技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種顯微可視化抽運(yùn)探測熱反射系統(tǒng)，脈沖激光器發(fā)出的線偏振激光分別經(jīng)第一光路和第二光路到達(dá)電控冷光鏡，激光束一與激光束二匯合后由樣品反射，激光束二經(jīng)第三光路后由分束鏡分為激光束三和激光束四，激光束三到達(dá)光電探測器與鎖相放大器，激光束四到達(dá)數(shù)字?jǐn)z像機(jī)。本發(fā)明通過計算機(jī)識別出數(shù)字?jǐn)z像機(jī)拍攝圖像中的抽運(yùn)與探測光斑，控制電控冷光鏡發(fā)生角度偏轉(zhuǎn)，改變抽運(yùn)光斑的位置，使抽運(yùn)與探測光斑精確重合，可以消除由于環(huán)境溫度變化，光學(xué)元件應(yīng)力以振動引起的光斑重合度降低問題，自動化程度高，控制精度大為提高，通過該系統(tǒng)可以實(shí)時觀察樣品表面的微觀結(jié)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)測量位置的精密控制和微觀結(jié)構(gòu)熱導(dǎo)率的精密測量。

技術(shù)研發(fā)人員：孫方遠(yuǎn);郭敬東;高松信;唐大偉;陳哲;王新偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院工程熱物理研究所
文檔號碼：201611175169
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.16
技術(shù)公布日：2017.02.22