玻璃基板的缺角檢測裝置、具有該裝置的干蝕刻機臺及缺角檢測方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種玻璃基板的缺角檢測裝置、具有該裝置的干蝕刻機臺及缺角檢測方法。缺角檢測裝置用于檢測傳送至進樣室的玻璃基板是否存在缺角，該缺角檢測裝置包括兩組缺角傳感器和邏輯控制器，該兩組缺角傳感器分別位于該進樣室的兩側，每一組缺角傳感器均包括信號接收部和信號發(fā)送部，該兩組缺角傳感器對應于該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生第一信號和第二信號，該邏輯控制器能夠比對該第一信號和第二信號是否相同，若信號不同，則表示該玻璃基板存在缺角。
【專利說明】玻璃基板的缺角檢測裝置、具有該裝置的干蝕刻機臺及缺 角檢測方法

【技術領域】
[0001] 本發(fā)明涉及玻璃基板的缺角檢測裝置及缺角檢測方法，特別是用于玻璃基板進入 干蝕刻機臺的過程中檢測缺角的裝置及方法。

【背景技術】
[0002] 現(xiàn)有的干蝕刻機臺，例如4. 5世代的設備商TEL干蝕刻機臺（DRY etcher)，其傳送 玻璃基板的方式是以傳送手臂（Atmosphere Arm,A/A)將玻璃基板由卡夾取出后，放入真空 進樣室，隨后進入機臺的各反應室，進行相應工藝。
[0003] 如圖1示出了玻璃基板在真空進樣室內(nèi)的傳送狀態(tài)，玻璃基板1被傳送手臂2輸 送至真空進樣室內(nèi)，由四個銷3支撐。然而，玻璃基板在進入真空進樣室前可能存在缺角， 若存在缺角的玻璃基板被輸送至真空進樣室，則很可能無法被銷支撐，從而造成位置偏移。
[0004] 目前一般的干式制程機臺僅能通過安裝在傳送手臂上的簡易傳感器感測玻璃基 板是否存在，卻無法有效檢測玻璃基板是否有缺陷。
[0005] 申請?zhí)枮?00410074085. 4公開了一種玻璃基板邊緣部分的破損檢測裝置及方 法，其包括：確定玻璃基板完全通過傳感器所需要的時間；或是各傳感器接收的信號的脈 沖進行計數(shù)，并將該時間或計數(shù)的脈沖個數(shù)與預訂的基準值比較，從而判定基板有無破損。 雖然該裝置可檢測玻璃基板的缺角，但必須在整個玻璃基板完全通過傳感器后才能獲得判 斷結果，造成基板輸送過程的拖延，嚴重影響加工效率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明的目的在于，提供一種玻璃基板的缺角檢測裝置及缺角檢測方法，在玻璃 基板進入機臺的過程中快速檢測出缺角的存在，提高傳送效率。
[0007] 本發(fā)明提供一種缺角檢測裝置，用于檢測傳送至進樣室的玻璃基板是否存在缺 角，該缺角檢測裝置包括兩組缺角傳感器和邏輯控制器，該兩組缺角傳感器分別位于該進 樣室的兩側，每一組缺角傳感器均包括信號接收部和信號發(fā)送部，該兩組缺角傳感器對應 于該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生第一信號和第二信號，該邏輯控制器能夠比對該第一信號和第二 信號是否相同，若信號不同，貝 1J表不該玻璃基板存在缺角。
[0008] 本發(fā)明還提供一種干蝕刻機臺，其包括進樣室、傳送手臂及上述的缺角檢測裝置。
[0009] 本發(fā)明還提供一種缺角檢測方法，其利用上述的缺角檢測裝置檢測玻璃基板是否 存在缺角，其包括以下步驟：
[0010] (1)由傳送手臂將該玻璃基板傳送入該進樣室；
[0011] (2)該進樣室的兩側的缺角傳感器在該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生信號，其中一側的缺 角傳感器產(chǎn)生第一信號，另一側的缺角傳感器產(chǎn)生第二信號，該缺角傳感器將將第一信號 和第二信號發(fā)送給該邏輯控制器，由該邏輯控制器比對該第一信號和第二信號是否相同； 及
