)此原理，該裝置還可 用于檢測準(zhǔn)直鏡20本身的質(zhì)量，即點光源10精確設(shè)置于準(zhǔn)直鏡20的焦點處，則根據(jù)檢測 到的準(zhǔn)直光束的平行度，可判斷準(zhǔn)直鏡20的準(zhǔn)直質(zhì)量。 以上僅對具有兩呈正交設(shè)置的第一柱面鏡40a、第二柱面鏡40b的準(zhǔn)直光束檢測
裝置100的原理及結(jié)構(gòu)進(jìn)行了描述，但不限于該實施例，本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置100還可
根據(jù)實際需要，增加多個柱面鏡，對準(zhǔn)直光束的多個截面的線性光斑進(jìn)行檢測。 本發(fā)明準(zhǔn)直光束檢測裝置100的光電探測器50a、50b的原理等均為本領(lǐng)域普通技
術(shù)人員所熟知，在此不再做詳細(xì)的說明。 以上所揭露的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利 范圍，因此依本發(fā)明申請專利范圍所作的等同變化，仍屬本發(fā)明所涵蓋的范圍。
權(quán)利要求
一種準(zhǔn)直光束檢測裝置，用于與點光源配合檢測準(zhǔn)直光束的平行度，其特征在于，包括兩相互平行設(shè)置的柱面鏡，兩所述柱面鏡為第一柱面鏡及第二柱面鏡，所述第一柱面鏡及第二柱面鏡的柱面方向呈正交設(shè)置；兩光電探測器，兩所述光電探測器為第一光電探測器及第二光電探測器，所述第一光電探測器安裝于所述第一柱面鏡的焦點處，所述第二光電探測器安裝于所述第二柱面鏡的焦點處；準(zhǔn)直鏡，所述準(zhǔn)直鏡正對所述第一柱面鏡；第一透射鏡，所述第一透射鏡為透明介質(zhì)，所述第一透射鏡傾斜設(shè)置于所述準(zhǔn)直鏡與所述第一柱面鏡之間，所述準(zhǔn)直鏡、所述第一透射鏡、所述第一柱面鏡及所述第一光電探測器依次排列于一條直線上；第二透射鏡，所述第二透射鏡與所述第一透射鏡相互平行且位于同一直線上，所述第二透射鏡面對所述第二柱面鏡，所述第二透射鏡、所述第二柱面鏡及所述第二光電探測器依次排列于一條直線上。
2. 如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直光束檢測裝置，其特征在于所述第一透射鏡為半反射半 透射鏡。
3. 如權(quán)利要求l所述的準(zhǔn)直光束檢測裝置，其特征在于所述第二透射鏡為全反射鏡。
4. 如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直光束檢測裝置，其特征在于所述第一透射鏡及第二透射 鏡的口徑均大于所述準(zhǔn)直鏡產(chǎn)生的準(zhǔn)直光束的直徑。
5. 如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直光束檢測裝置，其特征在于還包括與所述第一光電探測 器及第二光電探測器相對應(yīng)的第一顯示器及第二顯示器，所述第一顯示器與所述第一光電 探測器對應(yīng)安裝，所述第二顯示器與所述第二光電探測器對應(yīng)安裝。
6. 如權(quán)利要求1所述的準(zhǔn)直光束檢測裝置，其特征在于所述點光源、所述準(zhǔn)直鏡、所 述第一透射鏡、所述第一柱面鏡及所述第一光電探測器依次排列于一條直線上。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種準(zhǔn)直光束檢測裝置，包括兩相互平行且柱面方向呈正交設(shè)置的第一柱面鏡及第二柱面鏡、分別對應(yīng)安裝于兩柱面鏡焦點處的第一光電探測器及第二光電探測器、與第一柱面鏡正對的準(zhǔn)直鏡、第一透射鏡及第二透射鏡；第一透射鏡為透明介質(zhì)且傾斜設(shè)置于準(zhǔn)直鏡與第一柱面鏡之間，準(zhǔn)直鏡、第一透射鏡、第一柱面鏡及第一光電探測器依次排列于一條直線上；第二透射鏡與第一透射鏡相互平行且位于同一直線上，并面對第二柱面鏡，第二透射鏡、第二柱面鏡及第二光電探測器依次排列于一條直線上；本發(fā)明利用柱面鏡只存在單向軸對稱曲率的特性，對準(zhǔn)直光束的平行度進(jìn)行檢測，因此裝置結(jié)構(gòu)簡單、容易調(diào)整、制造低廉且易于推廣的準(zhǔn)直光束檢測裝置。
文檔編號G01B11/27GK101701804SQ200910209490
公開日2010年5月5日 申請日期2009年11月4日 優(yōu)先權(quán)日2009年11月4日
發(fā)明者周倩, 孫滿龍, 廖漢忠, 王德熙, 程雪岷, 陳良俊, 馬建設(shè) 申請人:東莞市宏華光電科技有限公司;清華大學(xué)深圳研究生院