專利名稱：：基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本實(shí)用新型屬于物體沿直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)對(duì)其運(yùn)動(dòng)的多自由度誤差或運(yùn)動(dòng)姿態(tài)進(jìn)行高精度測(cè)量的
技術(shù)領(lǐng)域：
，具體涉及一種基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
：在機(jī)械制造、機(jī)械加工、測(cè)量、控制等很多領(lǐng)域，直線導(dǎo)軌或一維平移臺(tái)都有廣泛應(yīng)用。直線導(dǎo)軌有六項(xiàng)誤差，除定位誤差外，其余五項(xiàng)為幾何誤差，分別是俯仰角、偏擺角、滾轉(zhuǎn)角以及垂直于行進(jìn)方向的兩個(gè)直線度。隨著技術(shù)水平的提高和發(fā)展，對(duì)導(dǎo)軌精度的需求越來(lái)越高，隨之對(duì)導(dǎo)軌多自由度誤差的檢測(cè)要求也越來(lái)越高。由于科學(xué)實(shí)驗(yàn)過(guò)程中環(huán)境限制，誤差溯源的科學(xué)性以及實(shí)驗(yàn)過(guò)程的高效性等要求，開(kāi)發(fā)方便快捷并且高精度的多自由度測(cè)量系統(tǒng)日益得到工程、實(shí)驗(yàn)人員的重視?，F(xiàn)在國(guó)內(nèi)外最常見(jiàn)的多自由度測(cè)量方法是用激光干涉儀，比如HP5529A動(dòng)態(tài)校正儀。但這類系統(tǒng)每次測(cè)量一項(xiàng)參數(shù)都需要重新調(diào)整儀器，且測(cè)量過(guò)程需要使用不同類型的測(cè)量附件，不僅測(cè)量周期十分煩瑣和漫長(zhǎng)，造成大量的人力和機(jī)時(shí)的浪費(fèi)，而且測(cè)量精度受測(cè)量人員和測(cè)量環(huán)境變化影響較大。因此，發(fā)展同時(shí)測(cè)量多自由度幾何誤差的激光系統(tǒng)是目前普遍面臨的重要問(wèn)題。國(guó)內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域?qū)σ陨蠁?wèn)題進(jìn)行了研究，發(fā)展了應(yīng)用激光技術(shù)同時(shí)測(cè)量多自由度的幾種方法，概括起來(lái)分為以下幾類如[孫長(zhǎng)庫(kù)，周富強(qiáng)，劉越，葉聲華.六自由度測(cè)試系統(tǒng)[J].儀器儀表學(xué)報(bào)，1998，(04)]；“基于協(xié)作靶標(biāo)的六自由度測(cè)量系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方法”[KimJ.-A.，BaeE.W.,KimS.H.，KwakY.K.Designmethodsforsix-degree-of-freedomdisplacementmeasurementsystemsusingcooperativetargets(2002)PrecisionEngineering,26(1)，pp.99—104·]。技術(shù)如[劉永東，王佳，梁晉文.動(dòng)態(tài)目標(biāo)全姿態(tài)激光跟蹤測(cè)量[J].激光與紅外，1999，(03)]；“六自由度狽Ij量設(shè)備禾口方法”[Deviceandmethodformeasuringsixdegreesoffreedom,美國(guó)專利公布號(hào)US2010/0128259A1，2010]；“基于激光的坐標(biāo)測(cè)量設(shè)備和方法”[Laser-basedcoordinatemeasuringdeviceandlaser-basedmethodformeasuringcoordinates,美國(guó)專利號(hào)US7800758B1，2010]。該方法已有商用產(chǎn)品，如美國(guó)API公司的激光跟蹤儀。該方法測(cè)量范圍大，速度高，適合宏觀尺度的測(cè)量，而直線導(dǎo)軌的五個(gè)幾何誤差均屬于微小量，故不能充分發(fā)揮其性能。如“在磁懸浮系統(tǒng)中使用CCD相機(jī)實(shí)時(shí)測(cè)量位置和姿態(tài)，，[LinChinE.，HouAnn-SanReal-timepositionandattitudesensingusingCCDcamerasinmagneticsuspensionsystemapplications(1995)IEEETransactionsonInstrumentationandMeasurement,44(1)，pp.8-13.]，該系統(tǒng)需要對(duì)多個(gè)CCD進(jìn)行標(biāo)定，而且對(duì)振動(dòng)敏感，滾轉(zhuǎn)角測(cè)量精度比其他誤差低；“基于攝像機(jī)且使用旋轉(zhuǎn)鏡的靶標(biāo)六自由度測(cè)量禾口β艮蹤”；[Camerabasedsixdegreeoffreedomtargetmeasuringandtargettrackingdevicewithrotatablemirror，美國(guó)專利號(hào)US7576847B2，2009]，該方法也需要對(duì)相機(jī)做精確標(biāo)定。如[匡翠方，馮其波，張斌，張志峰，陳士謙.激光六維參數(shù)同時(shí)測(cè)量的數(shù)學(xué)模型[J].儀器儀表學(xué)報(bào)，2006，(04)]；“基于激光的直線導(dǎo)軌六自由度幾何誤差高精度測(cè)量”[LiuC.-H.,JyweW.-Y.,HsuC.-C.,HsuT.-H.Developmentofalaser-basedhigh-precisionsix-degrees-of-freedommotionerrorsmeasuringsystemforlinearstage(2005)ReviewofScientificInstruments,76(5)，art.no.055110]；“六自由度傳感器”[Sixdegreeoffreedomsensor，美國(guó)專利號(hào)5883803，1999]；”運(yùn)云力平臺(tái)直線度測(cè)量裝置，，[Straightnessmeasuringapparatusformovingstage，美國(guó)專利號(hào)US6559955B2，2003]；“通過(guò)三面反射鏡測(cè)量剛體六自由度誤差的裝B"[Apparatusformeasuring6-degree-of-freedommotionsofrigidbodybyusingthree-facetmirror，美國(guó)專利號(hào)US6678059B2，2004]；[一種激光六自由度同時(shí)測(cè)量裝置，專利號(hào)200520147401.6，2007]。該類方法已有商用產(chǎn)品，如美國(guó)API公司的“五軸/六軸測(cè)量系統(tǒng)，，[five-axis/six-axislasermeasuringsystem,美國(guó)專利號(hào)6049377,2000],并形成一定市場(chǎng)。這些方法使用非接觸式測(cè)量，電磁干擾小，結(jié)構(gòu)緊湊，測(cè)量精度較高，但是對(duì)多自由度誤差的放大倍率受到原理的限制，難以獲得更大的提高。到目前為止，出現(xiàn)了多種多自由度同時(shí)測(cè)量的技術(shù)和裝置，這些技術(shù)已取得一定的應(yīng)用，但也存在一些問(wèn)題。故發(fā)明光學(xué)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、高速度、更高精度的多自由度測(cè)量系統(tǒng)與方法是該領(lǐng)域的發(fā)展趨勢(shì)。
