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      紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法

      文檔序號:6109323閱讀:182來源:國知局
      專利名稱:紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法。
      背景技術(shù)
      變頻效率是衡量很多器件的重要參數(shù),變頻效率或稱變頻效率QE(QUantUm Efficiency),傳統(tǒng)的對變頻效率的測試方法,采用對每一個入射的光子所能產(chǎn)生和收集的電子數(shù)來計算,需要把經(jīng)過反射損失而不能透射到硅片的光子、光電轉(zhuǎn)化、電子和光子的傳輸效率的變化、轉(zhuǎn)化電流的效率等考慮進去。例如由電子科技集團44研究所提供的 512X512面陣CXD中電荷信號由AOpin輸出。CXD收集的電子注入到電荷放大器,經(jīng)該放大器讀出由光子產(chǎn)生的電流,輸出電壓引腳AOpin應當連接上-18V的電源以導走電流放大器的輸入門電路的電流。因此,通過測量流過輸出引腳AOpin的電流就可以計算出CCD由于光照收集到的電子數(shù)目。在輸出引腳AOpin和-18V之間接入IM歐的導通電阻,輸出電壓經(jīng)該電阻后產(chǎn)生衰減,測量流經(jīng)該電阻的電流或者電壓即可計算量子效率QE,為了方便計算,CCD設置為TDI模式,即CCD產(chǎn)生的電荷包通過恒定的傳輸頻率從一個線陣列轉(zhuǎn)移到下一個線陣列。同時,不能讓C⑶傳感器進入到飽和狀態(tài),因為進入到飽和狀態(tài)產(chǎn)生的電荷包中就有電荷丟失,因為難以,從而使計算不準確。發(fā)明內(nèi)容
      本發(fā)明公開了一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法,通過采用直接對功率進行測量的方式,省去了光電轉(zhuǎn)換這一環(huán)節(jié),可以有效克服現(xiàn)有技術(shù)對紫外增強膜變頻效率測試方法測量精度不高的弊端,本發(fā)明技術(shù)方案基于對準確性、操作性、穩(wěn)定性等方面進行綜合性技術(shù)考慮,所采用的測試方法,不僅大大減小了誤差,有效提高了測量的準確性,而且操作方便,穩(wěn)定性強。
      一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法其特點是
      A)變頻效率是反映熒光粉或熒光粉薄膜發(fā)光效率的一個物理量,在對紫外變頻方面而言變頻效率定義為薄膜表面發(fā)生波長轉(zhuǎn)換的紫外光子數(shù)與入射到薄膜的紫外光子數(shù)之比,也可以定義為光能量或光功率之比,此處定義為紫外光子數(shù)之比
      CE=ph0t0m^(OPhotonsmadent
      CE表示為變頻效率,Photonsefflitted表示入射到薄膜表面的紫外光子數(shù), Photonsincident表示薄膜表面發(fā)射出的可見光子數(shù);ρ x ;
      B)由公式=、 F(2)計算出薄膜表面入射紫外he修正光子數(shù)Photonsincddent,其中Pin為光功率計示數(shù),λ皿為紫外光波長,h為普朗克常量, c為光速;
      C)但是對于出射光子數(shù),由于受激發(fā)射的光子具有各向同性特性,即發(fā)射光并不循著入射光的方向,而只是部分地進入光功率計,所以在計算薄膜表面發(fā)射出的可見光子數(shù)時,需要考慮未被光功率計測量到的那部分光子數(shù),有很多未探測到的光子,故引入立體角修正因子 correction ,_o]
      權(quán)利要求
      1. 一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法,其特征在于A)首先計算變頻效率CE變頻效率是反映熒光粉或熒光粉薄膜發(fā)光效率的一個物理量,定義為薄膜表面發(fā)生波長轉(zhuǎn)換的紫外光子數(shù)與入射到薄膜的紫外光子數(shù)之比 CE _
      全文摘要
      一種紫外傳感增強膜變頻效率的測試方法,A)變頻效率定義為薄膜表面發(fā)生波長轉(zhuǎn)換的紫外光子數(shù)與入射到薄膜的紫外光子數(shù)之比B)計算薄膜表面入射紫外修正光子數(shù)C)計算出立體角修正數(shù)SA=2πr(1-cosθ);D)計算出樣品表面發(fā)生波長轉(zhuǎn)換的紫外光子E)將Photonsemitted和Photonsincident代入公式(1)求得變頻效率CE。本發(fā)明通過采用直接對功率進行測量的方式,省去了光電轉(zhuǎn)換這一環(huán)節(jié),有效的克服現(xiàn)有技術(shù)對紫外增強膜變頻效率測試方法測量精度不高的弊端,本發(fā)明技術(shù)方案基于對準確性、操作性、穩(wěn)定性等方面進行綜合性技術(shù)考慮,所采用的測試方法,不僅大大減小了誤差,有效提高了測量的準確性,而且操作方便,穩(wěn)定性強。
      文檔編號G01M11/02GK102507144SQ20111029796
      公開日2012年6月20日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
      發(fā)明者倪爭技, 姜霖, 莊松林, 張大偉, 陶春先, 黃元申 申請人:上海理工大學
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