專利名稱：平板玻璃表面的異物檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平板玻璃(flat glass plate)表面的異物檢測裝置，更具體而 言，涉及一種可對蒸鍍著微電路(micro-circuit)的圖案的面的異物進行準確檢測的平板 玻璃表面的異物檢測裝置。
背景技術(shù)：
用于平板顯示器(plat display)的平板玻璃，只在一面上蒸鍍著微電路的圖案， 玻璃業(yè)界將該面稱作“A面”，而另一面上并未蒸鍍著微電路的圖案，且玻璃業(yè)界將該另一面 稱作“B面”。在平板玻璃的A面的表面有異物的情況下，如果將微電路的圖案蒸鍍在此異物之 上，則容易引起微電路的圖案不良。因此，必須在蒸鍍微電路的圖案之前，準確檢查出玻璃 基板(特別是應(yīng)蒸鍍著電路的A面)上是否有異物。圖1是現(xiàn)有的平板玻璃表面的異物檢測裝置的示意圖。現(xiàn)有的平板玻璃表面的異 物檢測裝置使用激光束(laser beam)照射部20將具有較小厚度的激光束從傾斜方向射入 至平板玻璃。所射入的激光束31的一部分在通過平板玻璃后會透過該平板玻璃而形成一 種透過激光束35，而所射入的激光束31的剩余部分則被平板玻璃所反射，從而形成反射激 光束33。如圖1所示，當(dāng)使激光束以與平板玻璃的面形成較大角度的方式而從傾斜方向射 入時，所射入的激光束31到達平板玻璃的A面的部位與投射激光束3 5到達平板玻璃的B 面的部位之間會存在SL程度的水平距離上的差異。當(dāng)在A面的上部使用A面攝像裝置11來對異物進行拍攝時，能夠?qū)χ淮嬖谟谄矫?玻璃的A面上的異物進行拍攝。此時的原理中利用了如下現(xiàn)象，即，當(dāng)A面攝像裝置11進 行拍攝時，僅到達平板玻璃的A面的激光束因A面的異物81而產(chǎn)生散射并朝向透鏡(lens) 射入，而到達平板玻璃的B面的激光束在偏離了 δ L程度的位置處到達平板玻璃的B面，因 此不會射入至A面攝像裝置11的透鏡中。然而，圖1的現(xiàn)有的平板玻璃表面的異物檢測裝 置中存在如下問題如果所使用的激光束的厚度不是非常薄，則無法只對平板玻璃的A面 的異物進行檢測，而根據(jù)現(xiàn)實中能夠使用的激光束的厚度，存在于平板玻璃的B面上的一 部分異物91也會一同被檢測到。因平板玻璃的A面與平板玻璃的B面上附著有異物不過是普通的現(xiàn)象，所以在如 圖1所示的現(xiàn)有的異物檢測裝置中會檢測到位于平板玻璃的B面上的一部分異物，因而如 果使用該檢測結(jié)果，則無法獲取與平板玻璃的A面上的異物相關(guān)的準確信息。此外，目前的 現(xiàn)狀為，如果平板玻璃的厚度越薄，則射入激光束31到達平板玻璃的A面的部位與投射激 光束35到達平板玻璃的B面部位之間的水平距離上的差異即δ L減少，從而檢測結(jié)果更不 準確。另一問題則為當(dāng)平板玻璃的移送裝置上下振動時，準確地區(qū)分A面的異物與B面 的異物將變得更加困難。因而存在如下問題，即為了解決如上所述的問題，必須在現(xiàn)有的平板玻璃的異物檢測裝置中使用高價的精密搬送設(shè)備。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決所述問題而完成的，其目的在于提供一種平板玻璃表面的異物 檢測裝置，其即便使用上下振動的相對廉價的搬送裝備，也能夠?qū)Ω街谡翦冎㈦娐返?圖案的平板玻璃的表面的A面上的異物進行準確檢測。本發(fā)明的所述目的可通過平板玻璃表面的異物檢測裝置而達成，所述平板玻璃表 面的異物檢測裝置對附著于平板玻璃的表面上的異物進行檢測，所述平板玻璃包括由A面 與B面構(gòu)成的兩面，其特征在于包括A面激光束照射裝置，從平板玻璃的A面的上部朝向 所述A面，以A面的法線向量(normalvector)為基準且以第一角度照射已向S方向偏光的 第1波長的激光束；A面攝像裝置，對將激光束照射至平板玻璃的A面上的部位進行拍攝， 所述激光束是從A面激光束照射裝置而照射；B面激光束照射裝置，從平板玻璃的A面的上 部，以A面的法線向量為基準且以比第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波 長的激光束，所述第2波長的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上 透過后所得；B面攝像裝置，對將激光束照射至平板玻璃的B面上的部位進行拍攝，所述激 光束是從B面激光束照射裝置而照射；以及檢測信號處理部，對從A面攝像裝置及B面攝像 裝置所輸入的影像圖像進行分析，通過對哪個攝像裝置更清晰地輸出異物來進行判別，而 對附著異物的面進行判別。