專利名稱：連接端子及連接夾具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及將預(yù)先設(shè)定于對(duì)象物的對(duì)象點(diǎn)與檢查裝置等進(jìn)行電連接的連接夾具， 以及用于連接夾具且具有絕緣覆膜的連接端子。此外，本發(fā)明的連接端子，其連接對(duì)象并不限于檢查裝置，也可以用于在規(guī)定的兩個(gè)點(diǎn)之間進(jìn)行電連接。
背景技術(shù)：
連接夾具具有連接端子(接觸件、探頭、探針、接觸插針等)，從檢查裝置等經(jīng)由這些連接端子向?qū)ο笪锷项A(yù)先設(shè)定的對(duì)象點(diǎn)提供電流或電信號(hào)，并且通過(guò)從該對(duì)象點(diǎn)檢測(cè)電信號(hào)，檢測(cè)出對(duì)象點(diǎn)之間的電特性，并進(jìn)行導(dǎo)通檢查或漏電檢查等動(dòng)作試驗(yàn)。
作為其對(duì)象物，可以舉例例如印刷布線基板、柔性基板、陶瓷多層布線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用的電極板、半導(dǎo)體封裝用的封裝基板或膜載體等各種基板、或是半導(dǎo)體晶片或半導(dǎo)體芯片或CSP (chip size package :芯片尺寸封裝)等半導(dǎo)體裝置(LSI (Large Scale Integration :大規(guī)模集成電路)等)。此外,該連接端子也可以以對(duì)上述對(duì)象物和裝置進(jìn)行電連接為目的，進(jìn)而，也可以作為如內(nèi)插器(interposer)或連接器一樣連接電極端與電極端的連接夾具進(jìn)行采用。
例如，當(dāng)受檢物為基板、而其上所搭載的是IC等半導(dǎo)體電路或電阻器等電子/電氣部件時(shí)，形成于基板的檢查對(duì)象部就是布線或電極。在此情況下，為確保檢查對(duì)象部的布線能夠正確地將電信號(hào)傳遞給它們，所以測(cè)量設(shè)于電路基板的檢查點(diǎn)之間的電阻值等電特性以判斷該布線的好壞，該電路基板是安裝電子/電氣部件之前的印刷布線基板、液晶面板或等離子顯示器面板上形成有布線的電路基板。
當(dāng)將連接夾具作為檢查夾具使用時(shí)，設(shè)有多個(gè)探針，其用于使前端部接觸受檢物的檢查對(duì)象部的檢查點(diǎn)，并對(duì)該檢查對(duì)象部供給用于測(cè)量的電流、或是測(cè)量電壓。
在本說(shuō)明書中，將上述對(duì)象物總稱為“對(duì)象物”，將設(shè)定于對(duì)象物并受連接端子抵接而成導(dǎo)通狀態(tài)的部位簡(jiǎn)稱為“對(duì)象點(diǎn)”。此外，夾在對(duì)象點(diǎn)和對(duì)象點(diǎn)之間的部位則稱為“對(duì)象點(diǎn)間”。
當(dāng)對(duì)象物為L(zhǎng)SI時(shí)，形成在LSI上的電子電路成為對(duì)象部，該電子電路的表面焊盤分別成為對(duì)象點(diǎn)。在這種情況下，為確保形成于LSI的電子電路具有所希望的電特性，測(cè)量對(duì)象點(diǎn)間的電特性來(lái)判斷此電子電路的好壞。
此外，對(duì)象物是搭載電子/電氣部件的基板時(shí)，形成于基板的布線成為對(duì)象部，所述布線的兩端成為對(duì)象點(diǎn)。在這種情況下，為確保成為對(duì)象部的布線能夠正確地將電信號(hào)傳遞給它們，測(cè)量安裝電子/電氣部件之前的布線基板上所形成的布線上的規(guī)定對(duì)象點(diǎn)間的電阻值或漏電電流等電特性來(lái)判斷該布線的好壞。
具體而言，該布線的好壞判定通過(guò)如下方式進(jìn)行使電流供給用端子和/或測(cè)量電壓用的連接端子的前端抵接到各對(duì)象點(diǎn)，從該連接端子的電流供給用端子向?qū)ο簏c(diǎn)供給測(cè)量用電流，并且測(cè)量抵接到對(duì)象點(diǎn)的連接端子的前端間的布線上所產(chǎn)生的電壓，根據(jù)所供給的電流及所測(cè)量出的電壓來(lái)計(jì)算出規(guī)定的對(duì)象點(diǎn)間的布線電阻值。
例如，進(jìn)行如下控制當(dāng)使用基板檢查裝置檢查上述任一基板時(shí)，用夾具移動(dòng)機(jī)構(gòu)將基板連接夾具的檢查用的連接端子(接觸件、探頭、探針、接觸插針等)移動(dòng)至被檢查基板的對(duì)象點(diǎn)并使之抵接于對(duì)象點(diǎn)，進(jìn)行對(duì)象物的規(guī)定的檢查，當(dāng)檢查完成時(shí)，用夾具移動(dòng)機(jī)構(gòu)將夾具從對(duì)象點(diǎn)移動(dòng)到待機(jī)位置。
專利文獻(xiàn)I :日本特許第4572303號(hào)
專利文獻(xiàn)2 :日本特許第4031007號(hào)
專利文獻(xiàn)3 :日本特開(kāi)2004 - 115838號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)4 :日本特開(kāi)2008 - 25833號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)5 :日本特開(kāi)2009 - 160722號(hào)公報(bào)
專利文獻(xiàn)I公開(kāi)了一種通電檢查夾具用接觸件，其在具備螺旋結(jié)構(gòu)部分的Ni電鑄管內(nèi)部插入導(dǎo)電性的插針，通過(guò)鉚接、焊接、熔敷材料等方法將插針固定于Ni電鑄管。
專利文獻(xiàn)2公開(kāi)了一種線圈彈簧探針，其在部分周壁是彈簧的筒體內(nèi)具備包括直線狀接觸件及導(dǎo)向件的接觸插針，接觸件與導(dǎo)向件之間設(shè)有凸緣部，凸緣部連結(jié)在筒體的下端。
專利文獻(xiàn)3公開(kāi)了一種鎳電鑄管的制造方法，該方法是在線形原材料的外周面形成鍍金層，其上再形成鍍鎳層后，通過(guò)拉伸線形原材料而縮小線形原材料的截面積后，除去線形原材料等。
專利文獻(xiàn)4公開(kāi)了一種鎳電鑄管的制造方法，該方法是在SUS (不銹鋼)線的外周面形成絕緣覆膜，在所述覆膜上由激光形成螺旋狀的槽而露出SUS線的外周面，在該處形成與絕緣覆膜相同厚度的鎳覆膜，之后除去絕緣覆膜并且拔出SUS線，使鎳電鑄管的一部分具備線圈狀彈簧結(jié)構(gòu)。
專利文獻(xiàn)5公開(kāi)了一種同時(shí)形成多個(gè)微線圈的方法，該方法是另行制造微管，在所述微管外周面形成抗蝕膜，在所述抗蝕膜上通過(guò)例如顯影等方法將感光部分溶解為螺旋狀，形成螺旋狀間隔圖案，并且以規(guī)定的間隔形成環(huán)繞該微細(xì)管的間隔圖案，對(duì)其進(jìn)行蝕刻處理，從而同時(shí)形成多個(gè)由間隔圖案分離的微線圈。
如專利文獻(xiàn)I所示，若在Ni電鑄管內(nèi)部插入導(dǎo)電性的插針，并通過(guò)鉚接、焊接、熔敷材料等方法將插針固定于Ni電鑄管，則在固定時(shí)，由于從相對(duì)置的位置夾住電鑄管的力量，導(dǎo)致電鑄管的截面由圓形變成楕圓形，使得接觸件的最大外徑變大，而有可能無(wú)法滿足隨著近年來(lái)作為檢查對(duì)象的基板的復(fù)雜化及微細(xì)化產(chǎn)生的連接端子的微細(xì)化的要求。
在專利文獻(xiàn)2的線圈彈簧探針上，在接觸件與導(dǎo)向件之間設(shè)有凸緣部，并需要將它們連結(jié)于筒體，使得部件數(shù)量及組裝工時(shí)增加。此外，由于筒體的彈簧部是外露的，因此該彈簧部有可能接觸到不相對(duì)于筒體移動(dòng)的檢查用夾具的探針導(dǎo)引部或插通孔的壁面。
此外，近年LSI的形成工藝有所進(jìn)步，LSI的微細(xì)化有所進(jìn)展，LSI檢查用焊接點(diǎn)的窄距化及多數(shù)化有所進(jìn)展，由此，檢查對(duì)象的基板也更加復(fù)雜、微細(xì)，設(shè)定于基板的對(duì)象點(diǎn)形成得更為狹窄而微小，因此連接端子也形成得更為細(xì)小。因此，需要更有效率地制造大量而微細(xì)的連接端子。
此外，對(duì)于連接端子，為防止鄰近配置的連接端子彼此接觸而導(dǎo)致短路的情況，優(yōu)選在連接端子表面形成絕緣覆膜，然而連接端子越是微細(xì)，該絕緣覆膜的形成也越是困難。
在專利文獻(xiàn)3及4中公開(kāi)了在去除線形原材料或SUS線的階段，制造微細(xì)的鎳電鑄管或一部分具有線圈狀彈簧結(jié)構(gòu)的鎳電鑄管的方法。然而，若要從所制造出的鎳電鑄管來(lái)制造安裝于連接夾具的連接端子，還需要追加將該管切斷成適于連接端子的長(zhǎng)度、或是形成與連接夾具卡合的卡止部等工序。
此外，在專利文獻(xiàn)5中公開(kāi)了在制造出通過(guò)專利文獻(xiàn)3等制造出的微管后，通過(guò)追加的工序來(lái)制造微管的方法。為了從該微線圈制造出安裝到連接夾具的連接端子，還需要與專利文獻(xiàn)3及4關(guān)聯(lián)的如上述的追加的工序。發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的目的在于提供一種連接端子，即在通過(guò)如電焊那樣，從圓筒形狀部的外側(cè)的至少相對(duì)的位置朝向內(nèi)部的圓柱形狀部施加力以接合圓筒形狀部和圓柱形狀部而制造出的連接端子中，圓筒形狀部在固定前后維持幾乎圓形的形狀(或是原先的形狀)。
