振動片及其制法、振子、電子裝置、電子設(shè)備及移動體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種振動片及其制法、振子、電子裝置、電子設(shè)備及移動體，其能夠防止由相互向相反方向延伸的驅(qū)動振動臂的錘層的大小或質(zhì)量的不同而引起的溫度漂移。振動片具備：一對第一以及第二驅(qū)動振動臂（441、442），其從基部（41）起相互向相反方向延伸；第一錘部（12a、12b），其以從第一以及第二驅(qū)動振動臂中的至少一方的頂端向基部側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在至少一個驅(qū)動振動臂的第一區(qū)域內(nèi)；第二錘部（11a、11b），其被設(shè)置在第一錘部的頂端與至少一個驅(qū)動振動臂的頂端之間的區(qū)域即第二區(qū)域內(nèi)，在將第一區(qū)域的面積設(shè)為A1，將第一錘部的質(zhì)量設(shè)為B1，并將第二區(qū)域的面積設(shè)為A2，將第二錘部的質(zhì)量設(shè)為B2時，B1/A1＞B2/A2。
【專利說明】振動片及其制法、振子、電子裝置、電子設(shè)備及移動體
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種振動片、振動片的制造方法、振子、電子裝置、電子設(shè)備及移動體?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]一直以來，作為用于檢測角速度的振動片，已知一種所謂的“雙T型”的陀螺元件(例如，參照專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)I中所記載的陀螺元件通過如下部分構(gòu)成，所述部分包括:基部；從基部起沿著y軸而向兩側(cè)延伸的第一、第二檢測振動臂(檢測臂)；從基部起沿著X軸而向兩側(cè)延伸的第一、第二連結(jié)臂(連接臂)；從第一連結(jié)臂起沿著y軸而向兩側(cè)延伸的第一、第二驅(qū)動振動臂(驅(qū)動臂)；從第二連結(jié)臂起沿著y軸而向兩側(cè)延伸的第三、第四驅(qū)動振動臂(驅(qū)動臂)。
[0004]而且，在第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂的頂端部上，設(shè)置有以從各個驅(qū)動振動臂的頂端朝向基部的方式而設(shè)置的錘層。該錘層為，用于各個驅(qū)動振動臂的共振頻率調(diào)節(jié)(以下，稱為頻率調(diào)節(jié))的質(zhì)量調(diào)節(jié)膜，且該錘層是通過使用了蒸鍍掩膜的蒸鍍法等而被形成的。在頻率調(diào)節(jié)中，通過使用例如激光等來去除該錘層的至少一部分，從而將各個驅(qū)動振動臂的共振頻率校準(zhǔn)為預(yù)定的值。
[0005]然而，在如上文所述通過使用了蒸鍍掩膜的蒸鍍法等來形成各個振動臂的錘層的情況下，存在蒸鍍掩膜的設(shè)置位置產(chǎn)生偏差的情況。特別是，在蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個驅(qū)動振動臂(振動臂)的延伸方向(y軸方向)上發(fā)生了偏移的情況下，在各個驅(qū)動振動臂從基部起向兩側(cè)(相互向相反方向)延伸的、例如第一驅(qū)動振動臂、第二驅(qū)動振動臂中，如果第一驅(qū)動振動臂的錘層增大，則第二驅(qū)動振動臂的錘層將減小。
[0006]如此，在蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個驅(qū)動振動臂的延伸方向(y軸方向)上發(fā)生了偏移的情況下，被形成在相互向相反方向延伸的驅(qū)動振動臂上的錘層的大小和質(zhì)量將有所不同(失去平衡)。即，被設(shè)置于相互向相反方向延伸的各個驅(qū)動振動臂上的錘層的重心位置和質(zhì)量將有所不同。由此，存在相互向相反方向延伸的驅(qū)動振動臂的振動平衡被破壞，從而產(chǎn)生頻率溫度特性的劣化、即所謂的溫度漂移的情況。
[0007]專利文獻(xiàn)1:日本特開2006-105614號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0008]本發(fā)明是為了解決上述課題中的至少一部分而被完成的，并且能夠作為以下的方式或應(yīng)用例而實現(xiàn)。
[0009]應(yīng)用例I
[0010]本應(yīng)用例所涉及的振動片的特征在于，具備:基部；一對振動臂，其從所述基部起相互向相反方向延伸；第一錘部，其以從至少一個所述振動臂的頂端向所述基部側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在所述至少一個所述振動臂上；第二錘部，其被設(shè)置在所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域內(nèi)，在將設(shè)置有所述第一錘部的區(qū)域設(shè)為第一區(qū)域，將所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域設(shè)為第二區(qū)域，并將所述第一區(qū)域的面積設(shè)為Al，將所述第一錘部的質(zhì)量設(shè)為BI，且將所述第二區(qū)域的面積設(shè)為A2，將所述第二錘部的質(zhì)量設(shè)為B2時，B1/A1 > B2/A2。
[0011]本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了如下情況，即，在被設(shè)置于振動臂上的錘層(包括第一錘部與第二錘部在內(nèi)的錘部)與振動片的溫度漂移之間的關(guān)聯(lián)性中，存在錘層的重心位置不平衡(錘層的位置變化)對溫度漂移的影響、和錘層的質(zhì)量不平衡對溫度漂移的影響。另外，在此，溫度漂移是指，振動片的頻率相對于溫度變化而發(fā)生變化的情況。
[0012]進(jìn)行詳細(xì)敘述，與錘層的位置的不平衡相比，錘層的質(zhì)量不平衡對溫度漂移的影響度更大，且錘層的位置越靠近振動臂的頂端，對溫度漂移的影響度越大。而且，在錘層的質(zhì)量不平衡與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中，具有擁有負(fù)的斜率的相關(guān)關(guān)系，而在錘層的位置不平衡與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中，具有擁有正的斜率的相關(guān)關(guān)系。S卩，本申請的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)了如下內(nèi)容，通過使用上文所述的結(jié)構(gòu)的錘層，從而能夠使由錘層的質(zhì)量不平衡而引起的溫度漂移、和由錘層的位置不平衡的影響而引起的溫度漂移相抵消，由此，能夠減少溫度漂移的發(fā)生。
[0013]在本應(yīng)用例的振動片中，由于從基部起相互朝向相反方向延伸出一對振動臂，因此在蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個振動臂的延伸方向上發(fā)生了偏移的情況下，被設(shè)置于各個振動臂上的第一錘部的位置在一個振動臂中，將向頂端側(cè)偏移形成，而在另一個振動臂中，將向基部側(cè)偏移形成。
[0014]在此，第一錘部以從振動臂的頂端隔開間隔的方式，而被設(shè)置在振動臂的第一區(qū)域內(nèi)，而第二錘部被設(shè)置在第一錘部與振動臂的頂端之間的整個區(qū)域即第二區(qū)域內(nèi)，也就是說，所述第二錘部被設(shè)置于，與第一錘部相比靠振動臂的頂端側(cè)的位置處，并且，在將第一區(qū)域的面積設(shè)為Al，將第一錘部的質(zhì)量設(shè)為BI，并將第二區(qū)域的面積設(shè)為A2，將第二錘部的質(zhì)量設(shè)為B2時，B1/A1 > B2/A2。
[0015]由于通過該結(jié)構(gòu)，減小了對振動片的溫度漂移的產(chǎn)生影響度較大的第二錘部的質(zhì)量，因此質(zhì)量不平衡與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中的負(fù)的斜率減小。此時，由于第一錘部以其位置在一個以及另一個振動臂內(nèi)發(fā)生偏移的方式而形成，因此，雖然受到位置的不平衡對振動片的溫度漂移的影響，但位置不平衡與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中的正的斜率不會發(fā)生改變。
[0016]因此，在上述結(jié)構(gòu)中，在第二錘部的質(zhì)量不平衡的與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中減小了的負(fù)的斜率、和第一錘部的位置不平衡與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中的原本就較小的正的斜率，具有正負(fù)基本相同的斜率。由此，質(zhì)量不平衡的與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系、和位置不平衡與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系相抵消，從而即使在蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個振動臂的延伸方向上發(fā)生了偏移的情況下，即，即使在被設(shè)置于各個振動臂上的第一錘部以及第二錘部的位置發(fā)生了偏移的情況下，也能夠抑制振動片的溫度漂移的發(fā)生。
[0017]另外，雖然本結(jié)構(gòu)可應(yīng)用于一對振動臂的雙方中，但是，只需應(yīng)用于一對振動臂中位于與錘部發(fā)生偏移的方向相反的一側(cè)的一個振動臂中，便能夠產(chǎn)生上文所述的效果。即，只需將本結(jié)構(gòu)的錘部應(yīng)用于，位于與錘部發(fā)生偏移的方向相反的一側(cè)的一個振動臂中即可。[0018]應(yīng)用例2
[0019]上述應(yīng)用例所記載的振動片的特征在于，所述第二錘部在與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的寬度，小于所述第一錘部的所述寬度。
[0020]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠使對振動片的溫度漂移的產(chǎn)生影響度較大的第二錘部的質(zhì)量不平衡的、與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中的負(fù)的斜率減小。換言之，即使在由于蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個振動臂的延伸方向上發(fā)生了偏移等，從而被設(shè)置于各個振動臂上的第一錘部以及第二錘部的位置發(fā)生了偏移的情況下，也能夠抑制振動片的溫度漂移的產(chǎn)生。
[0021]應(yīng)用例3
[0022]上述應(yīng)用例所記載的振動片的特征在于，所述第二錘部被設(shè)置于，與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的大致中央部處。
[0023]根據(jù)本應(yīng)用例，由于取得了第二錘部的振動臂的寬度方向上的平衡，因此能夠進(jìn)一步抑制對振動片的溫度漂移的影響。
[0024]應(yīng)用例4
[0025]上述應(yīng)用例所記載的振動片的特征在于，所述第二錘部由多個第三錘部構(gòu)成。
