用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型為用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于：所述的氦離子化氣相色譜儀包括色譜柱箱、溫控系統(tǒng)、信號(hào)采集處理系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，所述的信號(hào)采集系統(tǒng)包括氦離子化檢測器和色譜柱工作站，所述的溫控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各個(gè)色譜柱和檢測器的獨(dú)立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時(shí)間程序升溫，所述色譜柱工作站的結(jié)構(gòu)包括三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路，所述的三個(gè)切換閥為一個(gè)十通閥和兩個(gè)六通閥，所述的氦離子化檢測器與色譜柱工作站的線路連接。本實(shí)用新型針對(duì)高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)進(jìn)行分析，通過氦離子化檢測器高靈敏度實(shí)現(xiàn)ppb級(jí)別雜質(zhì)分析，實(shí)現(xiàn)一次進(jìn)樣操作即完成對(duì)鍺烷雜質(zhì)的全分析。
【專利說明】用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種氣相色譜儀，特別是公開一種微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，利用氦離子檢測器的高靈敏度檢測鍺烷中PPb級(jí)別雜質(zhì)，是一種用于對(duì)高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的檢測設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]鍺烷在常溫常壓下為具有不愉快刺激臭的無色劇毒氣體，其作為一種重要的電子工業(yè)用氣體，主要作為半導(dǎo)體材料制造過程中形成鍺硅薄膜的外延生長原料氣，其純度直接關(guān)系到成品半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。隨著國內(nèi)電子工業(yè)的發(fā)展，鍺烷應(yīng)用越來越廣，國內(nèi)生產(chǎn)及應(yīng)用鍺烷的單位越來越多。
[0003]目前分析高純氣體，國內(nèi)一般采用傳統(tǒng)的TCD或FID檢測器，他們檢測器靈敏度大多不高，并且分析所需雜質(zhì)可能要幾臺(tái)色譜連用才能實(shí)現(xiàn)全分析。高純鍺烷氣分析的設(shè)備就更為稀少了。國內(nèi)乃至國際均未制定鍺烷產(chǎn)品和檢測方法的具體標(biāo)準(zhǔn)。由于相關(guān)檢測方法的缺失，國內(nèi)用戶對(duì)于進(jìn)口鍺烷氣體質(zhì)量把關(guān)上存在著盲點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是解決現(xiàn)有技術(shù)的難題，設(shè)計(jì)一種用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，來完善高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)的分析，本實(shí)用新型適合國情，能為用戶接受。
