專利名稱:一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及石英坩堝技術(shù)領(lǐng)域,特別涉及一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置。
背景技術(shù):
多晶硅鑄錠用石英坩堝是目前熔鑄多晶硅唯一能用于裝填高純硅料的容器,是多晶硅片生產(chǎn)中不可替代的關(guān)鍵耗材。石英坩堝不僅要求原料純度高,使用環(huán)境苛刻,還對(duì)外觀提出了嚴(yán)格要求。一般石英坩堝不允許有任何缺陷(無(wú)污染、無(wú)氣孔、無(wú)裂紋、凹凸起伏不大于2毫米)。目前,石英坩堝的內(nèi)在質(zhì)量均由制造廠家控制,其外觀質(zhì)量在出廠后的檢驗(yàn)并沒(méi)有專用儀器或設(shè)施?,F(xiàn)在太陽(yáng)能硅片制造廠家普遍采用的質(zhì)量檢測(cè)方法是在石英坩堝噴 涂之前,采取在其坩堝壁內(nèi)外刷酒精,借助手電筒或燈光做目視外觀檢查,很難查出微小的裂紋和凹凸不平缺陷。可見(jiàn),現(xiàn)有的質(zhì)量檢驗(yàn)方法較為笨拙,操作起來(lái)費(fèi)時(shí)費(fèi)力,工作效率低;同時(shí)檢測(cè)一個(gè)石英坩堝大概需要酒精500毫升浪費(fèi)能源,檢測(cè)成本高使用酒精對(duì)環(huán)境有污染,不符合環(huán)保理念;更為重要的是,這種質(zhì)量檢驗(yàn)方法不夠精確,不易全部檢測(cè)出石英坩堝內(nèi)部片裂紋、凹凸、黑斑結(jié)點(diǎn)等缺陷,不能實(shí)現(xiàn)質(zhì)量把關(guān)作用,在實(shí)際生產(chǎn)鑄錠過(guò)程中曾多次出現(xiàn)過(guò)鑄錠粘鍋、裂紋,甚至整錠泄露事故,給企業(yè)造成了嚴(yán)重的經(jīng)濟(jì)損失。因此,改進(jìn)石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置及方法,簡(jiǎn)化操作,能夠環(huán)保且高效的檢測(cè)石英坩堝的各種缺陷,確保鑄錠質(zhì)量,避免鑄錠泄露事故發(fā)生,成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的重要技術(shù)問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容有鑒于此,本實(shí)用新型提供了一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,簡(jiǎn)化操作,能夠環(huán)保且高效的檢測(cè)石英坩堝的各種缺陷,確保鑄錠質(zhì)量,避免鑄錠泄露事故發(fā)生。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,包括用于放置石英坩堝的坩堝支撐架;用于覆蓋在所述石英坩堝上的燈罩密封蓋板,所述燈罩密封蓋板與所述石英坩堝相對(duì)的一側(cè)設(shè)置有強(qiáng)光燈。優(yōu)選的,所述強(qiáng)光燈具體為能夠放出紅光的強(qiáng)光燈。優(yōu)選的,所述坩堝支撐架包括支撐底座,以及設(shè)置在所述支撐底座上,用于支撐所述石英坩堝的支撐臂。優(yōu)選的,所述支撐臂包括分別用于支撐所述石英坩堝底部和側(cè)面的第一支撐臂和
第二支撐臂。優(yōu)選的,還包括用于帶動(dòng)所述石英坩堝升降的升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)。優(yōu)選的,所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括[0016]設(shè)置在所述支撐底座上的豎直滑軌;可滑動(dòng)的設(shè)置在所述豎直滑軌上的滑塊,所述滑塊用于連接所述支撐臂;用于驅(qū)動(dòng)所述滑塊沿所述豎直滑軌滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。優(yōu)選的,所述驅(qū)動(dòng)裝置具體為氣缸,所述滑塊設(shè)置在所述氣缸活塞桿的輸出端,由所述氣缸驅(qū)動(dòng)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選的,還包括用于控制所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)及所述強(qiáng)光燈開(kāi)啟和關(guān)閉的自動(dòng)控制裝置。優(yōu)選的,所述自動(dòng)控制裝置包括用于監(jiān)測(cè)所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)位置,并輸出位置信號(hào)的位置傳感器,以及根據(jù)所述位置信號(hào)控制所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)及所述強(qiáng)光燈開(kāi)啟和關(guān)閉的控制器。 優(yōu)選的,所述傳感器具體為設(shè)置在所述燈罩密封蓋板和所述石英坩堝之間的壓力傳感器,用于在壓力升高到最大額定值的情況下控制所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)停止運(yùn)動(dòng)和所述強(qiáng)光燈開(kāi)啟,在壓力降低到最大額定值的情況下控制所述強(qiáng)光燈關(guān)閉。從上述的技術(shù)方案可以看出,本實(shí)用新型提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,通過(guò)強(qiáng)光燈在密封的石英坩堝的內(nèi)部發(fā)光,外部觀測(cè)透光電強(qiáng)度快速判斷石英坩堝壁凹坑、裂紋、壁薄超差等,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)損傷、無(wú)接觸檢測(cè)石英坩堝的檢驗(yàn)?zāi)康模辉撗b置結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,操作方便,能夠降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度,消除酒精污染,檢測(cè)成本低,檢測(cè)精度高,可完全檢出石英坩堝微小裂紋、凹凸不平、黑斑等缺陷,為確保鑄錠質(zhì)量,避免鑄錠泄露事故起到了保障作用。