本發(fā)明的目的在于，提供部件數(shù)量少的探針。
本發(fā)明的目的在于，提供組裝簡(jiǎn)便的探針。
此外，本發(fā)明的目的在于提供一種連接端子的制造方法，其在去除線形原材料或 SUS線的階段，不需要追加工序也能夠形成缺口部。
因此，本發(fā)明涉及的連接端子，其用于對(duì)對(duì)象點(diǎn)間進(jìn)行連接的連接夾具，其特征在于，具備小直徑的導(dǎo)電部；以及大直徑的圓筒形狀部，上述大直徑的圓筒形狀部配置成圍繞所述小直徑的導(dǎo)電部，上述小直徑的導(dǎo)電部的前端部從上述大直徑的圓筒形狀部的前端部突出，上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合于上述大直徑的圓筒形狀部的一部分，在上述大直徑的圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的一部分上形成有缺口部，上述帶狀部分至少包含與上述小直徑的導(dǎo)電部接合的上述大直徑的圓筒形狀部的部分。
在上述連接端子中，上述缺口部具有上述圓筒形狀部的軸線方向的長(zhǎng)度；以及沿著上述圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的周面的寬度方向的長(zhǎng)度，上述缺口部的上述軸線方向的長(zhǎng)度是超過(guò)將上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合于上述大直徑的圓筒形狀部的一部分時(shí)所使用的電極的上述圓筒形狀部的軸線方向的兩端部的長(zhǎng)度，此外，上述缺口部的上述寬度方向的長(zhǎng)度大于上述圓筒形狀部的內(nèi)周面I周的長(zhǎng)度與上述小直徑的導(dǎo)電部的外周面I周的長(zhǎng)度之差。
在上述接端子中，上述缺口部也可以形成于沿著上述圓筒形狀部的軸線的方向或與沿著軸線的方向交叉的方向。
在上述連接端子中，上述缺口部也可以由關(guān)于上述圓筒形狀部的軸線成線對(duì)稱的一對(duì)缺口部形成。
在上述連接端子中，上述缺口部也可以為細(xì)長(zhǎng)開(kāi)口的狹縫狀。
在上述連接端子中，各缺口部的長(zhǎng)度大于上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分與上述大直徑的圓筒形狀部的一部分接合的部分的沿著該缺口部的方向上的長(zhǎng)度。
在上述連接端子中，在上述圓筒形狀部的除去上述帶狀部分的部分上形成有彈簧部，該帶狀部分包含上述圓筒形狀部的與上述導(dǎo)電部接合的部分。
在上述連接端子中，上述小直徑的導(dǎo)電部也可以為圓柱形狀部或圓筒形狀部。
在該連接端子中，也可以在上述小直徑的圓筒形狀部的導(dǎo)電部的一部分上形成有彈簧部。
此外，本發(fā)明涉及的在連接對(duì)象點(diǎn)間的連接夾具所用的連接端子的制造方法的特征在于形成小直徑的導(dǎo)電部與大直徑的圓筒形狀部；在上述大直徑的圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的一部分上形成缺口部；將上述小直徑的導(dǎo)電部插入于上述大直徑的圓筒形狀部，使上述小直徑的導(dǎo)電部的前端部從上述大直徑的圓筒形狀部的前端部突出；在上述大直徑的圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的與所述軸線方向正交的方向上相對(duì)置的位置且除了形成有上述缺口部的位置的位置上，配置一對(duì)電阻焊用的電極；以上述一對(duì)電阻焊用的電極相互靠近的方式推壓上述大直徑的圓筒形狀部，使其與上述小直徑的導(dǎo)電部接觸；通過(guò)在上述一對(duì)電阻焊用的電極中接通規(guī)定的電流，使上述大直徑的圓筒形狀部的一部分與上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合。
在上述連接端子的制造方法中，上述缺口部具有上述圓筒形狀部的軸線方向的長(zhǎng)度；以及上述圓筒形狀部的軸線周圍的沿著帶狀部分的周面的寬度方向的長(zhǎng)度；上述缺口部的上述軸線方向的長(zhǎng)度是超過(guò)上述電阻焊用的電極的上述圓筒形狀部的軸線方向的兩端部的長(zhǎng)度；此外，上述缺口部的上述寬度方向的長(zhǎng)度大于上述圓筒形狀部的內(nèi)周面I 周的長(zhǎng)度與上述小直徑的導(dǎo)電部的外周面I周的長(zhǎng)度之差。
在上述連接端子的制造方法中，上述缺口部也可以形成于沿著上述圓筒形狀部的軸線的方向或與沿著軸線的方向交叉的方向。
在上述連接端子的制造方法中，在上述圓筒形狀部的除去上述帶狀部分的部分上形成有彈簧部，上述帶狀部分包含上述圓筒形狀部的與上述導(dǎo)電部接合的部分。
在上述連接端子的制造方法中，上述小直徑的導(dǎo)電部也可以為圓柱形狀部或圓筒形狀部。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種連接端子，即在通過(guò)如電焊那樣，從與圓筒形狀部的外側(cè)的至少相對(duì)置的位置朝向內(nèi)部的圓柱形狀部施加力以固定圓筒形狀部及圓柱形狀部而制造出的連接端子中，圓筒形狀部在固定之前后能夠維持大致圓形的形狀(或是原先的形狀)。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種連接端子及連接夾具，其在去除線形原材料或SUS線的階段中不需要追加工序就可以具備缺口部。
進(jìn)而，根據(jù)本發(fā)明，能夠提供部件數(shù)量少的探針。
根據(jù)本發(fā)明，能夠提供組裝簡(jiǎn)便的探針。


圖I是表示安裝有檢查用探針的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的檢查用夾具的概略構(gòu)成的局部剖面主視圖。
圖2A是表示可用于圖I的檢查用夾具的一個(gè)實(shí)施方式涉及的具備狹縫的連接端子的概略結(jié)構(gòu)的局部剖視圖。
圖2B是表示圖2A所示連接端子的構(gòu)件局部的一例的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2C是表示圖2A所示連接端子的構(gòu)件局部的一例的概略結(jié)構(gòu)圖。
圖2D是用于說(shuō)明圖2A的連接端子的制造方法的一例的概念圖。
圖3A是從圖2A的3A — 3A箭頭方向觀察時(shí)的簡(jiǎn)化剖視圖。
圖3B是用于說(shuō)明在連接端子未形成狹縫的狀態(tài)下進(jìn)行固定的情形的概念圖。
視圖。
視圖。
圖3C是用于說(shuō)明在連接端子未形成狹縫的狀態(tài)下進(jìn)行固定的情形的概念圖。圖4是簡(jiǎn)化表示圖1的一個(gè)實(shí)施方式涉及的檢查用夾具的局部結(jié)構(gòu)的放大局部剖圖5是簡(jiǎn)化表示圖1的一個(gè)實(shí)施方式涉及的檢查用夾具的局部結(jié)構(gòu)的放大局部剖圖6A是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中鍍鎳層形成工序的一個(gè)實(shí)施例6B是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中絕緣膜形成工序的一個(gè)實(shí)施例的剖視圖。
圖的剖視圖。
圖6C是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中絕緣膜局部去除工序的一個(gè)實(shí) 施例的剖視圖。
圖6D是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中鍍鎳層蝕刻工序的一個(gè)實(shí)施例 的剖視圖。
圖6E是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中預(yù)定部位的絕緣膜去除工序的 一個(gè)實(shí)施例的剖視圖。
圖 的剖視圖。
圖 首1J視圖。
圖6H是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中芯材拔除工序的一實(shí)施例的剖 視圖。
圖7A是表示另一實(shí)施方式涉及的探針的概略結(jié)構(gòu)的側(cè)視圖。
圖7B是表示圖7A所示探針的中心剖視圖。
圖8是對(duì)安裝有圖7A及圖7B的實(shí)施方式涉及的探針的檢查用夾具的局部結(jié)構(gòu)進(jìn) 行簡(jiǎn)化表示的剖視圖。
圖9A是表示可用于圖1的檢查用夾具的一個(gè)實(shí)施方式涉及的探針的概略結(jié)構(gòu)的 局部剖視圖。6F是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中鍍金層去除工序的一個(gè)實(shí)施例 6G是表示本發(fā)明涉及的連接端子的制造階段中芯材拉伸工序的一個(gè)實(shí)施例的
仰視圖。