[0026]根據(jù)本應(yīng)用例，由于第二錘部以包括多個第三錘部的方式而構(gòu)成，因此能夠使對振動片的溫度漂移的產(chǎn)生影響度較大的第二錘部的質(zhì)量不平衡的、與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中的負(fù)的斜率減小。
[0027]應(yīng)用例5
[0028]上述應(yīng)用例所記載的振動片的特征在于，所述第一錘部以與沿著所述至少一個所述振動臂的延伸方向的、所述至少一個所述振動臂的側(cè)端之間隔開間隔的方式而被設(shè)置。
[0029]根據(jù)本應(yīng)用例，即使在蒸鍍掩膜的設(shè)置位置在各個振動臂的寬度方向上發(fā)生了偏移的情況下，由于在第一錘部與振動臂的側(cè)端之間存在間隔，從而也能夠抑制第一錘部偏離出各個振動臂的情況。因此，即使在第一錘部于各個振動臂的寬度方向上發(fā)生了偏移的情況下，也能夠防止第一錘部的質(zhì)量變化的產(chǎn)生。
[0030]應(yīng)用例6
[0031]上述應(yīng)用例所記載的振動片的特征在于，所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度，所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
[0032]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠增大第一錘部以及第二錘部的質(zhì)量，從而能夠擴(kuò)大頻率的調(diào)節(jié)范圍。
[0033]應(yīng)用例7
[0034]上述應(yīng)用例所記載的振動片的特征在于，設(shè)置有一對檢測用振動臂，所述一對檢測用振動臂從所述基部起相互向相反方向延伸。
[0035]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠提供一種如下的陀螺振動片，即，即使在由于蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個振動臂的延伸方向上發(fā)生了偏移等，從而被設(shè)置在各個振動臂上的第一錘部以及第二錘部的位置發(fā)生了偏移的情況下，也能夠抑制振動片的溫度漂移的發(fā)生的陀螺振動片。
[0036]應(yīng)用例8
[0037]本應(yīng)用例所涉及的振動片的制造方法的特征在于，包括:形成包括基部和一對振動臂在內(nèi)的外形形狀的工序，所述一對振動臂從所述基部起相互向相反方向延伸；以從至少一個所述振動臂的頂端向所述基部側(cè)隔開間隔的方式，在所述至少一個所述振動臂上形成第一錘部，并在所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域內(nèi)形成第二錘部的工序；去除所述第一錘部以及所述第二錘部中的至少一方的至少一部分、或者增加所述第一錘部以及所述第二錘部中的至少一方的質(zhì)量，從而對所述振動臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序，在將設(shè)置有所述第一錘部的區(qū)域設(shè)為第一區(qū)域，將所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域設(shè)為第二區(qū)域，并將所述第一區(qū)域的面積設(shè)為Al，將所述第一錘部的質(zhì)量設(shè)為BI，且將所述第二區(qū)域的面積設(shè)為A2，將所述第二錘部的質(zhì)量設(shè)為B2時，以B1/A1 > B2/A2的關(guān)系形成。
[0038]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠制造出如下的振動片，S卩，對振動片的溫度漂移的發(fā)生影響度較大的第二錘部的質(zhì)量不平衡的、與振動片的溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系中的負(fù)的斜率較小的振動片。換言之，能夠制造出如下的振動片，即，即使在由于蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個振動臂的延伸方向上發(fā)生了偏移等，從而被設(shè)置于各個振動臂上的第一錘部以及第二錘部的位置發(fā)生了偏移的情況下，也能夠抑制振動片的溫度漂移的發(fā)生的振動片。
[0039]應(yīng)用例9
[0040]上述應(yīng)用例所涉及的振動片的制造方法的特征在于，形成所述第一錘部和所述第二錘部的工序包括:以從所述至少一個所述振動臂的頂端向所述基部側(cè)隔開間隔的方式，在所述至少一個所述振動臂上形成所述第一錘部的工序；在所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域內(nèi)形成所述第二錘部的工序。
[0041]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠制造出如下振動片，S卩，即使在由于蒸鍍掩膜的設(shè)置位置于各個振動臂的延伸方向上發(fā)生了偏移等，從而被設(shè)置于各個振動臂上的第一錘部以及第二錘部的位置發(fā)生了偏移情況下，也能夠抑制振動片的溫度漂移的發(fā)生的振動片。此外，由于能夠在不同的工序中形成第一錘部和第二錘部，因此能夠應(yīng)對于，例如各個錘部的材質(zhì)的改變、各個錘部的厚度的改變等。
[0042]應(yīng)用例10
[0043]本應(yīng)用例所涉及的振子的特征在于，具備:上述應(yīng)用例中的任一例所記載的振動片；封裝件，其對所述振動片進(jìn)行收納。
[0044]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠提供一種抑制了振動片的溫度漂移的發(fā)生的、即提高了溫度特性的振子。
[0045]應(yīng)用例11
[0046]本應(yīng)用例所涉及的電子裝置的特征在于，具備:上述應(yīng)用例中的任一例所記載的振動片；電路元件，其至少具有使所述振動片進(jìn)行驅(qū)動的功能。
[0047]根據(jù)本應(yīng)用例，能夠提供一種抑制了溫度漂移的發(fā)生，從而實現(xiàn)了溫度特性的提高的電子裝置。
[0048]應(yīng)用例12
[0049]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任一例所記載的振動片。
[0050]根據(jù)本應(yīng)用例，由于使用抑制了溫度漂移的發(fā)生，從而實現(xiàn)了溫度特性的提高的振動片，因此能夠提供一種相對于溫度變化的特性較為穩(wěn)定的電子設(shè)備。
[0051]應(yīng)用例13
[0052]本應(yīng)用例所涉及的移動體的特征在于，具備上述應(yīng)用例中的任一例所記載的振動片。
[0053]根據(jù)本應(yīng)用例，由于使用抑制了振動片的溫度漂移的發(fā)生，從而實現(xiàn)了溫度特性的提高的振動片，因此能夠提供一種相對于溫度變化的特性較為穩(wěn)定的移動體。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0054]圖1為表示本發(fā)明所涉及的振動片的實施方式、以及使用了該振動片的振子的實施方式的概要圖，(A)為俯視圖，(B)為主剖視圖。
[0055]圖2為作為振子所具備的振動片的陀螺元件的俯視圖。
[0056]圖3為對陀螺元件的驅(qū)動進(jìn)行說明的俯視圖。
[0057]圖4為對現(xiàn)有的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系進(jìn)行說明的圖，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。
[0058]圖5為對本實施方式的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系進(jìn)行說明的圖，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。
[0059]圖6為對本實施方式的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系進(jìn)行說明的圖，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。
[0060]圖7為對本實施方式的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系進(jìn)行說明的圖，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖，(O為表示錘部的形狀的詳細(xì)情況的放大俯視圖。
[0061]圖8 (A)?(E)為表不錘部的改變例的局部俯視圖。
[0062]圖9 (A)?(C)為表示錘部的改變例的俯視圖、以及剖視圖。
[0063]圖10為表示本發(fā)明所涉及的振動片的制造方法的流程圖。
[0064]圖11為表示使用了本發(fā)明所涉及的振動片的電子裝置的主剖視圖。
[0065]圖12為表示作為電子設(shè)備的一個示例的便攜式個人計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0066]圖13為表示作為電子設(shè)備的一個示例的移動電話的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0067]圖14為表示作為電子設(shè)備的一個示例的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0068]圖15為表示作為移動體的一個示例的汽車的結(jié)構(gòu)的立體圖。
【具體實施方式】
[0069]以下，根據(jù)附圖所示的實施方式，對本發(fā)明的振動片以及振子進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0070]實施方式
[0071]首先，對本發(fā)明所涉及的振動片的實施方式、以及應(yīng)用了該振動片的振子的實施方式進(jìn)行說明。
[0072]圖1為表示本發(fā)明所涉及的振動片、以及使用了該振動片的振子的實施方式的圖，(A)為俯視圖，(B)為主剖視圖。圖2為表示作為圖1所示的振子所具備的振動片的陀螺元件的俯視圖。圖3為對陀螺元件的驅(qū)動進(jìn)行說明的俯視圖。另外，在下文中，如圖1所示，將相互正交的三個軸設(shè)為X軸、I軸以及Z軸，z軸與振動裝置的厚度方向相一致。此夕卜，將與X軸平行的方向稱為“X軸方向(第二方向)”，將與I軸平行的方向稱為“y軸方向(第一方向)”，將與Z軸平行的方向稱為“Z軸方向”。
[0073]圖1所示的振子I具有作為振動片的陀螺元件(振動元件)2，和對陀螺元件2進(jìn)行收納的封裝件9。以下，依次對陀螺元件2以及封裝件9進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0074]陀螺元件
[0075]圖2為從上側(cè)(蓋92側(cè))進(jìn)行觀察時的、作為振動片的陀螺元件的俯視圖。另外，雖然在陀螺元件上設(shè)置有檢測信號電極、檢測信號配線、檢測信號端子、檢測接地電極、檢測接地配線、檢測接地端子、驅(qū)動信號電極、驅(qū)動信號配線、驅(qū)動信號端子、驅(qū)動接地電極、驅(qū)動接地配線以及驅(qū)動接地端子等，但在該圖中省略了圖示。
[0076]作為振動片的陀螺元件2為，對繞z軸的角速度進(jìn)行檢測的“面外檢測型”的傳感器，雖然未圖示，但所述陀螺元件2通過基材、被設(shè)置于基材的表面上的多個電極、配線以及端子而構(gòu)成。
[0077]雖然陀螺元件2可以由水晶、鉭酸鋰、鈮酸鋰等壓電材料構(gòu)成，但在這些材料中，優(yōu)選由水晶構(gòu)成。由此，可得到能夠發(fā)揮優(yōu)異的振動特性(頻率特性)的陀螺元件2。
