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      玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)的制作方法

      文檔序號:11912730閱讀:234來源:國知局
      玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)的制作方法與工藝

      本公開涉及玻璃基板的檢測領(lǐng)域,具體地,涉及一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)。



      背景技術(shù):

      當(dāng)前,隨著技術(shù)的發(fā)展與市場的需求,對于玻璃基板像素及開口率要求愈來愈高,因此玻璃基板布線向微細化方向發(fā)展,玻璃基板陣列細胞化方向發(fā)展,導(dǎo)致檢查玻璃基板的缺陷更加困難,目前市場上的檢查機照明裝置角度單一,無法多方向觀察玻璃基板,無法更加細化的找出玻璃基板的缺陷。



      技術(shù)實現(xiàn)要素:

      本公開的目的是提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng),該宏觀檢查系統(tǒng)能夠多角度的檢查玻璃基板。

      為了實現(xiàn)上述目的,本公開提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng),其中,包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機架,其中,所述照明裝置一側(cè)通過旋轉(zhuǎn)軸連接到所述安裝機架,另一側(cè)通過第一驅(qū)動機構(gòu)連接到所述安裝機架,所述第一驅(qū)動機構(gòu)可驅(qū)動所述照明裝置圍繞所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。

      可選地,所述第一驅(qū)動機構(gòu)包括移動件和驅(qū)動該移動件在所述安裝機架上往復(fù)運動的驅(qū)動件,所述照明裝置上安裝有用于連接所述移動件的連接桿。

      可選地,所述第一驅(qū)動機構(gòu)為電動缸。

      可選地,所述照明裝置包括照明箱以及容納在該照明箱內(nèi)部的照明單元,所述照明單元包括向外輸出光源的發(fā)射器,用于將輸出的光源射線延長的反射鏡,以及用于將反射出的光源聚集到玻璃基板的菲涅爾透鏡。

      可選地,所述照明單元為兩個,所述照明箱形成有用于分別容納兩個所述照明單元的第一照明區(qū)和第二照明區(qū)。

      可選地,所述第一照明區(qū)和所述第二照明區(qū)之間一側(cè)連接有所述旋轉(zhuǎn)軸,另一側(cè)連接有所述連接桿。

      可選地,所述安裝機架包括安裝座和可滑動地安裝到所述安裝座上的滑移座,以及驅(qū)動所述滑移座沿平行于所述旋轉(zhuǎn)軸的方向滑動的第二驅(qū)動機構(gòu),所述旋轉(zhuǎn)軸可轉(zhuǎn)動地連接到所述滑移座,所述第一驅(qū)動機構(gòu)一端連接到所述滑移座,另一端連接到所述照明裝置。

      可選地,所述安裝座包括平行間隔設(shè)置的第一梁和第二梁,所述滑移座包括連接架和固定架,所述連接架可滑動地架設(shè)在所述第一梁和所述第二梁之間,所述固定架一端固定連接到所述第一驅(qū)動機構(gòu),另一端連接到所述連接架位于所述第二梁的一側(cè)。

      可選地,所述連接架形成為三角形架,該三角形架的其中一個夾角可滑動地連接在所述第二梁上,與所述夾角相對的側(cè)邊與所述第一梁平行設(shè)置并可滑動地連接在所述第一梁上。

      可選地,所述第一梁和所述第二梁上分別設(shè)置有滑軌,所述連接架上設(shè)置有分別配合在該滑軌上的滑塊。

      可選地,所述三角形架的內(nèi)部還設(shè)置有與所述側(cè)邊相平行的連接邊,所述旋轉(zhuǎn)軸通過軸承連接到所述連接邊。

      可選地,所述第二驅(qū)動機構(gòu)包括驅(qū)動電機和絲桿機構(gòu),該絲桿機構(gòu)包括與所述驅(qū)動電機傳動相連的絲桿和配合在該絲桿上的螺母,所述螺母固定在所述滑移座上。

      本公開的技術(shù)效果是:通過第一驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動,使得照明裝置可以沿旋轉(zhuǎn)軸進行轉(zhuǎn)動,實現(xiàn)在不同的角度檢查玻璃基板,進而使得操作人員能夠觀察到不同角度下玻璃基板的缺陷,觀察缺陷更加清晰,便于操作人員統(tǒng)計分析形成缺陷的原因,改善上游工藝參數(shù),提高玻璃基板的良品率,降低生產(chǎn)成本。