為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,顯而易見(jiàn)地,下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置的整體視圖;圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置的主視圖;圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置的側(cè)視圖;圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的檢測(cè)前運(yùn)輸小車裝載石英坩堝的結(jié)構(gòu)示意圖;圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置在啟動(dòng)上升時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖;圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置進(jìn)行檢測(cè)時(shí)的主視圖;圖7為圖6的側(cè)視圖。其中,I為石英坩堝,2為坩堝支撐架,21為支撐底座,22為支撐臂,221為第一支撐臂,222為第二支撐臂,3為燈罩密封蓋板,4為強(qiáng)光燈,5為升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu),51為豎直滑軌,52為滑塊,53為氣缸,6為位置傳感器,7為運(yùn)輸小車。
具體實(shí)施方式
[0033]本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,簡(jiǎn)化操作,能夠環(huán)保且高效的檢測(cè)石英坩堝的各種缺陷,確保鑄錠質(zhì)量,避免鑄錠泄露事故發(fā)生。下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1,圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置的整體視圖。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其核心改進(jìn)點(diǎn)在于,包括用于放置石英坩堝I的坩堝支撐架2,鑒于需要檢測(cè)石英坩堝I的周身側(cè)壁和底 部,因此在這里采用支撐架的形式,而非常規(guī)的工作平臺(tái),避免視角被不必要的阻擋,以對(duì)石英坩堝I進(jìn)行更好的觀察;用于覆蓋在石英坩堝I上的燈罩密封蓋板3,燈罩密封蓋板3與石英坩堝I相對(duì)的一側(cè)設(shè)置有強(qiáng)光燈4。這樣一來(lái),由于石英坩堝I頂部開(kāi)放的特殊結(jié)構(gòu),強(qiáng)光燈4可以在石英坩堝I的內(nèi)部發(fā)光,比如紫外光,從外部觀測(cè)透光電強(qiáng)度快速判斷石英坩堝I壁上凹坑、裂紋、壁薄超差等缺陷,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)損傷、無(wú)接觸檢測(cè)石英坩堝I的檢驗(yàn)?zāi)康?;而燈罩密封蓋板3的尺寸略大于石英坩堝I的外徑,恰好能夠覆蓋在石英坩堝I上,并且同石英坩堝I 一起對(duì)強(qiáng)光燈4的光照起到了密封的作用,使觀察效果更好。需要說(shuō)明的是,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的附圖中,石英坩堝I和燈罩密封蓋板3均為方形,這只是實(shí)際生產(chǎn)中常見(jiàn)一種形式,還可以為圓形或者其他形狀,只要保證燈罩密封蓋板3能夠扣在石英坩堝I上即可。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,通過(guò)強(qiáng)光燈4在密封的石英坩堝I的內(nèi)部發(fā)光,外部觀測(cè)透光電強(qiáng)度快速判斷石英坩堝壁凹坑、裂紋、壁薄超差等,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)損傷、無(wú)接觸檢測(cè)石英坩堝I的檢驗(yàn)?zāi)康模唤Y(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,操作方便,能夠降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度,消除酒精污染,檢測(cè)成本低,檢測(cè)精度高,可完全檢出石英坩堝微小裂紋、凹凸不平、黑斑等缺陷,為確保鑄錠質(zhì)量,避免鑄錠泄露事故起到了保障作用。光是一種電磁波,具有繞過(guò)障礙物繼續(xù)向前傳播的能力,波長(zhǎng)越長(zhǎng),能繞過(guò)的障礙物的線度就可以越大,紅光和黃光在可見(jiàn)光中都屬于波長(zhǎng)較長(zhǎng)的光。