[發(fā)明的效果]根據(jù)本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置，即便使用發(fā)生上下振動的精度低 的平板玻璃的移送裝置，也可對存在于平板玻璃基板上的異物附著于A面與B面中的哪 一面進行準確檢測，因此使用該異物檢測裝置，能夠使生產(chǎn)液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)、有機電致發(fā)光(electroluminescence，EL)等的平板顯示器時有可能發(fā)生 的微圖案的不良現(xiàn)象減少。上述說明僅是本發(fā)明技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本發(fā)明的技術(shù)手段， 并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本發(fā)明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。


為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作一簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖是本發(fā) 明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根 據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖1是現(xiàn)有的平板玻璃表面的異物檢測裝置的示意圖。圖2是示意地表示本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的較佳實施方式的結(jié) 構(gòu)圖。圖3是圖2的A-A'方向的局部剖面圖。圖4是表示相對于S偏光波對玻璃的射入角的透過率(transmittance)及反射率 (reflectance)的圖表。圖5是說明相對于激光束的射入角的反射角及透過角的波形圖。
圖6是表示相對于P偏光波對玻璃的射入角的透過率及反射率的圖表。圖7是用于說明P偏光及S偏光的波形圖。圖8是用于說明由A面激光照射裝置所照射的激光束在因附著于玻璃基板上的異 物而產(chǎn)生散射后，由A面攝像裝置進行檢測的過程的說明圖。圖9是表示經(jīng)由本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置來對附著于玻璃基板上 的異物進行檢測，且視覺上顯示出該檢測結(jié)果的實施方式。圖10是用于說明即便在玻璃基板的移送裝置垂直移動的情況下，也可通過本發(fā) 明的平板玻璃表面的異物檢測裝置來準確進行異物的檢測的說明圖。圖11是用于說明本發(fā)明中所使用的激光束的形狀的說明圖。[符號的說明]11 :A面攝像裝置11-81、13-91 異物檢測圖像的畫面11-91:圖像的畫面13 =B面攝像裝置13-81 :A面異物的拍攝圖像20 激光束照射部30 平板玻璃31 激光束32 玻璃基板33 反射激光束35 透過激光束50 =A面攝像裝置照射至玻璃基板30的上部的區(qū)域51 :A面激光束照射裝置53 =B面激光束照射裝置53i、55:射入光53r、57 反射光53t、59 透過光59 激光束81:A 面異物90 檢測信號處理部91 :B 面異物83 散射光100:平板玻璃移送方向G :A面的法線向量S 激光束照射至平面玻璃30的A面上的區(qū)域T 激光束59的厚度t 玻璃基板30的厚度w 玻璃基板30的寬度方向x、y、z:軸