      本公開的其他特征和優(yōu)點將在隨后的具體實施方式部分予以詳細說明。

      附圖說明

      附圖是用來提供對本公開的進一步理解,并且構(gòu)成說明書的一部分,與下面的具體實施方式一起用于解釋本公開,但并不構(gòu)成對本公開的限制。在附圖中:

      圖1是本公開提供的玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng)圖;

      圖2是圖1的A部的局部放大圖;

      圖3是本公開提供的照明裝置的結(jié)構(gòu)圖;

      圖4是照明裝置的光照線路圖。

      附圖標記說明

      1 滑軌 11 滑塊 2 絲桿

      21 螺母 22 電機 3 安裝座

      31 第一梁 32 第二梁 4 固定架

      5 連接架 51 側(cè)邊 52 夾角

      53 連接邊 6 旋轉(zhuǎn)軸 61 軸承

      7 驅(qū)動件 8 移動件 9 連接桿

      10 照明箱 101 第一照明區(qū) 102 第二照明區(qū)

      12 第一反射鏡 13 菲涅爾透鏡 14 第二反射鏡

      15 發(fā)射器 16 玻璃基板 17 觀察臺

      具體實施方式

      以下結(jié)合附圖對本公開的具體實施方式進行詳細說明。應(yīng)當(dāng)理解的是,此處所描述的具體實施方式僅用于說明和解釋本公開,并不用于限制本公開。

      如圖1至圖4所示,本公開提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng),包括照明裝置和用于固定該照明裝置的安裝機架,其中一方面,照明裝置能夠在安裝機架上旋轉(zhuǎn),以變換不同照射角度;另一方面,還可以實現(xiàn)照明裝置在安裝機架上的平移,以適應(yīng)不同玻璃基板的尺寸大小。下文將對上述兩方面做進一步說明。

      如圖1所示,為了實現(xiàn)照明裝置的旋轉(zhuǎn),在本實施方式中,照明裝置一側(cè)通過旋轉(zhuǎn)軸6連接到安裝機架,另一側(cè)通過第一驅(qū)動機構(gòu)連接到安裝機架,第一驅(qū)動機構(gòu)可驅(qū)動照明裝置圍繞旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動。

      即,通過第一驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動,使得照明裝置可以沿旋轉(zhuǎn)軸進行轉(zhuǎn)動,也即將照明裝置發(fā)射的照明光可以在不同角度下照射到玻璃基板,從而實現(xiàn)在不同的角度檢查玻璃基板缺陷的目的。進而使得操作人員更加清晰的觀察到玻璃基板的缺陷,這樣,便于操作人員統(tǒng)計分析形成缺陷的原因,改善上游工藝參數(shù),提高玻璃基板的良品率,降低生產(chǎn)成本。

      進一步地,在本實施方式中,第一驅(qū)動機構(gòu)可以包括移動件8和驅(qū)動該移動件8在安裝機架上往復(fù)運動的驅(qū)動件7,照明裝置的另一側(cè)上安裝有用于連接移動件8的連接桿9。即,驅(qū)動件7可以驅(qū)動移動件8朝向或者遠離安裝機架的方向運動,同時在移動件8移動的過程中,可以帶動連接桿9隨之一起移動。這樣,照明裝置便可以圍繞旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動,進而實現(xiàn)對于玻璃基板16的不同角度下的照明。

      具體地,如圖2所示,第一驅(qū)動機構(gòu)可以為電動缸。電動缸可以將伺服電機與絲杠一體化,其中伺服電機即為上述的驅(qū)動件,絲杠上的螺母塊即為上述的移動件。即,伺服電機帶動絲杠做回轉(zhuǎn)運動,通過螺母塊沿絲桿轉(zhuǎn)化為直線運動,螺母塊帶動照明裝置在不同角度下的照射。在其他實施方式中,第一驅(qū)動機構(gòu)還可以為齒輪齒條機構(gòu),由齒條驅(qū)動照明裝置圍繞旋轉(zhuǎn)軸6進行轉(zhuǎn)動。

      如圖3所示,在本實施方式中,照明裝置包括照明箱10以及容納在該照明箱10內(nèi)部的照明單元,照明單元包括向外輸出照明光的發(fā)射器15,用于將輸出的照明光反射的反射鏡,以及用于將反射出的照明光聚集到玻璃基板16的菲涅爾透鏡13。

