專利名稱：基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置及標(biāo)定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置及標(biāo)定方法。
背景技術(shù)：
自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)是目前大多數(shù)光學(xué)系統(tǒng)提高成像分辨率的有效手段，尤其對于復(fù)雜性高、光學(xué)元器件多的大型光學(xué)系統(tǒng)。自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)主要包含波前探測器、波前控制器和波前校正器等3個部分。首先由波前探測器對光路中的波前畸變進(jìn)行探測，并通過波前控制器計算對應(yīng)波前校正器的校正量，最終通過波前校正器實施波前校正，從而達(dá)到更高 的成像質(zhì)量或能量集中度等。由于波前校正器的非線性響應(yīng)特性，目前主要自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)均采用多次閉環(huán)控制的方法實現(xiàn)對波前畸變的校正。對于波前探測而言，基于近場光強(qiáng)分布信息的波前檢測技術(shù)較為廣泛的應(yīng)用于自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中，典型代表為哈特曼-夏克型波前傳感器，其能量利用率高、波前探測速度快、結(jié)構(gòu)簡單，使之成為很多自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中不可缺少的探測器件。然而，在很多成像系統(tǒng)中，基于近場光強(qiáng)分布信息的波前探測器僅能夠探測進(jìn)入成像系統(tǒng)之前部分光路的像差，對于進(jìn)入成像系統(tǒng)后的波前畸變則無法完成波前診斷，這常常使得自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)波前控制能力限制在某一較低水平上，其根本原因在于未對該成像系統(tǒng)全光路像差實施完整校正。2009年，黃林海等人在專利號200910241233的“基于遠(yuǎn)場性能指標(biāo)的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)標(biāo)定裝置”中提出采用基于SPGD的方法對全光路像差進(jìn)行標(biāo)定，基本做法是利用SPGD算法控制波前控制器，使得像面成像質(zhì)量達(dá)到最好狀態(tài)時記錄校正器控制量，定義為預(yù)校正量，并在每次自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)閉環(huán)校正器時將該預(yù)校正量預(yù)先加載到校正器中。這種方法沒有客觀測量數(shù)據(jù)做基準(zhǔn)，往往需要很多次試探性校正后才能獲得較好的效果，對于某些較復(fù)雜的成像系統(tǒng)，其波前控制效果影響因素較多，過程較為復(fù)雜，存在一定的不穩(wěn)定性。此外，由于校正器的非線性響應(yīng)，這種預(yù)加校正量的方式往往不能達(dá)到較好的波前控制效果。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的技術(shù)解決問題克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置及標(biāo)定方法，實現(xiàn)對全光路靜態(tài)像差的完整校正。本發(fā)明的技術(shù)解決方案一種基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置及方法，包括波前校正器I、第一分光鏡2、近場波前傳感3、波前控制器4、成像系統(tǒng)5和相位差波前傳感器6 ;相位差波前傳感器6與成像系統(tǒng)5共用成像光路；標(biāo)定光束在從波前校正器I反射并最終進(jìn)入近場波前傳感器3的傳播過程中，由于各光學(xué)鏡面的加工以及裝配誤差等因素，使得最終進(jìn)入近場波前傳感器中的光束含有一不隨時間變化的靜態(tài)像差A(yù)l，該靜態(tài)像差由于產(chǎn)生于近場波前傳感器3和相位差波前傳感器6的共用光路中，因此，這里將從波前校正器I反射并最終進(jìn)入近場波前傳感器3的傳播過程中靜態(tài)像差外I稱為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)共光路靜態(tài)像差。如前所述，標(biāo)定光束在經(jīng)過第一分光鏡反射2后入射于成像系統(tǒng)5和相位差波前傳感器6中，成像器件5后方的匯聚光路中引入第二分光鏡9，透射光束仍然成像于焦面位置，反射光束成像于離焦位置，離焦面位置與相應(yīng)焦面位置之間的距離為已知量，記為d ;第一成像探測器8置于透射光束所在的焦面位置，用于測量標(biāo)定光束經(jīng)過波前校正器反射并最終進(jìn)入第一成像探測器8光敏面后的光強(qiáng)分布信息I ;第二成像探測器10置于反射光束所在的離焦面位置，用于測量標(biāo)定光束經(jīng)過波前校正器反射并最終進(jìn)入第二成像探測器10光敏面后的光強(qiáng)分布信息Id。