專利名稱：一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測方法及檢測裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及氣體檢測領(lǐng)域，特別涉及一種紅外氣體檢測方法及檢測裝置。
背景技術(shù)：
目前的氣體傳感器種類繁多，檢測原理及其結(jié)構(gòu)各種各樣，但它們都或多或少地 存在著某些問題，如選擇性差、穩(wěn)定性不高、壽命短、環(huán)境適應(yīng)性差、性價比不高等。在眾多 的氣體檢測方法中，基于氣體的紅外特征吸收譜法的紅外分析法是較理想的方法之一，因 為它是基于被測氣體的物理本質(zhì)特性，不需要敏感功能材料或催化劑等特定材料，沒有它 們所帶來的選擇性差和穩(wěn)定性差的問題。傳統(tǒng)的紅外光譜法基于光的量子效應(yīng)探測紅外光 被被測氣體吸收前后光強的變化以確定被測氣體的濃度，為消除其它氣體對檢測的干擾并 提高檢測精度，它需要單色光源。但是，目前還沒有可直接應(yīng)用的針對特定氣體檢測的單 色紅外光源，何況不同的氣體檢測需要用不同的單色紅外光源。雖然激光器是一個不錯的 選擇，但激光器不僅價格昂貴、體積大，而且其波長往往與氣體的紅外特征吸收峰波長不相 符。因此傳統(tǒng)的紅外氣體傳感器的光源需要其它光學器件(如濾波器、倍頻器等)的配合， 不利于檢測系統(tǒng)的集成化、微小型化以及提高檢測系統(tǒng)的性價比。另外，傳統(tǒng)的紅外檢測方 法是比較紅外光通過被測氣體前后的光強變化，檢測該光強的微弱變化需要較理想的紅外 光敏感器件和較復(fù)雜的信號處理電路，或者需要較長的光吸收通道長度才能保證較高的檢 測靈敏度和分辨率。比如申請?zhí)?00710062967.
公開日2007. 07. 25的“紅外氣體傳感器”包括一個容
納氣體的腔室，腔室的內(nèi)壁由頂平面、底平面以及弧形側(cè)壁圍成，內(nèi)壁上涂覆有反光材料， 頂平面上開有小孔以與外界交換氣體；腔室內(nèi)光源與光電元件的放置位置與所述側(cè)壁的弧 度及頂平面至底平面的距離相配合，使光源發(fā)出的光經(jīng)過所述腔室內(nèi)壁的反射而匯聚至光 電器件上；采用這種技術(shù)方案后，氣室的體積能明顯縮小，從而使傳感器的應(yīng)用更為靈活； 另外，氣體交換也隨著氣室體積的縮小而簡單，使得氣室中的氣體樣品與外界環(huán)境中的氣 體基本相同，從而提高測量的準確度。這一技術(shù)方案側(cè)重于解決光的聚焦問題，使得發(fā)散的 紅外光聚集于光電探測器，但是這種紅外氣體傳感器的紅外光的光通道長度有限，待測氣 體對紅外光的吸收不夠充分，導(dǎo)致紅外氣體傳感器的探測信噪比低和測量精確度不高。申請?zhí)?00910105832. 9
公開日2009. 08. 12的“一種紅外氣體傳感器及紅外氣 體探測裝置”公開的紅外氣體傳感器包括外殼、外殼內(nèi)部設(shè)置的傳感器外殼、傳感器外殼腔 體內(nèi)部設(shè)置的上蓋體和下蓋體、上蓋體底部設(shè)置的凹槽、凹槽的側(cè)壁上包括至少第一斜面 和第二斜面、下蓋體頂部設(shè)置的與凹槽上第一斜面和第二斜面對應(yīng)的第一開孔和第二開孔 以及第一開孔和第二開孔里分別設(shè)置的紅外光源和紅外探測器，紅外光源發(fā)射的紅外光經(jīng) 多次反射后才被紅外探測器吸收。這一技術(shù)方案增長了紅外光的光通道長度，使得待測氣 體對紅外光的吸收比較充分，提高了紅外氣體傳感器的探測信噪比和測量精確度；但其氣室的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，還帶來了光源、濾光鏡和光電探測器件的非對稱引起的誤差。申請?zhí)?00720307032.
