一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置，包括測(cè)量平臺(tái)，所述的測(cè)量平臺(tái)包括調(diào)整墊腳、平臺(tái)、工控機(jī)和固定橫梁；所述的工控機(jī)設(shè)在調(diào)整墊腳上；所述的平臺(tái)設(shè)在工控機(jī)上；所述的固定橫梁設(shè)在平臺(tái)上；安裝座，所述的安裝座設(shè)在固定橫梁上；Z軸，所述的Z軸及Z軸動(dòng)板安裝在安裝座的上橫條上；Y軸，所述的Y軸及Y軸動(dòng)板安裝在平臺(tái)上；X軸，所述的X軸固定在固定橫梁上、與Y軸運(yùn)動(dòng)方向相互垂直；上測(cè)頭，所述的上測(cè)頭安裝在Z軸動(dòng)板上；下測(cè)頭，所述的下測(cè)頭通過(guò)安裝座固定在安裝座的下橫條上；薄板承載臺(tái)，所述的薄板承載臺(tái)固定在Y軸動(dòng)板上。本實(shí)用新型進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和測(cè)量效率，為薄板平面度、厚度等精密測(cè)量提供了優(yōu)化解決方案。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及測(cè)量設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量
>J-U ρ?α裝直。
【背景技術(shù)】
[0002]在表面貼裝技術(shù)(SMT)、精密薄板制造等領(lǐng)域，大量制造或使用精密薄板。如表面貼裝行業(yè)使用的網(wǎng)板基材，材料種類(lèi)涉及不銹鋼、鎳、鎳合金等，厚度一般在Imm內(nèi)，且在其加工工藝過(guò)程中，需要經(jīng)過(guò)電鑄、電鍍、拋光、蝕刻、激光切割等工序，中間產(chǎn)生的半成品及最終的成品，均需要進(jìn)行厚度均勻性的測(cè)量，以確保最終的產(chǎn)品符合客戶(hù)要求；精密薄板制造方面，如大型鋼廠為表面貼裝行業(yè)提供的各種不銹鋼等提供的板材，以及銅箔、鎳片等精密薄板的制造，這類(lèi)板材均有共同特點(diǎn)，材料薄(一般在2mm厚度以?xún)?nèi))、對(duì)厚度均勻性及平面度有嚴(yán)格要求，否則會(huì)影響其后端以此為基材的各類(lèi)產(chǎn)品的品質(zhì)要求。隨著市場(chǎng)對(duì)精密薄板性能提出越來(lái)越高的要求，這些基礎(chǔ)材料平面度、厚度等重要形狀特征的質(zhì)量控制越來(lái)越嚴(yán)格，以確保最終成品的性能和可靠性。
[0003]盡管精密薄板肉眼觀察均是光滑的平整表面，但在顯微鏡下，其表面均呈現(xiàn)不同程度的鋸齒狀特征，這是由其表面微觀結(jié)構(gòu)所決定，傳統(tǒng)對(duì)薄板的厚度和平面度進(jìn)行測(cè)量的方式一般采用非接觸式的光學(xué)測(cè)量方法來(lái)實(shí)現(xiàn)，平面度測(cè)量時(shí)僅需要使用一個(gè)激光位移傳感器，而厚度測(cè)量有采用一個(gè)或兩個(gè)激光位移傳感器的實(shí)現(xiàn)方式，這取決于客戶(hù)提出的具體需求，采取非接觸的光學(xué)測(cè)量方式對(duì)薄板進(jìn)行平面度或厚度的測(cè)量，在測(cè)量過(guò)程中，激光位移傳感器不會(huì)直接與薄板表面接觸，而是通過(guò)激光位移傳感器發(fā)出一束光，打在材料表面，以與入射光束呈一定角度反射，被激光位移傳感器信號(hào)接收窗口接收，再根據(jù)因材料表面凸凹不平，則會(huì)直接反·映到接收窗口，并通過(guò)內(nèi)部標(biāo)尺，實(shí)時(shí)測(cè)量所反饋光束因材料表面高低不平所產(chǎn)生的位移變化量，通過(guò)機(jī)器視覺(jué)和圖像處理技術(shù)，即可計(jì)算出這個(gè)變化量的具體數(shù)值，最終由測(cè)量軟件計(jì)算出薄板厚度或平面度，這種測(cè)量方式可在測(cè)量過(guò)程中不導(dǎo)致薄板表面損傷，但由于薄板表面均存在不同程度的鋸齒狀微觀結(jié)構(gòu)，這種微觀結(jié)構(gòu)尺寸一般在IOum甚至更小范圍內(nèi)，其所產(chǎn)生的反光效應(yīng)，足以對(duì)激光光束反射角度造成較大影響，直接導(dǎo)致測(cè)量精度下降，且不同材料間反光效應(yīng)影響不同，而即使是同一種材料的同一批產(chǎn)品，所測(cè)量的結(jié)果也不盡相同，導(dǎo)致重復(fù)測(cè)量精度不高，另外，由于機(jī)器視覺(jué)和圖像處理技術(shù)發(fā)展到今天，最小分辨率還只能到亞微米級(jí)，使得最終精密薄材的測(cè)量精度難有突破，而高端電子產(chǎn)品市場(chǎng)對(duì)產(chǎn)品性能越來(lái)越高，從而對(duì)用于電路基材的各類(lèi)薄板也提出了更高的質(zhì)量要求，因此，傳統(tǒng)針對(duì)薄板平面度、厚度的測(cè)量方法難以滿(mǎn)足市場(chǎng)提出越來(lái)越高的測(cè)量需求。