標(biāo)定光束在從波前校正器I和第一分光鏡2反射并最終進(jìn)入第一成像探測器8的傳播過程中，由于前文所述的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)共光路靜態(tài)像差Pi以及第二分光鏡9及成像系統(tǒng)5的加工以及裝配誤差等引入的額外波前像差，該相差為不隨時間變化的靜態(tài)像差,記為￠9;該靜態(tài)像差包含了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)共光路靜態(tài)像差和成像系統(tǒng)像差等自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全系統(tǒng)像差，因此這里將靜態(tài)像差9>稱為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差。相對而言，標(biāo)定光束在從波前校正器I反射并最終進(jìn)入第二成像探測器 ο的傳播過程中，其與第一成像探測器之間僅存在一個已知的離焦像差，該離焦像差與離焦距離d·有定量關(guān)系，即為奶根據(jù)第一成像探測器8和第二成像探測器10實際測量的焦面光強(qiáng)分布信息I和離焦面光強(qiáng)分布信息Id，以及二者之間已知的離焦像差大小免々可以測量得到自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差％該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差φ與焦面光強(qiáng)分布信息I、離焦面光強(qiáng)分布信息Id以及二者之間已知的離焦像差大小的定量數(shù)學(xué)關(guān)系如下
/= 3{^(Γ)6Χρ(/·ζ3)}Γ
\ 「丨.......................................................⑴
h = 3|/Krjexp[/-(^ + ^)j}其中，i為虛數(shù)單位，Sj丨表示傅里葉變換，P (r)表示光瞳振幅分布函數(shù)。根據(jù)公式(I)，并通過相位差復(fù)原算法即可反演出自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差爐;根據(jù)相位差波前傳感器6對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差的檢測結(jié)果識，波前控制器4可以計算出波前校正器I各驅(qū)動器的驅(qū)動電壓值，并輸出至波前校正器1，使之產(chǎn)生大小為測量全光路靜態(tài)像差的1/2、方向相反的波前校正量，從而實現(xiàn)對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差的校正，最終使得標(biāo)定光束經(jīng)過全光路后成像質(zhì)量達(dá)到最佳狀態(tài)；在此最佳狀態(tài)下，對位于瞳面位置的近場波前傳感器3的進(jìn)行初始像差的零點(diǎn)標(biāo)定，并以此作為該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的校正目標(biāo)，從而實現(xiàn)對全光路靜態(tài)像差有效校正。本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)如下(I)相較于傳統(tǒng)單瞳面波前傳感器自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)而言，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)對各種用途成像系統(tǒng)實施全光路像差校正，對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)，尤其是對目標(biāo)觀測的成像型自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)而言，能夠有效提高波前控制能力，優(yōu)越性明顯。(2)相較于單獨(dú)測量非共光路像差然后各自單獨(dú)校正的方式而言，本發(fā)明專利提出的方法能夠有效回避校正器非線性響應(yīng)帶來的波前控制誤差，對提高應(yīng)用于成像系統(tǒng)的自適應(yīng)光學(xué)波前控制能力效果明顯。
(3)相較于其他測量器件，基于相位差波前傳感器的標(biāo)定方法，能夠與成像系統(tǒng)共用光學(xué)器件，測量結(jié)果直接反映全光路靜態(tài)像差，不會引入額外像差造成校正誤差，對提高標(biāo)定精度效果明顯。(4)相較于其他測量器件，基于相位差波前傳感器的標(biāo)定方法，能夠與成像系統(tǒng)共用光學(xué)器件，測量結(jié)果直接反映全光路靜態(tài)像差，不會引入額外像差造成校正誤差，對提高標(biāo)定精度效果明顯。(5)本發(fā)明能夠在不明顯增加系統(tǒng)復(fù)雜性的條件下實現(xiàn)對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路像差的檢測。總之，本發(fā)明能夠在不明顯增加系統(tǒng)復(fù)雜性的條件下，實現(xiàn)對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器進(jìn)行有效標(biāo)定，從而提高自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的波前校正能力。在某些特殊應(yīng)用領(lǐng)域，如光學(xué)系統(tǒng)靜態(tài)畸變波前、激光光束波前診斷、人眼像差測量、天文觀測等，具有較大的潛在應(yīng)用價值。