[0078]這種陀螺元件2具有:振動體4，其呈所謂的雙T型；作為支承部的第一支承部51以及第二支承部52，其對振動體4進(jìn)行支承；作為梁的第一梁61、第二梁62、第三梁63以及第四梁64，其對振動體4和第一、第二支承部51、52進(jìn)行連結(jié)。
[0079]振動體4在xy平面上具有展寬，且在z軸方向上具有厚度。這種振動體4具有:位于中央的基部41 ;從基部41起沿著y軸方向而向兩側(cè)延伸的第一檢測振動臂421、第二檢測振動臂422 ;從基部41起沿著X軸方向而向兩側(cè)延伸的第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432 ;從第一連結(jié)臂431的頂端部起沿著I軸方向而向兩側(cè)延伸的、作為振動臂的第一驅(qū)動振動臂441以及第二驅(qū)動振動臂442 ;從第二連結(jié)臂432的頂端部起沿著y軸方向而向兩側(cè)延伸的、作為振動臂的第三驅(qū)動振動臂443以及第四驅(qū)動振動臂444。在第一、第二檢測振動臂421、422以及第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的頂端部處，分別設(shè)置有與基端側(cè)相比寬度較大的大致四邊形的、作為寬度寬大部的重量部(錘頭)425、426、445、446、447、448。通過設(shè)置這種重量部425、426、445、446、447、448，從而提高了陀螺元件2對角速度的檢測靈敏度。
[0080]另外，第一、第二驅(qū)動振動臂441、442也可以從第一連結(jié)臂431的延伸方向上的中途起延伸，同樣地，第三、第四驅(qū)動振動臂443、444也可以從第二連結(jié)臂432的延伸方向上的中途起延伸。
[0081]此外，雖然在本示例中，采用從第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432起延伸出了第一驅(qū)動振動臂441、第二驅(qū)動振動臂442、第三驅(qū)動振動臂443、以及第四驅(qū)動振動臂444的結(jié)構(gòu)而進(jìn)行了說明，其中，第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432從基部41起延伸，但是，也能夠以包括基部41、第一連結(jié)臂431和第二連結(jié)臂432在內(nèi)的方式形成基部。S卩，也可以采用從基部起延伸出了第一驅(qū)動振動臂、第二驅(qū)動振動臂、第三驅(qū)動振動臂以及第四驅(qū)動振動臂的結(jié)構(gòu)。
[0082]此外，第一、第二支承部51、52分別沿著X軸方向延伸，并且振動體4位于上述第
一、第二支承部51、52之間。換言之，第一、第二支承部51、52以隔著振動體4而沿著y軸方向?qū)χ玫姆绞奖慌渲?。第一支承?1通過第一梁61以及第二梁62而與基部41連結(jié)，第二支承部52通過第三梁63以及第四梁64而與基部41連結(jié)。
[0083]第一梁61穿過第一檢測振動臂421和第一驅(qū)動振動臂441之間，而對第一支承部51和基部41進(jìn)行連結(jié)，第二梁62穿過第一檢測振動臂421和第三驅(qū)動振動臂443之間，而對第一支承部51和基部41進(jìn)行連結(jié)，第三梁63穿過第二檢測振動臂422和第二驅(qū)動振動臂442之間，而對第二支承部52和基部41進(jìn)行連結(jié)，第四梁64穿過第二檢測振動臂422和第四驅(qū)動振動臂444之間，而對第二支承部52和基部41進(jìn)行連結(jié)。
[0084]這樣的各個梁61、62、63、64分別具有在沿著x軸方向往復(fù)的同時沿著I軸方向延伸的蜿蜒部(S字形狀部)，從而在X軸方向以及I軸方向上具有彈性。此外，由于各個梁61、62、63、64分別具備具有蜿蜒部的細(xì)長形狀，因此在所有方向上均具有彈性。因此，即使從外部施加有沖擊，也由于具有通過各個梁61、62、63、64而對沖擊進(jìn)行吸收的作用，因此能夠減少或抑制由該沖擊所引起的檢測噪聲。
[0085]陀螺元件的錘部
[0086]在第一檢測振動臂421的重量部425、以及第二檢測振動臂422的重量部426上設(shè)置有，用于將第一檢測振動臂421以及第二檢測振動臂422的固有共振頻率校準(zhǔn)為所需的頻率的、質(zhì)量調(diào)節(jié)用的檢測臂錘層14、15。
[0087]在第一驅(qū)動振動臂441的重量部445上，設(shè)置有錘部13c。錘部13c包括:第一錘部12c，其以從第一驅(qū)動振動臂441的頂端向基部41側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在第一驅(qū)動振動臂441的第一區(qū)域內(nèi)；第二錘部11c，其被設(shè)置在第一驅(qū)動振動臂441的頂端、與第一錘部12c的靠第一驅(qū)動振動臂441的頂端側(cè)的端部(以下，稱為“第一錘部12c的頂端”)之間的第二區(qū)域內(nèi)。
[0088]第一區(qū)域為，與第一驅(qū)動振動臂441的頂端(重量部445的頂端)以及重量部445的兩個側(cè)邊隔開間隔的、四邊形的面積為Al的區(qū)域。第一錘部12c為，與第一區(qū)域大致重疊的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量BI。另外，在圖2中，用交叉影線來表示第一區(qū)域。
[0089]第二區(qū)域為，第一錘部12c的頂端和與第一錘部12c的頂端對置的第一驅(qū)動振動臂441的頂端之間的面積為A2的區(qū)域。第二錘部Ilc為，在第二區(qū)域內(nèi)從第一錘部12c的靠第一驅(qū)動振動臂441的頂端側(cè)的、寬度方向(X軸方向)上的大致中央部起到達(dá)至第一驅(qū)動振動臂441的頂端為止的、與第一錘部12c相比寬度較窄的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量B2。
[0090]如此，錘部13c朝向第一驅(qū)動振動臂441的頂端側(cè)而被形成為凸形形狀。錘部13c以第一區(qū)域的面積Al、第二區(qū)域的面積A2、第一錘部12c的質(zhì)量B1、以及第二錘部Ilc的質(zhì)量B2滿足B1/A1 > B2/A2的方式而被設(shè)置。在本示例中，第一錘部12c和第二錘部Ilc以相同的厚度而形成，并且為了滿足上述關(guān)系式，第一錘部12c以與第一區(qū)域大致相同的形狀而被設(shè)置，第二錘部Ilc以與第二區(qū)域的寬度相比第二錘部Ilc的寬度較窄的方式而被設(shè)置。[0091]同樣地，在第二驅(qū)動振動臂442的重量部446上，設(shè)置有錘部13d。錘部13d包括:第一錘部12d，其以從第二驅(qū)動振動臂442的頂端向基部41側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在第二驅(qū)動振動臂442的第一區(qū)域內(nèi)；第二錘部lld，其被設(shè)置在第二驅(qū)動振動臂442的頂端、與第一錘部12d的靠第二驅(qū)動振動臂442的頂端側(cè)的端部(以下，稱為“第一錘部12d的頂端”)之間的第二區(qū)域內(nèi)。
[0092]第一區(qū)域為，與第二驅(qū)動振動臂442的頂端(重量部446的頂端)以及重量部446的兩個側(cè)邊隔開間隔的、四邊形的面積為Al的區(qū)域。第一錘部12d為，與第一區(qū)域大致重疊的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量BI。
[0093]第二區(qū)域為，第一錘部12d的頂端和與第一錘部12d的頂端對置的第二驅(qū)動振動臂442的頂端之間的面積為A2的區(qū)域。第二錘部Ild為，在第二區(qū)域內(nèi)從第一錘部12d的靠第二驅(qū)動振動臂442的頂端側(cè)的、寬度方向(X軸方向)上的大致中央部起到達(dá)至第二驅(qū)動振動臂442的頂端為止的、與第一錘部12d相比寬度較窄的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量B2。
[0094]如此，錘部13d朝向第二驅(qū)動振動臂442的頂端側(cè)而被形成為凸形形狀。錘部13d以第一區(qū)域的面積Al、第二區(qū)域的面積A2、第一錘部12d的質(zhì)量B1、以及第二錘部Ild的質(zhì)量B2滿足B1/A1 > B2/A2的方式而被設(shè)置。在本示例中，第一錘部12d和第二錘部Ild以相同的厚度而形成，并且為了滿足上述關(guān)系式，第一錘部12d以與第一區(qū)域大致相同的形狀而被設(shè)置，第二錘部Ild以與第二區(qū)域的寬度相比第二錘部Ild的寬度較窄的方式而被設(shè)置。
[0095]同樣地，在第三驅(qū)動振動臂443的重量部447上，設(shè)置有錘部13a。錘部13a包括:第一錘部12a，其以從第三驅(qū)動振動臂443的頂端向基部41側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在第三驅(qū)動振動臂443的第一區(qū)域內(nèi)；第二錘部11a，其被設(shè)置在第三驅(qū)動振動臂443的頂端、與第一錘部12a的靠第三驅(qū)動振動臂443的頂端側(cè)的端部(以下，稱為“第一錘部12a的頂端”)之間的第二區(qū)域內(nèi)。
[0096]第一區(qū)域為，與第三驅(qū)動振動臂443的頂端(重量部447的頂端)以及重量部447的兩個側(cè)邊隔開間隔的、四邊形的面積為Al的區(qū)域。第一錘部12a為，與第一區(qū)域大致重疊的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量BI。
[0097]第二區(qū)域為，第一錘部12a的頂端和與第一錘部12a的頂端對置的第三驅(qū)動振動臂443的頂端之間的面積為A2的區(qū)域。第二錘部Ila為，在第二區(qū)域內(nèi)從第一錘部12a的靠第三驅(qū)動振動臂443的頂端側(cè)的、寬度方向(X軸方向)上的大致中央部起到達(dá)至第三驅(qū)動振動臂443的頂端為止的、與第一錘部12a相比寬度較窄的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量B2。
[0098]如此，錘部13a朝向第三驅(qū)動振動臂443的頂端側(cè)而被形成為凸形形狀。錘部13a以第一區(qū)域的面積Al、第二區(qū)域的面積A2、第一錘部12a的質(zhì)量B1、以及第二錘部Ila的質(zhì)量B2滿足B1/A1 > B2/A2的方式而被設(shè)置。在本示例中，第一錘部12a和第二錘部Ila以相同的厚度而形成，并且為了滿足上述關(guān)系式，第一錘部12a以與第一區(qū)域大致相同的形狀而被設(shè)置，第二錘部Ila以與第二區(qū)域的寬度相比第二錘部Ila的寬度較窄的方式而被設(shè)置。
[0099]同樣地，在第四驅(qū)動振動臂444的重量部448上，設(shè)置有錘部13b。錘部13b包括:第一錘部12b，其以從第四驅(qū)動振動臂444的頂端向基部41側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444的第一區(qū)域內(nèi)；第二錘部11b，其被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444的頂端、與第一錘部12b的靠第四驅(qū)動振動臂444的頂端側(cè)的端部(以下，稱為“第一錘部12b的頂端”)之間的第二區(qū)域內(nèi)。
[0100]第一區(qū)域為，與第四驅(qū)動振動臂444的頂端(重量部448的頂端)以及重量部448的兩個側(cè)邊隔開間隔的、四邊形的面積為Al的區(qū)域。第一錘部12b為，與第一區(qū)域大致重疊的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量BI。
