本發(fā)明涉及水汽實(shí)驗(yàn)工裝領(lǐng)域，具體而言，涉及一種水汽阻隔膜的測(cè)試裝置。

背景技術(shù)：

隨著對(duì)電子產(chǎn)品以及產(chǎn)品包裝的性能需求以及使用壽命的要求越來(lái)越高，譬如oled的封裝要求wvtr＜10^-6g/m²·day，而現(xiàn)階段的測(cè)試方法的測(cè)試極限僅能達(dá)到10^-6g/m²·day，現(xiàn)階段的測(cè)試方法無(wú)法達(dá)到產(chǎn)品需求所需要的測(cè)試范圍。

在對(duì)阻隔膜的水汽透過(guò)率(wvtr)進(jìn)行測(cè)試時(shí)，我們需要保證阻隔膜兩側(cè)有一定的濃度差和壓力差，但是阻隔膜的膜層比較脆弱，要保證不發(fā)生側(cè)漏。

在測(cè)試的過(guò)程中，對(duì)于如何將測(cè)試阻隔膜放置于真空中，面臨一系列的阻隔膜安裝夾緊的難題。

(1)阻隔膜的尺寸問(wèn)題。阻隔膜比較柔軟且脆弱，這給測(cè)試過(guò)程中保證阻隔膜在真空中的有效密封帶來(lái)困難，容易在測(cè)試的過(guò)程中造成阻隔膜的損壞或者阻隔膜發(fā)生位移而帶來(lái)氣氛的側(cè)漏。

(2)直接將阻隔膜放置于真空接頭處的話(huà)，在抽氣時(shí)或者阻隔膜兩邊有壓差時(shí)，阻隔膜會(huì)發(fā)生變形，甚至發(fā)生褶皺，從而造成阻隔膜的破壞、發(fā)生位移而發(fā)生側(cè)漏。如果使用固定塊來(lái)固定住阻隔膜，這將會(huì)在測(cè)試過(guò)程中阻礙管路的抽氣操作順暢，以及阻礙滲透氣氛的氣體輸運(yùn)，給檢測(cè)帶來(lái)困難。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明的主要目的在于提供一種水汽阻隔膜的測(cè)試裝置，以解決現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)水汽阻隔膜測(cè)試時(shí)水汽阻隔膜難以安裝夾緊的問(wèn)題。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種水汽阻隔膜的測(cè)試裝置，包括：阻隔膜安裝組件，阻隔膜安裝組件包括周向限定水汽阻隔膜的壓緊墊圈和用于支撐水汽阻隔膜的透氣性承載件；測(cè)試室，阻隔膜安裝組件設(shè)置在測(cè)試室內(nèi)；連接件，連接件用于將阻隔膜安裝組件與測(cè)試室的腔壁夾緊密封；其中，阻隔膜安裝組件將測(cè)試室分隔為第一腔室和第二腔室，第一腔室的腔壁上開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口，第二腔室的腔壁上開(kāi)設(shè)有出氣口，壓緊墊圈設(shè)置在水汽阻隔膜的靠近進(jìn)氣口側(cè)，透氣性承載件設(shè)置在水汽阻隔膜的靠近出氣口側(cè)。

進(jìn)一步地，阻隔膜安裝組件還包括：支撐圈，支撐圈的第一側(cè)開(kāi)設(shè)有階梯安裝部；透氣性承載件放置在階梯安裝部上，水汽阻隔膜放置在透氣性承載件上，且水汽阻隔膜與支撐圈接觸。

進(jìn)一步地，阻隔膜安裝組件還包括：第一密封圈，第一密封圈設(shè)置在支撐圈的外側(cè)壁上，第一密封圈與第一腔室的腔壁和第二腔室的腔壁均抵接密封。

進(jìn)一步地，阻隔膜安裝組件還包括：第二密封圈，第二密封圈設(shè)置在支撐圈的第一側(cè)上，第二密封圈位于透氣性承載件的外側(cè)，水汽阻隔膜位于壓緊墊圈與第二密封圈之間。