圖9B是表示圖9A的探針的構(gòu)件局部的一例的概略結(jié)構(gòu)圖。圖9C是表示圖9A的探針的構(gòu)件局部的一例的概略結(jié)構(gòu)圖。圖1OA是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的連接端子的抵接部的放大主視圖。圖1OB是表示圖1OA所示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的連接端子的抵接部的放大圖1lA是本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的連接端子的抵接部的局部放大剖視圖。圖1lB是本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的連接端子的抵接部的局部放大剖視圖。圖12A是表示本發(fā)明的另一實(shí)施方式涉及的連接端子的抵接部的放大主視圖。圖12B是表示圖12A所示連接端子的抵接部的放大仰視圖。圖13A是掃描電子顯微鏡所拍攝的、與圖1OA及圖1OB涉及的連接端子的抵接部 對(duì)應(yīng)的抵接部的放大照片。
圖13B是掃描電子顯微鏡所拍攝的、與圖12A及圖12B涉及的連接端子的抵接部對(duì)應(yīng)的抵接部的放大照片。
(附圖標(biāo)記說(shuō)明)
10 :檢查用夾具，11 :支承部件，Ils :間隔件，12 :頭部，12h、14h :貫通孔，
12hl :大直徑部，12h2 :小直徑部，13s :狹縫，14 :基座部，16 電極部，
20 :探針，22 :小直徑的圓筒形狀部，24 :大直徑的圓筒形狀部，22f :前端部，
22r :后2而部，22fe、24fe :如立而面，22re、24re :后2而面，22s :彈黃部，
70 :芯材，71、73 :連接端子，72 :鍍金層，74 :鍍鎳層，76 :絕緣膜。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明的檢查用夾具及連接端子可以從檢查裝置將電力或電信號(hào)提供至受檢物所具有的檢查對(duì)象部的規(guī)定的檢查位置，并且通過(guò)從檢查對(duì)象部檢測(cè)出的電信號(hào)來(lái)檢測(cè)檢查對(duì)象部的電特性或是進(jìn)行動(dòng)作試驗(yàn)。
作為受檢物，可以舉例例如印刷布線基板、柔性基板、陶瓷多層布線基板、液晶顯示器或等離子顯示器用的電極板、半導(dǎo)體封裝用的封裝基板或膜載體等各種基板，以及半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體芯片或CSP (chip size package,芯片尺寸封裝)等半導(dǎo)體裝置。
此外，本發(fā)明涉及的連接端子也可以以電連接上述對(duì)象物及裝置為目的，而且也可以作為如內(nèi)插器或連接器一樣連接電極端與電極端的連接夾具進(jìn)行采用。
在本說(shuō)明書中，將上述受檢物總稱為“受檢物”，將形成于受檢物的檢查對(duì)象部稱為“檢查對(duì)象部”。此外，在本說(shuō)明書中，將上述對(duì)象物總稱為“對(duì)象物”，將設(shè)定于對(duì)象物并抵接連接端子而成導(dǎo)通狀態(tài)的部位稱為“對(duì)象點(diǎn)”。此外，夾在對(duì)象點(diǎn)和對(duì)象點(diǎn)之間的部位則設(shè)定為“對(duì)象點(diǎn)間”。
以下，根據(jù)附圖，針對(duì)將連接端子用作基板或半導(dǎo)體裝置的受檢物的檢查對(duì)象部的檢查用探針的情況，加以說(shuō)明。
另外，為了易于理解，在各附圖上，對(duì)各部件的厚度、長(zhǎng)度、形狀、部件彼此間的間隔等進(jìn)行了適當(dāng)?shù)姆糯?、縮小、變形、簡(jiǎn)化等。
[檢查用夾具的概略構(gòu)成]
圖1是表示本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式涉及的檢查用夾具10的概略結(jié)構(gòu)的局部剖面主視圖。檢查用夾具10具備頭部12、基座部14以及電極部16。頭部12及基座部14包括樹(shù)脂或陶瓷等絕緣性板狀部件。頭部12及基座部14由棒狀的支承部件11及環(huán)設(shè)于其周圍的間隔件Ils隔開(kāi)預(yù)定距離來(lái)被保持。
在頭部12上形成有多個(gè)貫通孔12h，插入上述貫通孔12h中的探針20的前端部 22f被引導(dǎo)至預(yù)定位置。在基座部14上形成有多個(gè)貫通孔14h，插入上述貫通孔14h中的探針20的后端部22ι■被引導(dǎo)至電極部16。隨著檢查對(duì)象越來(lái)越微細(xì)，檢查點(diǎn)間的距離也變得非常小，因此各貫通孔12h及貫通孔14h的內(nèi)徑也變得非常小。
探針20的后端部22r與固定于電極部16的導(dǎo)線18的端部接觸，而導(dǎo)線18連接在未圖示的檢查裝置上。
在圖1中，為了簡(jiǎn)化附圖，僅圖示了一部分的探針20。
此外，如圖1所示，在檢查受檢物時(shí)，檢查對(duì)象的受檢物30配置在檢查用夾具10 下方，使檢查用夾具10下降，并使探針20前端面22fe與預(yù)定的檢查點(diǎn)例如30dn接觸，由此對(duì)檢查對(duì)象部的電特性進(jìn)行檢查。
[連接端子的結(jié)構(gòu)]
圖2A到圖2D是用于說(shuō)明可用于圖1的檢查用夾具的一個(gè)實(shí)施方式涉及的連接端子(或稱為“探針”)20的放大并簡(jiǎn)化的側(cè)視圖。圖2A是連接端子20的局部剖視圖，圖2B 是構(gòu)成連接端子20的圓筒形狀部22的側(cè)視圖，圖2C的構(gòu)成連接端子20的棒狀部24的側(cè)視圖，圖2D是用于說(shuō)明將棒狀部24接合到圓筒形狀部22的方法的簡(jiǎn)化側(cè)視圖。
圖2A表示可用于圖1的檢查用夾具的一個(gè)實(shí)施方式涉及的連接端子20。連接端子20包括導(dǎo)電性的圓筒形狀部22及導(dǎo)電性的圓柱形狀的棒狀部24，棒狀部24插通在導(dǎo)電性的圓筒形狀部22內(nèi)。
圓筒形狀部22包括圓筒形狀的前端部22f、圓筒形狀的后端部22r、以及形成于它們之間的彈簧部22s，彈簧部22s形成為螺旋狀。棒狀部24包括圓柱形狀的本體部24b及尖銳形狀的前端部24e。
棒狀部24插通于圓筒形狀部22的前端部22f、彈簧部22s以及后端部22r內(nèi)，棒狀部24的前端部24e從圓筒形狀部22的前端部22f的前端面22fe突出。棒狀部24的后端部側(cè)位于比圓筒形狀部22的后端部22r的后端面更往內(nèi)側(cè)縮進(jìn)的位置。到上述縮進(jìn)的位置的距離是如下程度的大小當(dāng)棒狀部24的前端部24e受到推壓而后退時(shí)，與其一起移動(dòng)的棒狀部24的后端部側(cè)不會(huì)從圓筒形狀部22的后端部22r的后端面突出。
彈簧部22s在伸縮時(shí)，隨著伸縮而以軸線為中心回旋。也就是說(shuō)，例如當(dāng)在使圓筒形狀部22的后端部22r固定的狀態(tài)下推壓棒狀部24的前端部24e而使棒狀部24后退時(shí)， 圓筒形狀部22的前端部22f與棒狀部24的前端部24e —起后退(因?yàn)閮烧咴赑l的位置接合)，隨著其后退，彈簧部22s收縮。此時(shí)，圓筒形狀部22的后端部22r被固定而無(wú)法旋轉(zhuǎn)， 因此圓筒形狀部22的前端部22f回旋。通過(guò)這種回旋，彈簧部22s在收縮前后能夠維持相同的外徑大小。
此外，在圓筒形狀的前端部22f的由Pl所示的位置，圓筒形狀的前端部22f與棒狀部24的本體部24b，如后詳述，通過(guò)電阻焊(電焊)或鉚接而接合，并彼此固定。因此，圓筒形狀的前端部22f與圓柱形狀的主體部24b —起移動(dòng)。此外，通過(guò)此接合，圓筒形狀的前端部22f與棒狀部24的本體部24b可以電導(dǎo)通。
圖2B表示構(gòu)成連接端子20的圓筒形狀部22。作為圓筒形狀部22，可以使用例如外徑為約25到300 μ m,且內(nèi)徑為10到250 μ m的鎳或鎳合金管。在此實(shí)施方式中，作為一例，使用外徑φ 為約70 μ m、內(nèi)徑φ2為約50 μ m、全長(zhǎng)LI為約20mm的鎳管,但不限定于此。 除了圓筒形狀部22的前端部22f的前端面22fe及后端部22r的后端面以外，也可以根據(jù)需要在圓周面上實(shí)施絕緣覆膜。
此外，圓筒形狀的前端部22f的長(zhǎng)度L2為約5mm，彈簧部22s的長(zhǎng)度L3為約10mm， 后端部22r的長(zhǎng)度L4為約 5mm。這些數(shù)值僅為一例，并不限定于此。
沿著圓筒形狀的前端部22f的軸線周圍的帶狀部分的長(zhǎng)邊方向，形成有作為缺口部的狹縫13s。上述狹縫13s如圖2A所示，在通過(guò)電阻焊或鉚接來(lái)接合圓筒形狀的前端部 22f與棒狀部24的本體部24b而使彼此固定時(shí)，發(fā)揮作用。關(guān)于狹縫13s，將根據(jù)圖2D來(lái)詳細(xì)說(shuō)明。
此外，圓筒形狀部22可以按照例如后述圖6A至圖6H所示的制造方法來(lái)制造，此時(shí)也可以形成狹縫13s。
圖2C表示構(gòu)成連接端子20的棒狀部24。作為棒狀部24，可以使用例如直徑φ3為約48 μ m的由鎢、工具用碳鋼(SK材)、鈹銅等構(gòu)成的圓柱形狀部件。由于棒狀部24必須要在圓筒形狀部22內(nèi)移動(dòng)自如，所以其直徑要小于圓筒形狀部22的內(nèi)徑。例如，在將棒狀部 24插入于圓筒形狀部22時(shí)，棒狀部24與圓筒形狀部22間形成有約Iym左右的空隙。棒狀部24的長(zhǎng)度根據(jù)其前端部從檢查用夾具的頭部12 (圖1)突出的長(zhǎng)度而改變，不過(guò)也可以與圓筒形狀部22大致相同或是比圓筒形狀部22 短。
