本發(fā)明涉及一種使用thz頻段的檢查裝置，特別涉及能夠容易地檢測(cè)出附著在被檢查物上的異物的使用thz頻段的檢查裝置。

背景技術(shù)：

例如像紙幣那樣的紙張類，由于每次使用時(shí)反復(fù)折疊，所以有時(shí)因長(zhǎng)年的使用紙張類的一部分產(chǎn)生破損。這時(shí)，存在使用者在破損部位粘貼膠帶等進(jìn)行修復(fù)的情況。此外，還擔(dān)心對(duì)紙張類因挖補(bǔ)等而粘貼膠帶等來(lái)進(jìn)行偽造。這樣的紙張類已經(jīng)不是正常的紙張類。

以往，為了將粘貼有膠帶等的紙張類與其他正常的紙張類區(qū)分開(kāi)，以接觸式的機(jī)械方式測(cè)量微小的膠帶厚度之差，從而掌握膠帶的粘貼狀況，但是存在如下等缺點(diǎn)：在膠帶極薄的情況下會(huì)出現(xiàn)漏檢，或者因機(jī)械接觸而引起紙張類的破損。

于是，近年來(lái)，使用thz頻段的物質(zhì)檢查方法快速發(fā)展起來(lái)。thz頻段也被稱作thz波，波長(zhǎng)為10mm～25μm，即頻率為30ghz(1ghz為10⁹hz)～12thz的頻段，具有以往的電波和光兩方面的性質(zhì)。thz波也被稱作太赫茲光、太赫茲電磁波。

在專利文獻(xiàn)1中公開(kāi)了如下檢查裝置：將thz波照射到紙張類上，對(duì)因來(lái)自紙張類正面的thz波的反射波與來(lái)自紙張類背面的thz波的反射波之間的相位差而引起的干涉的強(qiáng)度進(jìn)行檢測(cè)，來(lái)檢測(cè)紙張類的厚度和粘貼在紙張類上的異物。

在專利文獻(xiàn)1公開(kāi)的檢查裝置中，使1個(gè)波長(zhǎng)固定激光和1個(gè)波長(zhǎng)可變激光入射到輻射用光導(dǎo)(光電導(dǎo))天線，通過(guò)輻射用光導(dǎo)(光電導(dǎo))天線，產(chǎn)生與這些激光的頻率差相當(dāng)?shù)膖hz波。

在專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)了如下裝置：將thz波照射到紙張類上，基于因來(lái)自紙張類正面的thz波的反射波與來(lái)自紙張類背面的thz波的反射波的相位差而引起的干涉的強(qiáng)度或振幅反射率，來(lái)求取紙張類的折射率。

在專利文獻(xiàn)2公開(kāi)的檢查裝置中，將第一及第二的1.5μm頻段的通信用dfb激光，經(jīng)由光纖或光纖耦合器進(jìn)行混合，入射到第一發(fā)射器及第二發(fā)射器，通過(guò)第一發(fā)射器及第二發(fā)射器產(chǎn)生與第一及第二通信用dfb激光的頻率差相當(dāng)?shù)膖hz波。第一發(fā)射器及第二發(fā)射器例如包括utc-pd(單行載流子光探測(cè)器，uni-traveling-carrierphotodiode)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2009-300279號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2011-34173號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明所要解決的問(wèn)題

在以往的使用thz波的測(cè)量中，檢查裝置比較復(fù)雜，還達(dá)不到通過(guò)檢查來(lái)分辨在紙張類上是否粘貼有膠帶類的程度。

本發(fā)明的目的在于提供一種使用thz頻段的檢查裝置，能夠以非接觸方式高速及高效且容易地進(jìn)行附著在被檢查物上的異物的檢測(cè)，例如紙張類上是否粘貼有膠帶類的檢測(cè)，而且成本很低。

用于解決問(wèn)題的手段

本發(fā)明的檢查裝置，其具備：thz波照射部，其對(duì)被檢查物照射thz波；thz波探測(cè)部，其檢測(cè)被照射到被檢查物上的thz波的透射波或反射波；以及信息處理部，其基于被照射thz波的被檢查物的透射波或反射波的強(qiáng)度數(shù)據(jù)，來(lái)得到被檢查物的透射波或反射波的強(qiáng)度分布，信息處理部獲取透射波或反射波的二維強(qiáng)度分布，通過(guò)對(duì)檢測(cè)沒(méi)有附著異物的被檢查物時(shí)得到的強(qiáng)度分布與在檢查時(shí)檢測(cè)被檢查物時(shí)得到的檢查時(shí)強(qiáng)度分布進(jìn)行比較，來(lái)檢測(cè)在檢查時(shí)的被檢查物上是否附著有異物。

在上述結(jié)構(gòu)中，對(duì)于附著在被檢查物上的異物，信息處理部可以根據(jù)基于異物的折射率與沒(méi)有附著異物的被檢查物的折射率之差的透鏡效應(yīng)而產(chǎn)生的強(qiáng)度變化來(lái)檢測(cè)。

本發(fā)明的另一檢查裝置，其具備：紙張類輸送部，其輸送紙張類；thz波照射部，其沿著與紙張類輸送部的移動(dòng)方向正交的方向照射thz波；thz波探測(cè)部，其檢測(cè)被照射到紙張類上的thz波的透射波或反射波；以及信息處理部，其基于在與移動(dòng)方向正交的方向上被照射thz波的紙張類的透射波或反射波的強(qiáng)度數(shù)據(jù)，得到紙張類的透射波或反射波的強(qiáng)度分布，信息處理部獲取透射波或反射波的二維強(qiáng)度分布，通過(guò)對(duì)檢測(cè)沒(méi)有附著異物的紙張類時(shí)得到的強(qiáng)度分布與在檢查時(shí)檢測(cè)紙張類時(shí)得到的檢查時(shí)強(qiáng)度分布進(jìn)行比較，來(lái)檢測(cè)在檢查時(shí)的紙張類上是否附著有異物。

在上述結(jié)構(gòu)中，對(duì)于附著在紙張類上的異物，信息處理部可以根據(jù)基于異物的折射率與沒(méi)有附著異物的紙張類的折射率之差的透鏡效應(yīng)而產(chǎn)生的強(qiáng)度變化來(lái)檢測(cè)。

在上述結(jié)構(gòu)中，thz波照射部?jī)?yōu)選包括：thz波振蕩器、以及掃描從thz波振蕩器照射的thz波的聚光用光學(xué)部件和掃描元件。掃描元件優(yōu)選是檢流鏡、多角鏡、數(shù)字鏡元件中的任意一個(gè)。

thz波照射部?jī)?yōu)選包括多個(gè)thz波振蕩器和多個(gè)光學(xué)部件。

thz波探測(cè)部?jī)?yōu)選包括thz波探測(cè)器、以及對(duì)被照射到紙張類上的thz波的透射波或反射波進(jìn)行聚光的聚光用光學(xué)部件。

聚光用光學(xué)部件優(yōu)選選自菲涅耳透鏡、凸透鏡、凹透鏡及鏡子。

thz波探測(cè)部?jī)?yōu)選包括多個(gè)thz波探測(cè)器和多個(gè)光學(xué)部件。

信息處理部?jī)?yōu)選具備用不同的灰度二維地顯示基于透鏡效應(yīng)而產(chǎn)生的強(qiáng)度變化的功能。

異物例如是粘接帶等樹(shù)脂制的膜。

在被檢查物或紙張類的上表面及下表面可以配置有可透過(guò)thz波的樹(shù)脂或玻璃。

thz波照射部?jī)?yōu)選具備多個(gè)頻率的thz波振蕩器。

從thz波照射部照射到被檢查物或紙張類的thz波和入射到thz波探測(cè)器的thz波的偏振方向可以被控制。

發(fā)明效果

本發(fā)明能夠提供一種檢查裝置，能夠以非接觸方式明確且高速地檢查粘貼在被檢查物、例如紙幣那樣的紙張類等上的膠帶等，不會(huì)產(chǎn)生使用以往的機(jī)械強(qiáng)觸方法時(shí)頻繁發(fā)生的紙張類的破損。

附圖說(shuō)明

圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的檢查裝置的圖。

圖2是用于說(shuō)明測(cè)量時(shí)所用的紙張類上的修補(bǔ)膠帶的粘貼位置的圖。

圖3是示出由本發(fā)明的檢查裝置獲取的透過(guò)紙張類的thz波的二維強(qiáng)度分布的一個(gè)例子的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是(a)的a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是(a)的b-b’方向的強(qiáng)度分布。