發(fā)明內(nèi)容為了實(shí)現(xiàn)對(duì)物體沿直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)時(shí)的運(yùn)動(dòng)偏擺角、俯仰角、滾轉(zhuǎn)角和垂直于行進(jìn)方向的兩個(gè)直線度誤差的同時(shí)測(cè)量，配合激光干涉儀或其他測(cè)長(zhǎng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)定位誤差的同時(shí)測(cè)量，即實(shí)現(xiàn)六自由度測(cè)量，本實(shí)用新型提供一種基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)。實(shí)現(xiàn)上述目的的技術(shù)解決方案是這樣的?；谕h(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)1，由激光器、一個(gè)以上的分束器和反射器組成，產(chǎn)生三束平行光；還包括固定機(jī)構(gòu)7，所述固定機(jī)構(gòu)7包括并列排列的第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16、第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9，且光束的入射口均位于同一側(cè)，出射口均位于另一側(cè)；第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)處設(shè)有第一光電接收器14；第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第一反射器13，第一反射器13的反射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第二反射器12，第二反射器12的反射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有透鏡11，透鏡11的出射口對(duì)應(yīng)設(shè)有第二光電接收器8；第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第三光電接收器10；所述第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9為望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)其中第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9的入射口均為目鏡，出射口均為物鏡；第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的入射口為物鏡，出射口為目鏡。所述的第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9是開(kāi)普勒式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)或伽利略式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)。所述的第一光電接收器14、第二光電接收器8、第三光電接收器10是光電位置傳感器(PSD)或象限探測(cè)器或電荷耦合器件(CCD)或互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感ο所述的透鏡11是單透鏡或組合透鏡。[0012]所述的第一反射器13和第二反射器12是反射鏡或折轉(zhuǎn)棱鏡。本實(shí)用新型與
背景技術(shù)：
相比所具有的有益技術(shù)效果是其一、移動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)出三束平行光束，用于測(cè)量垂直于行進(jìn)方向的兩個(gè)直線度誤差和三個(gè)角度誤差，光學(xué)器件少，光路調(diào)整簡(jiǎn)單；其二、望遠(yuǎn)系統(tǒng)的視放大率及透鏡焦距共同決定系統(tǒng)測(cè)量的靈敏度，在不改變光路結(jié)構(gòu)的情況下，選取不同倍率的望遠(yuǎn)系統(tǒng)和不同焦距的透鏡可實(shí)現(xiàn)不同的靈敏度；其三、本裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、安裝調(diào)整方便，可獲得高精度快速的測(cè)量；其四、本裝置還可以與激光干涉儀等測(cè)長(zhǎng)技術(shù)一起完成六自由度全姿態(tài)的測(cè)量。當(dāng)透鏡11焦距為10mm，第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9視放大率均為10，第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9光軸距離為10mm，第一光電接收器14、第二光電接收器8和第三光電接收器10的位置檢測(cè)精度是1μm時(shí)，系統(tǒng)測(cè)量精度為兩個(gè)直線度誤差測(cè)量精度為0.1μm，俯仰角和偏擺角誤差測(cè)量精度為2"，滾轉(zhuǎn)角誤差測(cè)量精度為2"。改變測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)的視放大率和透鏡焦距等參數(shù)，測(cè)量精度隨之提高。圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為第二光束入射的望遠(yuǎn)系統(tǒng)對(duì)角度誤差放大的原理示意圖。圖3為第一光束或第三光束入射的望遠(yuǎn)系統(tǒng)對(duì)位移誤差放大的原理示意圖。圖4為激光多自由度測(cè)量系統(tǒng)測(cè)量滾轉(zhuǎn)角誤差的原理示意圖。上述圖中移動(dòng)機(jī)構(gòu)1、激光器2、第一分束器3、第二分束器4、激光準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡5、第三反射器6、固定機(jī)構(gòu)7、第二光電接收器8、第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9、第三光電接收器10、透鏡11、第二反射器12、第一反射器13、第一光電接收器14、第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16、第三激光光束17、第二激光光束18、第一激光光束19。