[0005]本實(shí)用新型是這樣實(shí)現(xiàn)的:用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于:所述的氦離子化氣相色譜儀包括色譜柱箱、溫控系統(tǒng)、信號(hào)采集處理系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，所述的信號(hào)采集系統(tǒng)包括氦離子化檢測器和色譜柱工作站，所述的溫控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各個(gè)色譜柱和檢測器的獨(dú)立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時(shí)間程序升溫，所述色譜柱工作站的結(jié)構(gòu)包括三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路，所述的三個(gè)切換閥為一個(gè)十通閥和兩個(gè)六通閥，所述的氦離子化檢測器與色譜柱工作站的線路連接。
[0006]所述色譜柱工作站的三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路分別為第一切換閥1、第二切換閥2、第三切換閥3、第一根Hayes印Q色譜柱14、第二根Hayes印Q色譜柱16、5A分子篩色譜柱15、第一針閥17、第二針閥18、第三針閥19、第四針閥20、第一載氣氣路11、第二載氣氣路12和第三載氣氣路13，它們的連接線路為:
[0007]第一切換閥I上設(shè)有第一根Hayes印Q色譜柱14 ;第二切換閥2和第三切換閥3之間設(shè)有第二根Hayes印Q色譜柱16 ;第一切換閥I和第三切換閥3之間設(shè)有5A分子篩色譜柱15 ;第二切換閥2上接有第一針閥17和第二針閥18 ;第三切換閥3上接有第三針閥19，第四針閥20和所述的氦離子化檢測器相連。
[0008]作為優(yōu)選，第一載氣氣路11氣路與第一切換閥I的④號(hào)接口連接、第二載氣氣路12氣路與第一切換閥I的⑧號(hào)接口連接；樣品進(jìn)口與第一切換閥I的①號(hào)接口連接，樣品出口與第一切換閥I的②號(hào)接口連接，第一切換閥I的③號(hào)接口與第一切換閥I的⑩號(hào)接口用管路連接，在該管路上還設(shè)有定量管5 ;第一切換閥I的⑨號(hào)接口和第一切換閥I的⑥號(hào)接口連接的管路上設(shè)有第一根Hayes印Q色譜柱14 ;第一切換閥I的⑤號(hào)接口和5A分子篩色譜柱15 —端連接；第一切換閥I的⑦號(hào)接口和第二切換閥2的①號(hào)接口連接。
[0009]作為優(yōu)選，第三載氣氣路13氣路與第二切換閥2的③號(hào)接口連接；第二切換閥2的②號(hào)接口與第二根Hayesep Q色譜柱16 —端連接；第二切換閥2的④號(hào)接口與第二針閥18連接、第二切換閥2的⑥號(hào)接口與第一針閥17連接。
[0010]作為優(yōu)選，第三切換閥3的①號(hào)接口與檢測器4連接；第三切換閥3的②號(hào)接口與第二根Hayes印Q色譜柱15另一端連接；第三切換閥3的⑥號(hào)接口和5A分子篩色譜柱15另一端連接；第三切換閥3的⑤號(hào)接口與第三針閥19連接、第三切換閥3的③號(hào)接口與第四針閥20連接。
[0011]作為優(yōu)選，第一針閥17、樣品出口氣路和氦離子化檢測器4出口連接到尾氣處理系統(tǒng)上。
[0012]所述的氦離子化氣相色譜儀采用十通閥正吹GeH4，通過預(yù)柱切割使H2、O2組分、CO2, GeH4, Ge2H6實(shí)現(xiàn)分離，作為優(yōu)選，第一切換閥I為十通吹掃氣動(dòng)切換閥，第二切換閥2、第三切換閥3為六通吹掃氣動(dòng)切換閥。具體線路如下:
[0013]a、第一切換閥I采用正向進(jìn)樣和正吹鍺烷的方式，利用連接在十通閥上的第一根Hayesep Q色譜柱14實(shí)現(xiàn)樣品的預(yù)分離，將雜質(zhì)分成4個(gè)部分，H2、02+Ar、N2、C0和CH4為一部分，其余三部分為CO2、鍺烷和二鍺烷；
[0014]b、第二切換閥2為鍺烷的放空閥，同時(shí)實(shí)現(xiàn)鍺烷與二鍺烷的切割，第二載氣氣路12帶著鍺烷從第二切換閥2的⑥號(hào)接口上的第一針閥17放空，進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)；
[0015]C、第三切換閥3實(shí)現(xiàn)了 5A分子篩色譜柱15上的組分和第二根Hayes印Q色譜柱16上的組分的切割，通過組分出峰時(shí)間，控制時(shí)間使第三切換閥3轉(zhuǎn)動(dòng)，使各個(gè)組分出峰完全，第三切換閥3上的第三針閥9和第四針閥20用于平衡各個(gè)氣路流量，使得基線較為平穩(wěn)，提聞靈敏度。
