一種用于檢測石英舟變形的檢測裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于檢測石英舟變形的檢測裝置，該檢測裝置包含：豎直設置在工作臺上的傳送軸，其能夠沿著工作臺的側壁上下移動；設置在所述傳送軸與石英舟之間的至少一根指針，所述指針的一端固定設置在傳送軸上，另一端與石英舟上的其中一根立柱相接觸；以及設置在所述指針上的表盤。本發(fā)明能夠極其快速方便精確的檢測出石英舟是否因高溫而發(fā)生膨脹變形，有效降低了因此而導致的硅片在傳送過程中因碰撞、掉落而碎裂損壞的情況發(fā)生，提高生產(chǎn)效率和質量。
【專利說明】—種用于檢測石英舟變形的檢測裝置
【技術領域】
[0001 ] 本發(fā)明應用于大氣壓爐等半導體處理設備，涉及一種用于檢測石英舟是否變形的檢測裝置。
【背景技術】
[0002]在半導體制造中，石英舟(quartz boat)是用來將多個娃片有間隔地固定放置在大氣壓爐(AP FNC, atmosphere pressure furnace)等處理設備內(nèi)的一種裝置。
[0003]如圖1所示是現(xiàn)有技術中大氣壓爐內(nèi)所使用的石英舟的結構示意圖，所述石英舟2豎直設置在大氣壓爐內(nèi)的工作臺(Bench)I上。該石英舟2包含若干立柱22,分別間隔設置在石英舟2的外壁四周。在該石英舟2的內(nèi)側表面、且沿石英舟2的垂直方向上間隔的開設有多個卡槽21。每個卡槽21均水平開設在石英舟2上，因此多個卡槽21彼此平行。通過傳輸機械手等裝置將硅片水平地送入大氣壓爐后，各個硅片的邊緣能夠對應卡到不同高度的各個卡槽21中，在進行處理時能夠避免相鄰硅片之間相互粘連。
[0004]然而，通常在大氣壓爐內(nèi)是以850°C?1050°C的高溫，對硅片進行擴散或氧化等處理。因此，由于長時間處在爐內(nèi)的高溫環(huán)境下，石英舟2在使用了一段時間后容易發(fā)生變形，尤其會因為石英舟2的膨脹而導致各個卡槽21的間隙縮小變形，使得各個卡槽21之間不再平行設置。在這種情況下，如果還按照原先設定的參數(shù)推送硅片時，硅片邊緣極有可能會因沒有接觸到卡槽而發(fā)生掉落，或者可能會因為碰撞到石英舟2的膨脹部分而發(fā)生碎裂，從而造成硅片或石英舟等損壞的問題發(fā)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種用于檢測石英舟變形的檢測裝置，能夠極其快速方便精確的檢測出石英舟是否因高溫而發(fā)生膨脹變形，有效降低了因此而導致的硅片在傳送過程中因碰撞、掉落而碎裂損壞的情況發(fā)生，提高生產(chǎn)效率和質量。
[0006]為了達到上述目的，本發(fā)明提供一種用于檢測石英舟變形的檢測裝置，其安裝在大氣壓爐內(nèi)的工作臺上，該檢測裝置包含:豎直設置在工作臺上的傳送軸，其能夠沿著工作臺的側壁上下移動；設置在所述傳送軸與石英舟之間的至少一根指針，所述指針的一端固定設置在傳送軸上，另一端與石英舟上的其中一根立柱相接觸；以及設置在所述指針上的表盤。
[0007]在本發(fā)明的一個優(yōu)選實施例中，所述檢測裝置包含兩根呈角度設置的指針，每根指針的其中一端固定設置在傳送軸上，每根指針的另一端則分別與石英舟上的其中兩根立柱相接觸。
[0008]本發(fā)明所提供的用于檢測石英舟變形的檢測裝置，能夠極其快速方便精確的檢測出石英舟是否因高溫而發(fā)生膨脹變形，有效降低了因此而導致的硅片在傳送過程中因碰撞、掉落而碎裂損壞的情況發(fā)生，提高生產(chǎn)效率和質量?！緦＠綀D】

【附圖說明】
