本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體器件的測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，具體來(lái)說(shuō)涉及一種半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具及其測(cè)試系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

DFN(雙邊扁平無(wú)鉛封裝)是一種小型電子元器件的封裝形式的名稱。其中，目前生產(chǎn)的DFN產(chǎn)品，最小產(chǎn)品尺寸只有0.23×023，焊接線的線徑越來(lái)越小，最小的線徑約在20um。

值得注意的是，目前用于測(cè)試DFN產(chǎn)品焊接線的推拉力測(cè)試裝置，其線拉力測(cè)試值約只有4～5g范圍值，球推力則約只有15g左右的范圍值；因此，對(duì)用于固定DFN產(chǎn)品進(jìn)行推拉力測(cè)試的工裝夾具的要求必須非常高，即工裝夾具必須能夠確實(shí)夾持固定DFN產(chǎn)品，避免DFN產(chǎn)品整體在受力時(shí)于工裝夾具的槽內(nèi)位移，如此測(cè)得的數(shù)據(jù)才不會(huì)產(chǎn)生偏差。

然而，目前的工裝夾具10主要成形為如圖1的平板式，所述工裝夾具10的頂部設(shè)有一安裝槽11，所述安裝槽11包括二夾固側(cè)壁12及一槽端側(cè)壁13圍設(shè)形成，所述二夾固側(cè)壁12平行設(shè)置，所述二夾固側(cè)壁12的一端通過(guò)所述槽端側(cè)壁13連接以封閉形成所述安裝槽11的槽端，所述二夾固側(cè)壁12的另一端共同界定形成一置入口14，用以將料條15置入所述安裝槽11內(nèi)。

如圖2、圖3及圖4所示，由于安裝槽11上側(cè)是開放的，且料條15成形為薄片狀，料條15置入后不能完全壓實(shí)，在實(shí)際測(cè)試時(shí)，如圖3、圖4，料條15包括設(shè)于框架151上的芯片152以及用以導(dǎo)電連接框架151與芯片152的焊接線153，其中，所述框架151容易在焊接線153被測(cè)量鉤16向上提拉后受力拱起變形，造成測(cè)試值偏差大于過(guò)程偏差，測(cè)試值無(wú)參考價(jià)值，有待進(jìn)一步改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于上述情況，本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具，通過(guò)在工裝夾具上設(shè)置真空吸附結(jié)構(gòu)，使料條能夠被壓實(shí)在工裝夾具的安裝槽槽底上，解決了現(xiàn)有技術(shù)中料條的框架容易在受到向上拉力后拱起變形的技術(shù)問(wèn)題，達(dá)到使產(chǎn)品在測(cè)試時(shí)無(wú)晃動(dòng)，確保測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性等技術(shù)效果。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取的技術(shù)方案是一種半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具，所述工裝夾具的頂部設(shè)有一安裝槽；其中，所述工裝夾具的底部凹設(shè)有一抽真空室，所述真空室與所述安裝槽之間通過(guò)所述安裝槽的槽底壁隔開，所述槽底壁貫設(shè)有抽吸孔；所述安裝槽內(nèi)部與所述抽真空室之間通過(guò)所述抽吸孔連通。

本實(shí)用新型半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述工裝夾具底部設(shè)有封閉圍壁，所述封閉圍壁界定形成所述抽真空室。

本實(shí)用新型半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具的更進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述封閉圍壁對(duì)應(yīng)所述導(dǎo)向側(cè)壁、所述槽端側(cè)壁及所述置入口設(shè)置于所述槽底壁的底面上。

本實(shí)用新型半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具的進(jìn)一步改進(jìn)在于，所述安裝槽具有二導(dǎo)向側(cè)壁及一槽端側(cè)壁圍設(shè)形成，所述二導(dǎo)向側(cè)壁平行設(shè)置，所述二導(dǎo)向側(cè)壁的一端通過(guò)所述槽端側(cè)壁連接以封閉形成所述安裝槽的槽端，所述二導(dǎo)向側(cè)壁的另一端共同界定形成一置入口。