[0012] (3)若該邏輯控制器進行比對的結果為信號相同，該傳送手臂繼續(xù)傳送該玻璃基 板，若該邏輯控制器進行比對的結果為信號不同，則該邏輯控制器發(fā)出使該傳送手臂停止 運動的指令。
[0013] 本發(fā)明的缺角檢測裝置能夠在玻璃基板進入進樣室的過程中快速檢測出缺角的 存在，并立即制止帶缺角的玻璃基板繼續(xù)進入機臺內(nèi)，避免帶缺角的玻璃基板進入機臺內(nèi) 導致異常傳送，其能夠及時發(fā)現(xiàn)并解決問題，提高傳送效率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014] 圖1是玻璃基板在真空進樣室內(nèi)的傳送狀態(tài)示意圖。
[0015] 圖2是具有本發(fā)明的缺角檢測裝置的干蝕刻機臺的示意圖。
[0016] 圖3是由本發(fā)明的缺角檢測裝置的兩組缺角傳感器產(chǎn)生的信號，此過程中未檢測 到缺角。
[0017] 圖4是由本發(fā)明的缺角檢測裝置的兩組缺角傳感器產(chǎn)生的信號，此過程中檢測到 缺角。
[0018] 圖5至圖7是本發(fā)明的缺角檢測裝置所檢測的缺角類型示意圖。
[0019] 圖8是示出邏輯控制器的忽略區(qū)域和檢測區(qū)域的示意圖。

【具體實施方式】
[0020] 以下結合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細說明。應當理解的是，此處所描 述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0021] 本發(fā)明的缺角檢測裝置包括缺角傳感器10和邏輯控制器(未示出）。如圖2所示， 玻璃基板1被傳送至真空進樣室100內(nèi)，真空進樣室100的腔門101兩側各設有一組所述 缺角傳感器10,每一組述缺角傳感器10均包括信號接收部11和信號發(fā)送部12。本實施例 中，位于腔門101上側的為信號接收部11，下側的為信號發(fā)送部12,當然，也可進行位置調(diào) 換，只要使得每一組缺角傳感器10之間能夠收發(fā)信號即可。本實施例的缺角傳感器為光感 傳感器，玻璃基板1為透明或半透明，因此，光感的缺角傳感器能夠產(chǎn)生穿過玻璃基板1的 信號。玻璃基板1通過真空進樣室1〇〇的腔門101時，兩側的缺角傳感器10對玻璃基板1 的兩邊產(chǎn)生信號，若玻璃基板1 一邊存在缺角，則該邊上的缺角傳感器10在該缺角處產(chǎn)生 的信號必然與另一邊的缺角傳感器10產(chǎn)生的信號不同，邏輯控制器比對出兩個信號不同， 并控制傳送手臂2停止。本實施例中，玻璃基板1的傳送方向與其長度方向相同，故缺角檢 測裝置能夠檢測玻璃基板1長邊上的缺角。
[0022] 具體的檢測步驟如下：
[0023] 首先，由傳送手臂2將玻璃基板1傳送入真空進樣室100 ;在玻璃基板1通過真空 進樣室100的腔門101時，兩側的缺角傳感器10在玻璃基板1的兩邊隨時產(chǎn)生信號，并將 兩側的信號發(fā)送給邏輯控制器，例如PLC，由PLC邏輯比對左右兩側的信號是否一致，圖3、4 所示的表示坐標中，橫坐標表示感測時間，縱坐標表示信號強度，圖3示出了左右兩組缺角 傳感器1產(chǎn)生信號一致，證明此過程未檢測到缺角，傳送手臂2繼續(xù)傳送玻璃基板1，使其進 入真空進樣室1〇〇 ;圖4表示其中一組缺角傳感器(右側的缺角傳感器)發(fā)生信號波動(例如 光強度信號增大)，導致與另一組缺角傳感器產(chǎn)生的信號不一致，證明（玻璃基板右邊緣）存 在缺角，則PLC控制傳送手臂2立即停止運動，機臺發(fā)出報警信號，工作人員將有缺角的玻 璃基板1從傳送手臂2上取出，制止帶缺角的玻璃基板1進入真空進樣室100。
[0024] 根據(jù)上述步驟及原理，缺角檢測裝置能夠檢測出多種缺角類型，例如圖5所示的 玻璃基板的兩個頂角處存在尺寸不同的缺角，如圖6所示的三個頂角處存在尺寸不同的缺 角，以及如圖7所示的一邊上存在一個或多個缺角。