公開日=2009. 02. 11的“紅外智能氣體傳感器”包括有 紅外氣體探測器、紅外光源、外殼、置于外殼內(nèi)部的光學腔體、光學腔體電路板、主電路板和 電源電路板；光學腔體內(nèi)設(shè)置有帶有通氣孔的光學通道，紅外氣體探測器和紅外光源則設(shè) 置在光學通道內(nèi)，紅外氣體探測器采集模擬信息送主板電路處理后輸出數(shù)字智能信息。這 一技術(shù)方案增強了紅外氣體傳感器抗?jié)駳飧蓴_能力，適應(yīng)潮濕環(huán)境下工作，還具有數(shù)字輸 出和溫度補償功能，但并沒有檢測原理上的突破。實際上，已有的紅外氣體傳感器均采用基于量子效應(yīng)的光電探測器作為檢測紅外 信號的唯一手段，這使得紅外氣體傳感器的性能很大程度上受到光電探測器性能的制約， 而在常溫下紅外光電探測器的信噪比比較低，而且光電探測器的感光面有限，不得不采用 一些技術(shù)手段將分散的紅外光聚焦于一點且正好到達光電探測器的感光面上，為了降低檢 測氣體濃度下限和提高檢測精度，需要盡可能采用單色光源，且采用延長光吸收通道的各 種方法，這些技術(shù)手段和方法使得紅外氣體傳感器的結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是針對已有技術(shù)的不足，提供一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測 方法及檢測裝置，以提高探測信噪比和測量精度，并簡化紅外氣體傳感器結(jié)構(gòu)。本發(fā)明解決技術(shù)問題采用如下技術(shù)方案本發(fā)明基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測方法的其特點是采用紅外光源， 以紅外光源首先通過被測氣體的開放氣室，再進入被測氣體的密閉氣室，使密閉氣室內(nèi)被 測氣體溫度升高、壓力增大，密閉氣室以其外側(cè)端的彈性膜板在壓力增大下的變形使真空 室內(nèi)兩隧道電極之間的距離發(fā)生變化，從而使得真空隧道電流發(fā)生變化；依據(jù)真空隧道電 流的變化判斷開放氣室內(nèi)被測氣體的濃度。本發(fā)明基于真空隧道電流檢測的紅外氣體傳感器的結(jié)構(gòu)特點是設(shè)置紅外光源， 在所述紅外光源的光軸線上分別設(shè)置有被測氣體的開放氣室、被測氣體的密封氣室和真空 隧道電流的真空室；來自紅外光源的紅外光線透過紅外濾光片經(jīng)開放氣室后，再通過透光 玻璃板投向密閉氣室，密閉氣室以其外端側(cè)的彈性膜板作為可改變真空室內(nèi)兩隧道電極之 間的距離的真空室的一側(cè)端面。本發(fā)明紅外氣體傳感器的結(jié)構(gòu)特點也在于設(shè)置所述被測氣體的開放氣室的左端板為紅外濾光片，右端板為透光玻璃板，四 周的開放氣室側(cè)壁內(nèi)表面為光線反射面，開放氣室側(cè)壁上設(shè)置有進氣孔和排氣孔。所述的被測氣體的密閉氣室是以透光玻璃板為一側(cè)端板、與四周的密閉氣室側(cè)壁 和另一端的彈性膜共同圍成；所述四周的密閉氣室側(cè)壁和彈性膜為一體化結(jié)構(gòu)；在所述密 閉氣室內(nèi)按設(shè)定的壓力封閉有純凈的被測氣體，在所述彈性膜的外表面中心設(shè)置左隧道電 極，在所述左隧道電極外圍設(shè)置左偏轉(zhuǎn)電極。所述的真空隧道電流的真空室是以所述彈性膜所在一側(cè)的密閉氣室的端面為端 板、與四周的真空室側(cè)壁與右側(cè)端板共同圍成；在所述右側(cè)端板的中心、朝向左隧道電極的 方向有一尖錐；所述真空室側(cè)壁、右側(cè)端板以及尖椎為一體化結(jié)構(gòu)；對應(yīng)于所述左隧道電 極所在位置，在所述尖錐的錐體表面及右側(cè)端板內(nèi)側(cè)中心設(shè)置右隧道電極，對應(yīng)于所述左
