本發(fā)明屬于加速度測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，涉及微機(jī)電系統(tǒng)(mems)和微慣性器件，更為具體地說，是涉及一種基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置及其測(cè)量方法。

背景技術(shù)：

量子隧穿效應(yīng)是一種量子特性，是電子等微觀粒子能夠穿過他們本來無法通過的“墻壁”的現(xiàn)象。隧道磁阻效應(yīng)是指在鐵磁性薄膜和中間絕緣層構(gòu)成的“隧道結(jié)”中，電子隧穿過絕緣層的可能性與鐵磁層的相對(duì)磁化方向呈現(xiàn)相關(guān)性，其宏觀表現(xiàn)為電阻的大小，電阻對(duì)磁場(chǎng)方向的變化具有極高的電阻靈敏度。隧道磁阻式加速度主要是利用輸入加速度信號(hào)導(dǎo)致“隧道結(jié)”中兩層鐵磁性薄膜磁場(chǎng)極化發(fā)生變化，從而由隧道磁阻的變化測(cè)量輸入加速度的大小。由于隧道磁阻效應(yīng)對(duì)磁場(chǎng)磁化方向非常敏感，即電子隧穿過絕緣層的可能性對(duì)磁場(chǎng)磁化方向變化非常敏感，從而可以實(shí)現(xiàn)高精度的加速度檢測(cè)，使其成為新一代高精度硅微加速度計(jì)的重點(diǎn)研究領(lǐng)域。

而目前，現(xiàn)有技術(shù)中的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置通常存在體積龐大、測(cè)量精度低和靈敏度低等問題，無法滿足應(yīng)用需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述問題，本發(fā)明公開了一種基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置及其測(cè)量方法，不僅裝置體積小易加工，測(cè)量靈敏度和精度也有了顯著提高。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

一種基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置，包括頂層結(jié)構(gòu)、底層結(jié)構(gòu)、中間層結(jié)構(gòu)以及四個(gè)錨點(diǎn)，四個(gè)錨點(diǎn)設(shè)置在底層結(jié)構(gòu)四角上，并連接于頂層結(jié)構(gòu)和底層結(jié)構(gòu)之間，中間層結(jié)構(gòu)通過四個(gè)錨點(diǎn)支撐在底層結(jié)構(gòu)與頂層結(jié)構(gòu)之間；

所述中間層結(jié)構(gòu)包括質(zhì)量塊，位于質(zhì)量塊背面的第一敏感反饋電極、第二敏感反饋電極、第一間距控制電極、第二間距控制電極，位于質(zhì)量塊背面的第三敏感反饋電極、第四敏感反饋電極、第三間距控制電極、第四間距控制電極，嵌在質(zhì)量塊中的隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)以及分別連接在隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)正面和背面的二端電極，用于隔離質(zhì)量塊與隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)及其二端電極的第三絕緣層，分別與質(zhì)量塊四角相連的第一撓性桿支撐梁、第二撓性桿支撐梁、第三撓性桿支撐梁、第四撓性桿支撐梁，所述第一撓性桿支撐梁還與第二錨點(diǎn)連接，所述第二撓性桿支撐梁還與第三錨點(diǎn)連接，所述第三撓性桿支撐梁還與第四錨點(diǎn)連接，所述第四撓性桿支撐梁還與第一錨點(diǎn)連接；

所述底層結(jié)構(gòu)包括第一襯底、設(shè)置在第一襯底1正面的第一絕緣層、布置在第一絕緣層正面的第一隧道磁阻傳感器、第二隧道磁阻傳感器、第五敏感反饋電極、第六敏感反饋電極、第五間距控制電極、第六間距控制電極；

所述頂層結(jié)構(gòu)包括第二襯底、設(shè)置在第二襯底背面的第二絕緣層、布置在第二絕緣層背面的第三隧道磁阻傳感器、第四隧道磁阻傳感器、第七敏感反饋電極、第八敏感反饋電極、第七間距控制電極、第八間距控制電極。