此外，本實(shí)用新型另提供一種半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力測(cè)試系統(tǒng)，其通過(guò)測(cè)量鉤對(duì)料條形成推拉力進(jìn)行測(cè)試；其中，所述測(cè)試系統(tǒng)包括：抽真空裝置；前述的工裝夾具通過(guò)其抽真空室與所述抽真空裝置連接，以封閉所述抽真空室；所述料條，具有框架，設(shè)于所述工裝夾具的安裝槽內(nèi)；藉此，所述抽真空裝置啟動(dòng)抽真空時(shí)，所述料條的框架通過(guò)所述工裝夾具的抽吸孔被吸附固定于所述工裝夾具的安裝槽槽底上。

具體地，所述料條包括所述框架、設(shè)于所述框架上的芯片以及連接所述框架與所述芯片的焊接線。進(jìn)一步地，所述料條設(shè)于所述工裝夾具的安裝槽內(nèi)，所述框架的相對(duì)兩側(cè)與所述二導(dǎo)向側(cè)壁相接定位，且所述框架覆蓋于全部的抽吸孔上。

進(jìn)一步地，所述料條的框架底部設(shè)有膠層或止滑層。

本實(shí)用新型由于采用了以上技術(shù)方案，在工裝夾具的底部形成抽真空室，并設(shè)置連通抽真空室及安裝槽的抽吸孔，使本實(shí)用新型的工裝夾具能夠通過(guò)所述抽真空室及抽吸孔在配合抽真空裝置及料條時(shí)，形成真空吸附力，將料條確實(shí)固定在安裝槽內(nèi)，且具有足夠的定位強(qiáng)度抵抗測(cè)量鉤施予的推拉力，避免料條在進(jìn)行推拉力測(cè)試時(shí)晃動(dòng)，從而達(dá)到確保測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性的技術(shù)效果。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有工裝夾具與料條的使用方式示意圖。

圖2是現(xiàn)有工裝夾具與料條的結(jié)合結(jié)構(gòu)俯視示意圖。

圖3是現(xiàn)有工裝夾具與料條結(jié)合的結(jié)構(gòu)剖視示意圖。

圖4是圖3中虛線圓框部位的局部放大示意圖。

圖5是本實(shí)用新型工裝夾具的俯視結(jié)構(gòu)平面示意圖。

圖6是本實(shí)用新型工裝夾具的底視結(jié)構(gòu)平面示意圖。

圖7是本實(shí)用新型工裝夾具與料條結(jié)合的結(jié)構(gòu)剖視示意圖。

圖8是圖7中實(shí)線圓框部位的局部放大示意圖。

附圖標(biāo)記與部件的對(duì)應(yīng)關(guān)系如下：

背景技術(shù)：

工裝夾具10；安裝槽11；夾固側(cè)壁12；槽端側(cè)壁13；置入口14；料條15；框架151；芯片152；焊接線153；測(cè)量鉤16。

本實(shí)用新型：

工裝夾具20；安裝槽21；導(dǎo)向側(cè)壁22；槽端側(cè)壁23；置入口24；抽真空室25；開口251；槽底壁26；抽吸孔27；封閉圍壁28；料條30；框架31；芯片32；焊接線33；測(cè)量鉤40；抽真空裝置50。

具體實(shí)施方式

為利于對(duì)本實(shí)用新型的了解，以下結(jié)合附圖的圖5至圖8及實(shí)施例，進(jìn)行本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力工裝夾具及其測(cè)試系統(tǒng)的說(shuō)明。本實(shí)用新型的工裝夾具20用以在進(jìn)行焊接線的推拉力測(cè)試時(shí)容置固定料條30，且所述工裝夾具20可進(jìn)一步配合測(cè)量鉤40及抽真空裝置50形成真空式的推拉力測(cè)試系統(tǒng)。

如圖5、圖6及圖7所示，所述工裝夾具20包括成形于頂部的安裝槽21以及成形于底部的抽真空室25；所述安裝槽21具有二導(dǎo)向側(cè)壁22及一槽端側(cè)壁23圍設(shè)形成，所述二導(dǎo)向側(cè)壁22平行設(shè)置且具有相對(duì)兩端，所述二導(dǎo)向側(cè)壁22的一端通過(guò)所述槽端側(cè)壁23連接以封閉形成所述安裝槽21的槽端，所述二導(dǎo)向側(cè)壁22的另一端共同界定形成一置入口24，用以置入料條30。所述真空室25與所述安裝槽21之間通過(guò)所述安裝槽21的槽底壁26隔開，具體地，所述導(dǎo)向側(cè)壁22、槽端側(cè)壁23成形于所述槽底壁26的頂面上；所述封閉圍壁28對(duì)應(yīng)所述導(dǎo)向側(cè)壁22、所述槽端側(cè)壁23及所述置入口24設(shè)置于所述槽底壁26的底面上；此外，所述槽底壁26貫設(shè)有抽吸孔27；所述安裝槽21內(nèi)部與所述抽真空室25之間通過(guò)所述抽吸孔27連通。