[0016]本實(shí)用新型通過十通切換閥和六通切換閥的正吹和中心切割的動(dòng)作均有儀器的反控色譜工作站來完成，各個(gè)閥對(duì)應(yīng)一個(gè)外部事件來控制，其動(dòng)作的階次也由事件編制程序執(zhí)行，這樣實(shí)現(xiàn)分析過程自動(dòng)化，動(dòng)作快速一直可靠，儀器測量結(jié)果的重復(fù)性和穩(wěn)定性由穩(wěn)定的氣路流量控制和準(zhǔn)確自動(dòng)的閥切換來保證。
[0017]本實(shí)用新型的有益效果是:本實(shí)用新型采用valco帶吹掃氣動(dòng)切換閥,避免氣路切換過程中空氣的反滲透。本實(shí)用新型還采用valco 1/16” 0.75mm做氣路管，氣密性好；采用了 5A分子篩色譜柱15和兩根Hayesep Q色譜柱，技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)品質(zhì)量有保障；采用中心切割方法，實(shí)現(xiàn)鍺烷與其他雜質(zhì)的完全分離且保持基線穩(wěn)定；采用不銹鋼調(diào)節(jié)針閥即可實(shí)現(xiàn)控制氣路流量并且抑制空氣反滲，采用溫控系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)各個(gè)色譜柱的獨(dú)立控溫和升溫，采用鍺烷尾氣處理系統(tǒng)，確保分析過程中的安全。本實(shí)用新型針對(duì)高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)進(jìn)行分析，通過氦離子化檢測器高靈敏度實(shí)現(xiàn)PPb級(jí)別雜質(zhì)分析，實(shí)現(xiàn)一次進(jìn)樣操作即完成對(duì)鍺烷雜質(zhì)的全分析。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1是本實(shí)用新型氦離子化氣相色譜儀的結(jié)構(gòu)框圖。[0019]圖2是本實(shí)用新型氦離子化氣相色譜儀檢測流程示意圖。
[0020]圖3是本實(shí)用新型十通閥取樣與H2, O2等進(jìn)第一根Hayes印Q色譜柱(預(yù)分離柱)的流程示意圖。
[0021]圖4是本實(shí)用新型H2, O2, N2, CH4, CO進(jìn)入5A分子篩色譜柱與第一切換閥正吹CO2到第二根Hayesep Q色譜柱的流程示意圖。
[0022]圖5是本實(shí)用新型5A分子篩色譜柱中H2, O2, N2, CH4進(jìn)入氦離子化檢測器與第二切換閥放空GeH4的流程示意圖。
[0023]圖6是本實(shí)用新型第二根Hayesep Q色譜柱中CO2進(jìn)入氦離子化檢測器與第二切換閥放空GeH4的流程示意圖。
[0024]圖7是本實(shí)用新型5A分子篩色譜柱中CO進(jìn)入氦離子化檢測器與第二切換閥放空GeH4的流程示意圖。
[0025]圖8是本實(shí)用新型Ge2H6進(jìn)入第二根Hayes印Q色譜柱再進(jìn)入氦離子化檢測器的流程示意圖。
[0026]圖中:1、第一切換閥；2、第二切換閥；3、第三切換閥；4、氦離子化檢測器；5、定量管；11、第一載氣氣路；12第二載氣氣路；13、第三載氣氣路；14、第一根Hayesep Q色譜柱；15、5A分子篩色譜柱；16、第二根Hayesep Q色譜柱；17、第一針閥；18、第二針閥；19、第三針閥；20、第四針閥。
【具體實(shí)施方式】