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種僅需測(cè)量前和測(cè)量后由測(cè)量員上料和下料、測(cè)量過(guò)程中無(wú)需人工干預(yù)的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置。[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案，一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置，包括測(cè)量平臺(tái)，所述的測(cè)量平臺(tái)包括調(diào)整墊腳、平臺(tái)、工控機(jī)和固定橫梁；所述的工控機(jī)設(shè)在調(diào)整墊腳上；所述的平臺(tái)設(shè)在工控機(jī)上；所述的固定橫梁設(shè)在平臺(tái)上；安裝座，所述的安裝座設(shè)在固定橫梁上'I軸，所述的Z軸及Z軸動(dòng)板安裝在安裝座的上橫條上；Y軸，所述的Y軸及Y軸動(dòng)板安裝在平臺(tái)上，設(shè)于Z軸的正下方、垂直安裝于Z軸；X軸，所述的X軸固定在固定橫梁上、與Y軸運(yùn)動(dòng)方向相互垂直；上測(cè)頭，所述的上測(cè)頭安裝在Z軸動(dòng)板上；下測(cè)頭，所述的下測(cè)頭通過(guò)安裝座固定在安裝座的下橫條上；薄板承載臺(tái)，所述的薄板承載臺(tái)固定在Y軸動(dòng)板上，薄板的夾持位置處于上、下測(cè)頭之間。
[0006]作為優(yōu)選，所述的測(cè)頭包括探針、彈性裝置、方形空氣導(dǎo)軌、空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座、激光位移傳感器、頂板、光柵尺、空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭、測(cè)頭安裝座、測(cè)頭安裝底板和底板，所述的方形空氣導(dǎo)軌安裝在測(cè)頭安裝底板上，探針連接方形空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯的下端、貫穿底板，導(dǎo)芯下端與底板之間設(shè)有彈性裝置，空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座設(shè)在方形空氣導(dǎo)軌的上方，激光位移傳感器設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座的上方，與傳感器相連接的數(shù)據(jù)線(xiàn)貫穿頂板，光柵尺設(shè)置在激光位移傳感器的左側(cè)，空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座的左側(cè)、連接進(jìn)氣座，測(cè)頭安裝座設(shè)在測(cè)頭安裝底板的左側(cè)。
[0007] 作為優(yōu)選，所述的光柵尺平行安裝于激光位移傳感器。
[0008]作為優(yōu)選，所述的彈性裝置為精密彈簧。
[0009]作為優(yōu)選，所述方形空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)芯內(nèi)部為空芯結(jié)構(gòu)，頂部連接方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座。
[0010]作為優(yōu)選，所述的方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座側(cè)面連接方形空氣導(dǎo)軌供氣接頭。