[0101]第二區(qū)域為，第一錘部12b的頂端和與第一錘部12b的頂端對置的第四驅(qū)動振動臂444的頂端之間的面積為A2的區(qū)域。第二錘部Ilb為，在第二區(qū)域內(nèi)從第一錘部12b的靠第四驅(qū)動振動臂444的頂端側(cè)的、寬度方向(X軸方向)上的大致中央部起到達(dá)至第四驅(qū)動振動臂444的頂端為止的、與第一錘部12b相比寬度較窄的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量B2。
[0102]如此，錘部13b朝向第四驅(qū)動振動臂444的頂端側(cè)而被形成為凸形形狀。錘部13b以第一區(qū)域的面積Al、第二區(qū)域的面積A2、第一錘部12b的質(zhì)量B1、以及第二錘部Ilb的質(zhì)量B2滿足B1/A1 > B2/A2的方式而被設(shè)置。在本示例中，第一錘部12b和第二錘部Ilb以相同的厚度而形成，并且為了滿足上述關(guān)系式，第一錘部12b以與第一區(qū)域大致相同的形狀而被設(shè)置，第二錘部Ilb以與第二區(qū)域的寬度相比第二錘部Ilb的寬度較窄的方式而被設(shè)置。
[0103]另外，雖然在本示例中，通過如下的結(jié)構(gòu)而進(jìn)行了說明，S卩，在第一驅(qū)動振動臂441及第二驅(qū)動振動臂442、和第三驅(qū)動振動臂443及第四驅(qū)動振動臂444這兩對驅(qū)動振動臂的頂端側(cè)，設(shè)置有錘部13a、13b、13c、13d的結(jié)構(gòu)，但并不限定于此。例如也可以為如下的結(jié)構(gòu)，即，將錘部設(shè)置在第一驅(qū)動振動臂441及第二驅(qū)動振動臂442中的至少一方、和第三驅(qū)動振動臂443及第四驅(qū)動振動臂444中的至少一方上的結(jié)構(gòu)。
[0104]通過將如上所述的凸形形狀的錘部13c、13d、13a、13b設(shè)置在第一驅(qū)動振動臂441的重量部445、第二驅(qū)動振動臂442的重量部446、第三驅(qū)動振動臂443的重量部447、以及第四驅(qū)動振動臂444的重量部448上，從而能夠抑制由于錘部13c、13d、13a、13b在y軸方向上發(fā)生偏移而產(chǎn)生的、陀螺元件2的溫度漂移。另外，詳細(xì)內(nèi)容將在后文中進(jìn)行敘述。
[0105]這種結(jié)構(gòu)的陀螺元件2以如下方式對繞z軸的角速度ω進(jìn)行檢測。陀螺元件2中，當(dāng)在未被施加有角速度ω的狀態(tài)下，于驅(qū)動信號電極(未圖示)和驅(qū)動接地電極(未圖示)之間產(chǎn)生有電場時，如圖3 (A)所示，各個驅(qū)動振動臂441、442、443、444將在箭頭標(biāo)記A所示的方向上進(jìn)行彎曲振動。此時，由于第一、第二驅(qū)動振動臂441、442和第三、第四驅(qū)動振動臂443、444進(jìn)行關(guān)于穿過中心點(diǎn)G (重心G)的yz平面面對稱的振動，因此基部41、第
一、第二連結(jié)臂431、432和第一、第二檢測振動臂421、422幾乎不進(jìn)行振動。
[0106]當(dāng)在進(jìn)行該驅(qū)動振動的狀態(tài)下，在陀螺元件2上施加有繞z軸的角速度ω時，將產(chǎn)生如圖3 (B)所示這樣的振動。即，在驅(qū)動振動臂441、442、443、444以及連結(jié)臂431、432上作用有箭頭標(biāo)記B方向上的科里奧利力，并且與該箭頭標(biāo)記B方向上的振動相呼應(yīng)，箭頭標(biāo)記C方向上的檢測振動被激勵。而且，檢測信號電極(未圖示)以及檢測接地電極(未圖示)對通過該振動而產(chǎn)生的檢測振動臂421、422的變形進(jìn)行檢測，從而求出角速度ω。
[0107]封裝件[0108]封裝件9為，對陀螺元件2進(jìn)行收納的構(gòu)件。另外，在封裝件9中，可以如后文敘述的電子裝置那樣，除了陀螺元件2之外，還收納有實施對陀螺元件2的驅(qū)動等的IC芯片等。這種封裝件9在對其進(jìn)行俯視觀察(俯視觀察xy平面)時，呈大致矩形形狀。
[0109]封裝件9具有:基座91，其具有在上表面上開放的凹部；蓋(蓋體)92，其以封堵凹部的開口的方式而與基座相接合。此外，基座91具有:板狀的底板911 ;框狀的側(cè)壁912，其被設(shè)置于底板911的上表面邊緣部上。這種封裝件9在其內(nèi)側(cè)具有收納空間，且在該收納空間內(nèi)氣密性地收納、設(shè)置有陀螺元件2。
[0110]陀螺元件2利用第一、第二支承部51、52，并通過焊錫、銀膏、導(dǎo)電性粘合劑(將金屬粒子等導(dǎo)電性填充劑分散在樹脂材料中的粘合劑)等導(dǎo)電性固定部件8，而被固定于底板911的上表面上。由于第一、第二支承部51、52位于陀螺元件2的y軸方向上的兩端部處，因此通過將這樣的部分固定在底板911上，從而陀螺元件2的振動體4被兩端支承，由此能夠?qū)⑼勇菰?穩(wěn)定地固定在底板911上。因此，抑制了陀螺元件2的不需要的振動(檢測振動以外的振動)，從而提高了陀螺元件2對角速度ω的檢測精度。
[0111]此外，導(dǎo)電性固定部件8以與被設(shè)置在第一、第二支承部51、52上的兩個檢測信號端子714、兩個檢測接地端子724、驅(qū)動信號端子734以及驅(qū)動接地端子744相對應(yīng)(接觸)，且相互分離的方式而被設(shè)置有六個。此外，在底板911的上表面上，設(shè)置有與兩個檢測信號端子714、兩個檢測接地端子724、驅(qū)動信號端子734以及驅(qū)動接地端子744相對應(yīng)的六個連接襯墊10，通過導(dǎo)電性固定部件8，上述各個連接襯墊10和與之相對應(yīng)的任一個端子被電連接。
[0112]錘部的結(jié)構(gòu)
[0113]接下來，關(guān)于分別被設(shè)置在上文所述的第一驅(qū)動振動臂441、第二驅(qū)動振動臂
442、第三驅(qū)動振動臂443、第四驅(qū)動振動臂444上的錘部13c、13d、13a、13b，使用圖4?圖7對其結(jié)構(gòu)和效果進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，為了便于說明，包括作為現(xiàn)有結(jié)構(gòu)的圖4在內(nèi)，在各個圖中均使用本實施方式所涉及的第三驅(qū)動振動臂443、第四驅(qū)動振動臂444來進(jìn)行說明。此外，由于在另外的第一驅(qū)動振動臂441、第二驅(qū)動振動臂442中也為相同的結(jié)構(gòu)，因此省略說明。
[0114]圖4圖示了現(xiàn)有的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系，其中，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。圖5圖示了本實施方式的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系，其中，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。圖6圖示了本實施方式的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系，其中，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。圖7圖示了本實施方式的、錘部與陀螺元件的溫度漂移之間的關(guān)系，其中，(A)為表示錘部的形態(tài)的局部俯視圖，(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖，(C)為表示錘部的形狀的詳細(xì)情況的放大俯視圖。
[0115]另外，在此，溫度漂移量是指，相對于溫度變化的、陀螺元件的頻率變化量。
[0116]現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)中的錘部
[0117]首先，參照圖4，對現(xiàn)有的、錘部與陀螺元件的溫度漂移(以下，有時也記載為溫度漂移)之間的關(guān)系進(jìn)行說明。如圖4 (A)所示，在第三驅(qū)動振動臂443的重量部447上設(shè)置有錘部21，并在第四驅(qū)動振動臂444的重量部448上設(shè)置有錘部22。該錘部21以及錘部22以其質(zhì)量和位置相同的方式，而從圖中雙點(diǎn)劃線所示的位置L1、L3起設(shè)置到重量部447、448的各自的頂端447a、448a為止。
[0118]然而，當(dāng)形成錘部21以及錘部22時的蒸鍍掩膜的設(shè)置位置在第三驅(qū)動振動臂
443、第四驅(qū)動振動臂444的延伸方向上發(fā)生了偏移時，形成有錘部21和錘部22的位置將如圖中影線所示那樣發(fā)生偏移。另外，由于蒸鍍掩膜以與多個陀螺元件2的多個錘部相對應(yīng)的方式而被一體形成，因此當(dāng)設(shè)置位置發(fā)生偏移時，一對錘部21、22也將向相同的方向偏移相同的量。
[0119]在本示例中，向一 y軸方向產(chǎn)生了偏移量為M1、M2 (Ml和M2為相同的量)的位置偏移，從而在錘部21中，靠第三驅(qū)動振動臂443的根部側(cè)的端部變?yōu)長2的位置，在錘部22中，靠第四驅(qū)動振動臂444的根部側(cè)的端部變?yōu)長4的位置。
[0120]如此，由于錘部21和錘部22的形成位置發(fā)生偏移，從而錘部21和錘部22的質(zhì)量發(fā)生改變。由此，被形成在一對第三驅(qū)動振動臂443、第四驅(qū)動振動臂444上的錘部21和錘部22的質(zhì)量的平衡被破壞，從而由于質(zhì)量不平衡而在陀螺元件2上產(chǎn)生溫度漂移。
[0121]接下來，使用圖4 (B)的曲線圖，對錘部21和錘部22的偏移量與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系進(jìn)行說明。
[0122]在現(xiàn)有例中，錘部21、22的質(zhì)量不平衡越大，換言之，蒸鍍掩膜的設(shè)置位置在y軸方向上的偏移量越大，則溫度漂移越大。雖然在本示例這樣的蒸鍍掩膜的偏移中，錘部21越減小則錘部22越增大,但當(dāng)蒸鍍掩膜向相反方向發(fā)生偏移時，隨著錘部21逐漸增大,錘部22將減小。由于質(zhì)量不平衡以此種方式增大，從而如圖4 (B)所示，錘部21和錘部22的偏移量與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系成為具有負(fù)的斜率的近似線W1。
[0123]特別是，由于現(xiàn)有例中的錘部21以及錘部22的形狀到達(dá)至重量部447、448的各自的頂端447a、448a，因此當(dāng)蒸鍍掩膜的設(shè)置位置在y軸方向上發(fā)生了偏移時，一個錘部21的質(zhì)量將減小，而另一個錘部22的質(zhì)量將增大。在這種結(jié)構(gòu)中，由于偏移量直接表現(xiàn)為質(zhì)量的變化，因此較大程度地受到質(zhì)量不平衡的影響，從而圖中的近似線Wl的斜率增大。SP，蒸鍍掩膜的偏移對溫度漂移造成了較大的影響。
[0124]錘部的形態(tài)I
[0125]接下來，參照圖5以及圖6，對錘部的形態(tài)I與陀螺元件的溫度漂移(以下，有時也記載為溫度漂移)之間的關(guān)系進(jìn)行說明。圖5 (A)為表示錘部在重量部內(nèi)發(fā)生了偏移的狀態(tài)的局部俯視圖，圖5(B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。圖6 (A)為表示一個錘部以偏離到重量部之外的方式發(fā)生偏移的狀態(tài)的局部俯視圖，圖6 (B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖。