如圖7、圖8所示，所述料條30包括框架31、設(shè)于所述框架31上的芯片32以及連接所述框架31與所述芯片32的焊接線33。所述料條30置入工裝夾具20的安裝槽21內(nèi)時(shí)，所述框架31的相對(duì)兩側(cè)與所述二導(dǎo)向側(cè)壁22相接定位，且所述框架31覆蓋于全部的抽吸孔27上，以在工裝夾具20與抽真空裝置50連接進(jìn)行抽真空時(shí)，通過(guò)抽吸孔27將料條30吸附固定于所述安裝槽21內(nèi)。較佳地，所述料條30框架31的底面上可另設(shè)置膠層或止滑層(圖未示)，所述膠層可以在框架31底面與安裝槽21的槽底面之間形成粘固作用，主要用于抵抗相對(duì)于槽底壁26的垂直向作用力，所述止滑層則可以在框架31底面與安裝槽21的槽底面之間形成止滑定位作用，主要用于抵抗相對(duì)于槽底壁26的水平向作用力，以進(jìn)一步提高料條30在安裝槽21內(nèi)的穩(wěn)定度，達(dá)到避免料條30在工裝夾具20的安裝槽21內(nèi)晃動(dòng)，以獲得高準(zhǔn)確性的測(cè)試數(shù)據(jù)。

請(qǐng)復(fù)參閱圖7、圖8所示，說(shuō)明本實(shí)用新型半導(dǎo)體器件封裝的真空式推拉力測(cè)試系統(tǒng)的使用方法。所述測(cè)試系統(tǒng)包括抽真空裝置50、如前所述的工裝夾具20以及測(cè)量鉤40；其中，所述工裝夾具20通過(guò)其抽真空室25與所述抽真空裝置50連接，以封閉所述抽真空室25的開口251；將所述料條30設(shè)于所述工裝夾具20的安裝槽21內(nèi)，并覆蓋于全部抽吸孔27上；藉此，所述抽真空裝置50啟動(dòng)抽真空時(shí)，所述料條30的框架31即可通過(guò)所述工裝夾具20的抽吸孔27被吸附固定于所述工裝夾具20的安裝槽21槽底上，從而能夠抵抗測(cè)量鉤40施予的推拉力，避免料條30受力位移或變形而影響測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

于本實(shí)用新型中，應(yīng)該被理解的是，所述“真空式”、“抽真空室25”或“抽真空裝置50”等詞語(yǔ)中所指的“真空”不是指真實(shí)的完全真空，而是指通過(guò)抽吸空間(抽吸孔27與抽真空室25)內(nèi)的氣體以在空間內(nèi)形成負(fù)壓，從而使得空間與外部連通的孔口處形成抽吸力，再利用該抽吸力對(duì)料條30的框架31吸附固定，從而達(dá)到提供一種真空式的工裝夾具。

于本實(shí)用新型中，所述工裝夾具20較佳是作為DFN封裝形式的料條固定夾具，具體可以通用于DFN1006-2L、DFN1006-3L、DFN0603等產(chǎn)品。

此外，由于個(gè)形式DFN產(chǎn)品的框架31具有差異，所述工裝夾具20的抽吸孔27可以只沿著安裝槽21槽內(nèi)形狀設(shè)置，且如圖5、圖6所示，較佳可對(duì)應(yīng)所述框架31的形態(tài)將抽吸孔27分布排列于安裝槽21的槽底面上，以進(jìn)一步提高對(duì)不同形態(tài)框架31的吸附穩(wěn)定度。

以上結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)說(shuō)明，本領(lǐng)域中普通技術(shù)人員可根據(jù)上述說(shuō)明對(duì)本實(shí)用新型做出種種變化例。因而，實(shí)施例中的某些細(xì)節(jié)不應(yīng)構(gòu)成對(duì)本實(shí)用新型的限定，本實(shí)用新型將以所附權(quán)利要求書界定的范圍作為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。