φ 激光束59的寬度θ 1 第一角度θ 2 第二角度θ 2t、θ 2r 角度δ L 水平距離上的差異
具體實施例方式以下，參考附圖來對本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的較佳實施方式進行 詳細說明。圖2是示意地表示本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的較佳實施方式的結(jié) 構(gòu)圖，圖3是圖2的A-A'方向的局部剖面圖。在進行說明之前，將分別設(shè)置著A面激光束照射裝置51與B面激光束照射裝置53 的一側(cè)面定義為如下含義形成為長方形的平板玻璃基板30的四個角部中的處于與平板 玻璃基板30的移送方向平行位置處的角部。參考圖2及圖3，本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置包括:Α面激光束照射裝 置51，從平板玻璃基板30的上部的一側(cè)面朝向A面，照射已向S方向偏光的第1波長的激 光束；A面攝像裝置11，接收因存在于A面上的異物而產(chǎn)生散射的激光束；B面激光束照射 裝置53，從平板玻璃基板30的側(cè)面對B面照射第2波長的激光束；B面攝像裝置13，接收 因存在于B面上的異物而產(chǎn)生散射的激光束；以及檢測信號處理部90，根據(jù)從A面攝像裝 置11及B面攝像裝置13所輸入的影像信號，而對該異物附著于A面或B面中的哪一面上 進行檢測。玻璃基板30是用于如IXD這樣的顯示器裝置的面板中的薄玻璃材質(zhì)的基板，一般 來說，由0. 5mm至0. 7mm的厚度構(gòu)成，A面是指蒸鍍形成著微電路的圖案的面，B面是指未形 成著微電路的圖案的面。參考編號“ 100，，表示玻璃基板30的移送方向，符號S表示將由A 面的激光照射部51與B面的激光照射部53所照射的激光束照射至平面玻璃30的A面上 的區(qū)域。由激光束照射裝置51、53照射至玻璃基板的A面及B面的激光束優(yōu)選具有大致 IOOmm的寬度及0. 65mm至0. 95mm的厚度。此時，激光束的寬度尺寸(約100mm)適合于具 有大致Im寬的玻璃基板30，而如果玻璃基板大型化，則也必須隨之使用寬度相應(yīng)變大的激 光束。例如，如果工序中的玻璃基板30是具有大于等于Im的寬度的玻璃基板30，則激光束 優(yōu)選具有大于等于IOOmm的寬度，而如果工序中的玻璃基板30具有小于等于Im的寬度，則 所述激光束優(yōu)選具有小于等于IOOmm的寬度。A面激光束照射裝置51是用于對附著于玻璃基板30的A面上的異物進行檢測的 裝置，優(yōu)選使從A面激光束照射裝置51輸出的激光束盡可能不透過平板玻璃基板30以便 產(chǎn)生反射。其理由在于當(dāng)將從A面激光束照射裝置51照射的激光束與平板玻璃30的A 面的法線向量G所成的角度定義為“第一角度”(圖3的Θ1)時，第一角度θ 1較佳為盡可 能維持為接近90度。圖4是表示S偏光波相對于玻璃的射入角的透過率及反射率的圖表。如圖4所示 可知當(dāng)從A面激光束照射裝置51照射的激光束與A面的法線向量形成75度(也就是，θ 1=75度)而射入時，射入光的約45%會被反射。在大氣中，從A面激光束照射裝置51照射 至A面的光會在包括如下的邊界面在內(nèi)的兩個邊界面發(fā)生反射，即，所述光到達A面的邊界 面及已透過A面的光到達B面的邊界面。因此，理論上可知，如果第一角度θ 1達到75度， 則射入光的約65%左右的光會被反射，本申請案的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)當(dāng)可達成此種程度的反射 率時，便可適用于實際的A面的異物檢測。更優(yōu)選為，若將第一角度θ 1維持為大于等于80 度且小于等于90度之間，則可將反射率維持為大于等于85%，因此能夠更有效地進行A面 的異物檢測。B面激光束照射裝置53是用于對附著于玻璃基板30的B面上的異物進行檢測而 照射激光束的裝置。如圖5所示，從B面激光束照射裝置53照射的激光束，如果作為射入光 53i而以θ 2的角度射入，則射入光53i中的一部分會以Θ2 的角度而形成透過光53t，其 剩余部分會以Θ2γ的角度形成反射光53r。