[0126]如圖5 (A)所示，在第三驅(qū)動振動臂443的重量部447上設(shè)置有錘部25，在第四驅(qū)動振動臂444的重量部448上設(shè)置有錘部26。該錘部25以及錘部26原本以其質(zhì)量和位置相同的方式，于重量部447、448的內(nèi)側(cè)(與頂端447a、448a、以及兩個側(cè)邊中的每一個側(cè)邊均具有間隔)，被設(shè)置成圖中雙點(diǎn)劃線所示的矩形形狀25a、26a。
[0127]然而，當(dāng)形成錘部25、26的蒸鍍掩膜的設(shè)置位置向一 y軸方向偏移了偏移量Ml、M2時，錘部25以及錘部26將在重量部447、448的內(nèi)側(cè)(平面內(nèi))發(fā)生偏移，換言之，錘部25以及錘部26被形成為，以不會偏離出重量部447、448的程度發(fā)生偏移。在該情況下，錘部25和錘部26被形成在圖中影線所示的位置上，并向一 y軸方向產(chǎn)生了偏移量為M1、M2 (Ml和M2為相同的量)的位置偏移。在錘部25中，靠第三驅(qū)動振動臂443的根部側(cè)的端部從LI變?yōu)長2的位置，在錘部26中，靠第四驅(qū)動振動臂444的頂端448a側(cè)的端部從L3變?yōu)長4的位置。
[0128]另外，由于蒸鍍掩膜以與多個陀螺元件2的錘部25、26對應(yīng)的方式而被一體形成，因此當(dāng)設(shè)置位置發(fā)生偏移時，一對錘部25、26也將向相同的方向偏移相同的量。因此，錘部25的重心Pl移動至重心P2，錘部26的重心P3移動至重心P4。
[0129]如此，由于錘部25和錘部26的形成位置在重量部447、448的內(nèi)側(cè)發(fā)生偏移，因此對于錘部25和錘部26而言，其質(zhì)量平衡并未發(fā)生改變，而是位置(重心)平衡發(fā)生了改變。
[0130]然而，錘部25、26的位置越靠近第三驅(qū)動振動臂443、第四驅(qū)動振動臂444的頂端447a、448a，則對溫度漂移的影響度越大。由此，重心向頂端447a側(cè)進(jìn)行了移動的錘部25處于質(zhì)量仿真地增加了的狀態(tài)，而重心向根部側(cè)進(jìn)行了移動的錘部26則處于質(zhì)量仿真地減少了的狀態(tài)。
[0131]由此，當(dāng)米用錘部25和錘部26的形成位置在重量部447、448的內(nèi)側(cè)發(fā)生偏移這種結(jié)構(gòu)時，將能夠獲得對溫度漂移的影響度小于現(xiàn)有例中的由質(zhì)量的偏差所產(chǎn)生的影響度。
[0132]另外，為了將錘部25和錘部26的形成位置設(shè)定為，使重心平衡的變化對溫度漂移的影響減小，優(yōu)選為，將重量部447、448的頂端447a、448a與錘部25、26之間的間隔設(shè)定為大于等于錘部25、26在y軸方向上的尺寸。這對減輕因質(zhì)量的偏差所產(chǎn)生的影響度較為有效，其中，質(zhì)量的偏差是因錘部25、26接近重量部447、448的頂端447a、448a而引起的。
[0133]使用圖5 (B)的曲線圖，對這樣的、在重量部447、448的內(nèi)側(cè)的錘部25和錘部26的偏移量與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系進(jìn)行說明。
[0134]在上述的形態(tài)中，錘部25、26向一 y軸方向發(fā)生了偏移。錘部25向重量部447的頂端447a側(cè)發(fā)生偏移，而錘部26向第四驅(qū)動振動臂444的根部側(cè)發(fā)生偏移。雖然在上文中進(jìn)行了敘述，但由于向重量部447的頂端447a側(cè)發(fā)生了偏移的錘部25處于質(zhì)量仿真地增加了的狀態(tài)，因此當(dāng)與上文所述的現(xiàn)有例的情況相比時，質(zhì)量的變化是相反的。因此，如圖
5(B)所示，近似線PUl的斜率為正(與現(xiàn)有例為相反的斜率)的斜率。此外，由于沒有直接發(fā)生質(zhì)量變化，因此也能夠減小該斜率(絕對值)。換言之，能夠減少對溫度漂移的影響度。
[0135]接下來，使用圖6，對使用圖5所說明的形態(tài)I的錘部的形成進(jìn)一步發(fā)生偏移，而偏移至重量部447、448的外側(cè)的情況進(jìn)行說明。另外，在此處的說明中，省略了與上文所述的使用了圖5的說明重復(fù)的說明。
[0136]如圖6 (A)所示，錘部25以偏離出重量部447的頂端447a的狀態(tài)而被形成。在該情況下，錘部25和錘部26從原來的位置、即圖中雙點(diǎn)劃線所示的矩形形狀25a、26a的位置起向一 y軸方向發(fā)生了偏移量為M3、M4 (M3和M4為相同的量)的位置偏移。在錘部25中，靠第三驅(qū)動振動臂443的根部側(cè)的端部從LI變?yōu)長5的位置，而重量部447的頂端447a側(cè)則變?yōu)槠x出重量部447的位置25a'(用雙點(diǎn)劃線表示)。即，頂端447a側(cè)的錘部25的一部分未被形成，從而錘部25的表面積減小。在錘部26中，靠第四驅(qū)動振動臂444的頂端448a側(cè)的端部從L3變?yōu)長6的位置。此外，錘部25的重心Pl移動至重心P5，錘部26的重心P3移動至重心P6。[0137]如此，當(dāng)錘部25偏離出重量部447的頂端447a時，將會加入在現(xiàn)有例中所說明的、由質(zhì)量變化而引起的質(zhì)量不平衡對溫度漂移的影響。參照圖6 (B)進(jìn)行說明。在此，由于對錘部25偏離出重量部447的頂端447a的情況進(jìn)行說明，因此在圖6 (B)的縱軸的左側(cè)的區(qū)域中進(jìn)行說明。
[0138]雖然在錘部25處于重量部447的內(nèi)側(cè)的情況下，如上文所述那樣，受到了沿著具有正的斜率的近似線I3Ul的影響，但以錘部25偏出至重量部447的外側(cè)的位置為拐點(diǎn)，力口入了與由質(zhì)量變化所引起的質(zhì)量不平衡之間的相關(guān)關(guān)系。換言之，在從拐點(diǎn)起左側(cè)的區(qū)域中、即在錘部25向重量部447的外側(cè)突出的情況下，將成為將近似線W2和近似線PUl相加而得到的斜率的近似線(W2 + PUl)的相關(guān)關(guān)系，其中，近似線W2具有作為由質(zhì)量變化所引起的質(zhì)量不平衡與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系的、負(fù)的斜率，近似線PUl具有作為由位置(重心)平衡的變化所引起的位置不平衡與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系的、正的斜率。
[0139]如此，在形態(tài)I的錘部25、26的形態(tài)中，在產(chǎn)生了蒸鍍掩膜的設(shè)置位置的偏移的情況下，能夠抑制由錘部25、26的位置偏移而引起的溫度漂移的發(fā)生。也就是說，能夠削弱錘部25、26的位置偏移與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系。
[0140]錘部的形態(tài)2
[0141]接下來，參照圖7，對錘部的形態(tài)2與溫度漂移之間的關(guān)系進(jìn)行說明。圖7 (A)為表示錘部在重量部內(nèi)發(fā)生了偏移的狀態(tài)的局部俯視圖，圖7 (B)為表示錘部的偏移量與溫度漂移量之間的相關(guān)關(guān)系的曲線圖，圖7 (C)為表示錘部的形狀的詳細(xì)情況的放大俯視圖。
[0142]本形態(tài)的錘部13a、13b通過在上文所述的實施方式的(陀螺元件的錘部的)事項中進(jìn)行了詳細(xì)說明的結(jié)構(gòu)而被形成。進(jìn)行簡單地說明，錘部13a、13b以包括第一錘部12a、12b和第二錘部IlaUlb的方式而形成，其中，所述第二錘部IlaUlb與第一錘部12a、12b相比，每單位面積的質(zhì)量較小。另外，在本說明中，使用被設(shè)置于第四驅(qū)動振動臂444上的錘部13b來進(jìn)行說明。此外，第一區(qū)域是指，設(shè)置有第一錘部12b的整個區(qū)域。此外，第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界線為，錘部13b中，其形狀、質(zhì)量、材質(zhì)、厚度等發(fā)生變化的分界線，且為第一錘部12b的頂端(靠第四驅(qū)動振動臂444的頂端側(cè)的邊)。
[0143]錘部13b包括:第一錘部12b，其以從第四驅(qū)動振動臂444的頂端向基部41側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444的第一區(qū)域內(nèi)；第二錘部11b，其被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444的頂端與第一錘部12b的頂端之間的第二區(qū)域內(nèi)。
[0144]如上文所述，第一區(qū)域是面積為Al的區(qū)域，第一錘部12b為與第一區(qū)域大致重疊的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量BI。此外，第二區(qū)域是面積為A2的區(qū)域，第二錘部Ilb為，在第二區(qū)域內(nèi)與第一錘部12b相比寬度較窄的四邊形，且被設(shè)置為具有質(zhì)量B2。S卩，錘部13b朝向第四驅(qū)動振動臂444的頂端側(cè)而被形成為凸形形狀。
[0145]錘部13b以第一區(qū)域的面積Al、第二區(qū)域的面積A2、第一錘部12b的質(zhì)量B1、以及第二錘部Ilb的質(zhì)量B2滿足B1/A1 > B2/A2的方式而被設(shè)置。在本示例中，第一錘部12b和第二錘部Ilb以相同的厚度而形成，并且為了滿足上述關(guān)系式，第一錘部12b以與第一區(qū)域大致相同的形狀而被設(shè)置，第二錘部Ilb以與第二區(qū)域的寬度相比第二錘部Ilb的寬度較窄的方式而被設(shè)置。
[0146]原本，錘部13a、13b優(yōu)選被設(shè)置為，像圖中雙點(diǎn)劃線所示的錘部13a,、13V那樣，分別為對稱形狀，且質(zhì)量和位置相同。然而，在與上文所述的形態(tài)I相同地，形成錘部13a、13b的蒸鍍掩膜的設(shè)置位置向一 y軸方向偏移了偏移量M5、M6的情況下，錘部13a以及錘部13b將在重量部447、448的內(nèi)側(cè)(平面區(qū)域內(nèi))發(fā)生偏移。在圖7 (A)中，圖示了錘部13a及錘部13b以不會偏離出重量部447、448的程度發(fā)生了偏移的情況。在該情況下，錘部13a和錘部13b被形成在圖中影線所示的位置處，并向一7軸方向產(chǎn)生了偏移量為M5、M6 (M5和M6為相同的量)的位置偏移。
[0147]在錘部13a中，靠第三驅(qū)動振動臂443的根側(cè)的端部變?yōu)椋瑥脑瓉淼奈恢肔I偏移了偏移量M5的L2的位置，而在錘部13b中，靠第四驅(qū)動振動臂444的根部側(cè)的端部變?yōu)?，從原來的位置L3偏移了偏移量M6的L4的位置。
[0148]另外，由于蒸鍍掩膜以與多個陀螺元件2的錘部13a、13b對應(yīng)的方式而被一體形成，因此當(dāng)設(shè)置位置發(fā)生偏移時，一對錘部13a、13b也將向相同的方向偏移相同的量。錘部13a的重心Pl移動至重心P2，錘部26的重心P3移動至重心P4。此外，當(dāng)蒸鍍掩膜向一y軸方向較大程度地發(fā)生了偏移時，在重量部447上將僅形成有第一錘部12a，而在重量部448上形成有第一錘部12b以及第二錘部lib。
[0149]如此，由于錘部13a和錘部13b的形成位置在重量部447、448的內(nèi)側(cè)(面內(nèi))發(fā)生偏移，因此對于錘部13a和錘部13b而言，其質(zhì)量平衡以及位置(重心)平衡將發(fā)生改變。
