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      角速度傳感器的制作方法

      文檔序號:11160293閱讀:來源:國知局
      技術(shù)總結(jié)
      經(jīng)由具有第1梁構(gòu)成部件(16a~19a)和第2梁構(gòu)成部件(16b~19b)的多個梁部(16~19)將振動體(12)支承于外周部(13),在將基板(10)的面方向中的一方向設(shè)為第1方向、將基板(10)的面方向之中的與第1方向正交的方向設(shè)為第2方向時,第1梁構(gòu)成部件(16a~19a)至少能夠在第1方向上位移,第2梁構(gòu)成部件(16b~19b)與第1梁構(gòu)成部件(16a~19a)連結(jié),至少能夠在第2方向上位移。并且,多個梁部(16~19)中的至少一部分中,將第1梁構(gòu)成部件和所述第2梁構(gòu)成部件(16a~19b)之中的外周部(13)側(cè)的梁構(gòu)成部件(16b~19b)相互一體化。

      技術(shù)研發(fā)人員:酒井峰一;城森知也
      受保護的技術(shù)使用者:株式會社電裝
      文檔號碼:201580031569
      技術(shù)研發(fā)日:2015.06.11
      技術(shù)公布日:2017.05.10

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