[0009]圖1為現(xiàn)有技術中的石英舟的結構示意圖；
圖2為本發(fā)明中提供的用于檢測石英舟變形的檢測裝置；
圖3為圖2的側面視圖。
【具體實施方式】
[0010]以下結合圖2和圖3，通過優(yōu)選的具體實施例，詳細說明本發(fā)明。
[0011]如圖2和圖3所示，本發(fā)明所提供的用于檢測石英舟變形的檢測裝置安裝在大氣壓爐內(nèi)的工作臺I上，該檢測裝置包含:豎直設置在工作臺I上的傳送軸3，其能夠沿著工作臺I的側壁上下移動；設置在所述傳送軸3與石英舟2之間的至少一根指針4，所述指針4的一端固定設置在傳送軸3上，另一端與石英舟2上的其中一根立柱22相接觸；以及設置在所述指針4上的表盤5。
[0012]如圖3所示，在本實施例中，所述檢測裝置包含兩根呈角度設置的指針4，每根指針4的其中一端固定設置在傳送軸3上，每根指針4的另一端則分別與石英舟2上的其中兩根立柱22相接觸。
[0013]在每次啟動大氣壓爐，需要向其內(nèi)部傳送硅片時，可先使用本發(fā)明提供的檢測裝置對石英舟2進行變形檢測。具體檢測過程為:沿工作臺I的側壁上下移動傳送軸3，其帶動指針4同步上下移動，當指針4的端部沿著立柱22依次經(jīng)過石英舟2上的多個卡槽21時，每經(jīng)過一個卡槽21，表盤5會產(chǎn)生一個讀數(shù)。若石英舟2沒有發(fā)生變形，則各個卡槽21的間隙讀數(shù)應該相同，此時表明各個卡槽21之間是平行的，那么此時可以按照正常情況進行后續(xù)硅片傳送并進行處理。而當實際檢測過程中發(fā)現(xiàn)各卡槽21的讀數(shù)存在差異，則表明石英舟2的某些部位發(fā)生了膨脹變形，導致卡槽21間的間隙縮小，彼此間已經(jīng)不再平行，在后續(xù)傳送硅片時應該注意調(diào)整參數(shù)。
[0014]進一步，在本實施例中，由于在石英舟2的立柱22的兩側均設置了檢測用的指針4，因此能夠更全方位的檢測石英舟2的變形問題。
[0015]本發(fā)明所提供的用于檢測石英舟變形的檢測裝置，能夠極其快速方便精確的檢測出石英舟是否因高溫而發(fā)生膨脹變形，有效降低了因此而導致的硅片在傳送過程中因碰撞、掉落而碎裂損壞的情況發(fā)生，提高生產(chǎn)效率和質量。
[0016]盡管本發(fā)明的內(nèi)容已經(jīng)通過上述優(yōu)選實施例作了詳細介紹，但應當認識到上述的描述不應被認為是對本發(fā)明的限制。在本領域技術人員閱讀了上述內(nèi)容后，對于本發(fā)明的多種修改和替代都將是顯而易見的。因此，本發(fā)明的保護范圍應由所附的權利要求來限定。
【權利要求】
1.一種用于檢測石英舟變形的檢測裝置，其特征在于，該檢測裝置包含: 豎直設置在工作臺(I)上的傳送軸(3 )，其能夠沿著工作臺(I)的側壁上下移動； 設置在所述傳送軸(3)與石英舟(2)之間的至少一根指針(4)，所述指針(4)的一端固定設置在傳送軸(3 )上，另一端與石英舟(2 )上的其中一根立柱(22 )相接觸； 設置在所述指針(4 )上的表盤(5 )。
2.如權利要求1所述的用于檢測石英舟變形的檢測裝置，其特征在于，所述檢測裝置包含兩根呈角度設置的指針(4)，每根指針(4)的其中一端固定設置在傳送軸(3)上，每根指針(4)的另一端則分別與石英舟(2)上的其中兩根立柱(22)相接觸。
【文檔編號】G01B5/30GK103968746SQ201310028963
【公開日】2014年8月6日 申請日期:2013年1月25日 優(yōu)先權日:2013年1月25日
【發(fā)明者】曹贇, 俞忠, 任偉峰 申請人:上海華虹宏力半導體制造有限公司