[0027]根據(jù)附圖1?8，本實(shí)用新型用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，包括色譜柱箱、溫控系統(tǒng)、信號(hào)采集處理系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)。信號(hào)采集系統(tǒng)包括氦離子化檢測器和色譜柱工作站，溫控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各個(gè)色譜柱和檢測器的獨(dú)立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時(shí)間程序升溫。色譜柱工作站的結(jié)構(gòu)包括三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路。三個(gè)切換閥為一個(gè)十通閥和兩個(gè)六通閥，氦離子化檢測器與色譜柱工作站的線路連接。
[0028]根據(jù)附圖2，色譜柱工作站的三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路分別為第一切換閥1、第二切換閥2、第三切換閥3、第一根Hayes印Q色譜柱14、第二根Hayesep Q色譜柱16、5A分子篩色譜柱15、第一針閥17、第二針閥18、第三針閥19、第四針閥20、第一載氣氣路11、第二載氣氣路12和第三載氣氣路13。它們的連接線路為:
[0029]第一切換閥I上設(shè)有第一根Hayes印Q色譜柱14 ;第二切換閥2和第三切換閥3之間設(shè)有第二根Hayes印Q色譜柱16 ;第一切換閥I和第三切換閥3之間設(shè)有5A分子篩色譜柱15 ;第二切換閥2上接有第一針閥17和第二針閥18 ;第三切換閥3上接有第三針閥19，第四針閥20和所述的氦離子化檢測器相連。
[0030]第一載氣氣路11氣路與第一切換閥I的④號(hào)接口連接、第二載氣氣路12氣路與第一切換閥I的⑧號(hào)接口連接；樣品進(jìn)口與第一切換閥I的①號(hào)接口連接，樣品出口與第一切換閥I的②號(hào)接口連接，第一切換閥I的③號(hào)接口與第一切換閥I的⑩號(hào)接口用管路連接，在該管路上還設(shè)有定量管5 ;第一切換閥I的⑨號(hào)接口和第一切換閥I的⑥號(hào)接口連接的管路上設(shè)有第一根Hayes印Q色譜柱14 ;第一切換閥I的⑤號(hào)接口和5A分子篩色譜柱15 —端連接；第一切換閥I的⑦號(hào)接口和第二切換閥2的①號(hào)接口連接。[0031]第三載氣氣路13氣路與第二切換閥2的③號(hào)接口連接；第二切換閥2的②號(hào)接口與第二根Hayesep Q色譜柱16 —端連接；第二切換閥2的④號(hào)接口與第二針閥18連接、第二切換閥2的⑥號(hào)接口與第一針閥17連接。
[0032]第三切換閥3的①號(hào)接口與檢測器4連接；第三切換閥3的②號(hào)接口與第二根Hayesep Q色譜柱15另一端連接；第三切換閥3的⑥號(hào)接口和5A分子篩色譜柱15另一端連接；第三切換閥3的⑤號(hào)接口與第三針閥19連接、第三切換閥3的③號(hào)接口與第四針閥20連接。
[0033]第一針閥17、氦離子化檢測器4出口和樣品出口氣路連接到尾氣處理系統(tǒng)上。
[0034]本實(shí)用新型的氣路連接采用valco 1/16”0.75mm不銹鋼管，各個(gè)閥的動(dòng)作都在保護(hù)氣下進(jìn)行，排空口都接有可控制針型閥，確保整個(gè)分析沒有空氣的反滲漏，所有氣路連接的卡套螺帽全是VICI公司生產(chǎn)的valco標(biāo)準(zhǔn)配件，以確保超高純氣的泄漏額定值<1*108atm.cc/sec0
[0035]本實(shí)用新型采用十通閥正吹GeH4,通過預(yù)柱切割使H2,02等組分，CO2 ,GeH4, ,Ge2H6實(shí)現(xiàn)分離。具體步驟如下:
[0036]a、第一切換閥I采用正向進(jìn)樣和正吹鍺烷的方式，利用連接在十通閥上的第一根Hayesep Q色譜柱14實(shí)現(xiàn)樣品的預(yù)分離，將雜質(zhì)分成4個(gè)部分，H2、02+Ar、N2、C0和CH4為一部分，其余三部分為CO2、鍺烷和二鍺烷。如附圖3所示。
[0037]b、第二切換閥2為鍺烷的放空閥，同時(shí)實(shí)現(xiàn)鍺烷與二鍺烷的切割，第二載氣氣路12帶著鍺烷從第二切換閥2的⑥號(hào)接口上的第一針閥17放空，進(jìn)入尾氣處理系統(tǒng)。如附圖6所示。