圖4是示出被照射thz波的介質(zhì)的截面的圖。

圖5是用于說(shuō)明與本發(fā)明的第一實(shí)施方式不同的檢查裝置的圖。

圖6是用于說(shuō)明60ghz的反射測(cè)量時(shí)所用的紙張類上的修補(bǔ)膠帶的粘貼位置的圖。

圖7是示出在60ghz獲取的新加坡元紙幣的反射波的二維強(qiáng)度分布的一個(gè)例子的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是(a)的a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是(a)的b-b’方向的強(qiáng)度分布。

圖8是用于說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。

圖9是用于說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的另一檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。

圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。

圖11是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例1涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。

圖12是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例2涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。

圖13是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例3涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。

圖14是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例4涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。

圖15是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例5涉及的檢查裝置的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。

圖16是示出由使用90ghz的透射波的檢查裝置獲取的透過(guò)新加坡元紙幣的90ghz的二維強(qiáng)度分布的等高線級(jí)數(shù)為16的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是(a)的a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是(a)的b-b’方向的強(qiáng)度分布。

圖17是示出由使用90ghz的透射波的檢查裝置獲取的透過(guò)新加坡元紙幣的90ghz波的二維強(qiáng)度分布的等高線級(jí)數(shù)為6的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是(a)的a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是(a)的b-b’方向的強(qiáng)度分布。

圖18是用于說(shuō)明復(fù)印紙上的膠帶的粘貼位置(y方向粘貼)的圖。

圖19是示出在復(fù)印紙上平行地粘貼修補(bǔ)膠帶和透明膠帶(cellophanetape)并改變90ghz的透射波的入射角度時(shí)的透射波的二維強(qiáng)度的圖，(a)示出0°及5°，(b)示出10°及15°，(c)示出20°及25°，(d)示出30°及35°。

圖20是用于說(shuō)明復(fù)印紙上的膠帶的粘貼位置(x方向粘貼)的圖。

圖21是示出入射角度為15°且y方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

圖22是示出入射角度為45°且y方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

圖23是示出入射角度為15°且x方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

圖24是示出入射角度為45°且x方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

圖25是示出入射角為45°且x方向偏振時(shí)的、被圖18所示的復(fù)印紙反射的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

圖26是示出入射角為15°且y方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖18所示的粘貼有膠帶的高質(zhì)紙的140ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

圖27是示出入射角為45°且y方向偏振時(shí)的、被圖18所示的高質(zhì)紙反射的140ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

1：第一實(shí)施方式涉及的檢查裝置

2：被檢查物

2a：新加坡元紙幣

2b：復(fù)印紙

3、33、63、73、83、93、103、113：thz波照射部

3a、33a、63a～63d、73a～73d、83a、93a、103a～103e、113a～113e、113a’～113e’：thz波振蕩器

3c、33c：從thz波振蕩器照射的thz波

3e、35a、55a、65a、75a：聚光用光學(xué)部件

3f：被聚光的thz波

4、34：透射波

4a：透射波

5、35、55、65、75、85、95、105、115：thz波探測(cè)部

5a：透鏡

5c、35c、55c、65c、75c、85a～85d、95a～95d、105a～105e、115a～115e：thz波探測(cè)元件

7：異物

7a：修補(bǔ)膠帶

7b：透明膠帶

8：樹(shù)脂膜

8a：第一光學(xué)用樹(shù)脂膜

8b：第二光學(xué)用樹(shù)脂膜

10、40：信息處理部

10a、40a：a/d轉(zhuǎn)換器

10b、40b：輸入輸出接口(i/o)

10c、40c：顯示器

10d、40d：存儲(chǔ)裝置

12：第一介質(zhì)

13：第二介質(zhì)

14：第三介質(zhì)

15：第四介質(zhì)

16：第五介質(zhì)

17：第六介質(zhì)

18：第七介質(zhì)

20：第一實(shí)施方式涉及的另一個(gè)檢查裝置

22、52：反射波

30、50：第二實(shí)施方式涉及的檢查裝置

32：紙張類輸送部

32a：控制電路

33d、83d、93d：掃描元件

33e、63e、73e、83e、93e、103f、113f：透鏡

33f、83f、93f：菲涅耳透鏡

33s：由掃描元件掃描的thz波

35b、65b、75b、85e、95e、105f、115f：透鏡

60、70、80、90、100、110：第二實(shí)施方式涉及的檢查裝置

38：玻璃

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式，但本發(fā)明的范圍不限于實(shí)施方式，能夠適當(dāng)變更。特別是，關(guān)于附圖中記載的各部件的形狀、尺寸、位置關(guān)系等，僅示出概念性的事項(xiàng)，能夠根據(jù)其應(yīng)用的場(chǎng)合進(jìn)行變更。在各圖中，對(duì)相同或?qū)?yīng)的部件、單元標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記。

(第一實(shí)施方式)

圖1是用于說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的檢查裝置1的圖。

如圖1所示，本發(fā)明的檢查裝置1包括：thz波照射部3，對(duì)被檢查物2照射thz波；thz波探測(cè)部5，對(duì)照射到被檢查物2的thz波的透射波4進(jìn)行檢測(cè)；以及信息處理部10，基于被照射thz波的被檢查物2的透射波4的強(qiáng)度數(shù)據(jù)，來(lái)得到被檢查物2的透射波4的強(qiáng)度分布。被檢查物2例如是紙張類。附著在被檢查物2上的異物7例如是樹(shù)脂性膠帶。在本說(shuō)明書中，設(shè)被檢查物2為紙張類、異物7為樹(shù)脂性膠帶來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。

thz波照射部3包括thz波振蕩器3a、以及使從thz波振蕩器3a照射的thz波3c聚光于被檢查物2的聚光用光學(xué)部件3e。在本發(fā)明中，thz波3c的頻率為30ghz(ghz為10⁹hz)～12thz的頻段。

作為thz波振蕩器3a所用的振蕩元件，能夠使用耿氏(gunn)二極管、impatt(碰撞雪崩渡越時(shí)間)二極管、隧道渡越時(shí)間(tunnett)二極管等各種二極管、包含si、gaas或inp這樣的化合物半導(dǎo)體的晶體管。作為振蕩元件，也可以使用包括上述二極管、晶體管的集成電路。作為這樣的集成電路，例如有包含gaas等化合物半導(dǎo)體的集成電路、或者使用si或sige的cmos集成電路。使用si的cmos集成電路也被稱作毫米波cmosic。

從thz波振蕩器3a照射的thz波3c經(jīng)由作為聚光用光學(xué)部件3e的透鏡照射到紙張類2上。作為聚光用光學(xué)部件3e，能夠使用菲涅耳透鏡、凸透鏡、凹透鏡等或者使用鏡子的聚光器。作為鏡子能夠使用半透鏡或拋物面反射鏡等。作為透鏡3e的材料，能夠使用氟樹(shù)脂或玻璃等。從thz波振蕩器3a照射的thz波3c，優(yōu)選相對(duì)于紙張類2的垂直方向(厚度方向)帶有入射角度(θ)地照射。θ為0度時(shí)是垂直入射。在垂直入射或接近垂直入射的情況下，會(huì)出現(xiàn)因來(lái)自紙張類2的反射波與入射波發(fā)生干涉而引起的透射強(qiáng)度的周期性強(qiáng)度圖案，成為識(shí)別粘貼物時(shí)的障礙，所以不優(yōu)選。該入射角度能夠設(shè)為幾度～50度。入射角度優(yōu)選大致10度以上。

被聚光的thz波3f透射紙張類2后，經(jīng)由作為聚光用光學(xué)部件的透鏡5a入射到用于檢測(cè)透射波4的thz波探測(cè)部5中。作為透鏡5a，能夠使用菲涅耳透鏡、凸透鏡、凹透鏡等或者使用鏡子的聚光器。作為鏡子，能夠使用半透鏡或拋物面反射鏡等。作為透鏡或鏡子的材料，能夠使用氟樹(shù)脂或玻璃等。作為thz波探測(cè)部5，能夠使用能檢測(cè)透過(guò)紙張類的thz波4的元件或thz波接收電路。作為thz波探測(cè)部5所用的thz波探測(cè)元件5c，能夠使用點(diǎn)接觸二極管或肖特基勢(shì)壘二極管、接收用ic。接收用ic能夠使用外差或零差檢波方式。在接收用ic為零差檢波方式的情況下，也可以將從thz波照射部3的thz波振蕩器3a分支的信號(hào)作為接收用ic的局部振蕩器用信號(hào)。