更嚴格來說，還存在被玻璃基板30吸收的光， 但由于該光量非常少所以可忽視。與圖2相同，當(dāng)從A面的上部的側(cè)面使用B面激光束照射 裝置53進行照射時，優(yōu)選從B面激光束照射裝置53輸出的激光束盡可能在平板玻璃基板 30的厚度方向上透過。根據(jù)所述理由，在將從B面激光束照射裝置53照射的激光束與平板 玻璃30的A面的法線向量G所成的角度定義為“第二角度”(圖3的Θ2)的情況下，優(yōu)選 將第二角度θ 2盡可能維持為接近0度。當(dāng)并未使用偏光的光來作為B面激光束時，根據(jù) 實驗，第二角度θ 2盡可能小于等于40度較佳，更優(yōu)選小于等于10度。當(dāng)將未偏光的激光 束照射至玻璃時，相對于射入角的透過率及反射率表示在與圖4相同的圖表中，從而可知 當(dāng)?shù)诙嵌圈?2為40度時，射入光中的85%左右得以透過，而當(dāng)?shù)诙嵌圈?2為10度時， 射入光中的97%左右得以透過。圖6是表示相對于P偏光波相對于玻璃的射入角的透過率及反射率的圖表。如圖 6所示可知在使用P偏光波來作為從B面激光束照射裝置53照射的激光束的情況下，如 果與A面的法線向量形成70度(也就是，Θ2 = 70度)而射入，則射入光的約90%得以 透過。因此，理論上說，在使用P偏光的激光束來作為B面激光的情況下，如果將第二角度 θ 2維持為小于等于70度，則可使射入光的約大于等于90%的光透過，本申請案的發(fā)明人 發(fā)現(xiàn)當(dāng)可達成此種程度的透過率時，便可適用于實際的B面的異物檢測。更優(yōu)選為，使從B面激光束照射裝置53射出的激光束作為已向P方向偏光的第 2波長的激光束而形成，且優(yōu)選使該激光束以布儒斯特角(Brewsterangle)射入。如果已 向P方向偏光的光在玻璃基板30上形成布儒斯特角而射入，則不會產(chǎn)生反射波，而是能夠 100%透過，參考圖6，可知布儒斯特角在約55度附近成立。此外，優(yōu)選A面攝像裝置11與B面攝像裝置13分別包括僅使第1波長通過的濾 光片(filter)、及僅使第2波長透過的濾光片。另外，對P偏光方向與S偏光方向進行如下說明。前進的光在與前進方向垂直的 方向上形成著具有正弦波形狀的電場及磁場，但一般來說，將形成著電場的方向規(guī)定為偏 光方向。以下參考圖7來對偏光方向進行說明。具有固定寬度及厚度的激光束朝向進入地 面的方向前進，當(dāng)將與地面接觸的面設(shè)為S面時，如果所述激光束在y軸方向上形成電場， 則將該現(xiàn)象稱作P偏光，而如果在χ軸方向上形成電場，則將該現(xiàn)象稱作S偏光。參考圖2 進行說明，如果從A面激光束照射裝置51所照射的激光束在與照射至平板玻璃30的A面上 的區(qū)域S平行的面上形成著電場，則將該現(xiàn)象稱作P偏光，而如果在垂直的面上形成電場，則將該現(xiàn)象稱作S偏光。圖8是用于說明由A面激光照射裝置所照射的激光束在因附著于玻璃基板上的異 物而產(chǎn)生散射后，由A面攝像裝置進行檢測的過程的說明圖。圖9是表示經(jīng)由本發(fā)明的平 板玻璃表面的異物檢測裝置來對附著于玻璃基板上的異物進行檢測，且視覺上顯示出該檢 測結(jié)果的實施方式。在進行說明之前，假設(shè)在玻璃基板30的A面與B面上分別附著有A面 異物81與B面異物91，對本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置的作用進行說明。由A面 激光束而照射至玻璃基板30的A面的射入光55在到達A面之后，大部分被反射而形成反 射光57，而少量的剩余部分則形成可透過該玻璃基板30的透過光59。以下參考圖8及圖9，對存在于玻璃基板上的異物的檢測、及用于掌握所檢測的異 物存在于玻璃基板中的哪一面上的具體方法進行說明。當(dāng)將由A面激光束的照射裝置所照 射的激光束照射至A面異物81上時，A面激光束的射入光55或反射光57中的一部分會因 A面異物81而以任意的角度產(chǎn)生散射，且被配設(shè)于玻璃基板30的上部的A面攝像裝置11 所接收。