此外，棒狀部24的前端部的形狀也可以是用與圓柱形狀部的長(zhǎng)邊方向軸線斜向交叉的I個(gè)面截?cái)嗪蟮男螤?。如上所述，由于彈簧?2s隨著伸縮而回旋，所以將如此的前端部形狀的棒狀部24組裝入圓筒形狀部22時(shí)，例如，圓柱形狀部的上述形狀的前端部被按壓在受檢物上而彈簧部收縮時(shí)，圓柱形狀部以長(zhǎng)邊方向的軸線為中心回旋，上述形狀的前端面能夠以搔刮或削去受檢物30表面氧化膜的方式在其表面上移動(dòng)。
棒狀部24的前端部的形狀除上述之外，還可以是用與圓柱形狀部的長(zhǎng)邊方向軸線斜向交叉的2個(gè)面截?cái)嗪蟮男螤睢?個(gè)面交叉的前端部成為刀子的刀刃般的形狀。此外， 也可以是如一字螺絲刀的前端一樣的薄板狀的刀刃形狀。此外，上述薄板狀的刀刃位置也可以從軸線偏離。
圖2D是用于說(shuō)明連接端子20的組裝方法的概念圖。在此，說(shuō)明用電阻焊來(lái)接合圓筒形狀部22的前端部22f和棒狀部24的本體部24b的情形。如圖2D所示，在圓筒形狀部22的前端部22f的中央部分，沿著長(zhǎng)邊方向形成有作為缺口部的狹縫13s。此外，同一狹縫13s也形成在位于圖視背面?zhèn)鹊南鄬?duì)置面一側(cè)。換言之，在位于圓筒形狀部22的帶狀部分上關(guān)于長(zhǎng)邊方向軸線線對(duì)稱的2處形成有一對(duì)狹縫13s。各狹縫13s的長(zhǎng)度為300到 400 μ m，狹縫13s的寬度為約5到15 μ m。
在此實(shí)施方式中，狹縫13s為細(xì)長(zhǎng)的開(kāi)口，沿著圓筒形狀部22的軸線方向形成。然而，狹縫并不限定于此。舉例而言，如根據(jù)圖2D在后詳述的那樣，為使前端部22f接合到棒狀部24，例如使用電阻焊。在電阻焊時(shí)，前端部22f上未形成有狹縫13s的情況下，若由一對(duì)電阻焊用電極夾住圓筒形狀部22的前端部22f，則與夾住的方向正交部分的前端部22f的一部分會(huì)向外側(cè)膨脹，前端部22f的截面形狀成為大致楕圓形。因此，導(dǎo)致前端部22f的外徑變得比電阻焊前還要大。相對(duì)于此，當(dāng)通過(guò)狹縫13s切除與膨脹到其外側(cè)的部分相當(dāng)?shù)牟糠謺r(shí)，不會(huì)產(chǎn)生膨脹，因此，即使圓筒形狀部22的前端部22f被一對(duì)電阻焊用電極夾住， 前端部22f的截面形狀也能夠維持大致圓形的形狀。關(guān)于此概念的詳細(xì)說(shuō)明，根據(jù)圖3A、 圖3B及圖3C在后詳述。如上所述，狹縫是為了預(yù)先切掉當(dāng)由一對(duì)電阻焊用電極夾住前端部22f時(shí)，若無(wú)狹縫則會(huì)膨脹的前端部22f的一部分而設(shè)置的，因此不限定于細(xì)長(zhǎng)的開(kāi)口形狀，也可以為根據(jù)需要具有某種程度的寬度的開(kāi)口，開(kāi)口的寬度也可以不固定，例如也可以是楕圓形或菱形的開(kāi)口。此外，狹縫并不限定于沿著圓筒形狀部的長(zhǎng)邊方向的方向，也可以形成于相對(duì)于長(zhǎng)邊方向呈斜向的方向。
此外，從圓筒形狀部22的外側(cè)表面所形成的一對(duì)狹縫13s的各位置到以軸線為中心沿著外側(cè)表面移動(dòng)了約90度的位置上，配置有一對(duì)電阻焊用的電極40。各電極的寬度 (沿著連接端子的長(zhǎng)邊方向的長(zhǎng)度)為約200 μ m。如此，優(yōu)選的是，狹縫的長(zhǎng)度比電極的寬度大。
此外，如上所述，狹縫13s的寬度只要具備能夠吸收?qǐng)A筒形狀部22的向外側(cè)方向的膨脹的寬度，則并無(wú)特別限定，但優(yōu)選是基于圓筒形狀部22的內(nèi)周與棒狀部24外周之差來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)，若在圓筒形狀部22的內(nèi)周面上以軸線為中心繞I周的長(zhǎng)度為L(zhǎng)22，在棒狀部24的外周面上以軸線為中心繞1周的長(zhǎng)度為L(zhǎng)24，則優(yōu)選的是狹縫13s的寬度大于長(zhǎng)度L22與長(zhǎng)度L24之差。即，優(yōu)選為L(zhǎng)22 — L24 <狹縫13s的寬度的關(guān)系。
此外，如上所述，優(yōu)選的是狹縫13s的長(zhǎng)度比電阻焊用的電極40的寬度(沿著連接端子的長(zhǎng)邊方向的長(zhǎng)度)大。此外，優(yōu)選的是狹縫13s的長(zhǎng)邊方向的兩端部均位于比同樣在長(zhǎng)邊方向上排列的電阻焊用電極40的兩端部更靠外側(cè)的位置。換言之，大小關(guān)系優(yōu)選為， 當(dāng)狹縫13s和電極40在同一個(gè)長(zhǎng)邊方向上重疊時(shí)，電極40能夠收進(jìn)狹縫13s的兩端部?jī)?nèi)側(cè)。
在組裝連接端子20時(shí)，首先，將棒狀部24插入于圓筒形狀部22內(nèi)。此時(shí)，作為接觸檢查點(diǎn)的前端部而發(fā)揮作用的部分向外部突出，該檢查點(diǎn)是成為連接端子20的檢查對(duì)象的受檢物的對(duì)象部的預(yù)定的檢查點(diǎn)。作為一例，在圖2D中，包含棒狀部24的前端部24e 在內(nèi)，從圓筒形狀部22的前端部22f的前端面22fe突出約2mm到3mm左右。
接著，一對(duì)電阻焊用的電極40配置成從上下夾住圓筒形狀部22的前端部22f。在此情況下，如圖2D所示，電極40不會(huì)與狹縫13s重疊，而一對(duì)狹縫13s配置成位于圖2D紙面前側(cè)以及背面?zhèn)鹊奈恢谩Ｔ诖藸顟B(tài)下，圓筒形狀部22的前端部22f被相對(duì)置的一對(duì)電極部40所夾持，若在推壓狀態(tài)下接通預(yù)定的電流，則電流由一邊的電極40流向與其相接的圓筒形狀部22的前端部22f、其內(nèi)表面的鍍金層、鎢等棒狀部的一側(cè)、鎢等棒狀部的另一側(cè)、 圓筒形狀部22的前端部22f的另一側(cè)的內(nèi)表面的鍍金層、圓筒形狀部22的前端部22f、再流向另一邊的電極40，由此，圓筒形狀部22的前端部22f的內(nèi)表面的鍍金層因熱而熔化，將前端部22f焊接在棒狀部24上。另外，也可以在相對(duì)置的位置上以鉚接代替電阻焊，來(lái)接合圓筒形狀部22的前端部22f和棒狀部24的本體部24b。
圖3A到圖3C是用于詳細(xì)說(shuō)明圓筒形狀部22的前端部22f與棒狀部24的本體部 24b焊接時(shí)的狀況的放大剖視圖。
圖3A表示從圖2A所示箭頭3A — 3A方向觀察時(shí)的狀態(tài)。在進(jìn)行電阻焊時(shí)，一開(kāi)始，在圖3A所示上下相對(duì)置的2個(gè)Pl的位置上配置電阻焊用的一對(duì)電極，并施力以使由上述電極夾住圓筒形狀部22的前端部22f的圓筒形狀部。由此，使圓筒形狀部22的前端部 22f的內(nèi)表面的一部分與棒狀部24外周面的一部分接觸。接著，在此狀態(tài)下，向一對(duì)電極供給電流。這樣，通過(guò)此時(shí)所產(chǎn)生的熱而熔化前端部22f內(nèi)表面的鍍金層，使前端部22f的內(nèi)表面與棒狀部24的外周面焊接。
如圖3A所示，在圓筒形狀部22的前端部22f形成有一對(duì)狹縫13s。因此，通過(guò)一對(duì)電阻焊用的電極來(lái)夾住圓筒形狀部22時(shí)，位于與連結(jié)一對(duì)電極的直線正交的方向上的圓筒形狀部22的部分向外側(cè)膨脹，然而由于膨脹部分被切掉，所以不會(huì)膨脹，能夠維持截面呈大致圓形的形狀。
另外，在此，從與本發(fā)明比較的觀點(diǎn)來(lái)看，根據(jù)圖3B及圖3C，說(shuō)明在未形成狹縫 13s的圓筒形狀部?jī)?nèi)，使用一對(duì)電阻焊用的電極來(lái)接合圓柱形狀部時(shí)的狀態(tài)。如圖3B所示， 棒狀部24插入于截面為圓形的圓筒形狀部22的前端部22-1，在其上下相對(duì)置的位置配置有一對(duì)電阻焊用的電極40。接著，如圖3C所示，一對(duì)電阻焊用的電極如箭頭所示地，朝向彼此靠近的方向移動(dòng)，并從上下方向夾住前端部22 - 1，使前端部22 -1的內(nèi)表面與棒狀部24的外周面接觸。此時(shí)，如圖3C所示，圓筒形狀部22的前端部22-1其上下方向因受電極40所夾而更加靠近，而左右方向則以膨脹的方式遠(yuǎn)離，圓筒形狀部22的截面從圓形變形成大致楕圓形。其結(jié)果，擴(kuò)大后的左右方向的外徑變得比截面圓形時(shí)的圓筒形狀部22的外徑大。這樣，當(dāng)將外徑變大的連接端子組裝到例如圖4的檢查夾具時(shí)，有可能產(chǎn)生該連接端子無(wú)法插入頭部12的貫通孔12h的大直徑部12hl內(nèi)的情形。這是因?yàn)殡S著檢查對(duì)象機(jī)器的微細(xì)化，保持探針的貫通孔尺寸也變得微細(xì)化的緣故。
相對(duì)于圖3B及圖3C所示，若使用圖3A所示的形成有狹縫13s的圓筒形狀部22， 則即使進(jìn)行電阻焊，也能夠維持大致圓形形狀，所以不會(huì)產(chǎn)生上述疑慮。狹縫的作用就在于這一點(diǎn)。
作為狹縫的形狀，在上述實(shí)施方式中，例示了細(xì)槽形狀的孔的實(shí)施方式，然而狹縫是為了通過(guò)事先切除在由電極夾住圓筒形狀部時(shí)向與其正交的方向退避的部分，而使圓筒形狀部的截面形狀維持圓形而設(shè)置的，因此只要能夠形成事先切除形成該退避部分的空間的形狀，則可以是任意形狀的缺口部。
[檢查用夾具的概要]
圖4是檢查用夾具的局部放大剖視圖。如圖4所示，頭部12的下表面安裝有板厚度薄的板12u，而在頭部12形成有大直徑部12hl，在板12u形成有小直徑部12h2。然而，也可以不使用板12u，而在頭部12本身形成大直徑部12hl及小直徑部12h2。
