專利名稱：X射線檢查裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種對物品照射X射線，檢測物品內(nèi)的異物的X射線檢查裝置。
背景技術：
一直以來，為了檢測出物品內(nèi)的異物而使用X射線檢查裝置等。對于這些X射線 檢查裝置的研究開發(fā)每天都在進行。在專利文獻1中公開了一種放射線檢測器用部件，其能夠線焊所需的空間最小， 容易實現(xiàn)放射線檢測器的小型化和制作，并且使二維檢測裝置的制作變得容易。該放射線 檢測器用部件被用于X射線檢查裝置中。專利文獻1中所述的放射線檢測器用部件包括被配置在基板上面的一部分區(qū)域 上的光電元件，輸出基于該光電元件所接收的光的強度的電信號。該光電元件在其受光面 上具有第一襯墊。放射線檢測器用部件包括被配置在基板的其它區(qū)域上的襯墊形成部、和 在該襯墊形成部上所形成的第二襯墊。第二襯墊按照與被配置在光電元件的受光面上的第 一襯墊形成同一平面的方式配置，并且與第一襯墊電連接。而且，在專利文獻1中所述的放射線檢測器用部件中，在比光電元件的受光面更 靠近受光方向的上游一側還具備光波導路(參照專利文獻1的權利要求22以及圖7)。專利文獻1 特開2003-084066號公報例如，在專利文獻1所述的放射線檢測用部件中，使用準直儀14作為光波導管，僅 用于檢測平行光的例子(參照專利文獻1的圖7)。但是，如專利文獻1中記載的圖7所示， 使光電二極管陣列2與閃爍器陣列11的大小一致，在形成矩陣的情況下，模具費用等、制造 工藝所需費用極大。因此，從降低成本的觀點來看，如果考慮使用光學粘合劑在光電二極管陣列(以 下簡稱PDA) 2上粘合閃爍器陣列11的粘合工藝，那么，PDA2的寬度很小，為0. Imm 0. 9mm 左右，在此情況下，閃爍器陣列11的寬度也必須為數(shù)mm。因此，由于閃爍器陣列11比PDA2大，所以被閃爍器陣列11變換的可見光相對于 PDA2衍射，微小的檢出物的檢測變得困難。以下，對該衍射進行說明。圖10是用于說明使微小異物的檢測降低的狀態(tài)的斷面示意圖。如圖10所示，在現(xiàn)有的X射線檢查裝置900中，從X射線照射裝置200照射X射 線Sl，x射線Sl透過傳送帶801，從閃爍器300的閃爍元件310a、310b、310c、310d、310e發(fā) 出可見光。并且該可見光射入到PDA400中，發(fā)出電信號。像這樣，在照射X射線Sl的情況下，閃爍器300的閃爍元件310a、310b、310c、 310d、310e朝向全方位360度的方向發(fā)出可見光。因此，在物品內(nèi)存在微小異物的情況下， 從位于微小異物的下方的閃爍元件不發(fā)出可見光。但是，由于存在多個閃爍元件，因此，通 過位于物品內(nèi)的微小異物的下方附近的閃爍元件被變換的可見光就會射入到PDA400中。 由此，光電二極管陣列400中的微小異物的電信號邊緣變薄，難以檢測出物品內(nèi)有無微小 異物。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種采用簡單的構造就能準確地檢測出微小異物的X射 線檢查裝置。(1)本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置包括X射線照射裝置、閃爍器、槽縫部件、和光 電二極管陣列，其輸送檢查對象物并檢測出所述檢查對象物內(nèi)的異物。X射線照射裝置對 檢查對象物照射X射線。閃爍器沿著與輸送方向交叉的方向延伸設置，將從X射線照射裝 置照射的X射線變換成可見光。