用于得到被檢查物2的透射波4的強(qiáng)度分布的信息處理部10包括微處理器、微控制器等微型計(jì)算機(jī)或個(gè)人計(jì)算機(jī)。來(lái)自thz波探測(cè)部5的輸出經(jīng)由a/d轉(zhuǎn)換器10a或輸入輸出接口(i/o)10b輸入到微型計(jì)算機(jī)或個(gè)人計(jì)算機(jī)。也可以根據(jù)需要具備顯示器10c、存儲(chǔ)裝置10d。

信息處理部10能夠獲取透射波4的二維強(qiáng)度分布，通過(guò)對(duì)檢測(cè)沒(méi)有附著異物7的紙張類時(shí)得到的強(qiáng)度分布、與在檢查時(shí)檢測(cè)紙張類2時(shí)得到的檢查時(shí)強(qiáng)度分布進(jìn)行比較，能夠檢測(cè)出在檢查時(shí)的被檢查物2上是否附著有異物7。

信息處理部10也可以將預(yù)先測(cè)量在檢測(cè)沒(méi)有附著異物7的紙張類2的透射波4時(shí)獲取的二維強(qiáng)度分布所得到的數(shù)據(jù)作為參照數(shù)據(jù)，存儲(chǔ)在信息處理部10的存儲(chǔ)裝置10d中。也可以將與紙張類2的種類相對(duì)應(yīng)的多個(gè)參照數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在信息處理部10的存儲(chǔ)裝置10d中。

(90ghz的透射波的測(cè)量例)

對(duì)圖1的檢查裝置1的測(cè)量例進(jìn)行說(shuō)明。

作為thz波振蕩器3a，使用90ghz的連續(xù)振蕩(cw振蕩)的耿氏二極管振蕩器(spaceklabs公司制，型號(hào)gw-900p)。耿氏二極管振蕩器的輸出約10mw。來(lái)自耿氏二極管振蕩器3a的thz波3c的輸出由特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))制的透鏡3e聚光，照射到新加坡元紙幣2a上。透過(guò)新加坡元紙幣2a的thz波4由特氟隆(注冊(cè)商標(biāo))制的透鏡5a聚光，并由肖特基勢(shì)壘二極管(millitech公司制，型號(hào)dxp-10-rpf0)檢測(cè)出透過(guò)的thz波4的強(qiáng)度。

為了容易地保持新加坡元紙幣2a的位置等，在新加坡元紙幣2a的兩面均配置有可透過(guò)thz波的光學(xué)用樹(shù)脂膜8a、8b。作為光學(xué)用樹(shù)脂膜8a、8b，使用環(huán)烯烴聚合物(cycloolefinpolymer)(日本瑞翁(zeoncorporation)制，zeonex(注冊(cè)商標(biāo)))。

圖2是用于說(shuō)明測(cè)量時(shí)所用的紙張類上的修補(bǔ)膠帶7a的粘貼位置的圖。如該圖所示，在新加坡元紙幣2a的正面和背面粘貼有64mm×18mm的修補(bǔ)膠帶7a。新加坡元紙幣2a的寬度是64mm，每隔2mm測(cè)量約70mm(x方向)×60mm(y方向)的范圍的透射波4的強(qiáng)度分布。新加坡元紙幣2a的厚度是約0.1mm(100μm)。紙張類2的輸送方向?yàn)閥方向，但是也可以為x方向。

圖3示出由本發(fā)明的檢查裝置1獲取的透過(guò)紙張類2的thz波的二維強(qiáng)度分布的一個(gè)例子，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是(a)的a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是(a)的b-b’方向的強(qiáng)度分布。

最初，獲取對(duì)新加坡元紙幣2a照射thz波時(shí)的透射波4的二維強(qiáng)度分布。

其次，在新加坡元紙幣2a的正面和背面的相同位置，作為異物7，粘貼有寬度約64mm、長(zhǎng)度約18mm的修補(bǔ)膠帶7a。獲取粘貼有修補(bǔ)膠帶7a時(shí)的透射波4a的二維強(qiáng)度分布。

圖3(a)示出將對(duì)僅新加坡元紙幣2a時(shí)的透射波4的二維強(qiáng)度分布與粘貼有修補(bǔ)膠帶7a時(shí)的透射波4a的二維強(qiáng)度分布進(jìn)行比較而得到的強(qiáng)度分布用8級(jí)等高線表示。在該圖中，顏色深的部位是透射波4a的強(qiáng)度增加的部位，對(duì)應(yīng)于在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位。修補(bǔ)膠帶7a由醋酸纖維素薄膜(acetatefilm)等形成。

圖3(b)所示的a-a’方向的強(qiáng)度分布是粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的新加坡元紙幣2a的寬度方向(x方向)的強(qiáng)度分布，可知在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位透射波4a的強(qiáng)度較大。

圖3(c)所示的b-b’方向的強(qiáng)度分布是粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的新加坡元紙幣2a的與寬度方向垂直的方向(y方向)的強(qiáng)度分布，可知在粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位透射波4a的強(qiáng)度較大，在新加坡元紙幣2a上沒(méi)有粘貼修補(bǔ)膠帶7a的部位透射波4a的強(qiáng)度較低。

對(duì)如圖2及圖3所說(shuō)明的那樣在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a作為異物7的情況下透射光4a的強(qiáng)度提高的理由進(jìn)行說(shuō)明。

圖4是示出被照射thz波的介質(zhì)的截面的圖。thz波依序通過(guò)：作為第一介質(zhì)12的空氣(折射率：n0)、作為第二介質(zhì)13的配置在新加坡元紙幣2a的正面?zhèn)鹊牡谝还鈱W(xué)用樹(shù)脂膜8a(折射率：n1)、作為第三介質(zhì)14的粘貼在新加坡元紙幣2a的正面?zhèn)鹊男扪a(bǔ)膠帶7a(折射率：n2)、作為第四介質(zhì)15的新加坡元紙幣2a(折射率：n3)、作為第五介質(zhì)16的粘貼在新加坡元紙幣2a的背面?zhèn)鹊男扪a(bǔ)膠帶7a(折射率：n2)、作為第六介質(zhì)17的配置在新加坡元紙幣2a的背面?zhèn)鹊牡诙鈱W(xué)用樹(shù)脂膜8b(折射率：n1)、以及作為第七介質(zhì)18的空氣(折射率：n0)。

上述介質(zhì)的折射率為如下的值。

作為第一及第七介質(zhì)12、18的空氣的折射率(n0)＝1

作為第二及第六介質(zhì)13、17的光學(xué)用樹(shù)脂膜8的折射率(n1)＝1.53

作為第三及第五介質(zhì)14、16的修補(bǔ)膠帶7a的折射率(n2)＝1.57

作為第四介質(zhì)15的新加坡元紙幣2a的折射率(n3)＝1.45～1.5

粘貼在新加坡元紙幣2a的兩面上的作為第三及第五介質(zhì)14、16的修補(bǔ)膠帶7a的折射率(n2＝1.57)、以及作為第二及第六介質(zhì)13、17的第一及第二光學(xué)用樹(shù)脂膜8a、8b的折射率(n1＝1.53)都大于新加坡元紙幣2a的折射率(n3＝1.45～1.5)。因此，推定為，粘貼在新加坡元紙幣2a的兩側(cè)的作為第三及第五介質(zhì)14、16的修補(bǔ)膠帶7a的折射率(n2＝1.57)起到透鏡的作用，透射波4a的強(qiáng)度增大。也就是說(shuō)，如附著在紙張物2上的修補(bǔ)膠帶7a這樣的異物7能夠根據(jù)強(qiáng)度變化而檢測(cè)出，該強(qiáng)度變化是基于異物7的折射率與沒(méi)有附著異物7的被檢查物2的折射率之差的透鏡效應(yīng)而產(chǎn)生的。

另外，作為第二及第六介質(zhì)13、17的第一及第二光學(xué)用樹(shù)脂膜8a、8b用于支承新加坡元紙幣2a。即使沒(méi)有第一及第二光學(xué)用樹(shù)脂膜8a、8b也能夠產(chǎn)生上述的透鏡效應(yīng)。

圖5是用于說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式涉及的另一檢查裝置20的圖。

該檢查裝置20與圖1的檢查裝置1的不同之處在于，thz波探測(cè)部5不檢測(cè)thz波透過(guò)紙張類2的透射波4、4a，而是檢測(cè)反射波22。其他方面與圖1的檢查裝置1相同，所以省略說(shuō)明。

上述檢查裝置20測(cè)量被照射到紙張類2上的thz波的反射波22，但是與上述的透射波4的測(cè)量同樣，附著在紙張類2上的修補(bǔ)膠帶7a這樣的異物7能夠根據(jù)強(qiáng)度變化而檢測(cè)出，該強(qiáng)度變化是基于異物7的折射率與沒(méi)有附著異物7的被檢查物2的折射率之差的透鏡效應(yīng)而產(chǎn)生的。