[0150]由于位置(重心)平衡發(fā)生改變，因此重心向頂端447a側(cè)進(jìn)行了移動的第一錘部12a處于質(zhì)量仿真地增加了的狀態(tài)，而重心向根部側(cè)進(jìn)行了移動的第一錘部12b則處于質(zhì)量仿真地減少了的狀態(tài)。在本形態(tài)2中，通過與第一錘部12a、12b相比每單位面積的質(zhì)量較小的第二錘部lla、llb，從而抵消了其仿真的質(zhì)量的不平衡，由此減少了對溫度漂移的影響度。
[0151]使用圖7 (B)、圖7 (C)，對通過形態(tài)2的結(jié)構(gòu)而使對溫度漂移的影響減少的情況進(jìn)行說明。另外，在圖7 (C)中，使用作為代表的錘部13b來進(jìn)行說明。
[0152]形態(tài)2的錘部13b具有:第一錘部12b，其被形成為寬度SX長度T的矩形形狀；第二錘部11b，其被形成為寬度S/3X長度2T的矩形形狀。
[0153]第一錘部12b以從第四驅(qū)動振動臂444的頂端448a起向基部41側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在重量部448的平面內(nèi)(圖中由交叉影線所示的第一區(qū)域)。第二錘部Ilb被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444的頂端448a與第一錘部12b的頂端之間的區(qū)域、即第二區(qū)域內(nèi)。另外，第二區(qū)域為，將第一錘部12b的頂端的X軸方向上的寬度就此延長到第四驅(qū)動振動臂444的頂端448a的區(qū)域，且為圖中由虛線(點(diǎn)線)所示的區(qū)域。在此，由于第二錘部Ilb以第二區(qū)域的寬度S的1/3的寬度(S/3)而被設(shè)置，因此第二錘部Ilb被形成為，當(dāng)與被形成為與第一區(qū)域大致相同的面積的、寬度SX長度T的矩形形狀的第一錘部12b相比時，每單位面積的質(zhì)量較小。即，錘部13b以第一區(qū)域的面積Al、第二區(qū)域的面積A2、第一錘部12b的質(zhì)量B1、以及第二錘部Ilb的質(zhì)量B2滿足B1/A1 > B2/A2的方式而被設(shè)置。
[0154]在這種錘層的形態(tài)2的結(jié)構(gòu)中，當(dāng)錘部13b的形成位置向一 y軸方向發(fā)生了偏移時，被設(shè)置在與頂端448a接近的位置處的第二錘部IIb將處于錘的質(zhì)量不平衡與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系，而被設(shè)置在遠(yuǎn)離頂端448a的位置處的第一錘部12b將處于錘的位置不平衡與溫度漂移之間的相關(guān)關(guān)系。
[0155]在形態(tài)2的錘部13b中，由于與頂端448a接近的位置處的第二錘部Ilb的每單位面積的質(zhì)量被構(gòu)成為較小，因此與形態(tài)I相比能夠進(jìn)一步減少對錘的質(zhì)量不平衡和溫度漂移的影響度。即，能夠使圖7 (B)所示的、表示對錘的質(zhì)量不平衡和溫度漂移的影響度的近似線W3的斜率，小于圖6 (B)所示的近似線W2的斜率。
[0156]此外，雖然第一錘部12b處于與錘的位置不平衡之間的相關(guān)關(guān)系，但由于第一錘部12b被設(shè)置在從頂端448a尚開(具有間隔)了與設(shè)置有第二錘部Ilb相對應(yīng)的量的位置處，因此與形態(tài)I相比能夠進(jìn)一步減少對錘的位置不平衡和溫度漂移的影響度。即，能夠使圖7 (B)所示的、表示對錘的位置不平衡和溫度漂移的影響度的近似線PU2的斜率，小于圖
6(B)所示的近似線PUl的斜率。
[0157]而且，由于表示對錘的質(zhì)量不平衡和溫度漂移的影響度的近似線W3的斜率、和表示對錘的位置不平衡和溫度漂移的影響度的近似線PU2的斜率正負(fù)大致相等，因此消除了各個影響度。通過將這兩個近似線W3與PU2相加，從而能夠得到基本上不存在對溫度漂移的影響度的近似線W3 + PU2。即，通過使用具有第一錘部12b和第二錘部Ilb的錘部13b，從而即使在由于蒸鍍掩膜的設(shè)置位置的偏移等而導(dǎo)致錘部13b的形成位置向一7軸方向發(fā)生了偏移的情況下，也能夠基本上不產(chǎn)生對溫度漂移的影響。
[0158]此外，如上文所述，通過將第二錘部Ilb的寬度設(shè)為第一錘部12b的寬度的1/3，并使第二錘部Ub的每單位面積的質(zhì)量小于第一錘部12b的每單位面積的質(zhì)量，從而能夠使近似線W3的斜率與近似線PU2的斜率的絕對值大致相等，并且也可得到獲得了大致與橫軸重疊的近似線的模擬結(jié)果。
[0159]此外，如圖7 (A)所示，被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444上的第二錘部Ilb與被設(shè)置在第三驅(qū)動振動臂443上的第二錘部Ila相比，質(zhì)量較大。由此,第一錘部12a及12b的位置不平衡對溫度漂移的影響，與第二錘部Ila及Ilb的質(zhì)量不平衡對溫度漂移的影響相抵消，從而作為整體降低了溫度漂移。
[0160]錘部的改變例
[0161]雖然在上文所述的錘部13a、13b中，例示了凸形形狀的示例而進(jìn)行了說明，但只要采用了第二錘部的每單位面積的質(zhì)量小于第一錘部的每單位面積的質(zhì)量的結(jié)構(gòu)，便具有相同的效果。在圖8中圖示了錘部的代表性的改變例而進(jìn)行說明。另外，圖8 (A)?(E)為表示改變例中的錘部的形狀的詳細(xì)情況的放大俯視圖。雖然在本說明中，使用相當(dāng)于被設(shè)置在第四驅(qū)動振動臂444上的錘部13b的部位進(jìn)行說明，但也可以應(yīng)用于其他錘部。此外，第一區(qū)域是指，設(shè)置有第一錘部12b的全部區(qū)域。此外，第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界線為，錘部13b中，其形狀、質(zhì)量、材質(zhì)、厚度等發(fā)生變化的分界線，且為第一錘部12b的頂端(靠第四驅(qū)動振動臂444的頂端側(cè)的邊)。
[0162]圖8 (A)所示的改變例的錘部13e包括第一錘部12e和第二錘部lie，并被形成在重量部448上，其中，所述第二錘部lie與第一錘部12e相比每單位面積的質(zhì)量較小。第一錘部12e在從重量部448的頂端隔開間隔的位置處，被設(shè)置為矩形形狀。第二錘部lie在重量部448的頂端與第一錘部12e之間、且于重量部448的頂端側(cè)，被設(shè)置為矩形形狀。另夕卜，第二錘部Ile通過減小在重量部448的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的尺寸從而減小質(zhì)量。另外，圖中的邊界線LlO表示第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界。
[0163]圖8 (B)所示的改變例的錘部13f包括第一錘部12f和第二錘部llf，并被形成在重量部448上，其中，所述第二錘部Ilf與第一錘部12f相比每單位面積的質(zhì)量較小。第一錘部12f在從重量部448的頂端隔開間隔的位置處，被設(shè)置為矩形形狀。第二錘部Ilf具有兩個第三錘部IIP、llf"，所述兩個第三錘部Iir、llf"處于重量部448的頂端與第一錘部12f之間，并從第一錘部12f的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的兩端起朝向重量部448的頂端突出。另外，第二錘部Ilf通過以如下方式進(jìn)行設(shè)置從而減小質(zhì)量，所述方式為，減小將兩個第三錘部IIP、llf "相加時的、在重量部448的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的尺寸。另外，圖中的邊界線LlO表示第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界。
[0164]圖8 (C)所示的改變例的錘部13h包括第一錘部12h和第二錘部llh，并被形成在重量部448上，其中，所述第二錘部Ilh與第一錘部12h相比每單位面積的質(zhì)量較小。第一錘部12h在從重量部448的頂端隔開間隔的位置處，被設(shè)置為矩形形狀。第二錘部Ilh處于重量部448的頂端與第一錘部12h之間，且從第一錘部12h起延伸，并被設(shè)置為寬度隨著趨向重量部448的頂端而減小的形狀。另外，第二錘部Ilh通過減小在重量部448的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的尺寸，從而減小質(zhì)量。另外，圖中的邊界線LlO表示第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界。
[0165]圖8 (D)所示的改變例的錘部13k包括第一錘部12k和第二錘部11k，并被形成在重量部448上，其中，所述第二錘部IIk與第一錘部12k相比每單位面積的質(zhì)量較小。第一錘部12k在從重量部448的頂端隔開間隔的位置處，被設(shè)置為矩形形狀。第二錘部Ilk具有三個呈寬度較細(xì)的矩形形狀的第三錘部llk'、llk"、llk"'，所述第三錘部llk'、Ilk"、llk"'處于重量部448的頂端與第一錘部12k之間，并與第一錘部12k之間具有稍許的間隙，且朝向重量部448的頂端延伸。另外，第二錘部Ilk通過以如下方式進(jìn)行設(shè)置從而減小質(zhì)量，所述方式為，減小將三個第三錘部llk'、llk"、llk"'相加時的、在重量部448的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的尺寸。另外，圖中的邊界線LlO表示第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界。
[0166]圖8 (E)所示的改變例的錘部13m包括第一錘部12m和第二錘部11m，并被形成在重量部448上，其中，所述第二錘部Ilm與第一錘部12m相比每單位面積的質(zhì)量較小。第一錘部12m在從重量部448的頂端隔開間隔的位置處，被設(shè)置為矩形形狀。第二錘部Ilm具有兩個突出部(第三錘部)llm'、llm"，所述兩個突出部llm'、llm"處于重量部448的頂端與第一錘部12m之間，并以內(nèi)邊呈圓弧形狀的方式從第一錘部12m的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的兩端起朝向重量部448的頂端突出。另外，第二錘部Ilm通過以如下方式進(jìn)行設(shè)置從而減小質(zhì)量，所述方式為，減小將兩個突出部(第三錘部)llm'、llm"相加時的、在重量部448的寬度方向(實施方式中的X軸方向)上的尺寸。如此，也可以采用錘部13m的外形具有曲線的結(jié)構(gòu)。另外，圖中的邊界線LlO表示第一區(qū)域與第二區(qū)域的邊界。
[0167]另外，雖然在上文所述的改變例中，對將第二錘部分割為多個的幾個示例進(jìn)行了說明，但也可以與該結(jié)構(gòu)相反地，采用第一錘部被分割為多個的結(jié)構(gòu)。
[0168]此外，由于只需使第二錘部與第一錘部相比每單位面積的質(zhì)量較小即可，因此也可以采用例如以下這種結(jié)構(gòu)。
[0169](I)第二錘部以與第一錘部相同的厚度而被形成，且與第一錘部相比X軸方向上的寬度尺寸較窄。
[0170](2)如圖9 (A)所示，第二錘部Iln (由影線所示的部分)以與第一錘部12η相同的厚度以及寬度而被形成，且由與第一錘部12η相比比重較輕的材質(zhì)而形成。
[0171](3)如圖9 (B)所示，第二錘部Ilr以與第一錘部12r相同的形狀而被形成，且被形成為與第一錘部12r相比厚度較薄。
[0172](4)如圖9 (C)所示，第二錘部Ils以與第一錘部12s相同的形狀而被形成為網(wǎng)格(網(wǎng)狀)。