槽縫部件形成有沿著與輸送方向交叉的方向延伸設置的槽 縫，并且相對于閃爍器被配置在X射線照射一側。光電二極管陣列沿著閃爍器的設置方向 而設置，檢測出通過閃爍器進行光變換而得到的可見光，并將該可見光變換成電信號。槽縫 部件的槽縫寬度比閃爍器的寬度小，為光電二極管陣列的受光寬度的二分之一以上。在本發(fā)明的X射線檢查裝置中，X射線從X射線照射裝置被照射在檢查對象物上， 通過槽縫部件的槽縫的X射線通過閃爍器被變換成可見光，被變換得到的可見光通過光電 二極管陣列而被檢測出，并被變換成電信號。在此情況下，槽縫部件的槽縫寬度比閃爍器的寬度小，是光電二極管陣列的受光 寬度的二分之一以上的大小。因此，能夠用閃爍器將通過槽縫部件的槽縫的X射線準確地 進行光變換，利用光電二極管陣列變換成電信號。而且，在檢測出檢查對象物內(nèi)的微小異物的情況下，利用槽縫部件能夠防止可見 光的衍射，能夠明確微小異物的邊緣。根據(jù)上述內(nèi)容，通過簡單的構造就能夠準確地檢測出 微小的異物。(2)本發(fā)明的X射線檢查裝置還可以包括照射寬度調整機構，其用于調整通過所 述槽縫被照射在所述閃爍器上的照射寬度。在此情況下，能夠利用照射寬度調整機構調整被照射在閃爍器上的照射寬度。例 如，通過調整閃爍器與槽縫部件的間隔，能夠調整向閃爍器的X射線的照射寬度、入射光量。(3)優(yōu)選光電二極管陣列的受光寬度與槽縫部件的槽縫寬度的比在1 1至1 3 的范圍內(nèi)。在此情況下，槽縫部件的槽縫寬度比閃爍器的寬度小，是光電二極管陣列的受光 寬度以上的大小。并且，能夠將光電二極管陣列的解析度和電信號較高地維持。(4)閃爍器的厚度與槽縫部件的槽縫寬度的比在1 1至1 6的范圍內(nèi)。在此情況下，能夠在閃爍器中有效地變換通過槽縫寬度的X射線。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠利用槽縫部件防止可見光的衍射，明確檢查對象物內(nèi)的微小異 物的邊緣。通過以上的方法，采用簡單的構造就能夠可靠地檢測出微小異物。


圖1是表示本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置的一個例子的外觀示意圖。圖2是表示本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置的內(nèi)部的一個例子的示意圖。
圖3是從側方觀察圖2的X射線檢查裝置的示意圖。圖4是圖3的一部分的放大示意圖。圖5是圖3的一部分的放大示意圖。圖6是表示MTF曲線的一例的示意圖。圖7是表示對應槽縫寬度的解析度的一例的示意圖。圖8是表示對應槽縫寬度的傳感器輸出的一例的示意圖。圖9是表示對應槽縫寬度的輸出衰減比的一例的示意圖。圖10是用于說明現(xiàn)有的X射線檢查裝置的示意圖。圖11是用于說明現(xiàn)有的X射線檢查裝置的示意圖。圖12是用于說明本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置的示意圖。圖13是用于說明本發(fā)明涉及的X射線檢查裝置的示意圖。圖14是用于說明本發(fā)明的效果的說明圖。符號說明100X射線照射裝置300閃爍器400光電二極管陣列500槽縫部件