[0038]C、第三切換閥3實(shí)現(xiàn)了 5A分子篩色譜柱15上的組分和第二根Hayes印Q色譜柱16上的組分的切割，通過組分出峰時(shí)間，控制時(shí)間使第三切換閥3轉(zhuǎn)動(dòng)，使各個(gè)組分出峰完全，第三切換閥3上的第三針閥9和第四針閥20用于平衡各個(gè)氣路流量，使得基線較為平穩(wěn)，提聞靈敏度。如附圖5?7所不。
[0039]本實(shí)用新型具體進(jìn)樣過程如下:
[0040]A、切換第一切換閥I和第二切換閥2,第一載氣氣路11中的載氣帶著定量管5中的樣品進(jìn)入第一根Hayesep Q色譜柱14,其中H2、N2> O2+Ar、CO、CH4通過第一根Hayesep Q色譜柱14后依次進(jìn)入5A分子篩色譜柱15，當(dāng)上述組分全部進(jìn)入5A分子篩色譜柱15后(這時(shí)第一載氣氣路11中的載氣帶著這些組分進(jìn)入氦離子化檢測器4)，第一切換閥I切換回初始狀態(tài)正吹預(yù)柱，第二載氣氣路12中的載氣帶著CO2進(jìn)入第二根Hayes印Q色譜柱16后，第二切換閥2切回初始狀態(tài)。如附圖3?5所示。
[0041]B、第一載氣氣路11中的載氣帶著H2, O2, N2, CH4通過5A分子篩色譜柱15進(jìn)入氦離子化檢測器出峰，第三切換閥3轉(zhuǎn)動(dòng)使得由第三載氣氣路13中的載氣帶著的CO2通過的第二根Hayes印Q色譜柱16進(jìn)入氦離子化檢測器4，當(dāng)CO2出峰后，第三切換閥3再切回出CO色譜峰。如附圖5?7所示。
[0042]C、當(dāng)鍺烷由第一根預(yù)柱(即第一根Hayes印Q色譜柱14)出來后由第二切換閥2上的第一針閥17放空，進(jìn)入尾氣處理裝置。鍺烷完全由預(yù)柱出完后，第二切換閥2切換，使得第一根Hayesep Q色譜柱14的二鍺燒順利出來進(jìn)入第二根Hayesep Q色譜柱16,之后第三切換閥3切換，使得二鍺烷進(jìn)入氦離子化檢測器出峰。出峰過程中，溫控系統(tǒng)按照設(shè)定的程序升溫Hayesep Q色譜柱，減少出峰等待時(shí)間和樣品分析周期，利于樣品分析的實(shí)用性。最后全部雜質(zhì)出峰完成后，所有切換閥切回初始狀態(tài)。如附圖2、附圖7和附圖8所示。
[0043]實(shí)施例:
[0044]對(duì)高純鍺烷氣(99.999%)的雜質(zhì)的分析。
[0045]實(shí)施過程如下:本實(shí)用新型自動(dòng)采樣的第一切換閥、第一載氣氣路串聯(lián)0.5ml定量管中的高純鍺烷氣進(jìn)入第一根Hayesep Q色譜柱14，分離出H2、N2、02+Ar、C0、CH4進(jìn)入5A分子篩色譜柱15，這時(shí)切換第一切換閥I和第二切換閥2，分離出C02進(jìn)入第二根Hayes印Q色譜柱16 ;這時(shí)第一載氣氣路11中載氣帶著H2、02+Ar、N2, CH4依次由5A分子篩色譜柱15進(jìn)入氦離子化檢測器出峰，當(dāng)CH4出峰后切換第三切換閥3，通過精確時(shí)間切割和控制氣路流量使得這時(shí)第三載氣氣路13中的載氣帶著CO2正好由第二根Hayes印Q色譜柱16進(jìn)入氦離子化檢測器出峰，待CO2出峰結(jié)束，再切換第三切換閥3，同樣CO這時(shí)由5A分子篩色譜柱15進(jìn)入氦離子化檢測器出峰。之后切換第二切換閥2回初始狀態(tài)，使得由第二載氣氣路12中的載氣帶著的GeH4通過切換閥2上連著⑥號(hào)口的第一針閥17排空，進(jìn)入尾氣吸收裝置；待GeH4完全放空后切換第二切換閥2和第三切換閥3，使得Ge2H6順利的從第一根Hayesep Q色譜柱14進(jìn)入第二根Hayesep Q色譜柱16再進(jìn)入氦離子化檢測器出峰。這時(shí)可利用溫控系統(tǒng)程序升溫第二根Hayesep Q色譜柱16，減少出峰時(shí)間。這樣待Ge2H6出完后實(shí)現(xiàn)所需組分的全分析。
[0046]具體出峰順序?yàn)镠2、02+Ar、N2,、CH4、CO2, CO、Ge2H60