在大直徑部12hl插入有連接端子20的圓筒形狀部22的前端部22f。
如上所述，在前端部22f的相對(duì)的位置上形成有一對(duì)狹縫13s，并通過(guò)電阻焊使前端部22f與棒狀部24接合。在電阻焊后，前端部22f維持為截面呈大致圓形，因此前端部 22f能夠在大直徑部12hl內(nèi)進(jìn)行移動(dòng)而完全不會(huì)接觸到內(nèi)壁。此外，上述前端部22f的前端面22fe抵接在板12u的表面上，板12u是從大直徑部12hl轉(zhuǎn)移到小直徑部12h2的部分。 進(jìn)而，小直徑部12h2內(nèi)插通有棒狀部24，前端部24e則從頭部12突出。在此情形下，形成小直徑部12h2的板12u的表面構(gòu)成卡止部。
另一方面，連接端子20的后端部22r的后端面與插入于基座部14的貫通孔14h 中的導(dǎo)線18的端面相接觸。
在圖4的狀態(tài)下，從形成頭部12的卡止部的板12u的表面到電極部16的導(dǎo)線18 的端面的距離，比圖2A中沒(méi)有施加負(fù)載的自然長(zhǎng)度下的圓筒形狀部22的長(zhǎng)度小。因此，在圖4中，通過(guò)該卡止部將圓筒形狀部22的前端部22f往上推，使彈簧部22s收縮。由此，圓筒形狀部22的后端部22ι■被按壓到電極部16的導(dǎo)線18的端面。因此，將后端部22r與導(dǎo)線18的接觸電阻值能夠抑制為很小。
圖5是檢查用夾具的局部放大剖視圖，用于說(shuō)明使用圖4的檢查用夾具進(jìn)行受檢物的檢查時(shí)的狀況。
在檢查基板等受檢物時(shí)，使檢查用夾具10下降，而使連接端子20的前端部24e抵接于受檢物30的布線等對(duì)象部上的規(guī)定的檢查點(diǎn)30dl。由此，如圖5所示，連接端子20的棒狀部24被往上推，進(jìn)入頭部12的貫通孔12h內(nèi)。如上所述，圓筒形狀部22的前端部22f 與棒狀部24接合于P1，因此若棒狀部24被推上，則圓筒形狀部22的前端部22f也隨之被推上，其結(jié)果，使得圓筒形狀部22的前端部22f的前端面22fe從形成頭部12的小直徑部12h2的卡止部的板12u的表面離開(kāi)。此外,如圖4及圖5所示,前端部22f維持為截面呈大致圓形，因此前端部22f能夠在大直徑部12hl內(nèi)移動(dòng)，而不會(huì)觸碰到任何內(nèi)壁。
此外，當(dāng)檢查結(jié)束后檢查用夾具10離開(kāi)受檢物時(shí)，將棒狀物24的前端部24e往上推的力量消失，因此圓筒形狀部22的前端部22f再次抵接到形成頭部的12卡止部的板12u 的表面，并被保持在那里(圖4)。
[連接端子的制造例]
從圖6A到圖6H是表示用于制造本發(fā)明涉及的一個(gè)實(shí)施方式的連 接端子的各個(gè)工序的一個(gè)實(shí)施例的剖視圖。此外，在此所制造的連接端子不僅可以單獨(dú)使用，在與其它圓筒形狀構(gòu)件或圓柱形狀部件組合的情況下，也能夠作為連接端子發(fā)揮作用。此外，在圖6A到圖6H中，為了易于理解，對(duì)各部件的厚度、長(zhǎng)度、形狀、部件彼此間的間隔、間隙等進(jìn)行了適當(dāng)?shù)姆糯?、縮小、變形、簡(jiǎn)化等。在說(shuō)明圖時(shí)所稱的上下、左右等用語(yǔ)是表示面向上述圖的狀態(tài)下沿著上述圖的表面的方向。
圖6A表示在芯材70外周面上形成鍍金層72，進(jìn)而在其上形成鍍鎳層74而制造出的電鑄管(圓筒形狀管)的剖視圖。作為芯材70，可以使用例如外徑為5μπι到300 μ m的金屬線或樹(shù)脂線。作為金屬線，可以使用例如SUS線，作為樹(shù)脂線，可以使用尼龍樹(shù)脂或聚乙烯樹(shù)脂等合成樹(shù)脂線。此外，鍍金層72的厚度為約O.1 μ m到I μ m，鍍鎳層74的厚度為約5μ m到50 μ m。從搬運(yùn)作業(yè)容易與否等觀點(diǎn)來(lái)看，電鑄管的長(zhǎng)度優(yōu)選為50cm會(huì)更小,但并不限定于此，也可以連續(xù)制造而不切斷。
圖6B表示在圖6A所示電鑄管的鍍鎳層74的外周面上形成絕緣膜76的例子。絕緣膜76在后述的形成預(yù)定的槽時(shí)，也可以作為抗蝕膜發(fā)揮作用。該絕緣膜的厚度為約2 μ m 到50 μ m。作為絕緣膜76，也可以使用例如氟素覆層或硅樹(shù)脂材料來(lái)形成。
接著，如圖6C所示，將絕緣膜76隔開(kāi)例如3mm到30mm的間隔并按規(guī)定的寬度環(huán)繞而去除，從而形成槽78a、78b、78c，此外，將槽與槽之間的絕緣膜的一部分按螺旋狀進(jìn)行去除，形成螺旋狀的槽79a、79b。在形成這些槽的部分露出鍍鎳層74。
在形成這些槽時(shí)，可以采用對(duì)絕緣膜76照射激光束以去除絕緣膜76的方法。在此情況下，一面使芯材70在圓周方向上旋轉(zhuǎn)，一面用激光束直接照射槽的位置，通過(guò)上述照射去除絕緣膜76。另外，在此方法中所使用的激光束的輸出被調(diào)整成只能去除絕緣膜76 且不會(huì)損傷鍍鎳層。
其次，如圖6D所示，將絕緣膜76用作掩模，將在槽78a、78b、78c、79a、79b處露出的鍍鎳層74蝕刻去除而使鍍金層72露出。此時(shí)，鍍鎳層74與芯材70之間存在有鍍金層 72，因此在蝕刻時(shí)能夠防止鎳蝕刻液到達(dá)芯材。由于通過(guò)上述蝕刻處理而去除的鍍鎳層74 的槽78a、78b、78c、79a、79b處露出的端面是利用蝕刻液的腐蝕作用，所以具備形成側(cè)蝕部 (side etching)的特征(在后詳述)。
此外，由于螺旋狀的槽79a、79b是經(jīng)由激光去除了該部分的絕緣膜76后，再通過(guò)蝕刻去除露出于該部分的鍍鎳層74而形成，所以位于上述螺旋狀槽之間的部分(后述的彈簧部)的鍍鎳層74的端部上形成有側(cè)蝕部，此層疊而成的絕緣膜76，成為相對(duì)于上述鍍鎳層74突出的狀態(tài)。
在圖6E中，照射激光束，將形成有槽78a、78b、78c的絕緣膜76從端面去除預(yù)定的長(zhǎng)度，使鍍鎳層74露出。所露出的鍍鎳層74形成于連接夾具用的連接端子，成為作為接觸檢查對(duì)象部的前端部或接觸與檢查裝置連接的連接夾具的電極的后端部發(fā)揮作用的部分， 且根據(jù)連接夾具的結(jié)構(gòu)，確定它們所需的長(zhǎng)度。因此，可以考慮前述情形來(lái)決定要去除的絕緣膜76的長(zhǎng)度。接著，進(jìn)行超聲波清洗，如圖6F所示，去除露出于槽78a、78b、78c、79a、79b的鍍金層72。
其次，如圖6G所示，如由空心箭頭所示，將芯材70兩端向遠(yuǎn)離的方向拉伸使其按截面積縮小的方式變形。也可以固定一端，僅拉伸另一端。當(dāng)芯材70延伸而其截面積變小時(shí)，芯材70的外周面所覆蓋的鍍金層72從上述外周面剝離而殘留在電鑄管內(nèi)側(cè)，在芯材70 與鍍金層72之間形成空間78。
接著，如圖6H所示，若拔除芯材70，則相鄰的部分因槽78a、78b、78c而分離，連接端子71與連接端子73形成為各自獨(dú)立的構(gòu)件。這樣，如圖6H所示，在拔除芯材70的階段， 不需要其它追加工序就可以完成連接端子。此外，圖6A到圖6H，僅表示簡(jiǎn)化的電鑄管的一部分，因此在圖6H的工序中，雖然僅制造了 2個(gè)連接端子，然而通過(guò)使用長(zhǎng)的電鑄管，能夠一次制造多個(gè)連接端子。
如圖6H所示，連接端子71、73具備導(dǎo)電性材料的圓筒形狀管的鍍鎳層74，在其兩端側(cè)形成有露出鍍鎳層的前端部及后端部，此外，在前端部及后端部之間形成有具有長(zhǎng)軸方向的螺旋狀壁面的彈簧部，沿著該螺旋狀壁面形成有絕緣膜76。
本發(fā)明的連接端子，雖然可以在上述尺寸條件下制造，但特別是外徑形成為30到 100 μ m、內(nèi)徑形成為20到90 μ m、絕緣覆膜的厚度形成為2到15 μ m的情況，適合用作連接夾具所使用的連接端子。
此外，圖2B所示的圓筒形狀部22可以使用例如上述圖6A到圖6H所示的制造方法來(lái)制造。例如，在圖6C的工序中，為了形成螺旋狀的槽，在通過(guò)激光束的照射來(lái)去除一部分絕緣膜76，通過(guò)蝕刻去除露出于該部分的鍍鎳層74時(shí)，同樣地，能夠通過(guò)激光束的照射沿著狹縫13s的形狀去除絕緣膜76，通過(guò)蝕刻去除露出于該部分的鍍鎳層74，由此形成狹縫 13s。
[其它探針結(jié)構(gòu)]
圖7A及圖7B表示另一實(shí)施方式涉及的探針50。探針50包括大直徑的圓筒形狀部54及插入于其中的小直徑的圓柱形狀部52 (導(dǎo)電部)。
大直徑的圓筒形狀部54包括前端部54f，后端部54r，形成于它們之間的2個(gè)彈簧部54sl、54s2，以及連結(jié)這些彈簧部的連結(jié)部54c。2個(gè)彈簧部54sl、54s2分別形成為螺旋形狀，回旋方向相互相反。S卩，若彈簧部54sl從連結(jié)部54c例如向左轉(zhuǎn)方向回旋而到達(dá)后端部54r,則彈簧部54s2從連結(jié)部54c向右轉(zhuǎn)方向回旋而到達(dá)前端部54f。
大直徑的圓筒形狀部54及彈簧部54sl、54s2能夠以與上述實(shí)施例的圓筒形狀部 22及彈簧部22s同樣的方式來(lái)制造。
小直徑的圓柱形狀部52的前端部52f從大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f突出。另一方面，小直徑的圓柱形狀部52的后端部52r停留在大直徑的圓筒形狀部54的后端部54r的后端面54re跟前的位置，在大直徑的圓筒形狀部54的后端面54re與小直徑的圓柱形狀部52的后端面52re之間形成有空間。