[0011]作為優(yōu)選，所述的薄板承載臺(tái)包括:裝置主體，所述的裝置主體包括型材架、型材架固定件和型材架角連接件；所述的型材架由若干根型材連接構(gòu)成長(zhǎng)方體；所述的型材架固定件用于固定型型材的位置；所述的型材架角連接件用于固定型材之間的角度；導(dǎo)軌，所述的導(dǎo)軌固定在前后方向的型材上；滑塊，所述的滑塊設(shè)有兩個(gè)，設(shè)在導(dǎo)軌上；壓塊，所述的壓塊固定在前后同向的各兩個(gè)滑塊上；氣缸，所述的氣缸通過(guò)壓塊底部的氣缸固定座安裝在壓塊上，氣缸在同一壓塊上前后各分布兩個(gè)；滑桿，所述的滑桿安裝在壓塊內(nèi)表面；限位銷(xiāo)釘，所述的限位銷(xiāo)釘設(shè)在壓塊的上表面，限位銷(xiāo)釘分為前限位銷(xiāo)釘和后限位銷(xiāo)釘，分別設(shè)在壓塊的左部和右部；固定板，所述的固定板設(shè)在壓塊的兩端。
[0012]作為優(yōu)選，所述的型材為鋁合金。
[0013]作為優(yōu)選，所述氣缸固定座的上端和下端分別設(shè)有氣缸上進(jìn)氣接頭和下進(jìn)氣接頭。
[0014]作為優(yōu)選，所述壓塊的右側(cè)設(shè)有限位塊。
[0015]本實(shí)用新型提出了一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置，不需要依賴(lài)機(jī)器視覺(jué)和圖像處理技術(shù)，測(cè)頭直接與薄板接觸，通過(guò)精密氣動(dòng)技術(shù)精確控制與材料表面接觸的測(cè)量力，確保不損傷被測(cè)對(duì)象前提下，最大程度地提高了測(cè)量精度，同時(shí)，通過(guò)將薄板利用絲印方式或是拉壓方式有效夾持，并在薄板上、下各安裝一個(gè)精密測(cè)頭，采取花崗巖固定龍門(mén)結(jié)構(gòu)布局和精密三自由度軸系的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)薄板平面度、厚度自動(dòng)復(fù)合測(cè)量功能，僅需測(cè)量前和測(cè)量后由測(cè)量員上料和下料，測(cè)量過(guò)程中無(wú)需人工干預(yù)，進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和測(cè)量效率，為表面貼裝技術(shù)、精密薄板制造等領(lǐng)域的薄板平面度、厚度等精密測(cè)量提供了綜合優(yōu)化解決方案?！緦?zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為測(cè)頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖3為測(cè)頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖4為方形空氣導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖5為薄板承載臺(tái)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖中:1.測(cè)量員；2.鍵盤(pán)；3.鼠標(biāo)；4.顯不器；5.Z軸；6.薄板承載臺(tái)；7.氣動(dòng)豐旲塊安裝箱；8.安裝座；9.固定橫梁；10.X軸；11.平臺(tái)；12.Y軸；13.調(diào)整墊腳；14.控制器；15.工控機(jī)；16.停止按鈕；17.啟動(dòng)按鈕；18.緊急停止按鈕；19.顯示器支架；20.下測(cè)頭安裝座；21.下測(cè)頭；22.上測(cè)頭；23.探針；24.精密彈簧；25.方形空氣導(dǎo)軌；26.空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座；27.激光位移傳感器；28.頂板；29.光柵尺；30.空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭；31.測(cè)頭安裝座；32.測(cè)頭安裝底板；33.底板；34.空氣導(dǎo)軌供氣接頭；35.導(dǎo)芯；36、數(shù)據(jù)線(xiàn)；37.鋁合金型材架；38.型材架固定件；39-1.氣缸；39-2.氣缸固定座；40.氣缸下進(jìn)氣接頭；41.氣缸上進(jìn)氣接頭；42.導(dǎo)軌；43.限位塊；44.壓塊；45_1.前限位銷(xiāo)釘；45_2.后限位銷(xiāo)釘；46.滑桿；47.滑塊；48.固定板；49.型材架角連接件。
【具體實(shí)施方式】
