一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，包括外保護(hù)層、內(nèi)保護(hù)層、PZT層和基載層。本發(fā)明提供的壓電薄膜結(jié)構(gòu)以硅膠和聚乙烯復(fù)合物分別作為內(nèi)、外保護(hù)層，能夠有效緩解PZT層磨損、延長(zhǎng)薄膜使用壽命，同時(shí)上述材質(zhì)的保護(hù)層不影響薄膜對(duì)壓力的靈敏感知以及電信號(hào)傳輸。此外，該技術(shù)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低、應(yīng)用前景廣泛的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】—種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及壓力傳感器【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002]壓力傳感器技術(shù)廣泛應(yīng)用于社會(huì)生產(chǎn)活動(dòng)的方方面面，在該技術(shù)中，壓力傳感器感知壓力作用，并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)輸出，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)壓力的快速識(shí)別。在該技術(shù)中，確保傳感器能夠精確感知壓力是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一，其中壓電薄膜作為一種輕便、靈敏的壓力感知部件廣泛應(yīng)用于壓力傳感器技術(shù)。但是，薄膜本身比較脆弱長(zhǎng)期外露容易損壞，如果外覆保護(hù)層又會(huì)影響薄膜的靈敏度，因此有必要開發(fā)一種能夠有效避免壓電薄膜磨損同時(shí)又能保證其靈敏度的壓電薄膜結(jié)構(gòu)。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]未解決現(xiàn)有技術(shù)的技術(shù)缺陷，本發(fā)明提供一種能夠有效避免壓電薄膜磨損同時(shí)又能保證其靈敏度的用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)。
[0004]為實(shí)現(xiàn)以上技術(shù)目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，包括外保護(hù)層、內(nèi)保護(hù)層、PZT層和基載層，其中PZT層外覆于基載層表面并與基載層緊密貼合，內(nèi)保護(hù)層外覆于PZT層另一面并與PZT層緊密貼合，外保護(hù)層外覆于內(nèi)保護(hù)層另一面并與內(nèi)保護(hù)層緊密貼合。在上述結(jié)構(gòu)中，外保護(hù)層的厚度小于PZT層的厚度；內(nèi)保護(hù)層的厚度小于PZT層的厚度；外保護(hù)層的材質(zhì)為聚乙烯復(fù)合物；內(nèi)保護(hù)層的材質(zhì)為硅膠。
[0006]本發(fā)明提供的壓電薄膜結(jié)構(gòu)以硅膠和聚乙烯復(fù)合物分別作為內(nèi)、外保護(hù)層，能夠有效緩解PZT層磨損、延長(zhǎng)薄膜使用壽命，同時(shí)上述材質(zhì)的保護(hù)層不影響薄膜對(duì)壓力的靈敏感知以及電信號(hào)傳輸。此外，該技術(shù)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低、應(yīng)用前景廣泛的優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖
[0008]圖中:
[0009]1、外保護(hù)層2、內(nèi)保護(hù)層3、PZT層4、基載層

【具體實(shí)施方式】
[0010]取成型完畢的基載層4、PZT層3、內(nèi)保護(hù)層2、外保護(hù)層1，其中內(nèi)保護(hù)層2的材質(zhì)為硅膠、外保護(hù)層I的材質(zhì)為聚乙烯復(fù)合物、其中外保護(hù)層I的厚度與內(nèi)保護(hù)層2的厚度均小于PZT層3。將PZT層3外覆于基載層4表面并與基載層4緊密貼合，內(nèi)保護(hù)層2外覆于PZT層3另一面并與PZT層3緊密貼合，外保護(hù)層I外覆于內(nèi)保護(hù)層2另一面并與內(nèi)保護(hù)層2緊密貼合。至此，即完成本發(fā)明的具體實(shí)施。
[0011]以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，并不用以限制本發(fā)明。凡在本發(fā)明的申請(qǐng)范圍內(nèi)所做的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，包括PZT層(3)和基載層(4)，其特征在于還包括外保護(hù)層(I)和內(nèi)保護(hù)層(2)，其中PZT層(3)外覆于基載層表面并與基載層(4)緊密貼合，內(nèi)保護(hù)層(2)外覆于PZT層(3)另一面并與PZT層(3)緊密貼合，外保護(hù)層(I)外覆于內(nèi)保護(hù)層(2)另一面并與內(nèi)保護(hù)層(2)緊密貼合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外保護(hù)層(I)的厚度小于PZT層(3)的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，其特征在于所述內(nèi)保護(hù)層(2)的厚度小于PZT層(3)的厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，其特征在于所述外保護(hù)層(I)的材質(zhì)為聚乙烯復(fù)合物。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于壓力傳感器的壓電薄膜結(jié)構(gòu)，其特征在于所述內(nèi)保護(hù)層(2)的材質(zhì)為硅膠。
【文檔編號(hào)】G01L1/16GK104465981SQ201310439233
【公開日】2015年3月25日 申請(qǐng)日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月24日
【發(fā)明者】李振聲 申請(qǐng)人:天津霖田冶金科技有限公司