此外，與圖2B所示的連接端子20的圓筒形狀部22的前端部22f同樣，在圖7A或圖7B的大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f的軸線周圍的帶狀部分上，沿著長(zhǎng)邊方向形成有作為缺口部的狹縫52s。在大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f的位置P，上述前端部54f與小直徑的圓柱形狀部52例如通過(guò)電阻焊或是鉚接而接合，并相互固定。因此，小直徑的圓柱形狀部52與大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f成一體地動(dòng)作。在電阻焊時(shí)， 通過(guò)狹縫52s的作用，前端部54f在電阻焊前后能夠維持截面呈圓形。除此以外的部分，大直徑的圓筒形狀部54及小直徑的圓柱形狀部52并未固定，能夠各自分別動(dòng)作。
如后所述，在檢查基板等時(shí)，在大直徑的圓筒形狀部54的后端部54r的后端面 54re與檢查夾具的電極(導(dǎo)線18)接觸的狀態(tài)下，若小直徑的圓柱形狀部52的前端部52f 的前端面52fe抵接檢查點(diǎn)而受到按壓時(shí)，小直徑的圓柱形狀部52相應(yīng)于按壓的力的大小而與大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f —起后退。因此，大直徑的圓筒形狀部54的2 個(gè)彈簧部54sI、54s2收縮，并且小直徑的圓柱形狀部52在它們內(nèi)側(cè)的空間內(nèi)后退。這些彈簧相應(yīng)于這些彈簧收縮的長(zhǎng)度的量而發(fā)揮要恢復(fù)到原先長(zhǎng)度的作用力。彈簧的負(fù)荷與彈簧長(zhǎng)度的位移成比例，因此當(dāng)彈簧收縮的長(zhǎng)度改變時(shí)，根據(jù)2個(gè)彈簧部54sl、54s2而使得圓柱形狀部52的前端部52f的前端面52fe對(duì)檢查點(diǎn)的推壓力(負(fù)荷)的大小改變。
因此，在大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f的位置P進(jìn)行鉚接等時(shí)，改變小直徑的圓柱形狀部52的前端部52f從前端部54f突出的長(zhǎng)度，由此能夠改變前端面52fe對(duì)檢查點(diǎn)施加的負(fù)荷的大小。
此外，在探針50被組裝到檢查夾具時(shí)，2個(gè)彈簧部54sl、54s2發(fā)揮施力部的作用而施加預(yù)壓，該預(yù)壓用于通過(guò)適當(dāng)?shù)牧⒋笾睆降膱A筒形狀部54的后端部54ι■的后端面54re 推壓在導(dǎo)線18上。此外，通過(guò)將小直徑的圓柱形狀部52固定于大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f，2個(gè)彈簧部54sl、54s2也可以發(fā)揮推壓部的作用，通過(guò)上述推壓部用適當(dāng)?shù)膹椥粤⑿≈睆降膱A柱形狀部52的前端面52fe推壓到檢查點(diǎn)而使接觸電阻穩(wěn)定。
圖8是安裝有圖7A及圖7B所示的探針50的檢查用夾具的局部剖視圖。如圖8 所示，頭部12 -1上形成有大直徑部的貫通孔12 -1hl及小直徑部的貫通孔12 - lh2，基座部14 -1上形成有一部分?jǐn)U大了的貫通孔14 - lh。
在頭部12 -1的大直徑部12 -1hl中插入了探針50的大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f，其前端面54fe抵接于由大直徑部12 -1hl轉(zhuǎn)移至小直徑部12 - lh2的臺(tái)階面。 這樣，上述臺(tái)階面形成前端面54fe的卡止部。小直徑部12 - lh2中插入了探針50的小直徑的圓柱形狀部52的前端部52f。
另一方面,在基座部14-1的貫通孔14 -1h中插入了探針50的大直徑的圓筒形狀部54的后端部54r以及連結(jié)部54c的一部分，后端面54re抵接于導(dǎo)線18的端面18e。 小直徑的圓柱形狀部52的后端面52re與上述端面18e分離。
此外，在組裝入檢查用夾具之前，從探針50的大直徑的圓筒形狀部54的前端面 54fe到后端面54re的自然長(zhǎng)度大于從檢查夾具的頭部12 -1的大直徑部12 -1hl轉(zhuǎn)移至小直徑部12 - lh2的臺(tái)階面(卡止部)到導(dǎo)線18的端面18e的距離。因此，如圖8所示，在將探針50組裝入檢查用夾具時(shí)，大直徑的圓筒形狀部54受到卡止部及端面18e的推壓，因此，2個(gè)彈簧部54sl、54s2收縮這種大小之差的量。通過(guò)這種收縮，這些彈簧部發(fā)揮要恢復(fù)到原先長(zhǎng)度的作用力。
在使用該檢查用夾具進(jìn)行受檢物的檢查時(shí)，使檢查用夾具下降，而使探針50的小接到受檢物30的布線等檢查對(duì)象部上的規(guī)定的檢查點(diǎn)30dl，并用規(guī)定大小的力推壓檢查點(diǎn)30dl。這樣，探針50的小直徑的圓柱形狀部52的前端部52f被推入頭部12-I的貫通孔12-lh2內(nèi)。此時(shí)，如上所述，小直徑的圓柱形狀部52與大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f接合于位置P，因此，當(dāng)前端部52f被往上推時(shí)，大直徑的圓筒形狀部54的前端部54f與其一起也被往上推,其前端面54fe離開(kāi)卡止部。其結(jié)果,大直徑的圓筒形狀部54的2個(gè)彈簧部54sl、54s2被壓縮，因此，在這些彈簧部產(chǎn)生要恢復(fù)至原先長(zhǎng)度的作用力。通過(guò)上述作用力，前端面52fe被推壓至檢查點(diǎn)30dl，這樣能夠確保其前端面52fe與檢查點(diǎn)30dl穩(wěn)定接觸。
如前所述，2個(gè)彈簧部54sl、54s2的回旋方向相反，因此被壓縮時(shí)所產(chǎn)生的作用力作用于使連結(jié)部54c向同一方向回旋的方向上。因此，相比將向同一方向回旋的2個(gè)螺旋狀彈簧連結(jié)的情況，這些彈簧部不易彎折且也不易扭轉(zhuǎn)。
此外，不限定于圖7A、圖7B及圖8的實(shí)施方式，與受檢物30相接的圓柱形狀部52 的前端面52fe的形狀，既可以為平坦，也可以為如球面形狀一樣彎曲而突出的形狀，也可以為如后述圖12A所示的所謂皇冠的實(shí)施方式一樣突出有小突起的形狀；此外，也可以為用與圓柱形狀部的長(zhǎng)邊方向軸線斜向交叉的面截?cái)嗟男螤?。例如，在將這些形狀的圓柱形狀部的前端部按壓到受檢物30的情況下，通過(guò)彈簧部的作用，使圓柱形狀部以長(zhǎng)邊方向的軸線為中心回旋時(shí)，這些形狀的前端面能夠搔刮或削去受檢物30表面的氧化膜。
[其它探針的結(jié)構(gòu)]
圖9A到圖9C是用于說(shuō)明可用于圖I的檢查用夾具的另外的實(shí)施方式涉及的探針 20的放大和簡(jiǎn)化的側(cè)視圖。
圖9A表示可用于圖I的檢查用夾具的一個(gè)實(shí)施方式涉及的探針20。探針20由大直徑的圓筒形狀部24以及插入其中的導(dǎo)電性的小直徑的圓筒形狀部22 (導(dǎo)電部)構(gòu)成。
小直徑的圓筒形狀部22包括圓筒形狀的前端部22f、圓筒形狀的后端部22r、以及形成于它們之間的彈簧部22s，彈簧部22s形成為螺旋形狀。
小直徑的圓筒形狀部22的前端部22f的前端面22fe附近的部分從大直徑的圓筒形狀部24的前端面24fe突出。此外，小直徑的圓筒形狀部22的后端部22r的后端面22re 附近的部分從大直徑的圓筒形狀部24的后端面24re突出。
此外，與圖2B所示的連接端子20的圓筒形狀部22的前端部22f同樣，如圖9C所示，沿著大直徑的圓筒形狀部24的前端部24f的軸線周圍帶狀部分的長(zhǎng)邊方向，形成有作為缺口部的狹縫13s。在大直徑的圓筒形狀部24的前端面24fe附近的位置P處，大直徑的圓筒形狀部24與小直徑的圓筒形狀部22的前端部22f通過(guò)例如電阻焊或是鉚接而接合， 并相互固定。因此，大直徑的圓筒形狀部24及小直徑的圓筒形狀部22的前端部22f成一體地移動(dòng)。
如后所述，在檢查時(shí)，當(dāng)小直徑的圓筒形狀部22的前端面22fe抵接到檢查點(diǎn)并受其推壓時(shí)，小直徑的圓筒形狀部22的后端面22re被按壓到檢查用夾具的導(dǎo)線18的端面上，由此，小直徑的圓筒形狀部22的后端部22r進(jìn)入大直徑的圓筒形狀部24之中。其進(jìn)入距離等于彈簧部22s的收縮的長(zhǎng)度。由于彈簧負(fù)荷與彈簧的位移成比例，所以通過(guò)其收縮長(zhǎng)度變化，圓筒形狀部22的前端面22fe推壓檢查點(diǎn)的力(負(fù)荷)的大小也變化。
因此，例如，在使用從后端面24re突出的后端面22re附近的圓筒形狀部22的長(zhǎng)度長(zhǎng)的其它尺寸的小直徑的圓筒形狀部，并加大后端面22re進(jìn)入到圓筒形狀部24中為止的距離時(shí)，能夠加大前端面22fe對(duì)檢查點(diǎn)所施加的負(fù)荷大小的可調(diào)整范圍。
詳細(xì)內(nèi)容如后所述，將小直徑的圓筒形狀部22的前端部22f固定于大直徑的圓筒形狀部24，由此，彈簧部22s，在檢查前，發(fā)揮施力部的作用，該施力部施加將后端部22r按壓至導(dǎo)線18的端面的預(yù)壓，并且在檢查時(shí)，發(fā)揮推壓部的作用，該推壓部用適當(dāng)?shù)膹椥粤⑶岸瞬?2f推壓到檢查點(diǎn)上以降低接觸電阻。