[0022]下面詳細(xì)描述本實(shí)用新型的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類(lèi)似的標(biāo)號(hào)表示相同或類(lèi)似的元件或具有相同或類(lèi)似功能的元件。下面通過(guò)參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本實(shí)用新型，而不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。
·[0023]參見(jiàn)圖1至圖5所示，一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置，包括測(cè)量平臺(tái)，所述的測(cè)量平臺(tái)包括調(diào)整墊腳13、平臺(tái)11、工控機(jī)15和固定橫梁9 ;所述的工控機(jī)15設(shè)在調(diào)整墊腳13上；所述的平臺(tái)11設(shè)在工控機(jī)15上；所述的固定橫梁9設(shè)在平臺(tái)11上；安裝座8，所述的安裝座8設(shè)在固定橫梁9上；Z軸5，所述的Z軸5及Z軸動(dòng)板安裝在安裝座8的上橫條上；￥軸12，所述的Y軸12及Y軸動(dòng)板安裝在平臺(tái)11上，設(shè)于Z軸5的正下方、垂直安裝于Z軸5 ;X軸10，所述的X軸10固定在固定橫梁9上、與Y軸12運(yùn)動(dòng)方向相互垂直；上測(cè)頭22，所述的上測(cè)頭22安裝在Z軸動(dòng)板上；下測(cè)頭21，所述的下測(cè)頭21通過(guò)安裝座8固定在安裝座8的下橫條上；薄板承載臺(tái)6,所述的薄板承載臺(tái)6固定在Y軸動(dòng)板上，薄板的夾持位置處于上、下測(cè)頭之間。
[0024]所述的薄板承載臺(tái)6包括鋁合金型材架37、型材架固定件38、氣缸固定座39_2、氣缸下進(jìn)氣接頭40、氣缸上進(jìn)氣接頭41、導(dǎo)軌42、限位塊43、壓塊44、前后限位銷(xiāo)釘、滑桿46、滑塊47、固定板48和型材架角連接件49，主體由鋁合金型材架37通過(guò)型材架固定件38和型材架角連接件49裝配而成，在前后方向的鋁合金型材上固定有導(dǎo)軌42，每根導(dǎo)軌42上有兩個(gè)滑塊47，在前后同向的各兩個(gè)滑塊47上分別固定一根壓塊44，壓塊44底部通過(guò)氣缸固定座39-2安裝有氣缸39-1，氣缸39-1在同一根壓塊44上前后各分布兩個(gè)，而壓塊44內(nèi)表面安裝有滑桿46，當(dāng)安裝有薄板的絲印框或拉壓鋁框放置到該滑桿46上時(shí)，滑桿46對(duì)其起到支撐作用，并順著滑桿46向后移動(dòng)，直到碰到后定位銷(xiāo)釘45-2為止，放置到位置后，給前后氣缸供氣，通過(guò)氣缸39-1的向上運(yùn)動(dòng)將將薄板的絲印框或拉壓鋁框向上頂，直到其碰到壓塊44的下表面為止，通過(guò)這種方式可將薄板的絲印框或拉壓鋁框牢靠地固定在薄板承載臺(tái)上。
[0025]所述的測(cè)頭包括探針23、精密彈簧24、方形空氣導(dǎo)軌25、空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座26、激光位移傳感器27、頂板28、光柵尺29、空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭30、測(cè)頭安裝座31、測(cè)頭安裝底板32和底板33，所述的方形空氣導(dǎo)軌25安裝在測(cè)頭安裝底板32上，所述方形空氣導(dǎo)軌25的導(dǎo)芯35內(nèi)部為空芯結(jié)構(gòu)，頂部連接方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座26，方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座26側(cè)面連接方形空氣導(dǎo)軌供氣接頭34，探針23連接方形空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯35的下端、貫穿底板33，導(dǎo)芯35下端與底板33之間設(shè)有精密彈簧24，空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座26設(shè)在方形空氣導(dǎo)軌25的上方，激光位移傳感器27設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座26的上方，與傳感器27相連接的數(shù)據(jù)線(xiàn)36貫穿頂板，光柵尺29平行安裝于激光位移傳感器27的左側(cè)，空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭30設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座26的左側(cè)、連接進(jìn)氣座26，測(cè)頭安裝座31設(shè)在測(cè)頭安裝底板32的左側(cè)。