      如圖4所示,即,由發(fā)射器15發(fā)射照明光,照明光經(jīng)由反射鏡的反射,進入到菲涅爾透鏡13,在本實施方式中,為了將照射光反射到菲涅爾透鏡13,反射鏡可以為兩個,分別為第一反射鏡12和第二反射鏡14,經(jīng)過兩個反射鏡的反射,照明光照射到菲涅爾透鏡13。菲涅爾透鏡13位于整個照明單元的下端,而玻璃基板16位于整個照明裝置的下方。這樣,反射到菲涅爾透鏡13的平行光經(jīng)過菲涅爾透鏡13最終聚焦到玻璃基板16上,使得操作人員在觀察臺17的觀察更加清晰。另外,還可以在菲涅爾透鏡13的下方再增設(shè)液晶散射板,液晶散射板可以具有透明狀態(tài)和半透明狀態(tài),透明狀態(tài)使得由菲涅爾透鏡13聚集的光束原樣通過,半透明狀態(tài)則可以將聚光散射。這樣,操作人員可以通過控制液晶散射板的狀態(tài)對聚光進行散射或原樣通過到玻璃基板16之間進行動作切換,在不同狀態(tài)下,能夠更加可靠的觀察玻璃基板的缺陷。其中,發(fā)射器15可以為鹵素?zé)簟?/p>

      為了實現(xiàn)對于玻璃基板的大范圍、更加清晰的觀察,在本實施方式中,照明單元可以設(shè)置為兩個,其中,照明箱10可以形成有用于分別容納兩個照明單元的第一照明區(qū)101和第二照明區(qū)102,兩個照明單元可以呈角度對稱設(shè)置,使得聚焦點一致。即,兩個照明單元的平行光進過菲涅爾透鏡13最終將聚集到同一點,這樣,使得操作人員更加清楚的觀察玻璃基板的缺陷,便于對于缺陷的分類。

      整個照明裝置為一體結(jié)構(gòu),其中,在本實施方式中,如圖3所示,照明箱10為框架,第一照明區(qū)101和第二照明區(qū)102為照明箱10的兩個區(qū)域,其中,第一照明區(qū)101和第二照明區(qū)102之間一側(cè)連接有上述的旋轉(zhuǎn)軸6,另一側(cè)連接有連接桿9。連接桿9隨著移動件8的帶動而移動,從而使得照明箱10能夠圍繞旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動,也即,照明單元隨之轉(zhuǎn)動,這樣,就實現(xiàn)了對于不同角度的玻璃基板的照射。

      另外,進一步地,為了適應(yīng)不同尺寸大小的玻璃基板,實現(xiàn)照明裝置在安裝機架上的平移。在本實施方式中,如圖1所示,安裝機架包括安裝座3和可滑動地安裝到安裝座3上的滑移座,以及驅(qū)動滑移座沿平行于旋轉(zhuǎn)軸6的方向滑動的第二驅(qū)動機構(gòu),旋轉(zhuǎn)軸6可轉(zhuǎn)動地連接到滑移座,第一驅(qū)動機構(gòu)一端連接到滑移座,另一端連接到照明裝置。即,一方面,上述的第一驅(qū)動機構(gòu)可以帶動照明裝置的旋轉(zhuǎn),另一方面,第二驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動滑移座的滑動,還能夠帶動整個照明裝置在沿平行于旋轉(zhuǎn)軸的平面方向上進行滑動。也即照明裝置可以根據(jù)需求,沿安裝座3滑動,以此使得照明裝置的投光焦點全面覆蓋整塊玻璃基板,并滿足不同的玻璃基板的尺寸需求。

      在本實施方式中,如圖1所示,安裝座3包括平行間隔設(shè)置的第一梁31和第二梁32,滑移座包括連接架5和固定架4,連接架5可滑動地架設(shè)在第一梁31和第二梁32之間,固定架4一端固定連接到第一驅(qū)動機構(gòu),另一端連接到連接架5位于第二梁32的一側(cè)。由上述的第二驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動連接架5在第一梁31和第二梁32上滑動,從而帶動了整個照明裝置沿平行于旋轉(zhuǎn)軸6的方向進行滑動。

      具體地,為了保證滑動連接的穩(wěn)定性,在本實施方式中,連接架5可以形成為三角形架,該三角形架的其中一個夾角52可滑動地連接在第二梁32上,與夾角52相對的側(cè)邊51與第一梁31平行設(shè)置并可滑動地連接在第一梁31上。其中,三角形本身穩(wěn)定性較強,并且一邊連接到第一梁31,對角連接到第二梁32,使得連接更加穩(wěn)定,保證了照明裝置在滑動過程中的穩(wěn)定性。