4偏轉(zhuǎn)電極所在位置，在所述右隧道電極外圍設(shè)置右偏轉(zhuǎn)電極。與已有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果體現(xiàn)在1、本發(fā)明在被測氣體的密閉氣室內(nèi)密封有純凈的被測氣體，密閉氣室內(nèi)純凈的被 測氣體與被測氣體的開放氣室內(nèi)的被測氣體具有完全相同的紅外吸收特征，由于開放氣室 內(nèi)的被測氣體對紅外光的吸收，使得到達密閉氣室的紅外光強度取決于開放氣室內(nèi)的被測 氣體濃度，并隨著開放氣室內(nèi)的被測氣體濃度的變化而變化，即開放氣室內(nèi)的被測氣體濃 度高，對紅外光的吸收多，則到達密閉氣室的紅外光強度低，反之，開放氣室內(nèi)的被測氣體 濃度低，對紅外光的吸收少，則到達密閉氣室的紅外光強度高；密閉氣室內(nèi)密封的純凈的 被測氣體吸收紅外光后產(chǎn)生熱量，溫度升高，進而導(dǎo)致壓力增大，致使彈性膜發(fā)生變形，該 彈性膜的變形量取決于到達被測氣體的密閉氣室內(nèi)的紅外光強度的高低，彈性膜的變形又 使得左隧道電極與右隧道電極之間的間距發(fā)生變化，該間距變化導(dǎo)致左隧道電極與右隧道 電極之間的隧道電流發(fā)生變化，該隧道電流的變化反映了開放氣室內(nèi)的被測氣體濃度的變 化；由于密閉氣室內(nèi)密封的純凈的被測氣體與開放氣室內(nèi)的被測氣體具有完全相同的紅外 吸收特征，且這兩個室構(gòu)成紅外差分吸收，因而降低了對紅外濾光片的嚴格要求。2、本發(fā)明在開放氣室側(cè)壁內(nèi)表面設(shè)置了光線反射面，使得通過紅外濾光片的紅外 光線經(jīng)過多次反射后都能通過透光玻璃板進入被測氣體的密閉氣室，進入密閉氣室的紅外 光線都能為紅外熱效應(yīng)有所貢獻，因此這種技術(shù)方案使得傳感器結(jié)構(gòu)簡單，特別是對光源、 光通道以及探測器的位置不需要精確對準。3、由于紅外光具有較強的熱效應(yīng)，而量子效應(yīng)則相對較弱，且真空隧道電流對真 空隧道電極之間的間距十分敏感，所以，本發(fā)明利用被測氣體吸收紅外及其所產(chǎn)生的熱效 應(yīng)與真空隧道電流檢測的方法實現(xiàn)氣體的檢測，具有檢測氣體濃度下限低，檢測精度高的 特點。4、由于真空隧道電流的產(chǎn)生需要兩隧道電極之間達到較小的一定的距離，本發(fā)明 在彈性膜板的外表面上設(shè)置了左偏轉(zhuǎn)電極，在真空室的腔體內(nèi)的右側(cè)端板上設(shè)置了右偏轉(zhuǎn) 電極，在左偏轉(zhuǎn)電極和右偏轉(zhuǎn)電極上施加偏轉(zhuǎn)電壓，以使左隧道電極與右隧道電極之間的 間距達到一個適當?shù)木嚯x，即可產(chǎn)生適當?shù)乃淼离娏?；當固定施加的偏轉(zhuǎn)電壓時，真空隧道 電流的大小會隨著開放氣室內(nèi)的被測氣體濃度的變化而變化，當改變施加的偏轉(zhuǎn)電壓，使 真空隧道電流的大小固定時，施加的偏轉(zhuǎn)電壓會隨著開放氣室內(nèi)的被測氣體濃度的變化而 變化，通過測試真空隧道電流或施加的偏轉(zhuǎn)電壓即可檢測出氣室內(nèi)的被測氣體濃度，采用 這種方法大大提高了紅外氣體傳感器的可靠性，延長了其使用壽命，同時降低了其制造成 本。