[0025] 若由于傳送手臂的晃動或玻璃基板的放置誤差，導致玻璃基板的短邊延伸方向并 非與兩側缺角傳感器10的連線方向完全水平，二者存在微小偏差，使得玻璃基板進入真空 進樣室100的腔門101時，其兩邊并非同時進入，而是存在微小時間差，此時，率先進入腔門 101的部分玻璃基板導致該側的缺角傳感器10產(chǎn)生的信號與另一側缺角傳感器10產(chǎn)生的 信號不同，PLC會根據(jù)該信號的不同使傳送手臂停止運行。為了盡量避免缺角檢測裝置發(fā) 生誤檢測，本實施例進一步對PLC的程序進行設置。如圖8所示，假設傳送手臂2以固定速 度V傳送玻璃基板1，將PLC設定為忽略2ms內(nèi)產(chǎn)生的不同信號，S卩，在傳送手臂2以固定 速度V將玻璃基板1傳送2ms，使其進入真空進樣室100距離D1的過程中，PLC忽略該過程 中產(chǎn)生的不同信號，不會對傳送手臂2發(fā)出停止命令。此后，傳送手臂2以固定速度V繼續(xù) 將玻璃基板1傳送90ms，使其在真空進樣室100內(nèi)移動距離D2,在此過程中，PLC進行信號 的比對，并對傳送手臂2進行控制。最后，傳送手臂2繼續(xù)以固定速度V將玻璃基板1傳送 2ms，使其移動距離D3, PLC同樣忽略該過程中產(chǎn)生的不同信號，不會對傳送手臂2發(fā)出停止 命令。也就是說，圖中A1、A3為忽略區(qū)域，A2為PLC的檢測區(qū)域。因此，PLC能夠忽略玻璃 基板1剛剛進入和離開真空進樣室100的過程中產(chǎn)生的信號不同，避免缺角檢測裝置發(fā)生 誤檢測。當然，上述時間參數(shù)是根據(jù)某一類規(guī)格的玻璃基板設定的，根據(jù)不同規(guī)格的玻璃基 板，可設計相應的忽略區(qū)域和檢測區(qū)域的尺寸。
[0026] -般的缺角或是缺陷大多存在于四個邊角部分，本發(fā)明的缺角檢測裝置基本可毫 無遺漏的檢測出這種常見缺陷。針對其他缺陷情況，例如出現(xiàn)在中間短邊區(qū)域范圍內(nèi)的缺 角，由于銷支撐在長邊附近，因此，若僅在短邊區(qū)域范圍內(nèi)出現(xiàn)缺角，也不影響玻璃基板的 輸送。當然，也可增加一組缺角傳感器，用同樣的檢測方式進行檢測。例如，在真空進樣室 的腔門的中間位置設有一組缺角傳感器，玻璃基板通過真空進樣室的腔門時，腔門兩側及 中間一共三組缺角傳感器同時發(fā)生感測信號，由邏輯控制器將三個感測信號來進行比對， 若出現(xiàn)不同則控制傳送手臂立即停止運動。這樣不僅能檢測短邊區(qū)域范圍內(nèi)的缺角，并且 通過三組信號的比對更可以減少失誤性。
[0027] 本發(fā)明的缺角檢測裝置能夠在玻璃基板進入真空進樣室的過程中快速檢測出缺 角的存在，并立即制止帶缺角的玻璃基板繼續(xù)進入機臺內(nèi)，避免帶缺角的玻璃基板進入機 臺內(nèi)導致異常傳送，其能夠及時發(fā)現(xiàn)并解決問題，并非像現(xiàn)有技術那樣必須將玻璃基板完 全傳送入真空進樣室內(nèi)才可能得到檢測結果，因此本發(fā)明能夠大幅提高傳送效率。且本發(fā) 明的缺角檢測裝置具有極高的檢測成功率，特別是對于寬度在5-10_左右的缺角，檢測成 功率基本上可達100%。
[0028] 雖然已參照幾個典型實施例描述了本發(fā)明，但應當理解，所用的術語是說明和示 例性、而非限制性的術語。由于本發(fā)明能夠以多種形式具體實施而不脫離發(fā)明的精神或?qū)?質(zhì)，所以應當理解，上述實施例不限于任何前述的細節(jié)，而應在隨附權利要求所限定的精神 和范圍內(nèi)廣泛地解釋，因此落入權利要求或其等效范圍內(nèi)的全部變化和改型都應為隨附權 利要求所涵蓋。
【權利要求】
1. 一種缺角檢測裝置，用于檢測傳送至進樣室的玻璃基板是否存在缺角，該缺角檢測 裝置包括兩組缺角傳感器和邏輯控制器，該兩組缺角傳感器分別位于該進樣室的兩側，每 一組缺角傳感器均包括信號接收部和信號發(fā)送部，該兩組缺角傳感器對應于該玻璃基板的 兩邊產(chǎn)生第一信號和第二信號，該邏輯控制器能夠比對該第一信號和第二信號是否相同， 若信號不同，則表不該玻璃基板存在缺角。