具體實施例方式下面，使用附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。(實施方式1)圖1是表示本發(fā)明的X射線檢查裝置100的外觀示意圖，圖2是表示本發(fā)明的X 射線檢查裝置100的內(nèi)部的示意圖。如圖1所示，X射線檢查裝置100內(nèi)置有X射線照射裝置200。此外，X射線檢查 裝置100將作為檢查對象的商品放在傳送帶800上并進行輸送，同時在X射線檢查裝置100 的內(nèi)部進行X射線檢查判斷在商品中是否有異物混入。如圖1所示，X射線檢查裝置100的傳送帶800按照突出到X射線檢查裝置100的 外部的方式形成，并且設置有多個X射線防護簾850。此外，操作者通過操作觸摸面板畫面 MT使X射線檢查裝置100驅動。下面，對X射線檢查裝置100的內(nèi)部構造進行說明。
如圖2所示，本發(fā)明的X射線檢查裝置100具有X射線照射裝置200、傳送帶800、 槽縫部件500、照射寬度調整機構510 (參照圖3)、閃爍器300以及光電二極管陣列(以下 簡稱為PDA)400。此處，傳送帶800為無端狀的帶被卷繞在一對輥上，在圖2中，用傳送帶 801表示去路，用傳送帶802表示回路。槽縫部件500、閃爍器300和PDA400從上至下被依 次配置，它們被配置在傳送帶801、802之間，X射線照射裝置200被配置在傳送帶801的上 方。傳送帶801沿著箭頭Ll的方向輸送物品，傳送帶802沿著箭頭-Ll的方向移動，由此 傳送帶802就返回傳送帶801的去路一側。在本實施方式中，X射線Sl的衰減僅受傳送帶 801的影響，并不依賴于傳送帶802。 從圖2的X射線照射裝置200照射X射線Si。另外，物品600通過設在槽縫部件 500、閃爍器300和PDA400的上方的傳送帶801沿著箭頭Ll的方向輸送。
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此外，如圖2所示，閃爍器300包括閃爍元件310a、310b、310c、310d、310e。為了便 于說明，閃爍元件310a 310e選了 5個，但實際上閃爍器300中可包括多個閃爍元件。另 外，由圖2的槽縫部件500所形成的槽縫沿著與箭頭Ll的方向垂直的方向延伸。下面，使用圖3、圖4和圖5對槽縫部件500的槽縫進行說明。圖3是從側方觀察 圖2的X射線檢查裝置100的示意圖，圖4和圖5是圖3的一部分的放大示意圖。另外，在 圖4和圖5中，省略了閃爍元件310d的圖示。如圖3所示，閃爍器300通過化學粘合劑粘貼在PDA400上。從X射線照射裝置200 進行X射線Sl的照射。在本實施方式中，因為有槽縫部件500，只有X射線S2的范圍被照 射在閃爍器300上，其它的X射線Sl被槽縫部件500反射。S卩，在X射線Sl中，通過槽縫 部件500的槽縫范圍的X射線就是X射線S2。此外，該槽縫和X射線S2依賴于PDA400接 收通過閃爍器300所變換的可見光的寬度。在如圖10所示的現(xiàn)有的X射線檢查裝置900的X射線照射裝置200中，因沒有設 置槽縫部件500層，因此在X射線S 1的全范圍照射到閃爍器300。因此，在閃爍器300的 閃爍元件310a、310e中也發(fā)生可見光的光變換，該可見光被入射到PDA400中。由此，即使 在物品內(nèi)存在微小異物的情況下，物品內(nèi)的微小異物的輪廓也變得模糊，難以檢測出物品 內(nèi)的微小異物。將在后文中對難以檢測出該微小異物的具體例子進行闡述。下面，如圖4所示，在使PDA400的寬度為H1，使閃爍器300的厚度為A2，寬度為 H2，槽縫部件500的厚度為A3，槽縫寬度為H3的情況下，則具有Hl彡H3 < H2的關系。此外，如圖4和圖5所示，通過照射寬度調整機構510使槽縫部件500在垂直上下 方向(箭頭M510的方向)上移動，由此能夠將閃爍器300和槽縫500的間隔從距離A23變 更為距離A23a。