圖1為紅外氣體傳感器的剖面結(jié)構(gòu)及其檢測原理示意圖。圖2為圖1中的電極結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖2(a)為左偏轉(zhuǎn)電極和左隧道電極的結(jié)構(gòu) 示意圖，圖2(b)為右偏轉(zhuǎn)電極和右隧道電極的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中標號1紅外光源、2紅外濾光片、3開放氣室側(cè)壁、4光線反射面、5進氣孔、6 開放氣室、7排氣孔、8透光玻璃板、9密閉氣室側(cè)壁、10密閉氣室、11彈性膜、12真空室、13 左偏轉(zhuǎn)電極、14左隧道電極、15右偏轉(zhuǎn)電極、16右隧道電極、17尖錐、18右側(cè)端板、19真空室側(cè)壁。
具體實施例方式參見圖1，本實施例中紅外氣體傳感器包括紅外光源1、紅外濾光片2、被測氣體的 開放氣室6、被測氣體的密閉氣室10、真空室12、左偏轉(zhuǎn)電極13和右偏轉(zhuǎn)電極15、左隧道電 極14和右隧道電極16，紅外光源1和紅外濾光片2根據(jù)被測氣體的種類不同而選擇不同類 型的紅外光源和濾光片，選擇紅外光源1的原則是需要它在被測氣體紅外吸收最強峰值處 的紅外輻射強度最強，選擇紅外濾光片2的原則是需要它在被測氣體紅外吸收最強峰值及 其附近的紅外光能完全透過，而其余的紅外光不能透過；被測氣體的開放氣室6為長方體或圓柱體結(jié)構(gòu)，四周的開放氣室側(cè)壁3內(nèi)表面鍍 有金屬反光膜構(gòu)成光線反射面4，其目的是使發(fā)散的紅外光線經(jīng)多次反射后達到透光玻璃 板8，不僅可以充分利用紅外光源1所輻射的紅外光，而且可以延長被測氣體紅外吸收通道 的長度，在開放氣室側(cè)壁3上開有被測氣體的進氣孔5和排氣孔7，以便被測氣體進出或與 檢測環(huán)境通聯(lián)，開放氣室6的左端面為紅外濾光片2，右端面為透光玻璃板8 ；密閉氣室10的腔體由四周的密閉氣室測壁9和彈性膜11圍成，密閉氣室側(cè)壁9和 彈性膜11是由一塊硅片經(jīng)過微機械加工制成的一體化結(jié)構(gòu)，該一體化結(jié)構(gòu)與透光玻璃板8 密封封裝，在密封封裝的過程中將純凈的被測氣體密封在其中以形成純凈的被測氣體的密 閉氣室10，彈性膜11的外表面上鍍金屬膜并刻蝕出左偏轉(zhuǎn)電極13和左隧道電極14 ；真空室12的腔體由右側(cè)端板18和四周的真空室側(cè)壁19圍成，右側(cè)端板18的中 心處有尖錐17，尖錐17上鍍有右隧道電極16，右側(cè)端板18和其中心處的尖錐17以及四周 的真空室側(cè)壁19是由一塊硅片經(jīng)過微機械加工制成的一體化結(jié)構(gòu)，該一體化結(jié)構(gòu)與密閉 氣室10的彈性膜11所在的端面在真空環(huán)境下密封封裝以形成真空室12，在真空室的腔體 內(nèi)的右側(cè)端板18上還鍍有右偏轉(zhuǎn)電極15。圖2為圖1中的電極結(jié)構(gòu)示意圖，其中圖2(a)為左偏轉(zhuǎn)電極13和左隧道電極14 的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2(b)為右偏轉(zhuǎn)電極15和右隧道電極16的結(jié)構(gòu)示意圖，左偏轉(zhuǎn)電極13和 右偏轉(zhuǎn)電極15上施加一定的偏轉(zhuǎn)電壓時，由于靜電作用力，致使彈性膜11發(fā)生彈性變形， 該彈性變形使得左隧道電極14和右隧道電極16之間的距離達到合適的間距，以產(chǎn)生真空 隧道電流。