      為了實現(xiàn)上述的照明裝置的滑動,在本實施方式中,第一梁31和第二梁32上分別設(shè)置有滑軌,連接架5上設(shè)置有分別配合在該滑軌1上的滑塊11。這樣,連接架5便可以通過滑塊11在滑軌上的滑動實現(xiàn)在安裝座3上的平移。

      其中,在本實施方式中,第二驅(qū)動機構(gòu)可以包括驅(qū)動電機22和絲桿機構(gòu),該絲桿機構(gòu)包括與驅(qū)動電機22傳動相連的絲桿2和配合在該絲桿2上的螺母21,并且螺母21是固定在滑移座上,具體地為連接架5的側(cè)邊51上的。即,驅(qū)動電機驅(qū)動絲桿2的轉(zhuǎn)動,帶動螺母21沿絲桿2的直線運動,螺母21的移動則可以進一步帶動與之相連的連接架5的平移,最終實現(xiàn)整個照明裝置的平移。

      另外,如圖1所示,由于第一梁31上連接有三角形架的側(cè)邊51,為了實現(xiàn)滑動過程的穩(wěn)定性,第二驅(qū)動機構(gòu)可以設(shè)置在第一梁31的一側(cè)。這樣,也間接實現(xiàn)了三點固定的方式帶動側(cè)邊51,即,如圖1所示,在第一梁31上與滑軌1配合的滑塊11可以設(shè)置有兩個,該兩個滑塊11分別固定連接到側(cè)邊51的兩端,而絲桿2上的螺母21則固定連接到側(cè)邊51的中部,也即位于兩個滑塊11之間,這樣,側(cè)邊51通過三點連接,隨之一起滑動。

      由于玻璃基板可以沿傳送方向運動,因此,本檢查系統(tǒng)可以沿玻璃基板的寬度方向放置,即,照明裝置沿安裝機架的平移即為沿玻璃基板的寬度方向運動。這樣,配合玻璃基板的長度方向的運動,大范圍,多角度的實現(xiàn)對于玻璃基板的全面檢查。

      另外,為了實現(xiàn)照明裝置的旋轉(zhuǎn)軸6的轉(zhuǎn)動連接,在本實施方式中,如圖1所示,三角形架的內(nèi)部還設(shè)置有與側(cè)邊51相平行的連接邊53,旋轉(zhuǎn)軸6通過軸承61連接到連接邊53。這樣,旋轉(zhuǎn)軸6可以在軸承61內(nèi)轉(zhuǎn)動,并且通過軸承61連接到三腳架的連接邊53,從而實現(xiàn)照明裝置圍繞旋轉(zhuǎn)軸6的轉(zhuǎn)動。

      綜上,本公開提供一種玻璃基板宏觀檢查系統(tǒng),可以將其吊裝在玻璃基板傳送臺的上方,利用照明裝置對玻璃基板進行宏觀檢查,能夠滿足不同尺寸的玻璃基板的照明需求。同時通過第一驅(qū)動機構(gòu)和第二驅(qū)動機構(gòu)的驅(qū)動,能夠帶動照明裝置圍繞自身旋轉(zhuǎn)軸6轉(zhuǎn)動,也能夠沿平行于旋轉(zhuǎn)軸的方向平移,從而全面覆蓋整塊玻璃基板,能夠觀察到不同角度下玻璃基板的缺陷,使得操作人員更加清晰的觀察玻璃基板,便于統(tǒng)計分析形成缺陷的原因,改善上游工藝參數(shù),提高玻璃基板的良品率,降低生產(chǎn)成本。

      以上結(jié)合附圖詳細描述了本公開的優(yōu)選實施方式,但是,本公開并不限于上述實施方式中的具體細節(jié),在本公開的技術(shù)構(gòu)思范圍內(nèi),可以對本公開的技術(shù)方案進行多種簡單變型,這些簡單變型均屬于本公開的保護范圍。

      另外需要說明的是,在上述具體實施方式中所描述的各個具體技術(shù)特征,在不矛盾的情況下,可以通過任何合適的方式進行組合,為了避免不必要的重復(fù),本公開對各種可能的組合方式不再另行說明。

      此外,本公開的各種不同的實施方式之間也可以進行任意組合,只要其不違背本公開的思想,其同樣應(yīng)當(dāng)視為本公開所公開的內(nèi)容。

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