(60ghz時(shí)的反射波的測(cè)量例)

對(duì)上述檢查裝置20的測(cè)量例進(jìn)行說(shuō)明。

圖6是用于說(shuō)明60ghz的反射測(cè)量時(shí)所用的紙張類上的修補(bǔ)膠帶7a的粘貼位置的圖。在新加坡元紙幣2a的正面和背面，在掃描范圍的大致中央的左側(cè)及右側(cè)、右角和下部中央的一部分粘貼有修補(bǔ)膠帶7a。修補(bǔ)膠帶7a的大小是18mm×20mm。每隔2mm測(cè)量圖6所示的70mm×80mm的范圍內(nèi)的反射波22的強(qiáng)度分布。

作為thz波振蕩器3a，使用60ghz的連續(xù)振蕩(cw振蕩)的耿氏二極管振蕩器(型號(hào)gdo-15-6013r)。耿氏二極管振蕩器3a的輸出約為10mw。除了相對(duì)于45°的入射角度測(cè)量45°的反射波以外，與圖2的透射波4的測(cè)量同樣地進(jìn)行測(cè)量。反射波的測(cè)量使用60ghz用的肖特基勢(shì)壘二極管(spaceklabs公司制，型號(hào)dv-2n)。

為了容易地保持新加坡元紙幣2a的位置等，在新加坡元紙幣2a的背面配置有可透過(guò)thz波的包含環(huán)烯烴聚合物(cycloolefinpolymer)(日本瑞翁制，zeonex(注冊(cè)商標(biāo)))的光學(xué)用樹(shù)脂膜8。

圖7是示出以60ghz獲取的新加坡元紙幣2a的反射波22的二維強(qiáng)度分布的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是(a)的a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是(a)的b-b’方向的強(qiáng)度分布。

最初，獲取對(duì)新加坡元紙幣2a照射thz波時(shí)的反射波22的二維強(qiáng)度分布。

其次，獲取在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a時(shí)的反射波22a的二維強(qiáng)度分布。

圖7(a)是將對(duì)僅新加坡元紙幣2a的反射波22的二維強(qiáng)度分布與粘貼有修補(bǔ)膠帶7a時(shí)的反射波22的二維強(qiáng)度分布進(jìn)行比較而得到的強(qiáng)度分布用8級(jí)等高線表示的圖。在該圖中，顏色深的部位是透射波4的強(qiáng)度增加的部位，對(duì)應(yīng)于在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的四個(gè)部位。

圖7(b)所示的a-a’方向(x方向)的一維強(qiáng)度分布是修補(bǔ)膠帶7a在新加坡元紙幣2a的寬度方向上的強(qiáng)度分布，可知在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位反射波22a的強(qiáng)度較高。

圖7(c)所示的b-b’方向的強(qiáng)度分布是修補(bǔ)膠帶7a在與新加坡元紙幣2a的寬度方向垂直的方向(y方向)上的強(qiáng)度分布，可知在粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位反射波22a的強(qiáng)度較高，在新加坡元紙幣2a上沒(méi)有粘貼修補(bǔ)膠帶7a的部位反射波22a的強(qiáng)度較低。

透射波4、反射波22的強(qiáng)度因紙張類2的厚度、材質(zhì)、異物7的厚度、材質(zhì)等而變化。此外，透射波4、反射波22的強(qiáng)度根據(jù)所用的thz波的頻率、偏振方向、thz波相對(duì)于紙張類2的入射角度而變化。因此，優(yōu)選根據(jù)要檢查的紙張類2或要檢測(cè)的異物7，通過(guò)所使用的頻率、偏振、相對(duì)于紙張類2的入射角度中的任意一項(xiàng)或它們的組合來(lái)進(jìn)行調(diào)整。thz波振蕩器3a也可以具備能夠產(chǎn)生多個(gè)頻率的thz振蕩器，以使得在改變紙張類2的情況下能夠產(chǎn)生最適于各紙張類2的thz波。根據(jù)入射到紙張類2的thz波的偏振進(jìn)行調(diào)整，以使得thz波探測(cè)部5的偏振狀態(tài)也能夠靈敏度良好地檢測(cè)即可。

(第二實(shí)施方式)

接著，作為本發(fā)明的第二實(shí)施方式，對(duì)能夠在將紙張類2在與寬度方向垂直的方向(y方向)上輸送的同時(shí)進(jìn)行掃描來(lái)檢測(cè)附著在紙張類2上的異物7的檢查裝置30進(jìn)行說(shuō)明。

圖8是用于說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的檢查裝置30的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。該檢查裝置30包括：紙張類輸送部32，輸送紙張類2；thz波照射部33，在與紙張類輸送部32的移動(dòng)方向正交的方向上照射thz波；thz波探測(cè)部35，檢測(cè)照射到紙張類2上的thz波的透射波34；以及信息處理部40，基于在與紙張類輸送部32的輸送方向正交的方向上被照射thz波的紙張類2的透射波34的強(qiáng)度數(shù)據(jù)，得到紙張類2的透射波34的強(qiáng)度分布。

如圖8所示，thz波照射部33包括thz波振蕩器33a、以及對(duì)從thz波振蕩器33a照射的thz波33c進(jìn)行掃描的掃描元件33d。thz波振蕩器33a中的來(lái)自使用耿氏二極管的振蕩器的thz波33a(33c)被透鏡33e等聚光，通過(guò)掃描元件33d在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上從左端掃描到右端，進(jìn)而經(jīng)由菲涅耳透鏡33f等照射到由紙張類輸送部32輸送的紙張類2上。

作為掃描元件33d，能夠使用檢流鏡(galvanomirror)、多角鏡(polygonmirror)、數(shù)字鏡(digitalmirror)元件中的任一種。

菲涅耳透鏡33f具有如下功能：使由掃描元件33d掃描的thz波33s具有相對(duì)于垂直方向稍稍帶有角度的入射角(θ)而作為平行的透射光34照射到紙張類2上。在此，所謂“相對(duì)于垂直方向稍稍帶有角度的入射角”優(yōu)選為上述的幾度(°)～50°，更優(yōu)選為大致10°～50°。

透過(guò)紙張類2的thz波34經(jīng)由聚光用光學(xué)部件35a和透鏡35b，被包括肖特基勢(shì)壘二極管等的thz波探測(cè)元件35c檢測(cè)。作為透鏡35b，能夠使用菲涅耳透鏡、凸透鏡、凹透鏡等、或者使用鏡子的聚光器。作為鏡子，能夠使用半透鏡或拋物面反射鏡等。

作為聚光用光學(xué)部件35a，能夠使用菲涅耳透鏡等。菲涅耳透鏡具有如下功能：使以規(guī)定的角度透過(guò)紙張類2而成為平行的透射光的thz波34聚光到透鏡35b上。

紙張類輸送部32包括用于輸送紙張類2的未圖示的輸送機(jī)構(gòu)。紙張類輸送部32沿著與用thz波掃描紙張類2的x方向垂直的方向、即紙張類2的y方向(參照?qǐng)D2)輸送紙張類2。在紙張類輸送部32中，作為用于輸送紙張類2的部件的材料，能夠使用樹(shù)脂或玻璃38。也就是說(shuō)，為了輸送紙張類，在紙張類2的上表面和/或下表面配置包含可透過(guò)thz波的材料的部件。作為玻璃38，能夠使用可透過(guò)thz波的無(wú)機(jī)玻璃或有機(jī)玻璃。為了使透射波34或后述的反射波52的強(qiáng)度因上述的基于折射率差的透鏡效應(yīng)而增大，優(yōu)選樹(shù)脂或玻璃38的折射率大于紙張類2的折射率。掃描方向?yàn)榧垙堫?的y方向，但也可以是x方向。

信息處理部40通過(guò)對(duì)檢測(cè)在紙張類2上沒(méi)有附著異物7的紙張類2時(shí)得到的透射波34的二維強(qiáng)度分布、與在檢查時(shí)檢測(cè)附著有異物7的紙張類2時(shí)得到的透射波34a的二維強(qiáng)度分布進(jìn)行比較，能夠檢測(cè)在紙張類2上是否附著有異物7。

圖9是用于說(shuō)明本發(fā)明的第二實(shí)施方式涉及的另一檢查裝置50的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。