波長(zhǎng)是光在一個(gè)振動(dòng)周期(周期就是一次來(lái)回振動(dòng)所用的時(shí)間)里傳過(guò)的距離。頻率是周期的倒數(shù),所以波長(zhǎng)=光速X周期,則光速=波長(zhǎng)/周期=波長(zhǎng)X頻率,光的波長(zhǎng)和頻率之積為一定值(等于光速),所以頻率越低的光,波長(zhǎng)越長(zhǎng)。紅光波長(zhǎng)最長(zhǎng),因此紅光的穿透力最強(qiáng),而且,紅光很醒目。作為優(yōu)選,強(qiáng)光燈4具體為能夠放出紅光的強(qiáng)光燈。本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其坩堝支撐架2包括支撐底座21,用于將整個(gè)裝置固定在地面或者工作臺(tái)上,以及設(shè)置在支撐底座21上,用于支撐石英坩堝I的支撐臂22。進(jìn)一步的,支撐臂22包括分別用于支撐石英坩堝I底部和側(cè)面的第一支撐臂22 I和第二支撐臂222,如圖2和圖3所示,第一支撐臂221和第二支撐臂222的具體數(shù)量均為兩個(gè),相對(duì)設(shè)置在石英坩堝I的兩側(cè),防止了石英坩堝I的掉落,保證了檢測(cè)過(guò)程的安全。通常石英坩堝I的體積較大,質(zhì)量較重,搬運(yùn)起來(lái)不是很方便,而為了更好的觀察石英坩堝I的四周側(cè)壁和底部,需要將石英坩堝I抬升到一定高度。因此,作為優(yōu)選,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,還包括用于帶動(dòng)石英坩堝I升降的升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5,從而將強(qiáng)光燈4置于石英坩堝I內(nèi)部,與手動(dòng)方式相比,提高了整個(gè)裝置的自動(dòng)化程度。具體的,升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5包括設(shè)置在支撐底座21上的豎直滑軌;可滑動(dòng)的設(shè)置在豎直滑軌51上的滑塊52,滑塊52用于連接支撐臂22 ;用于驅(qū)動(dòng)滑塊52沿豎直滑軌51滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。在本實(shí)施例中,驅(qū)動(dòng)裝置具體為氣缸53,滑塊52設(shè)置在氣缸53活塞桿的輸出端,由氣缸53驅(qū)動(dòng)沿豎直方向運(yùn)動(dòng),其結(jié)構(gòu)如圖2所示。當(dāng)然,也可以將支撐臂22的位置設(shè)置的足夠高,在使用時(shí)利用叉車等類似抬升工具將石英坩堝I置于支撐臂22上,而利用升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5帶動(dòng)燈罩密封蓋板3下降,扣蓋到石英坩堝I的頂部,從而將強(qiáng)光燈4置于石英坩堝I內(nèi)部,以便進(jìn)行觀察。為了進(jìn)一步優(yōu)化上述的技術(shù)方案,本實(shí)用新型實(shí)施例提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,還包括用于控制升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5運(yùn)動(dòng)及強(qiáng)光燈4開(kāi)啟和關(guān)閉的自動(dòng)控制裝置,提升了裝置的自動(dòng)化程度,進(jìn)一步降低了操作的難度,減輕了做工人員的壓力,具有較高的效率。具體的,自動(dòng)控制裝置包括用于監(jiān)測(cè)升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5位置,并輸出位置信號(hào)的位置傳感器6,以及根據(jù)位置信號(hào)控制升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5運(yùn)動(dòng)及強(qiáng)光燈4開(kāi)啟和關(guān)閉的控制器。作為優(yōu)選,位置傳感器6具體為設(shè)置在燈罩密封蓋板3和石英坩堝I之間的壓力傳感器,用于在壓力升高到最大額定值的情況下控制升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5運(yùn)動(dòng)停止運(yùn)動(dòng)和強(qiáng)光燈4開(kāi)啟,在壓力降低到最大額定值的情況下控制強(qiáng)光燈4關(guān)閉。下面結(jié)合實(shí)際過(guò)程,介紹一下使用本裝置進(jìn)行石英坩堝缺陷檢驗(yàn)的方法檢測(cè)前,操作工人通過(guò)運(yùn)輸小車7將石英坩堝I放到裝置的支撐臂22上,由升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)5將石英坩堝I升到石英坩堝I位置,當(dāng)石英坩堝I與燈罩密封蓋板3達(dá)到一定壓力后,傳感器6指示升降電機(jī)停止運(yùn)行,這時(shí)強(qiáng)光燈4自動(dòng)開(kāi)啟,操作工人沿石英坩堝I底部和四周觀看透光效果,判定石英坩堝I的裂紋、凹凸及黑斑等缺陷。檢查完畢后。按動(dòng)按鈕開(kāi)關(guān),將石英坩堝I降到初始位置,強(qiáng)光燈4自動(dòng)關(guān)閉,即完成一個(gè)石英坩堝I的檢測(cè)過(guò)程。本說(shuō)明書(shū)中各個(gè)實(shí)施例采用遞進(jìn)的方式描述,每個(gè)實(shí)施例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處,各個(gè)實(shí)施例之間相同相似部分互相參見(jiàn)即可。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下,在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此,本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例,而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