進(jìn)一步地，第二密封圈與壓緊墊圈至少部分重合。

進(jìn)一步地，階梯安裝部為圓環(huán)形，透氣性承載件為與階梯安裝部配合的圓形件。

進(jìn)一步地，透氣性承載件為泡沫銅板、坩堝漏斗、多孔氮化硅、鋁箔紙中的一種。

進(jìn)一步地，第一腔室的腔壁外側(cè)具有第一周向凸沿，第二腔室的腔壁外側(cè)具有第二周向凸沿，連接件設(shè)置在第一周向凸沿和第二周向凸沿上以?shī)A緊阻隔膜安裝組件。

進(jìn)一步地，第一周向凸沿開(kāi)設(shè)有定位階梯部，支撐圈的第二側(cè)開(kāi)設(shè)有與定位階梯部配合的配合階梯部；和/或，第二周向凸沿開(kāi)設(shè)有裝配階梯部，壓緊墊圈位于裝配階梯部?jī)?nèi)。

進(jìn)一步地，連接件包括：第一半箍，第一半箍上開(kāi)設(shè)有梯形槽；第二半箍，第二半箍的第一端與第一半箍的第一端鉸接，第二半箍上開(kāi)設(shè)有梯形槽；第一周向凸沿和第二周向凸沿位于第一半箍和第二半箍的梯形槽內(nèi)，第一半箍的第二端和第二半箍的第二端通過(guò)螺栓連接以使第一半箍的第二端和第二半箍壓緊第一周向凸沿和第二周向凸沿。

應(yīng)用本發(fā)明的技術(shù)方案，通過(guò)阻隔膜安裝組件的透氣性承載件對(duì)水汽阻隔膜進(jìn)行支撐，而且水汽阻隔膜通過(guò)壓緊墊圈進(jìn)行壓緊，這樣，在通入試驗(yàn)氣體對(duì)水汽阻隔膜進(jìn)行測(cè)試水汽透過(guò)率時(shí)，水汽阻隔膜就不會(huì)因其兩側(cè)的第一腔室和第二腔室之間的壓差而變形，在測(cè)試過(guò)程中也不會(huì)發(fā)生褶皺而出現(xiàn)側(cè)漏，保證了抽氣操作順暢，試驗(yàn)氣體輸運(yùn)順利，解決了水汽阻隔膜難以安裝夾緊的問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

構(gòu)成本申請(qǐng)的一部分的說(shuō)明書(shū)附圖用來(lái)提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，本發(fā)明的示意性實(shí)施例及其說(shuō)明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中：

圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的水汽阻隔膜的測(cè)試裝置的實(shí)施例的剖視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2示出了圖1的分解結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3示出了圖1的連接件的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4示出了圖3的a-a剖視結(jié)構(gòu)示意圖。

其中，上述附圖包括以下附圖標(biāo)記：

10、第一腔室；11、第一周向凸沿；

20、第二腔室；21、第二周向凸沿；

311、支撐圈；312、透氣性承載件；

313、第一密封圈；314、第二密封圈；

32、壓緊墊圈；40、連接件；

41、第一半箍；42、第二半箍；

100、水汽阻隔膜；200、螺栓。

具體實(shí)施方式

需要說(shuō)明的是，在不沖突的情況下，本申請(qǐng)中的實(shí)施例及實(shí)施例中的特征可以相互組合。下面將參考附圖并結(jié)合實(shí)施例來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明。

如圖1和圖2所示，本發(fā)明的實(shí)施例的水汽阻隔膜的測(cè)試裝置包括阻隔膜安裝組件、測(cè)試室和連接件40，在本實(shí)施例中，阻隔膜安裝組件包括壓緊墊圈32和透氣性承載件312，壓緊墊圈32用于沿水汽阻隔膜的周向來(lái)限定水汽阻隔膜，而透氣性承載件312則用于支撐水汽阻隔膜，連接件40用于將阻隔膜安裝組件與測(cè)試室的腔壁之間夾緊密封，其中，阻隔膜安裝組件將測(cè)試室分隔為第一腔室10和第二腔室20，第一腔室10的腔壁上開(kāi)設(shè)有進(jìn)氣口，第二腔室20的腔壁上開(kāi)設(shè)有出氣口，壓緊墊圈32設(shè)置在水汽阻隔膜的靠近進(jìn)氣口側(cè)，透氣性承載件312設(shè)置在水汽阻隔膜的靠近出氣口側(cè)。