2. 如權利要求1所述的缺角檢測裝置，其中：該缺角傳感器為光感傳感器。
3. 如權利要求2所述的缺角檢測裝置，其中：該玻璃基板為透明或半透明。
4. 如權利要求3所述的缺角檢測裝置，其中：該缺角傳感器在該玻璃基板上有缺角處 產(chǎn)生的信號強度大于該缺角傳感器在該玻璃基板上無缺角處產(chǎn)生的信號強度，該邏輯控制 器用以比對該第一信號和第二信號的強度是否相同。
5. 如權利要求4所述的缺角檢測裝置，其中：該兩組缺角傳感器分別位于該進樣室的 腔門的兩側，該玻璃基板進入該進樣室的過程中，該玻璃基板的長邊鄰近該兩組缺角傳感 器。
6. 如權利要求5所述的缺角檢測裝置，其中：該缺角檢測裝置還包括第三組缺角傳感 器，其位于該兩組缺角傳感器之間，該第三組缺角傳感器包括信號接收部和信號發(fā)送部，并 對應于該玻璃基板的第三邊產(chǎn)生第三信號，該邏輯控制器能夠比對該第一信號、第二信號 和第三信號是否相同，若存在不同信號，則表不該玻璃基板存在缺角。
7. 如權利要求6所述的缺角檢測裝置，其中：該第三組缺角傳感器位于腔門的中間位 置。
8. 如權利要求1所述的缺角檢測裝置，其中：該邏輯控制器為PLC。
9. 一種干蝕刻機臺，其包括進樣室、傳送手臂及權利要求1至8中任一項所述的缺角檢 測裝置。
10. 如權利要求9所述的干蝕刻機臺，其中：若該邏輯控制器進行比對的結果為各個信 號相同，該傳送手臂繼續(xù)傳送該玻璃基板，若該邏輯控制器進行比對的結果為存在不同信 號，則該邏輯控制器發(fā)出使該傳送手臂停止運動的指令。
11. 如權利要求10所述的干蝕刻機臺，其中：該邏輯控制器被設定為具有第一忽略時 段、第二忽略時段和檢測時段，在該第一、第二忽略時段中，該邏輯控制器對接收到的第一 信號和第二信號不進行比對，在該檢測時段中，該邏輯控制器對接收到的第一信號和第二 信號進行比對，并根據(jù)比對結果執(zhí)行相應的指令。
12. 如權利要求11所述的干蝕刻機臺，其中：該第一忽略時段為從該玻璃基板的被傳 送至該進樣室后移動2ms的過程，該檢測時段為該第一忽略時段之后該玻璃基板被傳送至 該進樣室后移動90ms的過程，該第二忽略時段為該檢測時段之后該玻璃基板被傳送至該 進樣室后移動2ms的過程。
13. -種缺角檢測方法，其利用權利要求1至8中任一項所述的缺角檢測裝置檢測玻璃 基板是否存在缺角，其包括以下步驟： (1) 由傳送手臂將該玻璃基板傳送入該進樣室； (2) 該進樣室的兩側的缺角傳感器在該玻璃基板的兩邊產(chǎn)生信號，其中一側的缺角傳 感器產(chǎn)生第一信號，另一側的缺角傳感器產(chǎn)生第二信號，該缺角傳感器將將第一信號和第 二信號發(fā)送給該邏輯控制器，由該邏輯控制器比對該第一信號和第二信號是否相同；及 (3)若該邏輯控制器進行比對的結果為信號相同，該傳送手臂繼續(xù)傳送該玻璃基板，若 該邏輯控制器進行比對的結果為信號不同，則該邏輯控制器發(fā)出使該傳送手臂停止運動的 指令。
14. 如權利要求13所述的缺角檢測方法，其中：該邏輯控制器被設定為具有第一忽略 時段、第二忽略時段和檢測時段，在該第一、第二忽略時段中，該邏輯控制器對接收到的第 一信號和第二信號不進行比對，在該檢測時段中，該邏輯控制器對接收到的第一信號和第 二信號進行比對，并根據(jù)比對結果執(zhí)行相應的指令。
15. 如權利要求13所述的缺角檢測方法，其中：該第一忽略時段為從該玻璃基板的被 傳送至該進樣室后移動2ms的過程，該檢測時段為該第一忽略時段之后該玻璃基板被傳送 至該進樣室后移動90ms的過程，該第二忽略時段為該檢測時段之后該玻璃基板被傳送至 該進樣室后移動2ms的過程。
【文檔編號】G01N21/88GK104103481SQ201310122618
【公開日】2014年10月15日 申請日期:2013年4月10日 優(yōu)先權日:2013年4月10日
【發(fā)明者】曾瑞軒, 林志明, 劉峻承 申請人:上海和輝光電有限公司