[0026]當(dāng)向方形空氣導(dǎo)軌25供氣時(shí)，則壓縮空氣會(huì)通過(guò)氣流孔傳遞到方形導(dǎo)軌25 “ 口 ”字形的各內(nèi)導(dǎo)向面，這些導(dǎo)向面上分布有導(dǎo)氣槽，通過(guò)導(dǎo)氣槽將具有一定氣壓的壓縮空氣供應(yīng)到導(dǎo)芯35與方形導(dǎo)軌25“口”字形的各內(nèi)導(dǎo)向面之間，形成具有一定壓力的氣膜層，從而形成空氣導(dǎo)軌，導(dǎo)芯35僅能在方形導(dǎo)軌25中上下精確運(yùn)動(dòng)，導(dǎo)芯35內(nèi)部為空芯結(jié)構(gòu)，頂部連接著方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座26，該進(jìn)氣座26側(cè)方安裝有供氣接頭34，頂部安裝有光柵尺29，通過(guò)與光柵尺29平行安裝的激光位移傳感器27來(lái)測(cè)定探針23隨工件表面形貌變化而導(dǎo)致導(dǎo)芯35上下垂直運(yùn)動(dòng)的位移量，從激光位移傳感器27讀到的位移量值通過(guò)數(shù)據(jù)線(xiàn)36實(shí)時(shí)傳輸?shù)綔y(cè)量系統(tǒng)，并及時(shí)在測(cè)量軟件中顯示測(cè)量結(jié)果。
[0027]本實(shí)用新型提出了一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置，不需要依賴(lài)機(jī)器視覺(jué)和圖像處理技術(shù)，測(cè)頭直接與薄板接觸，通過(guò)精密氣動(dòng)技術(shù)精確控制與材料表面接觸的測(cè)量力，確保不損傷被測(cè)對(duì)象前提下，最大程度地提高了測(cè)量精度，同時(shí)，通過(guò)將薄板利用絲印方式或是拉壓方式有效夾持，并在薄板上、下各安裝一個(gè)精密測(cè)頭，采取花崗巖固定龍門(mén)結(jié)構(gòu)布局和精密三自由度軸系的運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)薄板平面度、厚度自動(dòng)復(fù)合測(cè)量功能，僅需測(cè)量前和測(cè)量后由測(cè)量員上料和下料，測(cè)量過(guò)程中無(wú)需人工干預(yù)，進(jìn)一步提高了測(cè)量精度和測(cè)量效率，為表面貼裝技術(shù)、精密薄板制造等領(lǐng)域的薄板平面度、厚度等精密測(cè)量提供了綜合優(yōu)化解決方案。
[0028]在本說(shuō)明書(shū)的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“ 一個(gè)實(shí)施例”、“ 一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本實(shí)用新型的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說(shuō)明書(shū)中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。
[0029]盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解:在不脫離本實(shí)用新型的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
【權(quán)利要求】
1.一種具有復(fù)合測(cè)量功能的自動(dòng)薄板測(cè)量裝置，其特征在于，包括: 測(cè)量平臺(tái)，所述的測(cè)量平臺(tái)包括調(diào)整墊腳、平臺(tái)、工控機(jī)和固定橫梁； 所述的工控機(jī)設(shè)在調(diào)整墊腳上； 所述的平臺(tái)設(shè)在工控機(jī)上； 所述的固定橫梁設(shè)在平臺(tái)上； 安裝座，所述的安裝座設(shè)在固定橫梁上； Z軸，所述的Z軸及Z軸動(dòng)板安裝在安裝座的上橫條上； Y軸，所述的Y軸及Y軸動(dòng)板安裝在平臺(tái)上，設(shè)于Z軸的正下方、垂直安裝于Z軸； X軸，所述的X軸固定在固定橫梁上、與Y軸運(yùn)動(dòng)方向相互垂直； 上測(cè)頭，所述的上測(cè)頭安裝在Z軸動(dòng)板上； 