該檢查裝置50與圖8所示的檢查裝置30的不同之處在于檢測(cè)thz波的反射波52。檢測(cè)thz波的反射波52的thz波探測(cè)部55，是經(jīng)由被紙張類2反射的thz透射波52的聚光用光學(xué)部件55a和透鏡55b，通過(guò)包括肖特基勢(shì)壘二極管等的檢測(cè)thz波的反射波52的thz波探測(cè)元件55c來(lái)檢測(cè)的。thz波探測(cè)部55的結(jié)構(gòu)與圖8的thz波探測(cè)部35相同，但是配置在紙張類輸送部32的上部側(cè)。其他結(jié)構(gòu)與圖8所示的檢查裝置30相同，所以省略說(shuō)明。

在圖8、圖9的第二實(shí)施方式涉及的檢查裝置30、50中，與檢查裝置1、20同樣，信息處理部40包括微處理器、微控制器或個(gè)人計(jì)算機(jī)。來(lái)自thz波探測(cè)部55的輸出經(jīng)由a/d轉(zhuǎn)換器40a或輸入輸出接口(i/o)40b輸入到微處理器或個(gè)人計(jì)算機(jī)。信息處理部40還可以具備顯示器40c或存儲(chǔ)裝置40d。

對(duì)信息處理部40輸入來(lái)自thz波探測(cè)部55的輸出、以及來(lái)自紙張類輸送部32的關(guān)于紙張類2的輸送位置等的信息。

在從thz波照射部33照射的thz波在紙張類2的寬度方向(x方向)上從左端掃描到右端時(shí)，紙張類輸送部32將紙張類2輸送到下一掃描位置。也就是說(shuō)，紙張類2沿著y方向移動(dòng)而到達(dá)下一掃描位置。該紙張類2的移動(dòng)能夠通過(guò)未圖示的包括傳送帶和馬達(dá)的輸送機(jī)構(gòu)或使用步進(jìn)馬達(dá)的輸送機(jī)構(gòu)來(lái)進(jìn)行。

各紙張類2的y方向的輸送可以根據(jù)紙張類2是否通過(guò)要被掃描的位置來(lái)判斷。紙張類2在y方向上的通過(guò)能夠由紙張類輸送部32具備的光耦合器或光遮斷器檢測(cè)。

當(dāng)紙張類2在y方向上的通過(guò)從紙張類的一端進(jìn)行到另一端時(shí)，基于此前輸出的thz透射波34或反射波52的強(qiáng)度信號(hào)，來(lái)計(jì)算透過(guò)紙張類2或被紙張類2反射的thz波的二維強(qiáng)度分布。

這樣，信息處理部40被輸入來(lái)自thz波探測(cè)部35、55的輸出、以及從紙張類輸送部32的控制電路32a被輸入來(lái)自紙張類輸送部32的關(guān)于紙張類2的輸送位置等的信息，輸出基于來(lái)自通過(guò)紙張類輸送部32的紙張類2的、thz波的透射波34或反射波52而得到的二維強(qiáng)度分布。

在根據(jù)基于來(lái)自通過(guò)紙張類輸送部32的紙張類2的、thz波的透射波34或反射波52而得到的二維強(qiáng)度分布判斷為不是正常的紙張類2的情況下，判斷為異常，可以在回收部中回收。

根據(jù)該檢查裝置30、50，若用一臺(tái)thz波振蕩器33a掃描紙張類2的一邊(x方向)，并且使紙張類2沿著另一邊(y)的方向依次移動(dòng)，則能夠基于入射到紙張類2的二維透射波34或反射波52的二維強(qiáng)度分布，以非接觸的方式高速及高效且容易地進(jìn)行附著在紙張類2上的異物7的檢測(cè)，并且成本很低。因此，由于能夠通過(guò)一臺(tái)thz波振蕩器33a掃描紙張類2的一邊，所以不需要為了掃描設(shè)置多個(gè)thz波振蕩器、thz波探測(cè)器。

(第三實(shí)施方式)

接著，對(duì)使用多個(gè)thz波振蕩器或多個(gè)thz波探測(cè)器的檢查裝置進(jìn)行說(shuō)明。

圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式涉及的檢查裝置60的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。該檢查裝置60與圖8所示的檢查裝置30同樣是檢測(cè)透射波34的結(jié)構(gòu)，但是不同之處在于具備包括多個(gè)thz波振蕩器63a～63d的thz波照射部63。由于其他結(jié)構(gòu)與圖8所示的檢查裝置30相同，所以省略說(shuō)明。

具體而言，thz波照射部63包括多個(gè)thz波振蕩器63a、63b、63c、63d、以及插入到多個(gè)thz波振蕩器63與紙張類輸送部32之間的透鏡63e。來(lái)自各thz波振蕩器63a、63b、63c、63d的thz波被所對(duì)應(yīng)的各透鏡63e聚光，在由紙張類輸送部32輸送的紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上照射。

多個(gè)thz波振蕩器63a、63b、63c、63d也可以由信息處理部40進(jìn)行控制，以使得在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上按規(guī)定順序進(jìn)行脈沖振蕩。例如，按照thz波振蕩器63a、63b、63c、63d的順序使它們進(jìn)行脈沖振蕩，接著將紙張類2沿著輸送方向(圖2的y方向)輸送規(guī)定距離之后，再次依序使thz波振蕩器63a、63b、63c、63d進(jìn)行脈沖振蕩。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行該操作，能夠二維地掃描紙張類2。

thz波探測(cè)部65的結(jié)構(gòu)與圖8的thz波探測(cè)部35同樣地構(gòu)成，是經(jīng)由包括菲涅耳透鏡等的聚光用光學(xué)部件65a和透鏡65b，用包括作為thz波檢測(cè)元件65c的肖特基勢(shì)壘二極管等的thz波探測(cè)部65來(lái)檢測(cè)的。由于其他結(jié)構(gòu)與圖8所示的檢查裝置30相同，所以省略說(shuō)明。

在thz波探測(cè)部65中，來(lái)自在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上配置的各thz波振蕩器63a、63b、63c、63d的thz波的透射波34順序入射，二維地掃描紙張類2，由此能夠得到thz波的透射波34的二維信號(hào)分布。

根據(jù)第三實(shí)施方式涉及的檢查裝置60，thz波照射部63包括多個(gè)thz波振蕩器63a、63b、63c、63d和多個(gè)透鏡63e，由于是不包括掃描元件的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。并且，由于不使用具有驅(qū)動(dòng)部的掃描元件，所以可靠性提高。

(第三實(shí)施方式的變形例1)

圖11是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例1涉及的檢查裝置70的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。該檢查裝置70與圖9所示的檢查裝置50同樣是檢測(cè)反射波52的結(jié)構(gòu)，不同之處在于具備包括多個(gè)thz波振蕩器的thz波照射部73。由于其他結(jié)構(gòu)與圖9所示的檢查裝置50相同，所以省略說(shuō)明。

具體而言，thz波照射部73包括多個(gè)thz波振蕩器73a、73b、73c、73d、以及插入到多個(gè)thz波振蕩器73與紙張類輸送部32之間的透鏡73e。來(lái)自各thz波振蕩器73a、73b、73c、73d的thz波被透鏡73e聚光，在由紙張類輸送部32輸送的紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上照射。

多個(gè)thz波振蕩器73a、73b、73c、73d也可以由信息處理部40進(jìn)行控制，以使得在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上依序進(jìn)行脈沖振蕩。例如，按照thz波振蕩器73a、73b、73c、73d的順序使它們進(jìn)行脈沖振蕩，接著將紙張類2沿著輸送方向(圖2的y方向)輸送規(guī)定距離之后，再次使thz波振蕩器73a、73b、73c、73d依序進(jìn)行脈沖振蕩。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行該操作，能夠二維地掃描紙張類2。

thz波探測(cè)部75的結(jié)構(gòu)與圖8的thz波探測(cè)部35同樣，使用包括菲涅耳透鏡等的聚光用光學(xué)部件75a、透鏡75b、以及作為thz波探測(cè)元件75c的肖特基勢(shì)壘二極管，thz波探測(cè)部75配置在紙張類輸送部32的上方以便檢測(cè)thz波的反射波52。

在thz波探測(cè)部75中，來(lái)自在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上配置的各thz波振蕩器73a、73b、73c、73d的thz波的反射波52順序入射，二維地掃描紙張類2，由此能夠得到thz波的反射波52的二維信號(hào)分布。

根據(jù)該檢查裝置70，thz波照射部73包括多個(gè)thz波振蕩器73a、73b、73c、73d和多個(gè)透鏡73e，是不包括掃描元件的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，并且由于不使用具有驅(qū)動(dòng)部的掃描元件，所以可靠性提高。