圖9B表示構(gòu)成探針20的小直徑的圓筒形狀部22。作為圓筒形狀部22，可以使用例如外徑為約25到280 μ m、內(nèi)徑為15到260 μ m的鎳或鎳合金管。在此實(shí)施方式中，作為一例，使用外徑為約50 μ m,內(nèi)徑為約35 μ m,全長(zhǎng)LI為約6mm的鎳管,但不限定于此。
此外，圓筒形狀的前端部22f的長(zhǎng)度L2為約2mm，彈簧部22s的長(zhǎng)度L3為約2mm， 后端部22r的長(zhǎng)度L4為約2mm。這些數(shù)值僅為一例，并不限定于此。
圖9C表示構(gòu)成探針20的大直徑的圓筒形狀部24。大直徑的圓筒形狀部24可以由鎳或鎳合金管制作，作為其尺寸，例如可以是外徑為35 μ m到300 μ m,內(nèi)徑為25 μ m到 280 μ m，長(zhǎng)度L5為3mm到30mm。這些數(shù)值僅為一例，并不限定于此。此外，也可以根據(jù)需要在大直徑的圓筒形狀部24的圓周面覆蓋絕緣覆膜。
例如，在使用電阻焊的情況下，與圖2D的情形同樣，通過(guò)相對(duì)的一對(duì)電極部夾住大直徑的圓筒形狀部24的位置P，一邊加壓，一邊接通短時(shí)間的恒定電流。由此，在該位置處，將大直徑的圓筒形狀部24與小直徑的圓筒形狀 部22的前端部22f加以焊接。代替此方法，也可以在上述位置P施加力量，使其壓緊變形而將它們結(jié)合。此時(shí)，由于狹縫13s的作用，在電阻焊前后，大直徑的圓筒形狀部24維持截面呈圓形。
圖1OA至圖12B表示在圓筒形狀的連接端子的前端部的抵接部的形狀具有特征的若干個(gè)實(shí)施方式。這些連接端子，不僅能夠作為檢查用探針，也可以用于將對(duì)象物與預(yù)定裝置電連接的連接夾具，也可以用于如內(nèi)插器或連接器一樣連接電極端與電極端的連接夾具。
圖1OA是表示連接端子86的抵接部81a的放大主視圖。抵接部81a是至少其一部分接觸對(duì)象物的對(duì)象點(diǎn)并進(jìn)行電連接的部分。圖1OB是圖1OA的連接端子86的仰視圖。 連接端子86對(duì)設(shè)于對(duì)象物的對(duì)象點(diǎn)與預(yù)定的連接點(diǎn)進(jìn)行電連接，并具備由導(dǎo)電性材料的鍍層構(gòu)成的圓筒形狀部81。
如圖1OB所示，圓筒形狀部81由內(nèi)側(cè)壁面及外側(cè)壁面形成，并在中央具有空間。在圓筒形狀部81的前端部(在圖1OA的下側(cè)部分)形成有抵接部81a，上述抵接部81a具有外側(cè)壁面的緣部82、內(nèi)側(cè)壁面的緣部84以及連結(jié)它們之間的面83。
抵接部81a的面83可以通過(guò)例如蝕刻而形成。以下說(shuō)明這種方法。例如圖6B所示，在電鑄管的鍍鎳層74的外周面上形成絕緣膜76，而制作圓筒形狀體。根據(jù)連接端子的長(zhǎng)度，將絕緣膜76用作掩模，并根據(jù)接觸件的需要利用激光束從圓筒形狀體去除規(guī)定長(zhǎng)度的絕緣膜76，進(jìn)行蝕刻處理，由此，就會(huì)露出圖1OA所示的抵接部81a。
通過(guò)這種各向同性蝕刻，在鍍鎳層74的端部形成側(cè)蝕部。此時(shí)，在圓筒形狀體的各端部，蝕刻液蔓延到距離絕緣膜76較近的鍍鎳層74的圓筒形狀體的外側(cè)壁面，而侵蝕該外側(cè)壁面，因此，外側(cè)壁面比內(nèi)側(cè)壁面所受侵蝕更多。另外，由于絕緣膜76并非必要構(gòu)件， 因此在不形成絕緣膜時(shí)，就使用抗蝕膜來(lái)進(jìn)行蝕刻。
如圖1OA所示，在圓筒形狀體的端部形成側(cè)蝕部的結(jié)果為面83的形狀并非平坦， 而成為彎曲的形狀(彎曲形狀面83)。通過(guò)改變蝕刻液的藥液調(diào)配比例、濃度、溫度等，或是通過(guò)改變蝕刻時(shí)的施加電壓大小等各項(xiàng)條件，可以改變其彎曲的寬度、大小或曲率。
圖1IA表示連接端子96-1的抵接部91 -1a的一部分的截面。抵接部91 -1a包含外側(cè)壁面的緣部92-1和內(nèi)側(cè)壁面的緣部94-1以及它們之間的面93-1。抵接部91 -1a 與圖1OA及圖1OB所示的抵接部81a同樣，也具有彎曲的面93 -1。如上述圖所示，沿著連接端子96 -1的軸線方向(在圖1lA中為上下方向)，外側(cè)壁面的緣部92 -1與內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 -1位于不同位置。即，在圖1lA中，相比于內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 -1的位置，外側(cè)壁面的緣部92 -1的位置位于沿著軸線方向更靠上方的位置(連接端子的后端部側(cè))。因此， 面93 -1以在斜向上連結(jié)外側(cè)壁面的緣部92 -1和內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 -1的方式延伸，由此，內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 -1形成有尖銳的前端。由此，這種銳利的前端能夠容易地切入對(duì)象物的對(duì)象點(diǎn)，因此提高了連接端子與對(duì)象物的接觸特性(接觸穩(wěn)定性)。此外，這種銳利的前端部的附著物在下次抵接時(shí)易于剝落，通過(guò)這種自凈作用提高連接端子與對(duì)象物的接觸特性。
此外，圖1lB表示另一實(shí)施方式涉及的連接端子96-2的抵接部91 - 2a的一部分的截面。抵接部91 _2a包括外偵彳壁面的緣部92-2和內(nèi)側(cè)壁面的緣部94-2以及它們之間的面93-2。如圖1lB所示，與圖1lA的抵接部91-1a同樣，抵接部91-2a的內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 - 2具有銳利的前端，但與圖1lA的抵接部91 -1a的面93 -1相比，圖1lB的抵接部91 - 2a的面93-2的彎曲面的曲率小，面93-2的頂點(diǎn)(或底面)位于比外側(cè)壁面的緣部92 - 2更靠圖面上方(連接端子96 - 2的后端側(cè))的位置，并形成為凹狀。
圖13A是基于掃描型電子顯微鏡的放大照片，其用于說(shuō)明在圓筒形狀體的鍍鎳層的端部通過(guò)側(cè)蝕而形成抵接部的一例。該照片所示的連接端子的抵接部，其外徑為約 50 μ m、內(nèi)徑為約40 μ m、外側(cè)壁面的緣部與內(nèi)側(cè)壁面的緣部間在軸線方向上的距離為約 4μπι， 從該照片可以明確外側(cè)壁面的緣部與內(nèi)側(cè)壁面的緣部之間的面是彎曲的。
圖1lA及圖1lB中分別表示的內(nèi)側(cè)壁面的緣部94-1及94-2的附近、即靠近前端部的面93 - 1、93 - 2的傾斜大小的差異的概要如下在圖1lA中，從內(nèi)側(cè)壁面到面94 -1的切線的角度，在切線的切點(diǎn)位置從內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 -1移動(dòng)到外側(cè)壁面的緣部92 -1之間，從約20度到80度變化，相對(duì)于此，在圖1lB中，從內(nèi)側(cè)壁面到面93 - 2的切線的角度， 在切線位置由內(nèi)側(cè)壁面的緣部94 - 2移動(dòng)到外側(cè)壁面的緣部92 - 2之間，從約15度到120 度變化。即，圖1lA的抵接部91 -1a的前端部比圖1lB的抵接部91 - 2a的前端部更尖銳。
圖12A是連接端子166的放大主視圖，上述連接端子166具備與圖1OA的連接端子86的抵接部81a不同形狀的抵接部161a。圖12B是圖12A的連接端子166的仰視圖。 連接端子166與圖1OA的連接端子86同樣，對(duì)設(shè)于對(duì)象物的對(duì)象點(diǎn)與預(yù)定的連接點(diǎn)進(jìn)行電連接，并具備由導(dǎo)電性材料的鍍層構(gòu)成的圓筒形狀部161。
如圖12B所示，圓筒形狀部161由內(nèi)側(cè)壁面及外側(cè)壁面形成，并在中央具有空間。 在圓筒形狀部161的前端部(圖12A中位于下側(cè)的部分)形成有抵接部161a，上述抵接部 161a包括外側(cè)壁面的緣部162和內(nèi)側(cè)壁面的緣部164以及連結(jié)它們之間的面163。
然而，與圖1OA的面83不同，如圖12A所示，在抵接部161a的面163的緣部162、 164上，沿著圓筒形狀部161的圓周面等間隔地形成有大致U字形的缺口部。這樣的缺口部與抵接部81a的面83同樣，能夠通過(guò)蝕刻處理來(lái)形成。
例如，如圖6B所示，在電鑄管的鍍鎳層74的外周面上形成絕緣膜76，而制作圓筒形狀體。根據(jù)連接端子的長(zhǎng)度，沿著圓筒形狀體的各端部的圓周，利用激光束以大致U字形地去除絕緣膜76而露出鍍鎳層74。在此狀態(tài)下，將殘留的絕緣膜76作為掩模，對(duì)圓筒形狀體進(jìn)行蝕刻處理。此時(shí)，在圓筒形狀體的各端部，蝕刻液從絕緣膜76的邊緣蔓延到鍍鎳層74的圓筒形狀體的外側(cè)壁面，而侵蝕上述外側(cè)壁面，因此，相比于內(nèi)側(cè)壁面，外側(cè)壁面所受到的侵蝕更多。其結(jié)果，位于將絕緣膜76以大致U字形地去除的位置的鍍鎳層74也被以大致U字形地侵蝕。