下測(cè)頭，所述的下測(cè)頭通過(guò)安裝座固定在安裝座的下橫條上； 薄板承載臺(tái)，所述的薄板承載臺(tái)固定在Y軸動(dòng)板上，薄板的夾持位置處于上、下測(cè)頭之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的測(cè)頭包括探針、彈性裝置、方形空氣導(dǎo)軌、空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座、激光位移傳感器、頂板、光柵尺、空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭、測(cè)頭安裝座、測(cè)頭安裝底板和底板，所述的方形空氣導(dǎo)軌安裝在測(cè)頭安裝底板上，探針連接方形空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯的下端`、貫穿底板，導(dǎo)芯下端與底板之間設(shè)有彈性裝置，空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座設(shè)在方形空氣導(dǎo)軌的上方，激光位移傳感器設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座的上方，與傳感器相連接的數(shù)據(jù)線(xiàn)貫穿頂板，光柵尺設(shè)置在激光位移傳感器的左側(cè)，空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座的左側(cè)、連接進(jìn)氣座，測(cè)頭安裝座設(shè)在測(cè)頭安裝底板的左側(cè)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的光柵尺平行安裝于激光位移傳感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的彈性裝置為精密彈簧。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述方形空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)芯內(nèi)部為空芯結(jié)構(gòu)，頂部連接方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座側(cè)面連接方形空氣導(dǎo)軌供氣接頭。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的薄板承載臺(tái)包括:裝置主體，所述的裝置主體包括型材架、型材架固定件和型材架角連接件；所述的型材架由若干根型材連接構(gòu)成長(zhǎng)方體；所述的型材架固定件用于固定型型材的位置；所述的型材架角連接件用于固定型材之間的角度；導(dǎo)軌，所述的導(dǎo)軌固定在前后方向的型材上；滑塊，所述的滑塊設(shè)有兩個(gè)，設(shè)在導(dǎo)軌上；壓塊，所述的壓塊固定在前后同向的各兩個(gè)滑塊上；氣缸，所述的氣缸通過(guò)壓塊底部的氣缸固定座安裝在壓塊上，氣缸在同一壓塊上前后各分布兩個(gè)；滑桿，所述的滑桿安裝在壓塊內(nèi)表面；限位銷(xiāo)釘，所述的限位銷(xiāo)釘設(shè)在壓塊的上表面，限位銷(xiāo)釘分為前限位銷(xiāo)釘和后限位銷(xiāo)釘，分別設(shè)在壓塊的左部和右部；固定板，所述的固定板設(shè)在壓塊的兩端。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的型材為鋁合金。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述氣缸固定座的上端和下端分別設(shè)有氣缸上進(jìn)氣接頭和下進(jìn)氣接頭。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所 述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述壓塊的右側(cè)設(shè)有限位塊。
【文檔編號(hào)】G01B11/06GK203405179SQ201320485950
【公開(kāi)日】2014年1月22日 申請(qǐng)日期:2013年8月9日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月9日
【發(fā)明者】夏發(fā)平 申請(qǐng)人:昆山允可精密工業(yè)技術(shù)有限公司