從而能夠將X射線S2的照射寬度變更為X射線S21的照射寬度。如上所述，用化學粘合劑將閃爍器300粘貼在PDA400上，通過設置槽縫部件500， 從而無需與PDA400的幅度Hl相匹配而制造閃爍器300的幅度H2。即，能夠改善如果與 PDA400的幅度Hl相匹配制造閃爍器300的情況下的、閃爍器300與PDA400的粘合錯位等 導致的成品率的下降。此外，還能夠降低用于制造與PDA400的幅度Hl相匹配的微小的閃 爍器300的成本。此外，能夠僅在最小限度需要的閃爍器300上照射X射線S2、X射線S21，而且能 夠使X射線不照射在多余的閃爍器300(圖3的閃爍元件310a、310e)上。并且，能夠防止 由于光變換導致不必要的可見光射入PDA400，并能夠防止由于衍射而向PDA400提供不需 要的可見光。下面，使用圖6至圖9，對閃爍器300的厚度A2、光電二極管陣列400的幅度Hl以 及槽縫幅度H3的關系進行說明。此外，以下實驗中的X射線的照射強度為50kV。在PDA400 的幅度Hl為0. 6mm的條件下實施以下實驗。圖6是表示MTF曲線的一例的示意圖，圖7是表示與槽縫幅度對應的解析度的一 個例子的示意圖，圖8是表示與槽縫幅度對應的輸出衰減比的一個例子的示意圖，圖9是表 示與槽縫幅度對應的傳感器輸出的一個例子的示意圖。首先，對于圖6所示的MTF曲線，橫軸表示作為每單位長度(毫米)的周期數(shù)的 空間頻率，縱軸表示在0頻率下標準化為1或者100的對比度再現(xiàn)度(MTF Modulation Transfer Function 調制傳遞函數(shù))。此處，空間頻率是表示將黑和白周期性地重復的條紋圖案的間隔圖6的實驗是在閃爍器300的厚度A2為0. 3mm的條件下實施的。此外，該實驗分 別在設置有槽縫幅度H3制成為0. 6mm、0. 9mm、1. 2mm、1. 5mm、1. 8mm的多種的槽縫部件500 的情況下、與未設置槽縫部件500的情況下實施。在圖6中，曲線T06表示槽縫幅度H3為0. 6mm的情況，曲線T09表示槽縫幅度H3 為0. 9mm的情況，曲線T12表示槽縫幅度H3為1. 2mm的情況，曲線T15表示槽縫幅度H3為 1. 5mm的情況，曲線T18表示槽縫幅度H3為1. 8mm的情況，曲線TO表示未設置槽縫部件500 的情況。由圖6的結果可知，能夠以曲線T06、曲線T09、曲線T12、曲線T15、曲線T18、曲線 TO的順序維持較高的空間頻率。S卩，由此可知，與沒有槽縫的情況相比，有槽縫的情況下更好。接下來，圖7的橫坐標表示槽縫幅度H3 (mm)，縱坐標表示解析度(mm)。在圖7中， 解析度(mm)定義為首次低于MTF值0. 1的空間頻率的值的倒數(shù)。在圖7中，曲線A03表示閃爍器300的厚度A2為0. 3mm的情況，曲線A05表示閃 爍器300的厚度A2為0. 5mm的情況。曲線A03和曲線A05是在各個條件下從使槽縫幅度 H3變?yōu)?. 6mm、0. 9mm、1. 2mm、1. 5mm、1. 8mm,2. 4mm的點推測的多項式近似曲線。如圖7所示，通過與曲線A05比較可知，曲線A03在整個區(qū)域的解析度高，其結果 使，在本實驗中，閃爍器300的厚度A2為0. 3mm時比為0. 5mm時的解析度高。根據(jù)圖7的結果，在曲線A03中，槽縫幅度H3為1.8mm以上時解析度固定。其結 果是，槽縫幅度H3的上限是1. 8mm，使槽縫幅度H3為1. 8mm以上也毫無意義。接著，圖8的橫軸表示槽縫寬度(mm)，縱軸表示傳感器輸出。此處，傳感器輸出表 示來自PDA400的電信號的輸出值。