本發(fā)明的測(cè)試裝置通過(guò)阻隔膜安裝組件的透氣性承載件312對(duì)水汽阻隔膜進(jìn)行支撐，而且水汽阻隔膜通過(guò)壓緊墊圈32進(jìn)行壓緊，這樣，當(dāng)測(cè)試室通入試驗(yàn)氣體以對(duì)水汽阻隔膜進(jìn)行水汽透過(guò)率測(cè)試時(shí)，水汽阻隔膜就不會(huì)因其兩側(cè)的第一腔室10和第二腔室20之間的壓差而變形，在測(cè)試過(guò)程中也不會(huì)發(fā)生褶皺而出現(xiàn)側(cè)漏，保證了抽氣操作順暢，試驗(yàn)氣體輸運(yùn)順利，解決了水汽阻隔膜難以安裝夾緊的問(wèn)題。

在本實(shí)施例中，阻隔膜安裝組件還包括支撐圈311，支撐圈311的第一側(cè)開(kāi)設(shè)有階梯安裝部，透氣性承載件312放置在階梯安裝部上，水汽阻隔膜100放置在透氣性承載件312上(在本實(shí)施例中，水汽阻隔膜可以貼合在透氣性承載件312，從而透氣性承載件312對(duì)水汽阻隔膜形成支撐；水汽阻隔膜還可以是由透氣性承載件312形成的若干個(gè)支撐凸起來(lái)支撐，此時(shí)，每個(gè)支撐凸起和水汽阻隔膜之間的接觸面為弧面)，且水汽阻隔膜100的與支撐圈311接觸。通過(guò)透氣性承載件312對(duì)水汽阻隔膜100的支撐，使得水汽阻隔膜100在測(cè)試過(guò)程中，不會(huì)因?yàn)樗韪裟?00兩側(cè)的壓差而發(fā)生變形，此時(shí)水汽阻隔膜100由于壓差的存在而貼合在透氣性承載件312上，同時(shí)也避免了水汽阻隔膜100發(fā)生褶皺的情況，防止出現(xiàn)測(cè)漏而影響測(cè)試結(jié)果。

具體地，阻隔膜安裝組件還包括第一密封圈313和第二密封圈314，在本實(shí)施例中，第一密封圈313設(shè)置在支撐圈311的外側(cè)壁上，且第一密封圈313與第一腔室10的腔壁和第二腔室20的腔壁均抵接密封，第二密封圈314設(shè)置在支撐圈311的第一側(cè)上，第二密封圈314位于透氣性承載件312的外側(cè)，水汽阻隔膜100位于壓緊墊圈32與第二密封圈314之間。通過(guò)第一密封圈313和第二密封圈314對(duì)安裝在第一腔室10和第二腔室20之間的阻隔膜安裝組件進(jìn)行密封，使得在輸入試驗(yàn)氣體時(shí)對(duì)水汽阻隔膜100的密封良好，保證了測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。

為了既能夠壓緊水汽阻隔膜100，又能夠?qū)λ韪裟?00形成有效的密封，因此，本實(shí)施例中的第二密封圈314與壓緊墊圈32至少部分重合(優(yōu)選地，第二密封圈314與壓緊墊圈32完全重合)。

在本實(shí)施例中，支撐圈311上的階梯安裝部為圓環(huán)形，透氣性承載件312為與階梯安裝部配合的圓形件。第一腔室10、第二腔室20均為圓柱形空腔，并且阻隔膜安裝組件的結(jié)構(gòu)外形也為圓柱形。當(dāng)然，階梯安裝部也可以選擇矩形形狀，甚至是其他一切可行的形狀均可。

本實(shí)施例的透氣性承載件312為泡沫銅板、g1～4坩堝漏斗、多孔氮化硅、鋁箔紙中的一種，上述的透氣性材料之間可以相互替換使用。優(yōu)選地，本實(shí)施例選優(yōu)泡沫銅板作為水汽阻隔膜100的承載件。