圖I為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)組成框圖；圖2為成像系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為相位差波前傳感器結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為相位差波前傳感器的復(fù)原算法流程圖；圖5為基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定方法的光路示意圖；圖6為系統(tǒng)全光路像差示意圖；圖7為相位差波前傳感器工作原理示意圖。
具體實施例方式如圖1、2、3所示，本發(fā)明基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置包括以下幾個部分波前校正器1，第一分光鏡2，近場波前傳感器3，波前控制器4，成像系統(tǒng)5和相位差波前傳感器6。其中，成像系統(tǒng)5由成像器件7和第一成像探測器8兩部分組成；相位差波前傳感器6由成像器件7，第二分光鏡9，第一成像探測器8，第二成像探測器10和計算機(jī)11組成。如圖2所示，成像系統(tǒng)5通常由成像器件7和位于系統(tǒng)焦面位置的第一成像探測器8兩部分組成，第一成像探測器8所探測到的光強(qiáng)分布信息包括有近場波前傳感器3無法直接探測到自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差中非共光路部分。針對基于近場波前傳感器的傳統(tǒng)型自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)，在成像系統(tǒng)中增加一個位于已知離焦面位置的成像探測器，即第二成像探測器10，采用相位差波前傳感器檢測自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的全光路靜態(tài)像差，用于標(biāo)定近場波前傳感器的初始值，從而改善自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)對波前畸變的校正能力。如圖3所示，用于探測自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)非共光路像差的相位差波前傳感器6由成像器件7，分光鏡9，第一成像探測器8，第二成像探測器10和計算機(jī)11組成。首先在成像器件7后方的匯聚光路中引入一塊分光鏡9，透射光束仍然成像于焦平面位置，反射光束成像于具有一定離焦距離的離焦平面位置。然后，由第一成像探測器8和第二成像探測器10同時采集焦面和離焦面光強(qiáng)分布信息圖像。計算機(jī)11根據(jù)實測的焦面和離焦面的光強(qiáng)分布信息，采用相位差復(fù)原算法獲得全光路靜態(tài)像差的相位分布信息。如圖5所示，根據(jù)相位差波前傳感器6對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差免的測量結(jié)果，利用波前控制器4計算機(jī)11計算出波前校正器I各驅(qū)動器的驅(qū)動電壓值，并輸出至波前校正器1，使之產(chǎn)生大小為測量全光路靜態(tài)像差的1/2、方向相反的波前校正量，實現(xiàn)對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中全光路靜態(tài)像差的校正，最終使得理想光束經(jīng)過全光路后成像質(zhì)量達(dá)到最佳狀態(tài)；最后，完成靜態(tài)像差校正后，對位于瞳面位置的近場波前傳感器的參考位置進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定或?qū)^對像差進(jìn)行零點(diǎn)設(shè)定，并以此作為該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的波前控制目標(biāo)，從而實現(xiàn)對全光路靜態(tài)像差有效校正。本發(fā)明所提出的相位差法可根據(jù)不同位置的像面光強(qiáng)圖像可復(fù)原得到系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差爐。如圖7所不首先，在成像器件7后方的匯聚光路中引入一塊分光鏡9，透射光束仍然成像于焦平面位置，反射光束成像于離焦平面位置，離焦平面與焦平面之間的距離為已知量，記為d。 由第一成像探測器8和第二成像探測器10同時采集焦面和離焦面光強(qiáng)分布信息。