在圖8中，曲線A03表示閃爍器300的厚度A2為0. 3mm的情況，曲線A05表示閃 爍器300的厚度A2為0. 5mm的情況。此外，曲線A03和曲線A05是在各個條件下，從使槽 縫幅度H3變?yōu)?. 6mm、0. 9mm、1. 2mm、1. 5mm、1. 8mm,2. 4mm的點推測的多項式近似曲線。如圖8所示，與曲線A05相比，曲線A03表示傳感器輸出值較高，在閃爍器300的 厚度A2為0. 3mm的情況下，與厚度A2為0. 5mm的情況相比，能夠高效地進行光變換。另外，參照圖8，當槽縫寬度H3在1. 8mm以上時，則傳感器輸出固定。其結果是，槽 縫寬度H3的上限為1. 8mm,即使使槽縫寬度H3為1. 8mm以上也毫無意義。此外，當傳感器 輸出的下限值大約在300以上，則能夠進行圖像處理，因此，槽縫寬度H3的下限是0. 3mm。而且，如果考慮傳感器輸出中的SN比，在噪音為固定值的情況下，優(yōu)選信號大的 狀況。為了更好地進行圖像處理，傳感器輸出優(yōu)選在1000以上。因此，在閃爍器300的厚 度A2為0. 3mm的情況下，槽縫寬度H3的下限為大約0. 6mm。如上所述，槽縫寬度H3優(yōu)選在0.3mm至1.8mm的范圍。在閃爍器300的厚度A2為 0. 3mm的情況下，槽縫寬度H3的上限為1. 8mm,因此，閃爍器300的厚度A2與槽縫寬度H3的 上限的比是1 6。在閃爍器300的厚度A2為0. 3mm的情況下，槽縫H3的下限為0. 3mm, 因此，閃爍器300的厚度A2與槽縫寬度H3的下限的比為1 1。因此，閃爍器300的厚度A2與槽縫寬度H3的比在1 6至1 1的范圍即可。此外，在PDA400的寬度Hl為0. 6mm的情況下，槽縫寬度H3的上限是1. 8mm,因此，PDA400的寬度Hl與槽縫寬度H3的上限的比為1 3。另外，在PDA400的寬度Hl為0. 6mm 的情況下，傳感器輸出的下限值約為300左右，槽縫寬度H3的下限為0. 3mm,因此，PDA400 的寬度Hl與槽縫寬度H3的下限的比為2 1。此外，如上所述，為了進行最佳的圖像處理，傳感器輸出優(yōu)選大約為1000以上，因 此，槽縫寬度H3的下限為0. 6mm。此夕卜，PDA400的寬度Hl為0. 6mm,因此，PDA400的寬度 Hl與槽縫寬度H3的下限比為1 1。因此，PDA400的寬度Hl與槽縫寬度H3的比在2 1至1 3的范圍即可，更加 優(yōu)選的是PDA400的寬度Hl與槽縫寬度H3的比在1 1至1 3的范圍。最后，圖9中的橫軸表示槽縫寬度(mm)，縱軸表示輸出衰減比(％ )。在圖9中，曲線A03表示閃爍器300的厚度A2為0. 3mm的情況，曲線A05表示閃 爍器300的厚度A2為0. 5mm的情況。此外，曲線A03和曲線A05是在各個條件下，從使槽 縫幅度H3變?yōu)?. 6mm、0. 9mm、l. 2mm、l. 5mm、l. 8mm,2. 4mm的點推測的多項式近似曲線。如圖9所示，與曲線A05相比，曲線A03表示輸出衰減比更大，閃爍器300的厚度 A2為0. 3mm時，與厚度A2為0. 5mm的情況相比，輸出衰減比(％ )被保持為更高。如以上的圖6至圖9所示，PDA400的寬度Hl為0. 6mm時，閃爍器300的厚度A2優(yōu) 選為0. 3mm,槽縫部件500的槽縫寬度H3優(yōu)選在0. 6mm至1. 8mm以內(nèi)。接下來，使用圖10至圖14，對現(xiàn)有的X射線檢查裝置900和本發(fā)明的X射線檢查 裝置100的不同點進行說明。