本發(fā)明涉及一種氣體傳感器電極的加工方法。

背景技術：
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目前氣體傳感器電極的加工方法多為屬化成膜工藝可以采用真空蒸發(fā)鍍膜法、直流射頻磁控濺射法、化學氣相沉積法等成膜方式，但是就目前的技術而言這些方法都存在缺陷，例如：加工條件高，技術要求高，經(jīng)濟成本高等。

技術實現(xiàn)要素：
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本發(fā)明的目的是提供一種三角形熱線氣體傳感器，解決上述缺陷。

上述的目的通過以下的技術方案實現(xiàn):

一種氣體傳感器電極的加工方法，其特征在于包括一下幾個步驟：

步驟1：對陶瓷基板進行預處理使其對光刻膠有良好的粘附作用；

步驟2：在陶瓷基板上涂抹光刻膠，并使其均勻分布，之后進行烘干；

步驟3：將定制好尺寸及鏤空的模板蓋在光刻膠上；

步驟4：利用紫外線對模板進行曝光處理，模板鏤空處的光刻膠遇紫外線時性質(zhì)將改變，并用化學試劑將光刻膠改變性質(zhì)部分溶解，之后進行烘干；

步驟5：在光刻膠表面鍍上一層金屬薄膜；

步驟6：利用化學試劑將光刻膠及其表面的薄膜溶解剝離掉，剩下直接鍍在陶瓷基板上的金屬薄膜。

所述的一種氣體傳感器電極的加工方法，所述的光刻膠型號為：BP212型光刻膠。

所述的一種氣體傳感器電極的加工方法，所述的化學試劑為：TMAH顯影液。

有益效果：

1.本發(fā)明相對于其他制作方法，技術門檻低，加工簡便，有效的降低氣體傳感器電極的加工成本。

2.本發(fā)明加工的傳感器電極精度高，易進行批量生產(chǎn)，且模板可以多次循環(huán)利用，符合國家節(jié)約的基本國策。

附圖說明：

附圖1是本發(fā)明加工方法的步驟圖。

具體實施方式：

實施例1：

實施例1一種氣體傳感器電極的加工方法，其特征在于包括一下幾個步驟：

步驟1：對陶瓷基板進行預處理使其對光刻膠有良好的粘附作用；

步驟2：在陶瓷基板上涂抹光刻膠，并使其均勻分布，之后進行烘干；

步驟3：將定制好尺寸及鏤空的模板蓋在光刻膠上；

步驟4：利用紫外線對模板進行曝光處理，模板鏤空處的光刻膠遇紫外線時性質(zhì)將改變，并用化學試劑將光刻膠改變性質(zhì)部分溶解，之后進行烘干；

步驟5：在光刻膠表面鍍上一層金屬薄膜；

步驟6：利用化學試劑將光刻膠及其表面的薄膜溶解剝離掉，剩下直接鍍在陶瓷基板上的金屬薄膜。

實施例2：

根據(jù)實施例1所述的一種氣體傳感器電極的加工方法，所述的光刻膠型號為：BP212型光刻膠。

實施例3：

根據(jù)實施例1所述的一種氣體傳感器電極的加工方法，所述的化學試劑為：TMAH顯影液。