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      一種降低力矩的微機(jī)械陀螺儀正交誤差補(bǔ)償結(jié)構(gòu)的制作方法

      文檔序號(hào):11371826閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

      技術(shù)特征:

      1.一種降低力矩的微機(jī)械陀螺儀正交誤差補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于,補(bǔ)償結(jié)構(gòu)位于質(zhì)量塊(8)內(nèi)部空腔中,所述補(bǔ)償結(jié)構(gòu)包括:

      第一動(dòng)齒(2)、第二動(dòng)齒(4)、第三動(dòng)齒(5)、第四動(dòng)齒(7)、第一定齒(3)、第二定齒(6)、連接件(10);第一動(dòng)齒(2)位于動(dòng)齒(4)上方,第一動(dòng)齒(2)的一端和第二動(dòng)齒(4)的一端均與質(zhì)量塊(8)的左側(cè)內(nèi)壁連接,第一定齒(3)一端與連接件(10)連接,第一定齒(3)另一端延伸至第一動(dòng)齒(2)與第二動(dòng)齒(4)之間;第三動(dòng)齒(5)位于第四動(dòng)齒(7)上方,第三動(dòng)齒(5)的一端和第四動(dòng)齒(7)的一端均與質(zhì)量塊(8)的右側(cè)內(nèi)壁連接,第二定齒(6)一端與連接件(10)連接,第二定齒(6)另一端延伸至第三動(dòng)齒(5)與第四動(dòng)齒(7)之間;其中,第一動(dòng)齒(2)、第二動(dòng)齒(4)、第三動(dòng)齒(5)、第四動(dòng)齒(7)與質(zhì)量塊(8)具有相同電位,第一定齒(3)、第二定齒(6)與連接件(10)具有相同電位,第一動(dòng)齒(2)、第二動(dòng)齒(4)、第三動(dòng)齒(5)、第四動(dòng)齒(7)、質(zhì)量塊(8)與第一定齒(3)、第二定齒(6)、連接件(10)之間具有一電壓VDC。

      2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低力矩的微機(jī)械陀螺儀正交誤差補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于,補(bǔ)償結(jié)構(gòu)為導(dǎo)體,且連接件(10)固定在襯底上。

      3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低力矩的微機(jī)械陀螺儀正交誤差補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于,第一動(dòng)齒(2)與第一定齒(3)之間的間距、第二動(dòng)齒(4)和第一定齒(3)之間的間距、第三動(dòng)齒(5)與第二定齒(6)之間的間距、第四動(dòng)齒(7)和第二定齒(6)之間的間距均相等。

      4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的降低力矩的微機(jī)械陀螺儀正交誤差補(bǔ)償結(jié)構(gòu),其特征在于,第一定齒(3)、第二定齒(6)、第一動(dòng)齒(2)、第四動(dòng)齒(7)的厚度相同,第二動(dòng)齒(4)、第三動(dòng)齒(5)的厚度相同,第一定齒(3)的厚度大于第二動(dòng)齒(4)的厚度。

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