具體實(shí)施方式以下結(jié)合附圖，通過(guò)實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步地描述。實(shí)施例1參見(jiàn)圖1，基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)包括固定機(jī)構(gòu)和移動(dòng)機(jī)構(gòu)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)1固定在導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)副上，隨運(yùn)動(dòng)副沿直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，固定機(jī)構(gòu)7固定在測(cè)量導(dǎo)軌一端。移動(dòng)機(jī)構(gòu)1包括依次對(duì)應(yīng)排列的激光器2、第一分束器3、第二分束器4和第三反射器6，第一分束器3的透射口與第二分束器4的入射口對(duì)應(yīng)，第二分束器4的透射口與第三反射器6入射口對(duì)應(yīng)；與第二分束器4的反射口相對(duì)應(yīng)設(shè)有激光準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡5。第一分束器3和第二分束器4均將入射光束分為反射光和透射光兩路光束。移動(dòng)機(jī)構(gòu)1產(chǎn)生三束平行光，即第一激光光束19、第二激光光束18和第三激光光束17。固定機(jī)構(gòu)7包括并列排列的第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16、第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9；第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15的入射口與第一分束器3的反射口對(duì)應(yīng)，第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)處設(shè)有第一光電接收器14；第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的入射口與激光準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡5的出射口對(duì)應(yīng)，第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第一反射器13，第一反射器13的反射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第二反射器12，第二反射器12的反射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有透鏡11，透鏡11的出射口對(duì)應(yīng)設(shè)有第二光電接收器8；第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9的入射口與第三反射器6出射口對(duì)應(yīng)，第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第三光電接收器10。第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9均為開(kāi)普勒式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)其中第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9的入射口均為目鏡，出射口均為物鏡；第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的入射口為物鏡，出射口為目鏡。第一光電接收器14、第二光電接收器8和第三光電接收器10均采用光電位置傳感器(PSD)(也可以采用象限探測(cè)器或電荷耦合器件(CCD)或互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感器);透鏡11采用單透鏡；第一反射器13、第二反射器12和第三反射器6采用反射鏡。實(shí)施例2與實(shí)施例1不同的是，第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9為伽利略式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)；透鏡11采用組合透鏡。其余結(jié)構(gòu)同實(shí)施例1。實(shí)施例3與實(shí)施例1不同的是，第一光電接收器14、第二光電接收器8和第三光電接收器10采用電荷耦合器件(CXD)，第一反射器13、第二反射器12和第三反射器6采用折轉(zhuǎn)棱鏡。其余結(jié)構(gòu)同實(shí)施例1。參見(jiàn)圖2、圖3、圖4，說(shuō)明測(cè)量五自由度誤差的原理和方法假定初始時(shí)，直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)部分的姿態(tài)使得第一激光光束19、第二激光光束18和第三激光光束17分別和第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)15、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)9的光軸重合。激光器2發(fā)出的高穩(wěn)定激光束經(jīng)第一分束器3、由第二分束器4分束得到第二激光光束18，再經(jīng)激光準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡5后入射到第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16，由物鏡入射，目鏡出射。當(dāng)?shù)诙す夤馐?8隨直線導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)副有一定的俯仰角和偏擺角變化時(shí)，第二激光光束18入射前相對(duì)于第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的光軸有一定角度變化，第二激光光束18經(jīng)第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16出射后，與光軸的夾角被相應(yīng)放大，在經(jīng)過(guò)第一反射器13、第二反射器12依次反射后由透鏡11聚焦到第二光電接收器8上。