圖10和圖11是用于說明現(xiàn)有的X射線檢查裝置900的示意 圖，圖12和圖13是用于說明本發(fā)明的X射線檢查裝置100的示意圖。在圖10和圖11所示的現(xiàn)有的X射線檢查裝置900中，從X射線照射裝置200照 射X射線S 1，具有微小異物610的物品600沿著箭頭Ll的方向被輸送。在該情況下，由 于物品600內(nèi)的微小異物610不使X射線S 1透過，因此，X射線Sl并未照射在閃爍器300 的閃爍元件310c上，僅閃爍元件310c不能進行向可見光的光變換。但是，由于閃爍元件310a、310b、310d、310e全方位地發(fā)出可見光，因此，如圖11所 示，傾斜方向的可見光KSD(衍射)射入到PDA400。由此，在物品600內(nèi)的微小異物610極 小的情況下，在PDA400的電輸出信號中未出現(xiàn)差異，存在無法識別物品600內(nèi)的微小異物 610的情況。即，可見光KSD將微小異物610的變化消去。此處，可見光KSD是基于閃爍元 件310a、310b的傾斜45度向下方的可見光、和基于閃爍元件310d、310e的傾斜45度向下 方的可見光的總和。另一方面，在圖12和圖13所示的本發(fā)明的X射線檢查裝置100中，從X射線照射 裝置200照射X射線Si，寬度比X射線Sl窄的X射線S2通過槽縫部件500被照射在閃爍 器300上。并且，物品600沿著箭頭Ll的方向被輸送。在該情況下，由于物品600內(nèi)的微小異物610和槽縫部件500不使X射線Sl通過， 因此，在閃爍器300的閃爍元件310a、310C、310e上未被照射X射線Sl和X射線S2。其結 果是，能夠大大降低可見光從閃爍元件310a、310e向閃爍元件310c —側衍射的影響。結果，不會出現(xiàn)如圖11所示的傾斜方向的可見光KSD射入PDA400中的現(xiàn)象，而如 圖13所示，大致垂直向下方向的可見光KSE射入到PDA400中。S卩，閃爍元件310a、310e不 進行光變換，可見光KSE為僅基于閃爍元件310b的向下方的可見光、傾斜45度向下方的可 見光、僅基于閃爍元件3IOd的向下方的可見光、和傾斜45度向下方的可見光的總和。因此，即使物品600內(nèi)的微小異物610極小的情況下，可見光的差異也在PDA400中呈現(xiàn)，因此，能 夠準確地檢測出物品600內(nèi)的微小異物610。此處，使用圖14對本發(fā)明的效果進行說明。圖14是用于說明本發(fā)明的效果的說 明圖?？v軸表示來自PDA400的電信號輸出，橫軸表示時間經(jīng)過。如圖14所示，在使用現(xiàn)有的X射線檢查裝置900的情況下，因發(fā)生衍射而產(chǎn)生可 見光KSD，因此，物品600內(nèi)的微小異物610只在區(qū)域AR9中顯現(xiàn)。另一方面，在使用本發(fā)明的X射線檢查裝置100的情況下，能夠防止衍射，利用可 見光KSE物品600內(nèi)的微小異物610在區(qū)域ARl中顯現(xiàn)。像這樣，區(qū)域ARl與區(qū)域AR9相 比，以數(shù)倍的大小顯現(xiàn)，因此，能夠準確地檢測出微小異物610。如上所述，在本發(fā)明的X射線檢查裝置100中，X射線Sl的照射因為設有槽縫部 件500最終僅對為了使其入射到PDA400中所需最低限度的閃爍器300入射。在檢測出微 小異物的情況下，槽縫部件500可防止向位于微小異物下側方附近的閃爍器300提供X射 線Si，因此，能夠防止可見光的衍射。而且，槽縫部件500的槽縫寬度H3比閃爍器300的寬度H2小，比光電二極管陣列 400的寬度Hl大。