其中第一成像探測器8采集到的圖像為焦面光強(qiáng)圖像I，僅包含系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差％第二成像探測器10采集到的圖像為離焦面光強(qiáng)圖像Id，包含系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差供和已知離焦量引入的離焦像I ^<計算機(jī)Ii根據(jù)第一成像探測器8和第二成像探測器10實測的焦面光強(qiáng)分布信息I和離焦面光強(qiáng)分布信息Id，采用相位差復(fù)原算法計算得到系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差識的相位分布信息。該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差Φ與焦面光強(qiáng)分布信息I、離焦面光強(qiáng)分布信息Id以及二者之間已知的離焦像差大小爐的定量數(shù)學(xué)關(guān)系如下
/= 3{^(r)exp(/-^)}|2
丨 2...............................(I)
Ij = 3{/Kr)exp[/-(^ + ^y)j}根據(jù)公式(I)，并通過相位差復(fù)原算法即可反演出自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差爐;根據(jù)相位差波前傳感器6對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差的檢測結(jié)果爐，波前控制器4可以計算出波前校正器I各驅(qū)動器的驅(qū)動電壓值，并輸出至波前校正器1，使之產(chǎn)生大小為測量全光路靜態(tài)像差的1/2、方向相反的波前校正量，從而實現(xiàn)對自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差的校正，最終使得標(biāo)定光束經(jīng)過全光路后成像質(zhì)量達(dá)到最佳狀態(tài)；在此最佳狀態(tài)下，對位于瞳面位置的近場波前傳感器3的進(jìn)行初始像差的零點(diǎn)標(biāo)定，并以此作為該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的校正目標(biāo)，從而實現(xiàn)對全光路靜態(tài)像差有效校正。相位差波前傳感器從實測的焦面光強(qiáng)分布信息I和離焦面光強(qiáng)分布信息Id復(fù)原全光路靜態(tài)像差爐的具體算法流程圖如圖4所示。圖中FT和I-FT分別表示傅里葉變換以及傅里葉逆變換，I和Id分別表示焦面和離焦面的光強(qiáng)分布信息為第二成像探測器10所在位置處的離焦像差的相位分布。算法迭代從左上方出發(fā)，當(dāng)k=l時，相位分布選用初始值 ^,通?？稍O(shè)為零或隨機(jī)分布值。流程圖詳細(xì)描述了算法的第k次迭代過程，其中為第k次迭代的相位分布，|Uk|和Φ15*別表示經(jīng)傅里葉變換后焦面位置的光場振幅分布和相位分布，IudkI和φ/分別表示離焦面位置的光場振幅分布和相位分布，qk，qdk+1，9)A和/+/分別表示基于焦面和離焦面光強(qiáng)分布信息函數(shù)進(jìn)行傅里葉逆變換得到的光瞳面的振幅分布和相位分布。迭代算法跳出的判斷依據(jù)為傅里葉變換得到的像面振幅分布與實測振幅分布之差，若兩者之差E小于預(yù)先設(shè)定的閾值M，則迭代停止，即為待測畸變波前。 本發(fā)明未詳細(xì)闡述部分屬于本領(lǐng)域公知技術(shù)。
權(quán)利要求
1.一種基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于包括波前校正器(I)、第一分光鏡(2)、近場波前傳感器(3)、波前控制器(4)、成像系統(tǒng)(5)和相位差波前傳感器出)；相位差波前傳感器(6)與成像系統(tǒng)(5)共用成像光路；所述成像系統(tǒng)(5)包括成像器件(8)和位于成像系統(tǒng)焦面位置的第一成像探測器(8);相位差波前傳感器(6)包括成像器件(7)、第二分光鏡(9)、第一成像探測器(8)、第二成像探測器(10)和計算機(jī)(11);一束標(biāo)定光束入射到波前校正器(I)表面，經(jīng)波前校正器(I)反射后被第一分光鏡(2)分為透射光束和反射光束，其中透射光束正入射于近場波前傳感器(3)中，反射光束入射于成像系統(tǒng)(5)和相位差波前傳感器￠)中；所述標(biāo)定光束是指經(jīng)過一定手段處理之后的理想光束，其波前畸變較小，光強(qiáng)分布均勻；標(biāo)定光束在經(jīng)過第一分光鏡反射(2)后入射于成像系統(tǒng)(5)和相位差波前傳感器￠)中，成像器件(5)后方的匯聚光路中引入第二分光鏡(9)，透射光束仍然成像于焦面位置，反射光束成像于離焦位置，離焦面位置與相應(yīng)焦面位置之間的距離為已知量，記為d ;第一成像探測器(8)置于透射光束所在的焦面位置，用于測量標(biāo)定光束經(jīng)過波前校正器反射并最終進(jìn)入第一成像探測器(8)光敏面后的光強(qiáng)分布信息I ;第二成像探測器(10)置于反射光束所在的離焦面位置，用于測量標(biāo)定光束經(jīng)過波前校正器反射并最終進(jìn)入第二成像探測器(10)光敏面后的光強(qiáng)分布信息Id;標(biāo)定光束在從波前校正器(I)和第一分光鏡(2)反射并最終進(jìn)入第一成像探測器(8)的傳播過程中，由于所述的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)共光路靜態(tài)像差妁I，第二分光鏡(9)和成像系統(tǒng)(5)的加工及裝配誤差引入的額外波前像差，該額外波前像差為不隨時間變化的靜態(tài)像差，記為爐；該靜態(tài)像差包含了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)共光路靜態(tài)像差和成像系統(tǒng)像差自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全系統(tǒng)像差，將靜態(tài)像差^稱為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差；標(biāo)定光束在從波前校正器(I)反射并最終進(jìn)入第二成像探測器(10)的傳播過程中，第二成像探測器(10)與第一成像探測器(8)之間僅存在一個已知的離焦像差，該離焦像差與離焦距離d有定量關(guān)系，即為 第一成像探測器(8)和第二成像探測器(10)用于同時采集焦面和離焦面光強(qiáng)分布信息I和Id，并將采集到的信息以圖像形式傳輸給計算機(jī)(11);然后，計算機(jī)(11)根據(jù)第一成像探測器(8)和第二成像探測器(10)實際測量的焦面光強(qiáng)分布信息I和離焦面光強(qiáng)分布信息Id，以及二者之間已知的離焦像差大小外/，測量得到自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差爐；該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差P與焦面光強(qiáng)分布信息I、離焦面光強(qiáng)分布信息Id以及二者之間已知的離焦像差大小外/的關(guān)系如下
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于所述近場波前傳感器(3)為哈特曼-夏克波前傳感器、干涉儀或金字塔波前傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置，其特征在于所述自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)是對點(diǎn)目標(biāo)進(jìn)行波前校正的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)，或是對擴(kuò)展目標(biāo)進(jìn)行波前校正的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)。
4.一種基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定方法，其特征在于實現(xiàn)步驟如下 (1)首先利用第一成像探測器(8)和第二成像探測器(10)同時采集焦面和離焦面光強(qiáng)分布信息I和Id，并將采集到的信息以圖像形式傳輸給計算機(jī)(11); (2)計算機(jī)(11)根據(jù)實測的焦面光強(qiáng)分布信息I和離焦面光強(qiáng)分布信息Id，采用相位差復(fù)原算法計算得到自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)全光路靜態(tài)像差供的相位分布信息，全光路靜態(tài)像差供與焦面光強(qiáng)分布信息I、離焦面光強(qiáng)分布信息Id以及離焦像差之間的數(shù)值關(guān)系如下
全文摘要
基于相位差法的自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)近場波前傳感器標(biāo)定裝置及標(biāo)定方法,裝置由波前校正器、分光鏡、近場波前傳感器、波前控制器、成像系統(tǒng)和相位差波前傳感器組成。所述方法利用相位差波前傳感器測量全系統(tǒng)靜態(tài)像差，并通過波前控制器控制波前校正器校正該靜態(tài)像差；完成靜態(tài)像差校正后，對位于瞳面位置的近場波前傳感器的參考位置進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定或?qū)^對像差進(jìn)行零點(diǎn)設(shè)定，并以此作為該自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的波前控制目標(biāo)，從而實現(xiàn)對全光路靜態(tài)像差有效校正。通過本發(fā)明實現(xiàn)全光路靜態(tài)像差的有效校正，回避校正器非線性響應(yīng)帶來的波前控制誤差，且沒有明顯增加系統(tǒng)復(fù)雜性和額外像差，對提高自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)校正能力效果明顯。
文檔編號G01M11/02GK102889935SQ201210341460
公開日2013年1月23日 申請日期2012年9月14日 優(yōu)先權(quán)日2012年9月14日
發(fā)明者饒長輝, 羅群, 顧乃庭, 鮑華 申請人:中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所