如圖2所示，若第二激光光束18相對(duì)于第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16的光軸夾角為a,第二激光光束18經(jīng)第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)16出射后，與光軸的夾角為#。由望遠(yuǎn)系統(tǒng)的放大率公式可知權(quán)利要求1.基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)，包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)(1)，由激光器、一個(gè)以上的分束器和反射器組成，產(chǎn)生三束平行光，其特征在于還包括固定機(jī)構(gòu)(7)所述固定機(jī)構(gòu)(7)包括并列排列的第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(15)、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(16)、第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(9)，且光束的入射口均位于同一側(cè)，出射口均位于另一側(cè)；第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(15)的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)處設(shè)有第一光電接收器(14)；第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(16)的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第一反射器(13)，第一反射器(13)的反射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第二反射器(12)，第二反射器(12)的反射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有透鏡(11)，透鏡(11)的出射口對(duì)應(yīng)設(shè)有第二光電接收器(8)；第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(9)的出射口外側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)有第三光電接收器(10)；所述第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(15)、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(16)和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(9)為望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)其中第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(15)和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(9)的入射口均為目鏡，出射口均為物鏡；第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(16)的入射口為物鏡，出射口為目鏡。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(15)、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(16)和第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)(9)是開(kāi)普勒式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)或伽利略式望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的第一光電接收器(14)、第二光電接收器(8)、第三光電接收器(10)是光電位置傳感器(PSD)或象限探測(cè)器或電荷耦合器件(CXD)或互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)圖像傳感器ο4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的透鏡(11)是單透鏡或組合透鏡。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于所述的第一反射器(13)和第二反射器(12)是反射鏡或折轉(zhuǎn)棱鏡。專利摘要本實(shí)用新型涉及基于望遠(yuǎn)系統(tǒng)的激光多自由度精密測(cè)量系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括移動(dòng)機(jī)構(gòu)和固定機(jī)構(gòu)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)產(chǎn)生三束平行光；固定機(jī)構(gòu)包括并列排列的第一測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)、第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)、第三測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)，三個(gè)測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)的入射口分別與移動(dòng)機(jī)構(gòu)發(fā)出的三束平行光對(duì)應(yīng)，出射口分別對(duì)應(yīng)設(shè)有光電接收器，第二測(cè)量望遠(yuǎn)機(jī)構(gòu)的出射口與光電接收器之間依次設(shè)有兩個(gè)反射器和一個(gè)透鏡。本實(shí)用新型用于測(cè)量垂直于行進(jìn)方向的兩個(gè)直線度誤差和三個(gè)角度誤差，光路調(diào)整簡(jiǎn)單；光學(xué)器件少，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小，安裝調(diào)整方便，可獲得高精度快速的測(cè)量；本裝置還可以與激光干涉儀等測(cè)長(zhǎng)技術(shù)一起完成六自由度全姿態(tài)的測(cè)量。文檔編號(hào)G01B11/26GK202119411SQ20112020229公開(kāi)日2012年1月18日申請(qǐng)日期2011年6月16日優(yōu)先權(quán)日2011年6月16日發(fā)明者吳朔,曹兆樓,王克逸,郝鵬,閆佩正申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)