專利名稱：用于化學(xué)品存儲罐的液位計的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種液位計，特別是涉及一種用于化學(xué)品存儲罐的液位計。
背景技術(shù)：
在集成電路制造領(lǐng)域，在某些工藝步驟后，通常會在晶圓表面留下污染物，所述污 染物包括有機化合物、金屬雜質(zhì)或顆粒等，這些污染物對于產(chǎn)品后續(xù)工藝的影響非常大。例 如，顆粒的附著會影響光刻工藝圖案轉(zhuǎn)移的真實性，甚至?xí)斐呻娐方Y(jié)構(gòu)的短路。因此，在 半導(dǎo)體器件制造過程中，除了要排除外界的污染源外，還需要頻繁的進行晶圓清洗工作，所 述晶圓清洗工作是在不破壞晶圓表面特性及電特性的前提下，有效地使用化學(xué)溶液或氣體 清除殘留在晶圓上的污染物，避免這些污染物影響后續(xù)制程的進行，并防止清洗機臺與其 它晶圓受到這些污染物的污染。在晶圓清洗過程中，需要經(jīng)常使用去離子水，所述去離子水的pH值必須確保在合 格范圍內(nèi)，以確保晶圓的清洗效果。因此，在利用純水設(shè)備處理去離子水的過程中，需要向 去離子水內(nèi)添加濃硫酸，以調(diào)節(jié)去離子水的PH值。一般的，所述濃硫酸是被存儲于硫酸存 儲罐中，為了確保硫酸存儲罐內(nèi)的硫酸量符合要求，需要定期查看硫酸的液位。目前，硫酸 存儲罐被放置在半導(dǎo)體生產(chǎn)廠的化學(xué)品區(qū)內(nèi)，為了確保安全性，該化學(xué)品區(qū)通常用塑料門 簾與其它區(qū)域隔離，因此該化學(xué)品區(qū)的光線比較差，并且硫酸存儲罐并沒有設(shè)置液位計，導(dǎo) 致工作人員每次檢查硫酸存儲罐的液位時，必須帶上笨重的防護面具，再打開硫酸存儲罐 的蓋子，借助手電筒的光亮，來查看硫酸存儲罐內(nèi)的硫酸液位。然而，這種查看硫酸液位的方式不僅非常費時費力，給工作人員人員檢查硫酸液 位帶來了不便，且操作人員需要打開硫酸儲管的蓋子，具有強腐蝕性和刺鼻的味道的硫酸 極有可能濺射到操作人員身上，威脅操作人員的人身安全，此外，操作人員在打開硫酸存儲 罐時也有可能將其身體上的金屬離子帶入到硫酸存儲罐內(nèi)，使得硫酸被污染。為了解決上述問題，業(yè)界曾嘗試在硫酸存儲罐上安裝幾種常見的液位計，如超聲 波液位計或壓力式液位計，但是這兩種液位計的成本很高，不適用于小型的化學(xué)品存儲罐， 例如上述提到的硫酸存儲罐；為了降低液位計的成本，業(yè)界也曾考慮在硫酸存儲罐上安裝 浮球式液位計或聯(lián)通液位管式液位計，然而，這兩種液位計的成本雖然較低，但是卻不耐酸 堿腐蝕，并不適用于高濃度的化學(xué)品存儲罐。

實用新型內(nèi)容本實用新型提供一種用于化學(xué)品存儲罐的液位計，該液位計成本低，可為操作人 員檢查液位提供便利，并可確保操作人員的人身安全和化學(xué)品的潔凈度。為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種用于化學(xué)品存儲罐的液位計，包括浮 球，設(shè)置于所述化學(xué)品存儲罐內(nèi)；浮桿，其一端與所述浮球固定連接，其另一端自由伸出到 所述化學(xué)品存儲罐外；其中，所述浮桿表面劃分為若干段，其中每一段具有一種或多種顏 色，通過所述顏色來判斷存儲在所述化學(xué)品存儲罐內(nèi)的化學(xué)品的液位。[0008]可選的，所述化學(xué)品存儲罐是硫酸存儲罐，所述化學(xué)品存儲罐上設(shè)置有與所述浮桿尺寸匹配的開口，所述浮桿的另一端經(jīng)所述開口自由伸出到所述化學(xué)品存儲罐外。可選的，所述浮球表面涂有聚四氟乙烯膜?？蛇x的，所述浮桿表面涂有聚四氟乙烯膜?？蛇x的，所述浮桿表面劃分為三段。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型所提供的用于化學(xué)品存儲罐的液位計僅包括浮球以 及浮桿兩部分，結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，其中，所述浮桿的一端與浮球固定連接，所述浮桿的另 一端則自由伸出到化學(xué)品存儲罐外，所述浮桿表面劃分為若干段，其中每一段具有一種或 多種顏色，因此，操作人員無需打開化學(xué)品存儲罐的蓋子，僅通過觀察伸出到化學(xué)品存儲罐 外的浮桿的顏色，即可判斷存儲在化學(xué)品存儲罐內(nèi)的化學(xué)品的液位，非常省時省力，為操作 人員檢查液位提供便利，并確保操作人員的人身安全和化學(xué)品的潔凈度。

