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      一種顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:12267548閱讀:來源:國知局

      技術(shù)特征:

      1.一種顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,

      脈沖激光器發(fā)出的線偏振激光經(jīng)過第一1/2波片后由第一偏振分光棱鏡分為兩束,分別為激光束一和激光束二;

      激光束一通過第一偏振分光棱鏡沿原線偏振激光傳輸方向繼續(xù)傳輸,依次經(jīng)過激光倍頻模塊、短波通濾光片、激光調(diào)制器、短波反射鏡后到達(dá)電控冷光鏡;

      激光束二依次經(jīng)過長波反射鏡、直角反射鏡、第二1/2波片、第二偏振分光棱鏡、1/4波片后到達(dá)電控冷光鏡;

      激光束一與激光束二匯合后經(jīng)過物鏡到達(dá)樣品固定架,激光束二經(jīng)過樣品固定架上的樣品反射后依次通過物鏡、電控冷光鏡、1/4波片、第二偏振分光棱鏡、凸透鏡后由分束鏡分為兩束,分別為激光束三和激光束四;

      激光束三到達(dá)光電探測器,光電探測器與鎖相放大器連接;激光束四到達(dá)數(shù)字?jǐn)z像機(jī),數(shù)字?jǐn)z像機(jī)與計算機(jī)連接。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,所述電控冷光鏡,用于反射激光束一,透射激光束二,使激光束一與激光束二混合并調(diào)節(jié)混合光束通過物鏡后聚焦光斑的相對位置。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,信號發(fā)生器連接激光調(diào)制器,激光調(diào)制器將信號發(fā)生器的輸出信號加載至激光束一。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,所述計算機(jī)通過計算機(jī)視覺算法識別出數(shù)字?jǐn)z像機(jī)拍攝圖像中的抽運(yùn)與探測光斑,控制電控冷光鏡發(fā)生角度偏轉(zhuǎn),改變抽運(yùn)光斑的位置,使抽運(yùn)與探測光斑精確重合。

      5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,所述激光調(diào)制器為電光調(diào)制器、聲光調(diào)制器或斬波器光強(qiáng)調(diào)制設(shè)備。

      6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,所述直角反射鏡的反射平行度優(yōu)于5arc sec。

      7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,所述電控冷光鏡的角度調(diào)節(jié)精度優(yōu)于1微弧度。

      8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,所述分束鏡的分光比例為50∶50。

      9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,數(shù)字?jǐn)z像機(jī)的感光元件位于凸透鏡的焦平面位置,物鏡與凸透鏡構(gòu)成光學(xué)共軛關(guān)系,物鏡、凸透鏡、數(shù)字?jǐn)z像機(jī)及計算機(jī)共同構(gòu)成顯微可視化子系統(tǒng)。

      10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng),其特征在于,通過鎖相放大器采集的數(shù)據(jù)計算樣品熱導(dǎo)率。

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