權(quán)利要求1.一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,包括 用于放置石英坩堝(I)的坩堝支撐架(2); 用于覆蓋在所述石英坩堝(I)上的燈罩密封蓋板(3 ),所述燈罩密封蓋板(3 )與所述石英坩堝(I)相對(duì)的一側(cè)設(shè)置有強(qiáng)光燈(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述強(qiáng)光燈(4)具體為能夠放出紅光的強(qiáng)光燈。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述坩堝支撐架(2 )包括支撐底座(21),以及設(shè)置在所述支撐底座(21)上,用于支撐所述石英坩堝(I)的支撐臂(22)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述支撐臂(22)包括分別用于支撐所述石英坩堝(I)底部和側(cè)面的第一支撐臂(221)和第二支撐臂(222)。
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,還包括用于帶動(dòng)所述石英坩堝(I)升降的升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)包括 設(shè)置在所述支撐底座(21)上的豎直滑軌(51); 可滑動(dòng)的設(shè)置在所述豎直滑軌(51)上的滑塊(52),所述滑塊(52)用于連接所述支撐臂(22); 用于驅(qū)動(dòng)所述滑塊(52)沿所述豎直滑軌(51)滑動(dòng)的驅(qū)動(dòng)裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述驅(qū)動(dòng)裝置具體為氣缸(53),所述滑塊(52)設(shè)置在所述氣缸(53)活塞桿的輸出端,由所述氣缸(53)驅(qū)動(dòng)沿豎直方向運(yùn)動(dòng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,還包括用于控制所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)運(yùn)動(dòng)及所述強(qiáng)光燈(4)開(kāi)啟和關(guān)閉的自動(dòng)控制裝置。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述自動(dòng)控制裝置包括用于監(jiān)測(cè)所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)位置,并輸出位置信號(hào)的位置傳感器(6),以及根據(jù)所述位置信號(hào)控制所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)運(yùn)動(dòng)及所述強(qiáng)光燈(4)開(kāi)啟和關(guān)閉的控制器。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,其特征在于,所述位置傳感器(6)具體為設(shè)置在所述燈罩密封蓋板(3)和所述石英坩堝(I)之間的壓力傳感器,用于在壓力升高到最大額定值的情況下控制所述升降傳動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)運(yùn)動(dòng)停止運(yùn)動(dòng)和所述強(qiáng)光燈(4)開(kāi)啟,在壓力降低到最大額定值的情況下控制所述強(qiáng)光燈(4)關(guān)閉。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,包括用于放置石英坩堝的坩堝支撐架;用于覆蓋在所述石英坩堝上的燈罩密封蓋板,所述燈罩密封蓋板與所述石英坩堝相對(duì)的一側(cè)設(shè)置有強(qiáng)光燈。通過(guò)強(qiáng)光燈在密封的石英坩堝的內(nèi)部發(fā)光,外部觀測(cè)透光電強(qiáng)度快速判斷石英坩堝壁凹坑、裂紋、壁薄超差等,從而實(shí)現(xiàn)了無(wú)損傷、無(wú)接觸檢測(cè)石英坩堝的檢驗(yàn)?zāi)康摹1緦?shí)用新型提供的石英坩堝質(zhì)量缺陷檢驗(yàn)裝置,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單,操作方便,能夠降低工人勞動(dòng)強(qiáng)度,消除酒精污染,檢測(cè)成本低,檢測(cè)精度高,可完全檢出石英坩堝微小裂紋、凹凸不平、黑斑等缺陷,為確保鑄錠質(zhì)量,避免鑄錠泄露事故起到了保障作用。
文檔編號(hào)G01N21/88GK202631441SQ20122030556
公開(kāi)日2012年12月26日 申請(qǐng)日期2012年6月27日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月27日
發(fā)明者馮文宏, 朱國(guó)新 申請(qǐng)人:保定天威英利新能源有限公司