圖1為本實用新型實施例提供的用于化學(xué)品存儲罐的液位計的示意圖；圖2為本實用新型實施例提供的用于化學(xué)品存儲罐的液位計的使用示意圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合示意圖對本實用新型進行更詳細的描述，其中表示了本實用新型的優(yōu) 選實施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實用新型，而仍然實現(xiàn)本實用 新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當被理解為對于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作 為對本實用新型的限制。為了清楚，不描述實際實施例的全部特征。在下列描述中，不詳細描述公知的功能 和結(jié)構(gòu)，因為它們會使本實用新型由于不必要的細節(jié)而混亂。應(yīng)當認為在任何實際實施例 的開發(fā)中，必須做出大量實施細節(jié)以實現(xiàn)開發(fā)者的特定目標，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商 業(yè)的限制，由一個實施例改變?yōu)榱硪粋€實施例。另外，應(yīng)當認為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和 耗費時間的，但是對于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán) 利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且 均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。本實用新型的核心思想在于，提供一種成本較低的液位計，用于安裝在化學(xué)品存 儲罐上，為操作人員檢查液位提供便利，并確保操作人員的人身安全和化學(xué)品的潔凈度。請參考圖1和圖2，其中，圖1為本實用新型實施例提供的用于化學(xué)品存儲罐的 液位計的示意圖，圖2為本實用新型實施例提供的用于化學(xué)品存儲罐的液位計的使用示意 圖，用于化學(xué)品存儲罐的液位計100包括浮球110以及浮桿120，其中，浮球110設(shè)置于化 學(xué)品存儲罐200內(nèi)，浮桿120的一端與浮球110固定連接，浮桿120的另一端自由伸出到化 學(xué)品存儲罐200外，浮桿120表面劃分為若干段，其中每一段具有一種或多種顏色，通過所 述顏色即可判斷化學(xué)品存儲罐200內(nèi)存儲的化學(xué)品的液位。該用于化學(xué)品存儲罐的液位計 100僅包括浮球110以及浮桿120兩部分，結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，可為操作人員檢查液位提供 便利，并可確保操作人員的人身安全和化學(xué)品的潔凈度。[0020]在本實用新型的一個具體實施例中，化學(xué)品存儲罐200是硫酸存儲罐，具體的說，化學(xué)品存儲罐200是用于存儲濃度為96%的硫酸，所述化學(xué)品存儲罐200的容積可以為 400L，其中，化學(xué)品存儲罐200上設(shè)置有與浮桿120的尺寸匹配的開口 210。在本實用新型的一個具體實施例中，化學(xué)品存儲罐200與第一輸液管路310和第 二輸液管路320連通，第一輸液管路310和第二輸液管路320與總管路330連通，總管路330 則與純水設(shè)備400連通，第一輸液管路310上設(shè)置有第一計量泵311，第二輸液管路320上 設(shè)置有第二計量泵321，以使化學(xué)品存儲罐200內(nèi)存儲的化學(xué)品選擇性地經(jīng)第一輸液管路 310和總管路330輸入到純水設(shè)備400內(nèi)，或使化學(xué)品經(jīng)第二輸液管路320和總管路330輸 入到純水設(shè)備400內(nèi)，以調(diào)節(jié)去離子水的pH值。在本實用新型的一個具體實施例中，浮桿120的另一端經(jīng)開口 210自由伸出到化 學(xué)品存儲罐200外，較佳的，開口 210的尺寸略大于浮桿120的直徑，便于浮桿120上下移 動，又可避免由于開口 210過大，而導(dǎo)致存儲在化學(xué)品存儲罐200內(nèi)的化學(xué)品揮發(fā)到空氣中。在本實用新型的一個具體實施例中，浮球110表面涂有聚四氟乙烯膜，以避免浮 球110被化學(xué)品腐蝕，然而應(yīng)當認識到，浮球110表面也可以涂覆其它耐腐蝕的薄膜材料。在本實用新型的一個具體實施例中，浮桿120表面涂有聚四氟乙烯膜。較佳的，在 制作用于化學(xué)品存儲罐的液位計100時，首先在浮桿120上涂上多種不同顏色的油漆，然后 再在涂有油漆的浮桿120上涂覆聚四氟乙烯膜，避免各種顏色的油漆被化學(xué)品腐蝕掉。在本實用新型的一個具體實施例中，浮桿120表面沿長度方向劃分為三段，其中 每一段具有一種顏色。