在上述檢查裝置70中，檢測(cè)來(lái)自紙張類2的正面的thz波的反射波52，但是為了進(jìn)一步檢測(cè)來(lái)自紙張類2的背面的thz波的反射波，還可以在紙張類輸送部72的下部側(cè)另外設(shè)置thz波照射部73及thz波探測(cè)部75。

(第三實(shí)施方式的變形例2)

圖12是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例2涉及的檢查裝置80的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。該檢查裝置80與圖8所示的檢查裝置30同樣具有檢測(cè)透射波34的結(jié)構(gòu)。thz波照射部83與圖8所示的使用thz頻段的檢查裝置30同樣地構(gòu)成，但是在thz波探測(cè)部85具備多個(gè)thz波探測(cè)元件85a、85b、85c、85d這一點(diǎn)上與圖8所示的檢查裝置30不同。

thz波探測(cè)部85配置在紙張類輸送部32的下方，與thz波被掃描而透過(guò)紙張類2的位置相對(duì)應(yīng)地，配置有多個(gè)透鏡85e和作為多個(gè)thz波探測(cè)元件85a、85b、85c、85d的肖特基勢(shì)壘二極管。

根據(jù)上述檢查裝置80，用一臺(tái)thz波振蕩器83a掃描紙張類2的一邊(x方向)，透過(guò)紙張類的thz波由作為thz波探測(cè)元件85a、85b、85c、85d的各肖特基勢(shì)壘二極管來(lái)檢測(cè)。若使紙張類2在另一邊(y)的方向上依次移動(dòng)，則能夠基于入射到紙張類2的二維透射波34的二維強(qiáng)度分布，以非接觸的方式高速及高效且容易地進(jìn)行附著在紙張類2上的異物7的檢測(cè)。

根據(jù)上述檢查裝置80，thz波探測(cè)部85使用多個(gè)thz波探測(cè)元件85a、85b、85c、85d和多個(gè)透鏡85e，但由于不使用菲涅耳透鏡那樣的光學(xué)部件，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。

(第三實(shí)施方式的變形例3)

圖13是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例3涉及的檢查裝置90的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。該檢查裝置90與圖9所示的檢查裝置50同樣具有檢測(cè)反射波52的結(jié)構(gòu)。thz波照射部93與圖9所示的檢查裝置50同樣地構(gòu)成，但是在thz波探測(cè)部95具備多個(gè)thz波探測(cè)元件95a、95b、95c、95d這一點(diǎn)上與圖9所示的檢查裝置50不同。

thz波探測(cè)部95為了檢測(cè)反射波52而配置在紙張類輸送部32的上方，在被掃描的反射波52的位置配置有多個(gè)透鏡95e和作為多個(gè)thz波探測(cè)元件95a、95b、95c、95d的肖特基勢(shì)壘二極管。

根據(jù)該檢查裝置90，用一臺(tái)thz波振蕩器93a掃描紙張類2的一邊(x方向)，被紙張類反射的thz波由作為thz波探測(cè)元件95a、95b、95c、95d的各肖特基勢(shì)壘二極管來(lái)檢測(cè)。若使紙張類2在另一邊(y)的方向上依次移動(dòng)，則能夠基于被紙張類反射的反射波52的二維強(qiáng)度分布，以非接觸的方式高速及高效且容易地進(jìn)行附著在紙張類2上的異物7的檢測(cè)。

根據(jù)上述檢查裝置90，thz波探測(cè)部95使用多個(gè)thz波探測(cè)元件95a、95b、95c、95d和多個(gè)透鏡95e，但由于不使用菲涅耳透鏡那樣的光學(xué)部件，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。

在檢查裝置90中，構(gòu)成為檢測(cè)來(lái)自紙張類2的正面的反射波52，但是為了檢測(cè)來(lái)自紙張類2的背面的反射波，還可以在紙張類輸送部32的下部側(cè)另外設(shè)置thz波照射部93及thz波探測(cè)部95。

(第三實(shí)施方式的變形例4)

圖14是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例4涉及的檢查裝置100的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖。該檢查裝置100與圖8所示的檢查裝置30同樣具有檢測(cè)透射波34的結(jié)構(gòu)，包括配置在紙張類輸送部32的上方的具有多個(gè)thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e的thz波照射部103、以及具有多個(gè)thz波探測(cè)器105a、105b、105c、105d、105e的thz波探測(cè)部105等。

具體而言，thz波照射部103與圖10所示的檢查裝置60同樣，包括多個(gè)thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e、以及配置在該thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e與紙張類輸送部32之間的對(duì)應(yīng)的多個(gè)透鏡103f。

thz波探測(cè)部105與圖12所示的檢查裝置80同樣，在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上的被照射透射波34的各位置，配置有多個(gè)透鏡105f和作為多個(gè)thz波探測(cè)元件105a、105b、105c、105d、105e的肖特基勢(shì)壘二極管。

多個(gè)thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e也可以由信息處理部40進(jìn)行控制，以使得在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上按規(guī)定順序進(jìn)行脈沖振蕩。例如，按照thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e的順序使它們進(jìn)行脈沖振蕩，接著將紙張類2沿著輸送方向(圖2的y方向)輸送規(guī)定的距離之后，再次使thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e依序進(jìn)行脈沖振蕩。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行該操作，能夠二維地掃描紙張類2。

在thz波探測(cè)部105中，來(lái)自在紙張類2的寬度方向(圖2的x方向)上配置的各thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e的thz波的透射波34入射到所對(duì)應(yīng)的thz波探測(cè)元件105a、105b、105c、105d、105e，二維地掃描紙張類2，由此能夠得到thz波的透射波34的二維信號(hào)分布。

根據(jù)上述檢查裝置100，thz波照射部103包括多個(gè)thz波振蕩器103a、103b、103c、103d、103e和多個(gè)透鏡103f，由于是不包括掃描元件的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。并且，由于不使用具有驅(qū)動(dòng)部的掃描元件，所以可靠性提高。此外，thz波探測(cè)部105包括多個(gè)thz波探測(cè)器105a、105b、105c、105d、105e和多個(gè)透鏡105f，由于是不包括聚光用光學(xué)部件的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，并且可靠性提高。

(第三實(shí)施方式的變形例5)

圖15是用于說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方式的變形例5涉及的檢查裝置110的圖，(a)是主視圖，(b)是右側(cè)視圖，(c)是后視圖。該檢查裝置110與圖11所示的檢查裝置70同樣具有檢測(cè)反射波52的結(jié)構(gòu)，為了檢查紙張類2的正面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)?，其包括第一及第二thz波照射部113a、113b和第一及第二thz波探測(cè)部115a、115b等。

第一thz波照射部113a與圖11所示的thz波照射部73同樣地構(gòu)成，包括thz波振蕩器113a、113b、113c、113d、113e和多個(gè)透鏡113f。同樣，第二thz波照射部113b包括thz波振蕩器113a’、113b’、113c’、113d’、113e’和多個(gè)透鏡113f。

第一thz波探測(cè)部115a與圖14所示的thz波探測(cè)部105同樣地構(gòu)成，包括thz波探測(cè)元件115a、115b、115c、115d、115e和多個(gè)透鏡115f。同樣，第二thz波探測(cè)部115b包括thz波探測(cè)元件115a’、115b’、115c’、115d’、115e’和多個(gè)透鏡115f。

為了檢查紙張類2的正面?zhèn)燃氨趁鎮(zhèn)龋刂撇?0控制第一及第二thz波照射部113a、113b，被輸入來(lái)自第一及第二thz波照射部113a、113b的照射定時(shí)(timing)信號(hào)。

在將紙張類2的上方作為紙張類2的正面的情況下，從第一thz波照射部113a照射并被紙張類2的正面反射的thz波由第一thz波探測(cè)部115a來(lái)檢測(cè)。

由此，對(duì)于位于紙張類2的正面的異物7，從第一thz波照射部113a照射并被紙張類2的正面反射的thz波，由第一thz波探測(cè)部115a檢測(cè)，通過(guò)控制部40獲取thz頻段的反射波52的二維強(qiáng)度分布。

從配置在紙張類輸送部32的下部的第二thz波照射部113b照射thz波。被紙張類2的背面反射的thz波由第二thz波探測(cè)部115b來(lái)檢測(cè)。由此，對(duì)于位于紙張類2的背面的異物7，從第二thz波照射部113b照射并被紙張類2的背面反射的thz波，由第二thz波探測(cè)部115b檢測(cè)，通過(guò)控制部40獲取thz頻段的反射波52的二維強(qiáng)度分布。