[0173]即使在上文所述的改變例中所說明的結(jié)構(gòu)的錘部中，也具有與在實施方式(錘部的形態(tài))中所示出的結(jié)構(gòu)的錘部相同的效果。
[0174]陀螺元件的制造方法
[0175]接下來，參照附圖對本發(fā)明所涉及的陀螺元件的制造方法進(jìn)行說明。圖10為表示上文所述的圖2所示的、作為振動片的陀螺元件2的概要的制造工序的流程圖。
[0176]首先，準(zhǔn)備例如水晶板等基板。然后，通過對基板使用光刻法等，從而形成圖2所示的第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444以及第一、第二檢測振動臂421、422等的外形形狀，由此形成陀螺元件素板(步驟S102)。
[0177]接下來，在陀螺元件素板的表面上形成電極膜(步驟S104)。電極膜例如采用如下的結(jié)構(gòu)，即，為了提高與水晶的緊密性而形成鉻(Cr)等的基底金屬層，并在其表面上形成金(Au)層的結(jié)構(gòu)。電極膜的形成可以使用蒸鍍法或濺射法等來成膜。
[0178]接下來，在如圖2所示的第一、第二檢測振動臂421、422的頂端部的重量部425、426上形成檢測臂錘層14、15，并在第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的頂端部的重量部445、446、447、448上形成錘部13a、13b、13c、13d (步驟S106)。
[0179]在此，錘部13a、13b、13c、13d包括:第一錘部12a、12b、12c、12d，其以從第一、第
二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的頂端隔開間隔的方式而被設(shè)置；第二錘部lla、llb、llc、lld，其被設(shè)置在第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的頂端與第一錘部12a、12b、12c、12d之間，并且與第一錘部12a、12b、12c、12d相比每單位面積的質(zhì)量較小。
[0180]另外，也可以通過不同的工序來實施形成第一錘部12a、12b、12c、12d的工序、和形成第二錘部lla、llb、llc、lld的工序。通過如上文所述這樣，以不同的工序來實施第一錘部12a、12b、12c、12d的形成、和第二錘部11a、lib、11c、Ild的形成，從而能夠應(yīng)對第一錘部12a、12b、12c、12d和第二錘部11a、lib、11c、Ild的、例如材質(zhì)的改變、厚度的改變、將一方形成為網(wǎng)眼狀等的情況。
[0181]檢測臂錘層14、15以及錘部13a、13b、13c、13d例如通過利用了金屬掩膜等的蒸鍍法或濺射法等，從而形成金(Au)等的金屬層，并將該層的厚度形成為，厚于電極膜。
[0182]接下來，實施對第一、第二檢測振動臂421、422的質(zhì)量調(diào)節(jié)，將第一、第二檢測振動臂421、422的固有共振頻率校準(zhǔn)為所需的頻率(步驟S108)。該質(zhì)量調(diào)節(jié)是為了調(diào)節(jié)失調(diào)頻率而實施的，例如通過如下方式而實施，即，通過照射被集束的激光，從而將被形成在第一、第二檢測振動臂421、422上的檢測臂錘層14、15中的至少一部分熔融、蒸發(fā)，從而去除。另外，在必要時，有時也會將電極膜熔融、蒸發(fā)從而去除。此外，有時也會增加檢測臂錘層14、15的質(zhì)量。
[0183]接下來，實施對第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的質(zhì)量調(diào)節(jié)，從而實施將第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的固有共振頻率校準(zhǔn)為所需的頻率的、振動臂頻率調(diào)節(jié)(步驟S110)。該質(zhì)量調(diào)節(jié)也兼有如下目的，即，防止第一、第
二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444的彎曲振動通過第一連結(jié)臂431、第二連結(jié)臂432而向第一、第二檢測振動臂421、422進(jìn)行傳播的、所謂的振動泄漏。
[0184]對于振動臂頻率調(diào)節(jié)而言，以如下方式進(jìn)行校準(zhǔn)，S卩，使第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444各自的固有共振頻率發(fā)生變化，以使第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444各自的固有共振頻率相一致。該振動臂頻率調(diào)節(jié)(質(zhì)量調(diào)節(jié))例如通過如下方式而實施，即，通過照射被集束的激光，從而使被形成在第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444上的錘部13a、13b、13c、13d和電極熔融、蒸發(fā)，而去除至少一部分。此外，有時也會增加錘部13a、13b、13c、13d的質(zhì)量。
[0185]振動臂頻率調(diào)節(jié)通過所謂的粗調(diào)節(jié)和所謂的微調(diào)節(jié)而實施，所謂的粗調(diào)節(jié)為粗略地對固有共振頻率進(jìn)行校準(zhǔn)的調(diào)節(jié)，所述微調(diào)節(jié)為通過微細(xì)的質(zhì)量的校準(zhǔn)來對固有共振頻率進(jìn)行校準(zhǔn)的調(diào)節(jié)。
[0186]此外,振動臂頻率調(diào)節(jié)可以通過去除構(gòu)成錘部13a、13b、13c、13d的第一錘部12a、12b、12c、12d以及第二錘部lla、llb、llc、lld中的至少一方來實施。此外，有時也會增加構(gòu)成錘部 13a、13b、13c、13d 的第一錘部 12a、12b、12c、12d 以及第二錘部 11a、lib、11c、Ild 中的至少一個的質(zhì)量。
[0187]接下來，通過對陀螺元件2的電特性進(jìn)行檢查，并挑選出具有所需的特性的陀螺元件2，從而完成陀螺元件2 (步驟SI 12)。
[0188]根據(jù)上文所述的作為振動片的陀螺元件2的制造方法，能夠通過同一工序來形成檢測臂錘層14、15以及錘部13a、13b、13c、13d。此外，由于構(gòu)成錘部13a、13b、13c、13d的第一錘部12a、12b、12c、12d以及第二錘部11a、lib、11c、lid也可以通過同一工序來形成，因此能夠高效地制造陀螺元件2。
[0189]另外，雖然在上文中，作為元件而以使用了所謂的雙T型的陀螺元件的陀螺傳感器為例進(jìn)行了說明，但作為本發(fā)明所涉及的元件并不限定于雙T型的陀螺元件，只要為具備從基部起相互向相反方向延伸的振動臂的元件，便可以應(yīng)用。作為本發(fā)明所涉及的元件，例如可列舉出所謂的H型陀螺元件、具有從基部起相互向相反方向延伸的音叉振動臂的振動元件等。
[0190]電子裝置
[0191]接下來，使用圖11對作為使用了上文所述的陀螺元件2的電子裝置的一個示例的陀螺傳感器進(jìn)行說明。圖11為表示陀螺傳感器的概要的主剖視圖。
[0192]陀螺傳感器80具備作為振動片的陀螺元件2、作為電路元件的IC (IntegratedCircuit:集成電路)84、作為封裝件的收納器81、蓋體86。在由陶瓷等形成的收納器81的底面上配置有IC84，并且IC84通過Au等的導(dǎo)線85而與被形成在收納器81上的配線(未圖示)電連接。IC84包括:驅(qū)動電路，其用于使陀螺元件2進(jìn)行驅(qū)動振動；檢測電路，其對在施加了角速度時于陀螺元件2上產(chǎn)生的檢測振動進(jìn)行檢測。
[0193]在陀螺元件2中，陀螺元件2的支承部51、52通過導(dǎo)電性粘合劑等固定部件83而被粘合支承在支承臺82上，所述支承臺82被形成在收納器81中。此外，在支承臺82的表面上形成有配線(未圖示)，并且陀螺元件2的電極與配線之間的導(dǎo)通是通過固定部件83而實現(xiàn)的。該固定部件83優(yōu)選為具有彈性的材料。作為具有彈性的固定部件83，已知有以硅為基材的導(dǎo)電性粘合劑等。而且,將收納器81內(nèi)保持為真空氣氛，并用蓋體86來密封收納器81的上部的開口。[0194]在陀螺元件2中，由于被設(shè)置在第一、第二、第三、第四驅(qū)動振動臂441、442、443、444 上的錘部 13a、13b、13c、13d 以包括第一錘部 12a、12b、12c、12d 和第二錘部 lla、llb、IlcUld的方式而形成，因此能夠減少陀螺元件2的溫度漂移。因此，使用了該陀螺元件2的陀螺傳感器80也具有減少了溫度漂移的穩(wěn)定的特性。
[0195]電子設(shè)備
[0196]接下來，根據(jù)圖12?圖14，對應(yīng)用了作為本發(fā)明的一個實施方式所涉及的振動片的陀螺元件2、使用了作為振動片的陀螺元件2的振子1、或者作為電子裝置的陀螺傳感器80的電子設(shè)備進(jìn)行詳細(xì)說明。另外，在說明中，例示了使用了振子I的示例，所述振子I使用了作為振動片的陀螺元件2。
[0197]圖12為表示作為具備本發(fā)明的一個實施方式所涉及的振子I的電子設(shè)備的、便攜式(或筆記本式)個人計算機(jī)的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。在該圖中，個人計算機(jī)1100通過具備鍵盤1102的主體部1104、和具備顯示部100的顯示單元1106而構(gòu)成，并且顯示單元1106以能夠通過鉸鏈結(jié)構(gòu)部而相對于主體部1104進(jìn)行轉(zhuǎn)動的方式被支承。在這樣的個人計算機(jī)1100中內(nèi)置有振子1，所述振子I使用了具備對角速度進(jìn)行檢測的功能的陀螺元件2。
[0198]圖13為表示作為具備本發(fā)明的一個實施方式所涉及的振子I的電子設(shè)備的、移動電話(也包括PHS:Personal Handy-phone System,個人移動電話系統(tǒng))的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。在該圖中，移動電話1200具備多個操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202和聽筒1204之間配置有顯示部100。在這樣的移動電話1200中內(nèi)置有振子1，所述振子I使用了作為角速度傳感器等而發(fā)揮功能的陀螺元件2。
[0199]圖14為表示作為具備本發(fā)明的一個實施方式所涉及的振子I的電子設(shè)備的、數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。另外，在該圖中，還簡單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。在此，普通的照相機(jī)通過被攝物體的光學(xué)圖像而使銀鹽感光膠片感光，與此相對，數(shù)碼照相機(jī)1300通過CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合元件)等攝像元件而對被攝物體的光學(xué)圖像進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換，從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0200]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部100，并且成為根據(jù)CCD的攝像信號而進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部100作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在外殼1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?，設(shè)置有包括光學(xué)鏡片(攝像光學(xué)系統(tǒng))和CXD等在內(nèi)的受光單元1304。
