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      一種米級尺度多光軸平行檢測裝置及檢測方法與流程

      文檔序號:11945149閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于:其包括第一校準部、第二校準部、第三校準部、第一平移機構(gòu)和控制系統(tǒng),所述第二校準部和第三校準部安裝在所述第一平移機構(gòu)上,所述第二校準部和第三校準部與控制系統(tǒng)連接;

      第一校準部發(fā)出的光軸一垂直于第二校準部發(fā)出的光軸二,第二校準部發(fā)出的光軸二垂直于第三校準部發(fā)出的光軸三。

      2.如權(quán)利要求1所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于:所述第一校準部包括自準直儀一、固定基準和第一支撐平臺,所述自準直儀一和固定基準依次安裝在所述第一支撐平臺上;所述第二校準部包括第一楔鏡、自準直儀二和第一并聯(lián)微動機構(gòu),所述第一楔鏡、自準直儀二、第一并聯(lián)微動機構(gòu)固定連接;所述第三校準部包括第二楔鏡、自準直儀三、第二并聯(lián)微動機構(gòu),所述第二楔鏡、自準直儀三、第二并聯(lián)微動機構(gòu)固定連接。

      3.如權(quán)利要求2所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于:所述第一平移機構(gòu)設置有第一導軌、第二導軌、橫梁和縱梁,所述縱梁導向裝配在所述第一導軌上,所述橫梁導向裝配在所述第二導軌上,所述第一導軌垂直于所述第二導軌,所述第二校準部安裝在所述縱梁上,所述第三校準部安裝在所述橫梁上。

      4.如權(quán)利要求1所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于,還包括第四校準部、第五校準部、第六校準部和第二平移機構(gòu),所述第四校準部設置有自準直儀四和第二支撐平臺,所述自準直儀四安裝在所述第二支撐平臺上,所述第五校準部和第六校準部安裝在所述第二平移機構(gòu)上。

      5.如權(quán)利要求4所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于,第四校準部發(fā)出的光軸四垂直于第五校準部發(fā)出的光軸五。

      6.如權(quán)利要求5所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于,所述第五校準部包括第三楔鏡、自準直儀五和第三并聯(lián)微動機構(gòu),所述第三楔鏡、自準直儀五和第三并聯(lián)微動機構(gòu)固定連接,所述第六校準部包括第四楔鏡、導光反射鏡和第四并聯(lián)微動機構(gòu),所述第四楔鏡、導光反射鏡和第四并聯(lián)微動機構(gòu)固定連接。

      7.如權(quán)利要求6所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于,所述導光反射鏡位于第三校準部的底部或頂部,通過導光反射鏡反射回的光軸與第三校準部發(fā)出的光軸三一致。

      8.如權(quán)利要求7所述的一種米級尺度多光軸平行檢測裝置,其特征在于,所述第二平移機構(gòu)設置有第三導軌和第四導軌,所述第三導軌垂直于第四導軌,所述第五校準部和第六校準部均安裝在所述第三導軌上。

      9.一種米級尺度多光軸平行檢測方法,其特征在于,當被測陣列反射鏡法線與自準直儀三發(fā)出的光軸三平行時,包括以下步驟:

      S11、以固定基準為自準直儀一的參考基準,自準直儀一以此基準完成準直;

      S12、以自準直儀一自身的十字叉絲中心為基準,通過自準直儀一觀測運動前后第一楔鏡的姿態(tài),并通過控制系統(tǒng),第一并聯(lián)微動機構(gòu)調(diào)整運動前后第一楔鏡的姿態(tài),使其始終一致,從而保證了自準直儀二運動前后姿態(tài)一致,即自準直儀二運動前后光軸平行;

      S13、自準直儀二經(jīng)過上述步驟完成姿態(tài)調(diào)整,以自準直儀二自身的十字叉絲中心為基準,通過它觀測運動前后第二楔鏡的姿態(tài),通過控制系統(tǒng),第二并聯(lián)微動機構(gòu)調(diào)整運動前后第二楔鏡的姿態(tài),使其始終一致,以保證自準直儀三運動前后姿態(tài)一致,即自準直儀三運動前后光軸平行,以進行二維多光軸平行檢測。

      10.如權(quán)利要求9所述的一種米級尺度多光軸平行檢測方法,其特征在于,當被測陣列反射鏡法線與自準直儀三發(fā)出的光軸三非平行時,包括以下步驟:

      S21:自準直儀四完成姿態(tài)調(diào)整,以自準直儀四自身的十字叉絲中心為基準,通過它觀測運動前后第三楔鏡的姿態(tài),通過控制系統(tǒng),第三并聯(lián)微動機構(gòu)調(diào)整運動前后第三楔鏡的姿態(tài),使其始終保持一致,從而保證了自準直儀五運動前后姿態(tài)一致,即自準直儀五運動前后光軸平行;

      S22:自準直儀五完成姿態(tài)調(diào)整后,以自準直儀五自身的十字叉絲中心為基準,通過它觀測運動前后觀測運動前后第四楔鏡的姿態(tài),通過控制系統(tǒng),第四并聯(lián)微動機構(gòu)調(diào)整運動前后第四楔鏡的姿態(tài),使其始終保持一致,從而保證了導光反射鏡運動前后姿態(tài)一致,即導光反射鏡運動前后法線平行,形成平行反射基準;

      S23:重復步驟S11-S13,以進行二維多光軸平行檢測。

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