根據(jù)該檢查裝置110，能夠檢測(cè)粘貼在紙張類2的正面及背面的異物7。

另外，由第一thz波照射部113a進(jìn)行的thz波的照射和由第一thz波探測(cè)部115a進(jìn)行的thz反射波的檢測(cè)、以及由第二thz波照射部113b進(jìn)行的thz波的照射和由第二thz波探測(cè)部115b進(jìn)行的thz反射波的檢測(cè)，按照規(guī)定順序反復(fù)地進(jìn)行照射和檢測(cè)。

根據(jù)上述檢查裝置110，第一及第二thz波照射部113a、113b和第一及第二thz波探測(cè)部115a、115b，由于是不包括掃描元件的結(jié)構(gòu)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化，并且由于不使用具有驅(qū)動(dòng)部的掃描元件，所以可靠性提高。

以下，通過(guò)實(shí)施例更詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明，但是本發(fā)明不限于這些實(shí)施例。

實(shí)施例1

(透射波檢測(cè)中的灰度效應(yīng))

對(duì)由圖2～圖3說(shuō)明的使用90ghz的透射波4的檢查裝置1的、二維強(qiáng)度分布中的灰度效應(yīng)進(jìn)行說(shuō)明。

圖16是示出由使用90ghz的透射波4的檢查裝置1獲取的、透過(guò)新加坡元紙幣2a的90ghz的二維強(qiáng)度分布的等高線級(jí)數(shù)為16的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是b-b’方向的強(qiáng)度分布。照射新加坡元紙幣2a的thz波的照射條件與圖2同樣使用90ghz，得到僅新加坡元紙幣2a時(shí)與在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a時(shí)的透射波4的強(qiáng)度之差，作為thz波的二維強(qiáng)度分布。

圖16(b)所示的a-a’方向的強(qiáng)度分布是修補(bǔ)膠帶7a在新加坡元紙幣2a的寬度方向(x方向)上的強(qiáng)度分布，可知在新加坡元紙幣2a上粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位透射波4a的強(qiáng)度較高。在thz波的二維強(qiáng)度分布中，由于等高線級(jí)數(shù)為16，所以也能夠判別修補(bǔ)膠帶7a內(nèi)的透射波4a的強(qiáng)度分布。

圖16(c)所示的b-b’方向的強(qiáng)度分布是修補(bǔ)膠帶7a在與新加坡元紙幣2a的寬度方向垂直的方向(y方向)上的強(qiáng)度分布，可知在粘貼有修補(bǔ)膠帶7a的部位透射波4a的強(qiáng)度較高，在新加坡元紙幣2a上沒(méi)有粘貼修補(bǔ)膠帶7a的部位透射波4a的強(qiáng)度較低。

圖17是示出由使用90ghz的透射波4的檢查裝置1獲取的、透過(guò)新加坡元紙幣2a的90ghz波的二維強(qiáng)度分布的等高線級(jí)數(shù)為6的圖，(a)是二維強(qiáng)度分布，(b)是a-a’方向的強(qiáng)度分布，(c)是b-b’方向的強(qiáng)度分布。

如該圖所示，在90ghz的二維強(qiáng)度分布中，等高線級(jí)數(shù)為6，所以修補(bǔ)膠帶7a的位置一眼就能夠判別。因此，在判別在新加坡元紙幣2a上是否有如修補(bǔ)膠帶7a這樣的異物7的情況下，可知如圖17所示那樣將等高線級(jí)數(shù)設(shè)定為6也是足夠的。

(使入射角度從0°～35°變化時(shí)的透射波強(qiáng)度關(guān)系)

在90ghz時(shí)，測(cè)量使入射到紙張類的角度(θ)從0°～35°變化時(shí)的透射波4的強(qiáng)度。

圖18是用于說(shuō)明復(fù)印紙上的膠帶的粘貼位置(y方向粘貼)的圖。如該圖所示，設(shè)紙張類2為復(fù)印紙2b，與復(fù)印紙2b的長(zhǎng)度方向(y方向)平行地粘貼有寬度為18mm的修補(bǔ)膠帶7a和寬度為10mm的透明膠帶7b。與圖1、圖2、圖3中說(shuō)明的90ghz的透射波的測(cè)量同樣地，測(cè)量使入射角度從0°～35°變化時(shí)的透射波的二維強(qiáng)度。

圖19是如圖18那樣在復(fù)印紙上平行地粘貼修補(bǔ)膠帶和透明膠帶，并使90ghz的透射波的入射角度變化時(shí)的透射波的二維強(qiáng)度的圖，(a)示出0°及5°，(b)示出10°及15°，(c)示出20°及25°，(d)示出30°及35°。10°～35°的坐標(biāo)與0°時(shí)相同。圖中示出的透射波強(qiáng)度，在黑的部位較強(qiáng)，在白的部位較弱。

從圖19明確可知，在入射角度為0°的垂直入射和5°的情況下，來(lái)自修補(bǔ)膠帶7a及透明膠帶7b的透射波的強(qiáng)度較弱而難以判別。另一方面，在入射角度為10°以上時(shí)，來(lái)自修補(bǔ)膠帶7a及透明膠帶7b的透射波的強(qiáng)度增大，一眼就可知粘貼有這些膠帶。

如上所述，在垂直入射或接近垂直入射的情況下，會(huì)出現(xiàn)因來(lái)自紙張類2的反射波與入射波發(fā)生干涉而引起的透射強(qiáng)度的周期性強(qiáng)度圖案，成為識(shí)別粘貼物7時(shí)的障礙，所以不優(yōu)選。根據(jù)圖19的結(jié)果，也優(yōu)選入射角度(θ)為大致10°以上。

(入射角度與透射波強(qiáng)度的關(guān)系)

測(cè)量使90ghz的thz波入射到紙張類的角度(θ)變化時(shí)的透射波4的強(qiáng)度。

圖20是用于說(shuō)明復(fù)印紙2b上的膠帶的粘貼位置(x方向粘貼)的圖。如圖20所示，設(shè)紙張類2為復(fù)印紙2b，在其兩面，與x方向(方向)平行地粘貼有40mm×15mm及10mm×15mm的透明膠帶7a和50mm×18mm及5mm×18mm的修補(bǔ)膠帶7b。

圖21是示出入射角度為15°且y方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙2b的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。照射復(fù)印紙2b的thz波的照射條件與圖1同樣使用90ghz，得到僅復(fù)印紙2b時(shí)與在復(fù)印紙2b上粘貼有膠帶時(shí)的透射波4的強(qiáng)度之差，作為thz波的二維強(qiáng)度分布。使用耿氏二極管的振蕩器3a和肖特基勢(shì)壘二極管5c的波導(dǎo)方向以成為相同的偏振方向的方式設(shè)定。使用耿氏二極管的振蕩器3a和肖特基勢(shì)壘二極管5c的波導(dǎo)都使用波導(dǎo)管和與波導(dǎo)管連接的喇叭天線。

如圖21所示，在入射角度為15°時(shí)的thz波的二維強(qiáng)度分布中，等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任何一個(gè)的情況下，都能夠明確地判別粘貼在復(fù)印紙2b上的膠帶的存在。圖21的等高線級(jí)數(shù)為8及4的坐標(biāo)與等高線級(jí)數(shù)為12時(shí)相同。其他圖只要不特別說(shuō)明就是同樣的。

圖22是示出入射角度為45°且y方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙2b的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。測(cè)量條件除了將入射角度設(shè)定為45°以外與圖21相同。如該圖所示，在入射角度為45°時(shí)的90ghz的二維強(qiáng)度分布中，等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任意一個(gè)的情況下，都能夠明確地判別粘貼在復(fù)印紙2b上的膠帶的存在。

從圖21及圖22得到的90ghz的二維強(qiáng)度分布因?qū)⑷肷浣嵌茸兓癁?5°和45°而發(fā)生變化，可以判明的是，在等高線級(jí)數(shù)為4的情況下，也能夠明確地判別粘貼在復(fù)印紙2b上的膠帶的存在。

(偏振效應(yīng))

測(cè)量在向紙張類2照射thz波時(shí)改變偏振時(shí)的透射波強(qiáng)度。

復(fù)印紙2b上的膠帶的粘貼位置與圖20相同，與圖21的情況進(jìn)行比較，除了使偏振方向?yàn)樵诖怪狈较?90°)上偏移的x方向偏振以外，與圖21同樣地測(cè)量透過(guò)復(fù)印紙2b的thz波的二維強(qiáng)度分布。