其結(jié)果，如圖12A所示，在抵接部161a上，外側(cè)壁面的緣部162的最突出的位置 162t與外側(cè)壁面的緣部162的最凹陷的位置162b在沿著連接端子166的軸線方向的方向上分離得大，此外，內(nèi)側(cè)壁面的緣部164的最突出的位置164t與內(nèi)側(cè)壁面的緣部164的最凹陷的位置164b在沿著連接端子166的軸線方向的方向上也分離得大。
圖13B是基于掃瞄型電子顯微鏡的放大照片，其用于說(shuō)明在圓筒形狀體的鍍鎳層端部通過(guò)側(cè)蝕形成與圖13A的形狀不同的圖12A所示的形狀(以下，稱為“皇冠形”)的抵接部的一例。該照片所示的連接端子的抵接部，其外徑為約50 μ m、內(nèi)徑為約40 μ m、外側(cè)壁面的緣部與內(nèi)側(cè)壁面的緣部之間的在軸線方向距離為約5 μ m。此外，外側(cè)壁面的緣部的最突出的位置與外側(cè)壁面的緣部的最低位置之間的距離為約18μπι，內(nèi)側(cè)壁面的緣部的最突出的位置與內(nèi)側(cè)壁面的緣部的最低位置之間的距離為約15 μ m。從該照片可以明確，外側(cè)壁面的緣部與內(nèi)側(cè)壁面的緣部之間的面彎曲。
使用本發(fā)明制造方法所記載的制造方法而制造出的連接端子，其端面(側(cè)面)由內(nèi)側(cè)向外側(cè)彎曲地傾斜。
在上述圖6A到圖6H的實(shí)施方式中，形成有絕緣膜76，并根據(jù)需要將其作為抗蝕膜來(lái)使用。在上述圖1OA到圖13 B的實(shí)施方式中，由于絕緣膜并非必要，所以在蝕刻時(shí)也可以使用抗蝕膜。
此外，在上述圖1OA到圖13B的實(shí)施方式中，圓筒形狀部81等的抵接部81a等被描述成由單一的鍍層形成，然而，從面83等的形成或與對(duì)象物的對(duì)象點(diǎn)的接觸穩(wěn)定性的觀點(diǎn)來(lái)看，也可以在該層內(nèi)側(cè)、即在圓筒形狀部81等的中心軸線側(cè)形成例如鍍金層。但是，在此情況下，存在鍍金層在抵接部的前端部的內(nèi)側(cè)壁面的緣部周邊剝離而不存在的情形。
因此，當(dāng)圓筒形狀部81等的抵接部81a等由多個(gè)鍍層形成時(shí)，例如由鍍鎳層和其內(nèi)側(cè)的鍍金層構(gòu)成時(shí)，外側(cè)壁面的緣部82等意味著在抵接部上形成于最外側(cè)的鍍層的外側(cè)壁面的緣部，內(nèi)側(cè)壁面的緣部84等意味著內(nèi)側(cè)鍍層的內(nèi)側(cè)壁面的緣部，然而在抵接部的前端部上，若有部分鍍層因剝離而不存在的情況下，則意味著存在的內(nèi)側(cè)鍍層的內(nèi)側(cè)壁面的緣部。
以上，說(shuō)明了本發(fā)明涉及的連接端子、檢查受檢物用的檢查用夾具以及可用于該夾具的探針的實(shí)施方式，但本發(fā)明并不限定于該實(shí)施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員容易想到的追加、刪減、改變等也包含在本發(fā)明中，此外，本發(fā)明的技術(shù)范圍應(yīng)由所附的權(quán)利要求書的記載來(lái)確定。
權(quán)利要求
1.一種在連接對(duì)象點(diǎn)間的連接夾具中使用的連接端子，其特征在于，具備 小直徑的導(dǎo)電部；以及 大直徑的圓筒形狀部，所述大直徑的圓筒形狀部被配置成圍繞上述小直徑的導(dǎo)電部， 上述小直徑的導(dǎo)電部的前端部從上述大直徑的圓筒形狀部的前端部突出， 上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合于上述大直徑的圓筒形狀部的一部分， 在上述大直徑的圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的一部分上形成有缺ロ部，上述帶狀部分至少包含與上述小直徑的導(dǎo)電部接合的上述大直徑的圓筒形狀部的部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連接端子，其特征在干， 上述缺ロ部具有上述圓筒形狀部的軸線方向的長(zhǎng)度；以及沿著上述圓筒形狀部的軸線周圍的帯狀部分的周面的寬度方向的長(zhǎng)度， 上述缺ロ部的上述軸線方向的長(zhǎng)度是超過(guò)將上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合于上述大直徑的圓筒形狀部的一部分時(shí)所使用的電極的上述圓筒形狀部的軸線方向的兩個(gè)端部的長(zhǎng)度，以及 上述缺ロ部的上述寬度方向的長(zhǎng)度大于上述圓筒形狀部的內(nèi)周面I周的長(zhǎng)度與上述小直徑的導(dǎo)電部的外周面I周的長(zhǎng)度之差。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的連接端子，其特征在干， 上述缺ロ部形成于沿著上述圓筒形狀部的軸線的方向或與沿著軸線的方向交叉的方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求I 3中任一項(xiàng)所述的連接端子，其特征在干， 上述缺ロ部由關(guān)于上述圓筒形狀部的軸線成線對(duì)稱的ー對(duì)缺ロ部形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連接端子，其特征在干， 上述缺ロ部為細(xì)長(zhǎng)開(kāi)ロ的狹縫形狀。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連接端子，其特征在干， 在上述圓筒形狀部的除了上述帯狀部分的部分上形成有彈簧部，上述帯狀部分包含上述圓筒形狀部的與上述導(dǎo)電部接合的部分。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連接端子，其特征在干， 上述小直徑的導(dǎo)電部由圓柱形狀部或圓筒形狀部形成。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連接端子，其特征在干， 在上述小直徑的圓筒形狀部的導(dǎo)電部的一部分上形成有彈簧部。
9.一種在連接對(duì)象點(diǎn)間的連接夾具中使用的連接端子的制造方法，其特征在干， 形成小直徑的導(dǎo)電部與大直徑的圓筒形狀部， 在上述大直徑的圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的一部分上形成有缺ロ部， 將上述小直徑的導(dǎo)電部插入于上述大直徑的圓筒形狀部，使上述小直徑的導(dǎo)電部的前端部從上述大直徑的圓筒形狀部的前端部突出， 在上述大直徑的圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的與上述軸線方向正交的方向上相對(duì)置的位置且除了形成有上述缺ロ部的位置的位置上，配置一對(duì)電阻焊用的電極， 以使上述ー對(duì)電阻焊用的電極相互靠近的方式推壓上述大直徑的圓筒形狀部并與上述小直徑的導(dǎo)電部接觸， 通過(guò)在上述一對(duì)電阻焊用的電極中接通規(guī)定的電流，將上述大直徑的圓筒形狀部的一部分與上述小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的連接端子的制造方法，其特征在干， 上述缺ロ部具有上述圓筒形狀部的軸線方向的長(zhǎng)度；以及沿著上述圓筒形狀部的軸線周圍的帯狀部分的周面的寬度方向的長(zhǎng)度， 上述缺ロ部的上述軸線方向的長(zhǎng)度是超過(guò)上述電阻焊用的電極的上述圓筒形狀部的軸線方向的兩端部的長(zhǎng)度， 此外，上述缺ロ部的上述寬度方向的長(zhǎng)度大于上述圓筒形狀部的內(nèi)周面I周的長(zhǎng)度與上述小直徑的導(dǎo)電部的外周面I周的長(zhǎng)度之差。
11.根據(jù)權(quán)利要求9或10所述的連接端子的制造方法，其特征在干， 上述缺ロ部形成于沿著上述圓筒形狀部的軸線的方向或與沿著軸線的方向交叉的方向。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的連接端子的制造方法，其特征在干， 在上述圓筒形狀部的除了上述帯狀部分的部分上形成有彈簧部，上述帯狀部分包含上述圓筒形狀部的與上述導(dǎo)電部接合的部分。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的連接端子的制造方法，其特征在干， 上述小直徑的導(dǎo)電部由圓柱形狀部或圓筒形狀部形成。
全文摘要
本發(fā)明提供一種連接端子，其中，圓筒形狀部在基于電阻焊的固定前后維持大致圓形的形狀。在連接對(duì)象點(diǎn)間的連接夾具中使用的連接端子具備小直徑的導(dǎo)電部；以及大直徑的圓筒形狀部，所述大直徑的圓筒形狀部被配置成圍繞上述小直徑的導(dǎo)電部；小直徑的導(dǎo)電部的前端部從大直徑的圓筒形狀部的前端部突出；小直徑的導(dǎo)電部的一部分接合于大直徑的圓筒形狀部的一部分；在圓筒形狀部的軸線周圍的帶狀部分的一部分上形成有缺口部，上述帶狀部分至少包含與小直徑的導(dǎo)電部接合的大直徑的圓筒形狀部的部分。
文檔編號(hào)G01R3/00GK102981025SQ20121032151
公開(kāi)日2013年3月20日 申請(qǐng)日期2012年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月5日
發(fā)明者矢野明大, 太田憲宏, 古川哲史, 山本正美, 橫田友佑 申請(qǐng)人:日本電產(chǎn)理德株式會(huì)社