如圖1和圖2所示，為了方便阻隔膜安裝組件的安裝，同時(shí)保證阻隔膜安裝組件被第一腔室10的腔壁和第二腔室20的腔壁所壓緊密封，因此，第一腔室10的腔壁具有第一周向凸沿11，第二腔室20的腔壁具有第二周向凸沿21，阻隔膜安裝組件位于第一周向凸沿11和第二周向凸沿21之間，連接件40設(shè)置在第一周向凸沿11和第二周向凸沿21上以?shī)A緊阻隔膜安裝組件。

具體地，第一周向凸沿11上開(kāi)設(shè)有定位階梯部，支撐圈311的第二側(cè)開(kāi)設(shè)有于定位階梯部配合的配合階梯部，以及第二周向凸沿21上開(kāi)設(shè)有裝配階梯部，壓緊墊圈32位于裝配階梯部?jī)?nèi)。或者，在另一可行的實(shí)施方式中，僅僅是第一周向凸沿11上開(kāi)設(shè)有定位階梯部，支撐圈311的第二側(cè)開(kāi)設(shè)有于定位階梯部配合的配合階梯部，此時(shí)壓緊墊圈32被第二腔室20的腔壁直接壓緊；又或在又一個(gè)可行的實(shí)施方式中，僅僅是第二周向凸沿21上開(kāi)設(shè)有裝配階梯部，壓緊墊圈32位于裝配階梯部?jī)?nèi)，此時(shí)支撐圈311直接放置在第一腔室10的腔壁上。

如圖3和圖4所示，連接件40包括第一半箍41和第二半箍42，第一半箍41上開(kāi)設(shè)有梯形槽，第二半箍42的第一端與第一半箍41的第一端鉸接，第二半箍42上開(kāi)設(shè)有梯形槽，在本實(shí)施例中，第一周向凸沿11和第二周向凸沿21位于第一半箍41和第二半箍42的梯形槽內(nèi)，第一半箍41的第二端和第二半箍42的第二端通過(guò)螺栓200連接以使第一半箍41的第二端和第二半箍42壓緊第一周向凸沿11和第二周向凸沿21。將阻隔膜安裝組件放置在第一腔室10和第二腔室20之間后，將第一半箍41和第二半箍42安裝在第一周向凸沿11和第二周向凸沿21上，通過(guò)旋擰螺栓200上的螺母來(lái)縮小第一半箍41和第二半箍42之間所形成圓的直徑，從而通過(guò)梯形槽的槽壁對(duì)壓緊第一周向凸沿11和第二周向凸沿21，實(shí)現(xiàn)對(duì)阻隔膜安裝組件的壓緊。

當(dāng)然，第一周向凸沿11和第二周向凸沿21之間也可以通過(guò)周向分布的連接螺栓進(jìn)行連接，從而通過(guò)旋擰在連接螺栓上鎖緊螺母對(duì)第一周向凸沿11和第二周向凸沿21進(jìn)行擠壓，從而壓緊阻隔膜安裝組件，以完成對(duì)水汽阻隔膜100的安裝夾緊。

在進(jìn)行輸入試驗(yàn)氣體測(cè)試的過(guò)程中，使用的試驗(yàn)氣體為氦氣(he)。水汽阻隔膜100將試驗(yàn)空間分割成膜內(nèi)側(cè)和膜外側(cè)兩個(gè)區(qū)域，在水汽阻隔膜100的膜外側(cè)通過(guò)流量計(jì)控制通入he，則he就會(huì)滲透過(guò)水汽阻隔膜100而進(jìn)入膜內(nèi)側(cè)的真空空間。這樣，he就會(huì)被對(duì)he高度敏感的殘余氣體檢測(cè)裝置(rga裝置)檢測(cè)到he的濃度，以此來(lái)計(jì)算出水汽阻隔膜100的水汽透過(guò)率(wvtr)。

除了利用分子直徑比水分子(h2o)直徑小的he作為測(cè)試介質(zhì)(即試驗(yàn)氣體)外，還可以利用分子直徑比h2o直徑小的h2、ne、ar等作為測(cè)試介質(zhì)。

以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對(duì)于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。