圖9的“11-81”表示異物檢測圖像的畫面，該畫面是在A面攝像裝置11對因所述 玻璃基板30的A面異物81而被散射反射的A面激光束進行感知后所顯示者。如圖8及圖 9所示，被散射反射的光越多，則所檢測到的圖像得以更清晰地顯示，從而將玻璃基板30的 A面上存在異物81的情況顯示給作業(yè)人員看。即便一部分被透過的A面激光束到達B面異物91，也會因A面激光束的大部分已 被A面所反射，而到達B面異物91上的A面激光束的量相對較少，因此其影響(也就是，散 射及反射)較少。因此，根據(jù)由A面攝像裝置11所檢測到的影像信號生成而提供的圖像的 畫面(圖9的“11-91”)整體顯示為較暗的空白狀態(tài)，或者被檢測到的異物的影像的分辨率 被顯示成非常低且不清晰的圖像形態(tài)。實際上，A面攝像裝置11拍攝出一張影像圖像，該 影像的圖像中同時顯示出清晰拍攝到的A面異物、及以相對較少的光量進行拍攝而模糊拍 攝到的B面異物。另一方面，對附著于玻璃基板30的B面上的B面異物91進行以下說明。當(dāng)由B面 激光束照射裝置53所照射的B面激光束到達A面異物81時，會相對于所射入的所有光產(chǎn) 生散射及反射，因此由B面攝像裝置13拍攝到的A面異物的拍攝圖像(圖9的“13-81”) 以清晰的圖像形態(tài)來顯示。另一方面，當(dāng)附著于玻璃基板30的B面上的B面異物91被照 射了由B面激光束的照射裝置53所照射的激光束時，B面激光束的大部分會因B面異物91 而以任意的角度產(chǎn)生散射，且被配設(shè)于玻璃基板30的上部的B面攝像裝置13所接收。圖 9的“13-91”表示異物檢測圖像的畫面，該畫面是B面檢測裝置13對因附著于玻璃基板30 的B面上的異物91而被散射反射的B面激光束進行感知后所顯示者。實際上，B面攝像裝 置13拍攝出一張影像圖像，因而該影像圖像中顯示了清晰拍攝到的A面異物與清晰拍攝到 的B面異物。本發(fā)明的檢測信號處理部可利用由A面攝像裝置所拍攝的影像圖像及由B面攝像 裝置所拍攝的影像圖像中所表示的各異物的清晰度，而檢測出該異物附著于哪個面上。以下，假設(shè)如下情況，即，利用A面激光束照射裝置51使S方向偏光的第一頻率激 光束維持為與A面的法線向量成80度而射入，且利用B面激光束照射裝置53使P方向偏 光的第二頻率激光束維持為與A面的法線向量成布儒斯特角而射入，從而對本發(fā)明的A面 異物81與B面異物91的檢測方法進行定量說明。此時，假設(shè)為如下情況A面激光束及B面激光束具有100程度的射入量，A面激光束在大氣中被反射的反射率為85%，且B面激光 束可100%透過，而且，照射至異物的光產(chǎn)生100%的散射。表 1
A面異物B面異物A面激光束10015B面激光束100100相對于各面的異物 的合計光量200115此時，如表1所示，利用由A面激光束照射裝置所照射的A面激光束，A面異物產(chǎn)生 了 100程度的散射，而另一方面，對于B面異物而言只產(chǎn)生了 15程度的散射。與其相比，如 果假設(shè)B面攝像裝置的焦點在A面與B面被同等識別出，則由B面激光束照射裝置所照射的 B面激光束在照射至A面后會100%透過B面，因此對于A面異物與B面異物雙方均產(chǎn)生了 100程度的散射。因此，由A面攝像裝置及B面攝像裝置所檢測到的、相對于A面異物而散 射的光量總計為200，與此相對，由A面攝像裝置及B面攝像裝置所檢測到的、相對于B面異 物而散射的整體的光量為115。如果檢測信號處理部對由A面攝像裝置所拍攝到的影像圖 像、與由B面攝像裝置所拍攝到的影像圖像加以比較，則能夠檢測出各自的異物是存在于A 面上的異物、還是存在于B面上的異物。根據(jù)表1的比較，當(dāng)難以進行異物的檢測時，如果將A面激光束的強度設(shè)定為比B 面激光束的強度大2倍，則能夠更容易地進行檢測。如果假設(shè)為如下情況則所述表1的數(shù) 值變?yōu)槿绫?所示A面激光束具有射入量200，B面激光束具有射入量100，A面激光束在 大氣中被反射的反射率為85%，B面激光束100%透過，此外，照射至異物的光產(chǎn)生100%的散射。表2