紅外光源1所輻射的紅外光經(jīng)過紅外濾光片2濾光后僅剩下能被被測氣體強烈吸 收的部分，它通過被測氣體的開放氣室6時被其中的被測氣體部分吸收，剩余部分通過透 光玻璃板8后進入密閉氣室10中被其中密封的純凈的被測氣體所吸收，致使密閉氣室10 中的純凈的被測氣體溫度升高，壓力增加，從而使彈性膜11發(fā)生彈性變形，該彈性變形使 得左隧道電極14和右隧道電極16之間的距離減小，真空隧道電流增加，由于開放氣室6內(nèi) 的被測氣體對紅外光部分吸收后，使得到達密閉氣室10的紅外光強度降低，并隨著開放氣 室6內(nèi)的被測氣體濃度的變化而變化，即開放氣室6內(nèi)的被測氣體濃度高，對紅外光的吸收 多，則到達密閉氣室10的紅外光強度低，反之，開放氣室6內(nèi)的被測氣體濃度低，對紅外光 的吸收少，則到達密閉氣室10的紅外光強度高，由此可見，真空隧道電流的大小取決于彈 性膜11的變形量，彈性膜11的變形量又取決于到達密閉氣室10的紅外光的強度，到達密 閉氣室10的紅外光強度最終取決于開放氣室6內(nèi)的被測氣體濃度，因此，真空隧道電流的厚度。當y/h<<l時，(1)式可簡化為
少，可得
(2)
大小反映了被測氣體的開放氣室6內(nèi)的被測氣體濃度；檢測氣體濃度時，在左偏轉(zhuǎn)電極13 和右偏轉(zhuǎn)電極15上施加偏轉(zhuǎn)電壓，以使左隧道電極14與右隧道電極16之間的間距達到 一個適當?shù)木嚯x，產(chǎn)生適當?shù)乃淼离娏?，當固定施加的偏轉(zhuǎn)電壓時，真空隧道電流的大小會 隨著開放氣室6內(nèi)的被測氣體濃度的變化而變化，當改變施加的偏轉(zhuǎn)電壓，以使真空隧道 電流的大小不變時，施加的偏轉(zhuǎn)電壓會隨著開放氣室6內(nèi)的被測氣體濃度的變化而變化， 通過測試真空隧道電流的變化或施加的偏轉(zhuǎn)電壓的變化即可檢測出被測氣體的開放氣室6 內(nèi)的被測氣體濃度變化。測量原理彈性膜11(以正方形為例)的最大變形量(正方形中心處)y由以下公式確定 「 ^ Ρ·α4 66.225 y ,y3 其中E為彈性膜11材料的楊氏模量，Y為材料的泊松比，a為膜的邊長，h為膜的 其中Fp = a2P為彈性膜11所受壓力，S為彈性膜11的面積，由⑵式可得彈性膜 11的機械靈敏度 對硅材料，取E = 8X 106N/cm2，γ = 0. 4，假設(shè) a = 5讓，h = 100 μ m，由(3)式可 得dy/dp ^ 0. 05nm/Pa ；產(chǎn)生真空隧道電流的左隧道電極14與右隧道電極16之間的間距 應(yīng)到達Inm以內(nèi)，即彈性膜11的最大變形量為lnm，相應(yīng)的最大壓力變化為20Pa。其次，由理想氣體狀態(tài)方程PV = nRT可得g = ^，在標準狀態(tài)下，可得 由(4)式可得對應(yīng)于最大壓力變化20Pa的最大溫度變化為0. 054K。根據(jù)被測氣體對紅外的吸收特性以及被測氣體的密閉氣室10的熱力學特征等確 定與最大溫度變化0. 054K相對應(yīng)的最大紅外光強度變化；再根據(jù)Lamber-Beer定律I (v) = I0 (ν) exp [- σ (ν) CgL]和檢測被測氣體的濃度范 圍等確定最大紅外光強度變化所需要的被測氣體的開放氣室6的幾何尺寸。具體實施中，需要根據(jù)對氣體檢測的具體技術(shù)指標要求，在兼顧彈性膜11的機械 靈敏度和機械強度的前提下，選擇合適的被測氣體的開放氣室6的幾何尺寸以達到所需要 的紅外光通道長度；紅外光通道長度越長，則氣體檢測分辨率和精度越高。
權(quán)利要求
一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測方法，其特征在于采用紅外光源，以紅外光源首先通過被測氣體的開放氣室，再進入被測氣體的密閉氣室，使密閉氣室內(nèi)被測氣體溫度升高、壓力增大，密閉氣室以其外側(cè)端的彈性膜板在壓力增大下的變形使真空室內(nèi)兩隧道電極之間的距離發(fā)生變化，從而使得真空隧道電流發(fā)生變化；依據(jù)真空隧道電流的變化判斷開放氣室內(nèi)被測氣體的濃度。