[0047]以上所述為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，本實(shí)用新型的保護(hù)以本實(shí)用新型權(quán)利要求所述為準(zhǔn)，凡依據(jù)本實(shí)用新型所作的等同變化與替換，皆應(yīng)屬于本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于:所述的氦離子化氣相色譜儀包括色譜柱箱、溫控系統(tǒng)、信號(hào)采集處理系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)，所述的信號(hào)采集系統(tǒng)包括氦離子化檢測器和色譜柱工作站，所述的溫控系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)各個(gè)色譜柱和檢測器的獨(dú)立控溫，并且控制色譜柱溫度按照時(shí)間程序升溫，所述色譜柱工作站的結(jié)構(gòu)包括三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路，所述的三個(gè)切換閥為一個(gè)十通閥和兩個(gè)六通閥，所述的氦離子化檢測器與色譜柱工作站的線路連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于:所述色譜柱工作站的三個(gè)切換閥、三個(gè)色譜柱、四個(gè)針閥和三個(gè)載氣氣路分別為第一切換閥(I)、第二切換閥(2)、第三切換閥(3)、第一根Hayes印Q色譜柱(14)、第二根Hayes印Q色譜柱(16)、5A分子篩色譜柱(15)、第一針閥(17)、第二針閥(18)、第三針閥(19)、第四針閥(20)、第一載氣氣路(11)、第二載氣氣路(12)和第三載氣氣路(13)，它們的連接線路為: 第一切換閥(I)上設(shè)有第一根Hayes印Q色譜柱(14);第二切換閥(2)和第三切換閥(3)之間設(shè)有第二根Hayes印Q色譜柱(16);第一切換閥(I)和第三切換閥(3)之間設(shè)有5A分子篩色譜柱(15);第二切換閥(2)上接有第一針閥(17)和第二針閥(18);第三切換閥(3)上接有第三針閥(19)，第四針閥(20)和所述的氦離子化檢測器相連；第一載氣氣路(11)氣路與第一切換閥(I)的④號(hào)接口連接、第二載氣氣路(12)氣路與第一切換閥(I)的⑧號(hào)接口連接；樣品進(jìn)口與第一切換閥(I)的①號(hào)接口連接，樣品出口與第一切換閥(I)的②號(hào)接口連接，第一切換閥(I)的③號(hào)接口與第一切換閥(I)的⑩號(hào)接口用管路連接，在該管路上還設(shè)有定量管(5);第一切換閥(I)的⑨號(hào)接口和第一切換閥(I)的⑥號(hào)接口連接的管路上設(shè)有第一根Hayes印Q色譜柱(14);第一切換閥(I)的⑤號(hào)接口和5A分子篩色譜柱(15) —端連接；第一切換閥(I)的⑦號(hào)接口和第二切換閥(2)的①號(hào)接口連接，第三載氣氣路(13)氣路與第二切換閥(2)的③號(hào)接口連接；第二切換閥(2)的②號(hào)接口與第二根Hayesep Q色譜柱(16) —端連接；第二切換閥(2)的④號(hào)接口與第二針閥(18)連接、第二切換閥(2)的⑥號(hào)接口與第一針閥(17)連接，第三切換閥(3)的①號(hào)接口與檢測器(4)連接；第三切換閥(3)的②號(hào)接口與第二根Hayes印Q色譜柱(15)另一端連接；第三切換閥(3)的⑥號(hào)接口和5A分子篩色譜柱(15)另一端連接；第三切換閥(3)的⑤號(hào)接口與第三針閥(19)連接、第三切換閥(3)的③號(hào)接口與第四針閥(20)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于高純鍺烷氣中微量雜質(zhì)分析的氦離子化氣相色譜儀，其特征在于:所述的第一針閥(17)、樣品出口氣路和氦離子化檢測器(4)出口連接到尾氣處理系統(tǒng)上。
【文檔編號(hào)】G01N30/20GK203672844SQ201320818912
【公開日】2014年6月25日 申請(qǐng)日期:2013年12月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月13日
【發(fā)明者】莊鴻濤, 郁光, 方華 申請(qǐng)人:上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司