A面異物B面異物A面激光束20030B面激光束100100相對于各面的異物 的合計光量300130 如以上的表2所示，在使A面激光束照射裝置與B面激光束照射裝置的輸出不同 的情況下，更可靠地示出由異物的位置所引起的光量的差，因此檢測信號處理部可使用從A 面攝像裝置及B面攝像裝置接收到的該異物的合計散射光量，而更容易地檢測出該異物附著于哪個面上。圖10是用于說明即便在玻璃基板30的移送裝置垂直移動的情況下，也可通過本 發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置來準確進行異物的檢測的說明圖。圖10(a)表示移送 中的玻璃基板30水平地在正常位置進行移送的過程的圖，圖10(b)所示的玻璃基板32是 因移送裝置的垂直偏差而其平坦度(flatness)發(fā)生改變的玻璃基板32，且表示了在從正 常的位置30向上部側(cè)平坦度改變了“ Δ ”的狀態(tài)下進行移送的過程。圖10中，將A面攝像 裝置照射至玻璃基板30的上部的區(qū)域表示為參考編號“50”。以前，玻璃表面的異物檢測裝置如所述般，無法適當(dāng)應(yīng)對移送中所產(chǎn)生的玻璃基 板30的平坦度改變，從而存在附著于玻璃基板30上的異物的檢測精度降低的問題。然而， 本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置即便在玻璃基板30的平坦度發(fā)生改變的情況下， 也能夠利用從與玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射而來的激光束，而將由基板30的 平坦度改變所引起的影響最小化。如果參考圖10(a)及(b)來對A面異物的檢測過程進行討論，則即便已到達被照 射著A面激光束59的區(qū)域的玻璃基板30從完全的平面位置(也就是，玻璃基板“30”的位 置)向上部方向移動“ Δ ”而位于更高的地點(也就是，玻璃基板“32”的位置)，玻璃基板 32的上表面也可維持成依然包含于上部激光束59的內(nèi)部的狀態(tài)。因此，能夠產(chǎn)生由附著于 玻璃基板30的A面的異物所引起的散射反射，從而能夠可靠進行異物的檢測。其原因在于本發(fā)明的平板玻璃表面的異物檢測裝置通過以如下方式而構(gòu)成從 與玻璃基板30的移送方向垂直的方向照射A面激光束59，同時將上部激光束59從玻璃基 板30的上表面以形成規(guī)定的傾斜角而從斜方向射入，從而即便在處于移送中的玻璃基板 30上發(fā)生平坦度改變了 “ Δ，，的情況下，玻璃基板32的上表面也總是能夠包含在所述激光 束的寬度方向的內(nèi)表面。圖11是用于說明本發(fā)明中所使用的激光束的形狀的圖。圖11 (a)是表示從移送中 的玻璃基板30的A面的側(cè)面照射激光束59至紙面的近前側(cè)的圖，圖11(b)是表示圖11(a) 的B-B'剖面的圖。如圖11(b)所示，激光束59具有如下的橢圓形狀在玻璃基板30的寬 度方向w上具有較小的厚度T，在玻璃基板30的厚度t方向上具有較寬的寬度Φ。通過使 用此種激光形狀，即便在使用了平坦度不固定且相對廉價的移送裝置的情況下也能夠準確 檢測出玻璃基板30上的異物。以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實施例而已，并非對本發(fā)明作任何形式上的限制，雖 然本發(fā)明已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人 員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的結(jié)構(gòu)及技術(shù)內(nèi)容作出些許的更 動或修飾為等同變化的等效實施例，但是凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明 的技術(shù)實質(zhì)來對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù) 方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種平板玻璃表面的異物檢測裝置，對附著于平板玻璃的表面上的異物進行檢測， 