2.一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體傳感器，其特征在于設(shè)置紅外光源(1)，在 所述紅外光源(1)的光軸線上分別設(shè)置有被測氣體的開放氣室(6)、被測氣體的密封氣室 (10)和真空隧道電流的真空室(12)；來自紅外光源(1)的紅外光線透過紅外濾光片⑵經(jīng) 開放氣室(6)后，再通過透光玻璃板(8)投向密閉氣室(10)，密閉氣室(10)以其外端側(cè)的 彈性膜板(11)作為可改變真空室(12)內(nèi)兩隧道電極之間的距離的真空室(12)的一側(cè)端
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外氣體傳感器，其特征在于設(shè)置所述被測氣體的開放氣 室(6)的左端板為紅外濾光片(2)，右端板為透光玻璃板(8)，四周的開放氣室側(cè)壁(3)內(nèi) 表面為光線反射面(4)，開放氣室側(cè)壁(3)上設(shè)置有進氣孔(5)和排氣孔(7)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外氣體傳感器，其特征在于所述的被測氣體的密閉氣室 (10)是以透光玻璃板⑶為一側(cè)端板、與四周的密閉氣室側(cè)壁(9)和另一端的彈性膜(11) 共同圍成；所述四周的密閉氣室側(cè)壁(9)和彈性膜(11)為一體化結(jié)構(gòu)；在所述密閉氣室 (10)內(nèi)按設(shè)定的壓力封閉有純凈的被測氣體，在所述彈性膜(11)的外表面中心設(shè)置左隧 道電極(14)，在所述左隧道電極(14)外圍設(shè)置左偏轉(zhuǎn)電極(13)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的紅外氣體傳感器，其特征在于所述的真空隧道電流的真空 室(12)是以所述彈性膜(11)所在一側(cè)的密閉氣室(10)的端面為端板、與四周的真空室側(cè) 壁(19)與右側(cè)端板(18)共同圍成；在所述右側(cè)端板(18)的中心、朝向左隧道電極(13)的 方向有一尖錐(17)；所述真空室側(cè)壁(19)、右側(cè)端板(18)以及尖椎(17)為一體化結(jié)構(gòu)；對 應(yīng)于所述左隧道電極(14)所在位置，在所述尖錐(17)的錐體表面及右側(cè)端板(18)內(nèi)側(cè)中 心設(shè)置右隧道電極(16)，對應(yīng)于所述左偏轉(zhuǎn)電極(13)所在位置，在所述右隧道電極(16)外 圍設(shè)置右偏轉(zhuǎn)電極(15)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種基于真空隧道電流檢測的紅外氣體檢測方法及檢測裝置，該紅外氣體傳感器包括紅外光源、紅外濾光片、被測氣體的開放氣室、被測氣體的密閉氣室、真空室、左隧道電極和右隧道電極、左偏轉(zhuǎn)電極和右偏轉(zhuǎn)電極；四周的氣室側(cè)壁內(nèi)表面設(shè)置光線反射面；密閉氣室內(nèi)密封純凈的被測氣體，它的一個端面為彈性膜，其中的被測氣體吸收紅外后溫度升高、壓力增大，致使彈性膜變形，導(dǎo)致左隧道電極和右隧道電極之間的間距變化，最終使得真空隧道電流發(fā)生變化，由于氣室和密閉氣室內(nèi)被測氣體對紅外光的差分吸收，因此依據(jù)真空隧道電流的大小可判斷氣室內(nèi)被測氣體的濃度。采用這一技術(shù)方案使得紅外氣體傳感器結(jié)構(gòu)簡單、檢測精度高、對紅外光源的單色性要求低。
文檔編號G01N21/37GK101907567SQ20101021188
公開日2010年12月8日 申請日期2010年6月25日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月25日
發(fā)明者張正勇, 楊地委 申請人:中國科學院合肥物質(zhì)科學研究院