例如，從浮桿120的一端到另一端依次涂覆上非常醒目的綠色、黃色 以及紅色，也就是說，浮桿120包括涂有綠色的綠色段121、涂有黃色的黃色段122以及涂有 紅色的紅色段123。當只有紅色段123暴露在化學(xué)品存儲罐200外時，則代表化學(xué)品存儲罐 200內(nèi)的化學(xué)品量非常低，需要向化學(xué)品存儲罐200內(nèi)補充化學(xué)品；當黃色段122的部分或 者全部也暴露在化學(xué)品存儲罐200外時，則代表化學(xué)品存儲罐200內(nèi)的化學(xué)品量比較低，需 經(jīng)常觀察化學(xué)品存儲罐200內(nèi)的化學(xué)品液位；當綠色段121的部分或全部暴露在化學(xué)品存 儲罐200外時，則代表化學(xué)品存儲罐200內(nèi)的化學(xué)品量處于正常狀態(tài)，可確保生產(chǎn)要求。在本實用新型的一個具體實施例中，浮桿120的長度應(yīng)與化學(xué)品存儲罐200的高 度相匹配，確保浮桿120的另一端可伸出到化學(xué)品存儲罐200外，以使操作人員無需打開化 學(xué)品存儲罐200，即可觀察到浮桿120上的顏色。繼續(xù)參考圖2，并結(jié)合圖1，本實用新型實施例提供的用于化學(xué)品存儲罐的液位 計100是這樣工作的浮球110設(shè)置于化學(xué)品存儲罐200內(nèi)，并漂浮在化學(xué)品的液面上，浮 桿120的一端與浮球110固定連接，其另一端則自由伸出到化學(xué)品存儲罐200外，由于浮 桿120表面劃分為三段，其中每一段具有一種顏色，因此，操作人員無需打開化學(xué)品存儲罐 200的蓋子，即可通過伸出化學(xué)品存儲罐200外的浮桿120上的顏色，來判斷化學(xué)品存儲罐 200內(nèi)存儲的化學(xué)品的液位，非常省時省力，為操作人員檢查液位提供便利，且可避免具有 強腐蝕性和刺鼻的味道的化學(xué)品濺射到操作人員身上，確保操作人員的人身安全，此外，也 可避免操作人員將其身體上的金屬離子帶入到化學(xué)品存儲罐內(nèi)，確?；瘜W(xué)品的潔凈度。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對本實用新型進行各種改動和變型而不脫離本實用 新型的精神和范圍。這樣，倘若本實用新型的這些修改和變型屬于本實用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)， 則本實用新型也意圖包含這些改動和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求一種用于化學(xué)品存儲罐的液位計，其特征在于，包括浮球，設(shè)置于所述化學(xué)品存儲罐內(nèi)；浮桿，其一端與所述浮球固定連接，其另一端自由伸出到所述化學(xué)品存儲罐外；其中，所述浮桿表面劃分為若干段，其中每一段具有一種或多種顏色，通過所述顏色來判斷存儲在所述化學(xué)品存儲罐內(nèi)的化學(xué)品的液位。
2.如權(quán)利要求1所述的用于化學(xué)品存儲罐的液位計，其特征在于，所述化學(xué)品存儲罐 是硫酸存儲罐，所述化學(xué)品存儲罐上設(shè)置有與所述浮桿尺寸匹配的開口。
3.如權(quán)利要求2所述的用于化學(xué)品存儲罐的液位計，其特征在于，所述浮桿的另一端 經(jīng)所述開口自由伸出到所述化學(xué)品存儲罐外。
4.如權(quán)利要求3所述的用于化學(xué)品存儲罐的液位計，其特征在于，所述浮球表面涂有 聚四氟乙烯膜。
5.如權(quán)利要求4所述的用于化學(xué)品存儲罐的液位計，其特征在于，所述浮桿表面涂有 聚四氟乙烯膜。
6.如權(quán)利要求1至5中任意一項所述的用于化學(xué)品存儲罐的液位計，其特征在于，所述 浮桿表面劃分為三段。
專利摘要本實用新型揭示了一種用于化學(xué)品存儲罐的液位計，所述液位計包括浮球以及浮桿，所述浮球設(shè)置于所述化學(xué)品存儲罐內(nèi)，所述浮桿的一端與所述浮球固定連接，所述浮桿的另一端自由伸出到所述化學(xué)品存儲罐外，所述浮桿表面劃分為若干段，其中每一段具有一種或多種顏色，通過所述顏色來判斷存儲在所述化學(xué)品存儲罐內(nèi)的化學(xué)品的液位。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，成本低廉，可為操作人員檢查液位提供便利，并可確保操作人員的人身安全和化學(xué)品的潔凈度。
文檔編號G01F23/56GK201561785SQ20092021328
公開日2010年8月25日 申請日期2009年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月17日
發(fā)明者王經(jīng)宇 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司