因此，能夠用閃爍器300準確地變換通過槽縫部件500的槽縫的X射線 S2，利用光電二極管陣列400變換成電信號。此外，由于無需與光電二極管陣列400的寬度Hl相匹配而制造閃爍器300，因此能 夠降低X射線檢查裝置100的制造成本。此外，由于槽縫部件500的槽縫設置在與箭頭Ll的物品的輸送方向交叉的方向 上，因此，能夠使通過槽縫部件500的物品600內(nèi)的微小異物610的陰影變得明顯。其結果 是，能夠通過簡單的構造準確地檢測出物品600內(nèi)的微小異物610。而且，由于X射線照射裝置200與物品600之間沒有障礙物，因此，X射線的強度 不會變?nèi)?，通過槽縫部件500入射到PDA400中。其結果是能夠適度地調整X射線強度，實 施有效的X射線檢查。在本實施方式中，物品600相當于檢查對象物，X射線Si、S2相當于X射線，X射 線照射裝置200相當于X射線照射裝置，閃爍器300相當于閃爍器，光電二極管陣列400相 當于光電二極管陣列，槽縫部件500相當于槽縫部件，槽縫寬度H3相當于槽縫寬度，閃爍器 300的寬度H2相當于閃爍器的寬度，光電二極管陣列400的寬度Hl相當于光電二極管陣列 的受光寬度，箭頭Ll相當于輸送方向，照射寬度調整機構510相當于照射寬度調整機構，X 射線檢查裝置100相當于X射線檢查裝置。以上是本發(fā)明的一個優(yōu)選實施方式，但是，本發(fā)明并非局限于此。不脫離本發(fā)明的 主旨和范圍的各種實施方式可以理解為其它的實施方式。而且，在本實施方式中，闡述了基 于本發(fā)明的構造的作用和效果，但是，這些作用和效果只是一個例子，并不對本發(fā)明進行限定。
權利要求
一種X射線檢查裝置，用于輸送檢查對象物并檢測出所述檢查對象物內(nèi)的異物，其包括X射線照射裝置，其對所述檢查對象物照射X射線；閃爍器，在與所述輸送方向交叉的方向上延伸設置、且將由所述X射線照射裝置照射的X射線光變換為可見光；槽縫部件，其形成有在與所述輸送方向交叉的方向上延伸設置的槽縫，并且相對于所述閃爍器被設置在所述X射線照射一側；和光電二極管陣列，其沿著所述閃爍器的設置方向設置，檢測出通過所述閃爍器進行光變換而得到的可見光，并將該可見光變換成電信號，所述槽縫部件的槽縫寬度比所述閃爍器的寬度小，為所述光電二極管陣列的受光寬度的1/2以上。
2.如權利要求1所述的X射線檢查裝置，其特征在于，還包括照射寬度調整機構，其用于調整通過所述槽縫被照射在所述閃爍器上的照射寬度。
3.如權利要求1或2所述的X射線檢查裝置，其特征在于所述光電二極管陣列的受光寬度與所述槽縫部件的槽縫寬度的比在11至13的 范圍內(nèi)。
4.如權利要求1或2所述的X射線檢查裝置，其特征在于所述閃爍器的厚度與所述槽縫部件的槽縫寬度的比在1
5.如權利要求3所述的X射線檢查裝置，其特征在于所述閃爍器的厚度與所述槽縫部件的槽縫寬度的比在11至1 6的范圍內(nèi)。 1至1 6的范圍內(nèi)。全文摘要
本發(fā)明提供X射線檢查裝置。X射線檢查裝置(100)通過對物品照射X射線(S1)，利用光電二極管陣列(400)檢測出通過閃爍器(300)被變換的光，由此檢測出物品600內(nèi)的微小異物610，該X射線檢查裝置在閃爍器(300)的X射線照射一側層疊槽縫部件(500)。由此采用簡單的構造就能夠準確地檢測出微小異物。
文檔編號G01T1/20GK101887131SQ20101018121
公開日2010年11月17日 申請日期2010年5月13日 優(yōu)先權日2009年5月13日
發(fā)明者井筒勝典 申請人:株式會社石田