圖23是示出入射角度為15°且x方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙2b的thz波的二維強(qiáng)度分布的圖。如該圖所示，可知在入射角度為15°時(shí)的thz波的二維強(qiáng)度分布中，在等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任意一個(gè)的情況下，都能夠判別粘貼在復(fù)印紙2b上的膠帶的存在，但是比圖21難判別。也就是說(shuō)，得到與圖21不同的thz波的二維強(qiáng)度分布。由此，可知通過(guò)控制入射到復(fù)印紙2b的thz波的偏振方向，使透過(guò)復(fù)印紙2b的thz波的二維強(qiáng)度分布發(fā)生變化。

圖24是示出入射角度為45°且x方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖20所示的復(fù)印紙2b的thz波的二維強(qiáng)度分布的圖。如該圖所示，可知在入射角度為45°時(shí)的thz波的二維強(qiáng)度分布中，在等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任意一個(gè)的情況下，都能夠判別粘貼在復(fù)印紙2b上的膠帶的存在，但是比圖22難判別。也就是說(shuō)，得到與圖22不同的thz波的二維強(qiáng)度分布。由此，可知通過(guò)控制入射到復(fù)印紙2b的thz波的偏振方向，使透過(guò)復(fù)印紙2b的thz波的二維強(qiáng)度分布發(fā)生變化。

可以判明的是，從圖23及圖24得到的thz波的二維強(qiáng)度分布與圖21及圖22的y方向偏振時(shí)的數(shù)據(jù)明顯不同，根據(jù)入射到復(fù)印紙2b的thz波的偏振方向而發(fā)生變化。

實(shí)施例2

(90ghz時(shí)的反射測(cè)量)

接著，說(shuō)明90ghz時(shí)進(jìn)行反射測(cè)量的實(shí)施例2。

作為thz波振蕩器3a，使用90ghz的連續(xù)振蕩(cw振蕩)的耿氏二極管振蕩器，從相對(duì)于紙張類2的紙面垂直方向?yàn)?5°的方向入射，測(cè)量反射波22。使用耿氏二極管的振蕩器3a和肖特基勢(shì)壘二極管5c的波導(dǎo)的方向是與圖23相同的偏振方向。

圖25是示出入射角度為45°且x方向偏振時(shí)的、被圖18所示的復(fù)印紙2b反射的90ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。膠帶的粘貼部位與圖18相同。如圖18所示，設(shè)紙張類2為復(fù)印紙2b，在其兩面，粘貼有10mm×70mm的大小的透明膠帶7b和18mm×70mm的大小的修補(bǔ)膠帶7a。掃描范圍為70mm(x方向)×70mm(y方向)，每隔2mm測(cè)量反射波22的強(qiáng)度分布。

如圖25所示，在入射角度為45°時(shí)的90ghz波的反射波22的二維強(qiáng)度分布中，等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任意一個(gè)的情況下，90ghz波的來(lái)自膠帶的反射波22的強(qiáng)度都比來(lái)自復(fù)印紙2b的反射波22的強(qiáng)度弱?？芍軌蛎鞔_地判別粘貼在復(fù)印紙2b上的膠帶的存在，但是來(lái)自膠帶的反射強(qiáng)度與60ghz的情況不同，變得比來(lái)自復(fù)印紙2b的反射強(qiáng)度弱。

實(shí)施例3

(140ghz時(shí)的透射測(cè)量)

接著，說(shuō)明140ghz時(shí)進(jìn)行透射測(cè)量的實(shí)施例3。

作為thz波振蕩器3a，使用140ghz的連續(xù)振蕩(cw振蕩)的、采用impatt二極管的振蕩器(elva-1公司制，型號(hào)cido-06/140/20)，從相對(duì)于紙張類2的紙面垂直方向?yàn)?5°的方向入射，測(cè)量透射波4。輸出為大致10mw。使用impatt二極管的振蕩器3a和肖特基勢(shì)壘二極管5c(elva-1公司制，型號(hào)zbd-06)的波導(dǎo)的方向是與圖21相同的偏振方向。其他條件與90ghz的透射波4的測(cè)量相同。

設(shè)紙張類2為高質(zhì)紙，在其兩面的與圖18相同的位置，以長(zhǎng)度方向?yàn)閥方向的方式粘貼有10mm×70mm的大小的透明膠帶7b和18mm×70mm的大小的修補(bǔ)膠帶7a。掃描范圍為70mm(x方向)×70mm(y方向)，每隔2mm測(cè)量透射波4a的強(qiáng)度分布。

圖26是示出入射角度為15°且y方向偏振時(shí)的、透過(guò)圖18所示的粘貼有膠帶的高質(zhì)紙的140ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。圖26的坐標(biāo)中，紙面上下方向是x方向，紙面左右方向是y方向。

如圖26所示，在入射角度為15°時(shí)的140ghz波的透射波4a的二維強(qiáng)度分布中，等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任意一個(gè)的情況下，雖然90ghz時(shí)來(lái)自膠帶的透射波4a的強(qiáng)度比復(fù)印紙2b的透射波4a的強(qiáng)度強(qiáng)，但是140ghz波時(shí)來(lái)自膠帶的透射波4a的強(qiáng)度都變得比來(lái)自高質(zhì)紙的透射波4的強(qiáng)度弱。在等高線級(jí)數(shù)為4的情況下，在y方向上粘貼的透明膠帶7b和修補(bǔ)膠帶7a的位置明確可知?？芍軌蛎鞔_地判別粘貼在高質(zhì)紙上的膠帶的存在，但是來(lái)自膠帶的透射波的強(qiáng)度與90ghz的情況不同，變得比來(lái)自高質(zhì)紙的透射波的強(qiáng)度弱。

從圖26的結(jié)果可知，通過(guò)照射到復(fù)印紙或高質(zhì)紙的thz波的頻率發(fā)生變化，來(lái)自復(fù)印紙或高質(zhì)紙的透射波的強(qiáng)度與粘貼在復(fù)印紙或高質(zhì)紙上的膠帶的透射波的強(qiáng)度之間的關(guān)系發(fā)生變化，但是其存在是能夠明確地判別的。

實(shí)施例4

(140ghz時(shí)的反射測(cè)量)

接著，說(shuō)明140ghz時(shí)進(jìn)行反射測(cè)量的實(shí)施例4。

140ghz時(shí)的反射測(cè)量，除了從相對(duì)于紙張類2的紙面垂直方向?yàn)?5°的方向入射進(jìn)行反射波22的測(cè)量以外，其他與90ghz的反射所涉及的實(shí)施例2相同。

使用impatt二極管的振蕩器3a和肖特基勢(shì)壘二極管5c的波導(dǎo)的方向，是與圖21所示的透射波的測(cè)量相同的偏振方向。像圖18那樣在高質(zhì)紙的兩面，粘貼有10mm×70mm的大小的透明膠帶7b和18mm×70mm的大小的修補(bǔ)膠帶7a。掃描范圍為70mm(x方向)×70mm(y方向)，每隔2mm測(cè)量反射波22的強(qiáng)度分布。

圖27是示出被高質(zhì)紙反射的140ghz的二維強(qiáng)度分布的圖。如該圖所示，在入射角度為45°時(shí)的140ghz波的反射波22的二維強(qiáng)度分布中，等高線級(jí)數(shù)為12、8、4中的任意一個(gè)的情況下，雖然60ghz時(shí)來(lái)自膠帶的反射波22的強(qiáng)度比復(fù)印紙2b的反射波22的強(qiáng)度強(qiáng)，但是140ghz波的來(lái)自膠帶的反射波22的強(qiáng)度都變得比來(lái)自高質(zhì)紙2b的反射波22的強(qiáng)度弱。可知能夠明確地判別粘貼在高質(zhì)紙上的透明膠帶7b和修補(bǔ)膠帶7a的存在，但是來(lái)自這些膠帶的反射強(qiáng)度與60ghz的情況不同，變得比來(lái)自高質(zhì)紙的反射強(qiáng)度弱。

在使使用impatt二極管的振蕩器3a和肖特基勢(shì)壘二極管5c的偏振旋轉(zhuǎn)90°的情況下進(jìn)行反射測(cè)量。在該情況下，得到與圖27所示的反射波22的二維強(qiáng)度分布類似的數(shù)據(jù)。

從圖27的結(jié)果可知，通過(guò)使照射到復(fù)印紙或高質(zhì)紙上的thz波的頻率發(fā)生變化，來(lái)自復(fù)印紙或高質(zhì)紙的反射波的強(qiáng)度與粘貼在復(fù)印紙或高質(zhì)紙上的膠帶的反射波的強(qiáng)度之間的關(guān)系發(fā)生變化，但是其存在是能夠明確地判別的。

本發(fā)明不限于上述實(shí)施例，在權(quán)利要求記載的發(fā)明范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變形，這些當(dāng)然也包含在本發(fā)明的范圍內(nèi)。