[0201]當(dāng)攝影者對被顯示在顯示部100上的被攝圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時，該時間點(diǎn)的CCD的攝像信號將被傳送并存儲于存儲器1308中。此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面設(shè)置有影像信號輸出端子1312、和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要，而在影像信號輸出端子1312上連接有影像監(jiān)視器1430，在數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314上連接有個人計算機(jī)1440。而且，成為如下的結(jié)構(gòu)，SP，通過預(yù)定的操作，從而使存儲于存儲器1308中的攝像信號向影像監(jiān)視器1430或個人計算機(jī)1440輸出。在這樣的數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有振子1，所述振子I使用了作為角速度傳感器等而發(fā)揮功能的陀螺元件2。
[0202]另外，本發(fā)明的一個實施方式所涉及的振子I除了能夠應(yīng)用于圖12的個人計算機(jī)(便攜式個人計算機(jī))、圖13的移動電話、圖14的數(shù)碼照相機(jī)中之外，還能夠應(yīng)用于如下的裝置中，例如，噴墨式噴出裝置(例如，噴墨打印機(jī))、膝上型個人計算機(jī)、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、車輛導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括帶有通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、臺式電子計算機(jī)、電子游戲機(jī)、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用視頻監(jiān)控器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS (Point of Sale:銷售點(diǎn))終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計、血壓計、血糖儀、心電圖計測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計量儀器類(例如，車輛、飛機(jī)、船舶的計量儀器類)、飛行模擬器等電子設(shè)備。
[0203]移動體
[0204]圖15為概要性地表示作為移動體的一個示例的汽車的立體圖。在汽車106中搭載有使用了本發(fā)明所涉及的陀螺元件2的振子I。例如，如該圖所示，在作為移動體的汽車106中，內(nèi)置有使用了陀螺元件2的振子1，并且對輪胎109等進(jìn)行控制的電子控制單元108被搭載于車身107上。此外，振子I還能夠廣泛應(yīng)用于智能無匙進(jìn)入系統(tǒng)、發(fā)動機(jī)防盜鎖止裝置、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)、汽車空調(diào)、防抱死制動系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、發(fā)動機(jī)控制器、混合動力汽車或電動汽車的電池監(jiān)控器、車身姿態(tài)控制系統(tǒng)等的電子控制單元(EQJ !electronic control unit)中。
[0205]符號說明
[0206]I…振子；2…作為振動片的陀螺兀件；4…振動體；8…導(dǎo)電性固定部件(銀膏)；9…封裝件;10…連接襯墊;lla、llb、llc、lld…第二錘部；12a、12b、12c、12d…第一錘部；13a、13b、13c、13d…錘部;14、15…檢測臂錘層；25、26…錘部；41…基部;51…第一支承部；51a…接合部；51b…接合部；52…第二支承部；52a…接合部；52b…接合部；61…第一梁;62…第二梁;63…第三梁;64…第四梁;91…基座;92…蓋;106…作為移動體的汽車；421…第一檢測振動臂；422…第二檢測振動臂；425、426、445、446、447、448…作為寬度寬大部的重量部(錘頭)；431…第一連結(jié)臂；432…第二連結(jié)臂；441…第一驅(qū)動振動臂；442…第二驅(qū)動振動臂；443…第三驅(qū)動振動臂；444…第四驅(qū)動振動臂；447a、448a…重量部的頂端；714…作為固定部的檢測信號端子；724…作為固定部的檢測接地端子；734…作為固定部的驅(qū)動信號端子；744…作為 固定部的驅(qū)動信號端子；911…底板；912…側(cè)壁；124a、124b…調(diào)節(jié)用電極(金屬層)；1100…作為電子設(shè)備的便攜式個人計算機(jī)；1200…作為電子設(shè)備的移動電話；1300…作為電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)。
【權(quán)利要求】
1.一種振動片，其特征在于，具備: 基部; 一對振動臂，其從所述基部起相互向相反方向延伸； 第一錘部，其以從至少一個所述振動臂的頂端向所述基部側(cè)隔開間隔的方式，而被設(shè)置在所述至少一個所述振動臂上； 第二錘部，其被設(shè)置在所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域內(nèi)， 在將設(shè)置有所述第一錘部的區(qū)域設(shè)為第一區(qū)域，將所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域設(shè)為第二區(qū)域， 并將所述第一區(qū)域的面積設(shè)為Al，將所述第一錘部的質(zhì)量設(shè)為BI， 且將所述第二區(qū)域的面積設(shè)為A2，將所述第二錘部的質(zhì)量設(shè)為B2時，
B1/A1 > B2/A2。
2.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述第二錘部在與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的寬度，小于所述第一錘部的所述寬度。
3.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述第二錘部被設(shè)置于，與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的大致中央部處。
4.如權(quán)利要求2所述的振動片，其特征在于， 所述第二錘部被設(shè)置于，與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的大致中央部處。
5.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述第二錘部由多個第三錘部構(gòu)成。
6.如權(quán)利要求2所述的振動片，其特征在于， 所述第二錘部由多個第三錘部構(gòu)成。
7.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述第一錘部以與沿著所述至少一個所述振動臂的延伸方向的、所述至少一個所述振動臂的側(cè)端之間隔開間隔的方式而被設(shè)置。
8.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
9.如權(quán)利要求1所述的振動片，其特征在于， 設(shè)置有一對檢測用振動臂， 所述一對檢測用振動臂從所述基部起相互向相反方向延伸。
10.如權(quán)利要求2所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
11.如權(quán)利要求3所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
12.如權(quán)利要求4所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
13.如權(quán)利要求5所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
14.如權(quán)利要求6所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
15.如權(quán)利要求7所述的振動片，其特征在于， 所述至少一個所述振動臂具備寬度寬大部，所述寬度寬大部以如下方式形成，即，在俯視觀察時與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的一部分的寬度，寬于與所述至少一個所述振動臂的延伸方向正交的方向上的、所述至少一個所述振動臂的其他部分的寬度， 所述第一錘部以及所述第二錘部被設(shè)置于所述寬度寬大部上。
16.一種振動片的制造方法，其特征在于，包括: 形成包括基部和一對振動臂在內(nèi)的外形形狀的工序，所述一對振動臂從所述基部起相互向相反方向延伸； 以從至少一個所述振動臂的頂端向所述基部側(cè)隔開間隔的方式，在所述至少一個所述振動臂上形成第一錘部，并在所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域內(nèi)形成第二錘部的工序； 去除所述第一錘部以及所述第二錘部中的至少一方的至少一部分、或者增加所述第一錘部以及所述第二錘部中的至少一方的質(zhì)量，從而對所述振動臂的共振頻率進(jìn)行調(diào)節(jié)的工序， 在將設(shè)置有所述第一錘部的區(qū)域設(shè)為第一區(qū)域，將所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域設(shè)為第二區(qū)域， 并將所述第一區(qū)域的面積設(shè)為Al，將所述第一錘部的質(zhì)量設(shè)為BI， 且將所述第二區(qū)域的面積設(shè)為A2，將所述第二錘部的質(zhì)量設(shè)為B2時， 以B1/A1 > B2/A2的關(guān)系形成。
17.如權(quán)利要求16所述的振動片的制造方法，其特征在于， 形成所述第一錘部和所述第二錘部的工序包括: 以從所述至少一個所述振動臂的頂端向所述基部側(cè)隔開間隔的方式，在所述至少一個所述振動臂上形成所述第一錘部的工序； 在所述第一錘部的頂端與所述至少一個所述振動臂的頂端之間的區(qū)域內(nèi)形成所述第二錘部的工序。
18.—種振子，其特征在于，具備: 權(quán)利要求1所述的振動片； 封裝件，其對所述振動 片進(jìn)行收納。
19.一種電子裝置，其特征在于，具備: 權(quán)利要求1所述的振動片； 電路元件，其至少具有使所述振動片進(jìn)行驅(qū)動的功能。
20.一種電子設(shè)備，其特征在于，具備權(quán)利要求1所述的振動片。
21.—種移動體，其特征在于，具備權(quán)利要求1所述的振動片。
【文檔編號】G01C19/56GK103575261SQ201310308770
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年7月22日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月23日
【發(fā)明者】山口啓一, 小倉誠一郎, 菊池尊行, 西澤竜太, 大澤征司 申請人:精工愛普生株式會社