所述平板玻璃包括由A面與B面構(gòu)成的兩面，其特征在于包括A面激光束照射裝置，從所述平板玻璃的A面的上部朝向所述A面，以A面的法線向量 為基準且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波長的激光束；A面攝像裝置，對將激光束照射至所述平板玻璃的A面上的部位進行拍攝，所述激光束 是從所述A面激光束照射裝置而照射；B面激光束照射裝置，從所述平板玻璃的A面的上部，以A面的法線向量為基準且以比 所述第一角度更小的第二角度朝向所述A面而照射第2波長的激光束，所述第2波長的激 光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透過后所得；B面攝像裝置，對將激光束照射至所述平板玻璃的B面上的部位進行拍攝，所述激光束 是從所述B面激光束照射裝置而照射；以及檢測信號處理部，對從所述A面攝像裝置及所述B面攝像裝置所輸入的影像圖像進行 分析，而對附著所述異物的面進行判別。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于所述A面攝像裝置中設(shè)置著可選擇性地透過所述第一波長的濾光片，在所述B面攝像 裝置中設(shè)置著可選擇性地透過所述第二波長的濾光片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于 所述第一角度大于等于75度。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于 所述第一角度大于等于80度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于 所述B面激光束照射裝置照射已形成為P偏光的激光束。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于所述第二角度是角度維持為90度的布儒斯特角，所述角度是由所述B面激光束照射裝 置照射的激光束被平板玻璃的A面所反射的反射波、與在所述平板玻璃的厚度方向上折射 的折射波而成的角度。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的平板玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于 所述第二角度相對于所述A面的法線向量而小于等于70度。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于 從所述A面激光束照射裝置及B面激光束照射裝置照射的激光束具有由所述玻璃基板的厚度方向而定義的寬度Φ、及由所述玻璃基板的寬度方向而定義的厚度T，所述激光束 為寬度Φ形成得比厚度T更大的橢圓形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項所述的玻璃表面的異物檢測裝置，其特征在于 所述第二角度為大于等于0度且小于等于40度之間的角度。
全文摘要
本發(fā)明涉及平板玻璃表面的異物檢測裝置，包括A面激光束照射裝置，從平板玻璃的A面的上部朝向A面，以A面的法線向量為基準且以第一角度照射已向S方向偏光的第1波長的激光束；A面攝像裝置，對將激光束照射至平板玻璃的A面上的部位進行拍攝，該激光束是從A面激光束照射裝置而照射；B面激光束照射裝置，從平板玻璃的A面的上部，以A面的法線向量為基準且以比第一角度更小的第二角度而朝向所述A面照射第2波長的激光束，所述第2波長的激光束是被照射的激光束的大部分在平板玻璃的厚度方向上透過后所得；B面攝像裝置，對將激光束照射至平板玻璃的B面上的部位進行拍攝，該激光束是從B面激光束照射裝置而照射；以及檢測信號處理部。
文檔編號G01N21/956GK102141526SQ20101014143
公開日2011年8月3日 申請日期2010年3月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年1月29日
發(fā)明者樸晉弘, 李昌夏, 金臺皓, 金賢祐 申請人:三星康寧精密素材株式會社