進(jìn)一步的，各撓性桿支撐梁均為l形，其一頭與質(zhì)量塊連接，另一頭與錨點(diǎn)連接。

進(jìn)一步的，所述隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)包括若干分布在質(zhì)量塊中的圓柱形結(jié)構(gòu)體。

進(jìn)一步的，所述第一敏感反饋電極、第二敏感反饋電極、第一間距控制電極、第二間距控制電極分別位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)的右邊、左邊、前邊、后邊；所述第三敏感反饋電極、第四敏感反饋電極、第三間距控制電極、第四間距控制電極分別位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)的右邊、左邊、前邊、后邊。

進(jìn)一步的，所述底層結(jié)構(gòu)中第一隧道磁阻傳感器、第二隧道磁阻傳感器位于第一絕緣層中部的兩邊且沿ab中心線對(duì)稱分布，兩個(gè)隧道磁阻傳感器位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)的正下方，第五敏感反饋電極位于第一隧道磁阻傳感器和第一錨點(diǎn)、第二錨點(diǎn)之間，第六敏感反饋電極位于第二隧道磁阻傳感器和第三錨點(diǎn)、第四錨點(diǎn)之間；第五間距控制電極位于兩隧道磁阻傳感器和第二錨點(diǎn)、第三錨點(diǎn)之間、第六間距控制電極位于兩隧道磁阻傳感器和第一錨點(diǎn)、第四錨點(diǎn)之間；第五敏感反饋電極、第六敏感反饋電極位于第一敏感反饋電極、第二敏感反饋電極的正下方，第五間距控制電極、第六間距控制電極位于第一間距控制電極、第二間距控制電極的正下方。

進(jìn)一步的，所述第五敏感反饋電極、第六敏感反饋電極位于橫向中心線上，且在兩隧道磁阻傳感器兩側(cè)；第五間距控制電極、第六間距控制電極位于縱向中心線上，且在兩隧道磁阻傳感器兩側(cè)；第五、六間距控制電極與第一、二間距控制電極形成差動(dòng)力矩器，實(shí)現(xiàn)中間層與底層之間的間距控制；第五、六敏感反饋電極與第一、二敏感反饋電極形成二組差分控制引腳，在局部磁場(chǎng)和隧道磁阻傳感器檢測(cè)信號(hào)之間形成閉合回路。

進(jìn)一步的，所述第一隧道磁阻傳感器、第二隧道磁阻傳感器結(jié)構(gòu)相同，均由矩形塊以“蛇形”結(jié)構(gòu)串聯(lián)而成，所述第一隧道磁阻傳感器從上至下依次布置有頂層、自由層、隧道勢(shì)壘層、鐵磁層、反鐵磁層和底層；鐵磁層磁場(chǎng)方向由反鐵磁層預(yù)先設(shè)定，自由層磁場(chǎng)方向由外界隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的磁場(chǎng)決定，隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的磁場(chǎng)由施加的電流決定。

進(jìn)一步的，所述第一隧道磁阻傳感器的兩端、第二隧道磁阻傳感器的兩端、第五敏感反饋電極、第六敏感反饋電極、第五間距控制電極、第六間距控制電極、四個(gè)錨點(diǎn)均通過各電極引線引出。

進(jìn)一步的，所述頂層結(jié)構(gòu)中第三隧道磁阻傳感器、第四隧道磁阻傳感器位于第二絕緣層中間位置并且位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)的正上方；第七敏感反饋電極位于第三隧道磁阻傳感器和第一錨點(diǎn)、第二錨點(diǎn)之間、第八敏感反饋電極位于第四隧道磁阻傳感器和第三錨點(diǎn)、第四錨點(diǎn)之間；第七間距控制電極位于第三隧道磁阻傳感器、第四隧道磁阻傳感器和第二錨點(diǎn)、第三錨點(diǎn)之間、第八間距控制電極位于第三隧道磁阻傳感器、第四隧道磁阻傳感器和第一錨點(diǎn)、第四錨點(diǎn)之間；且第七敏感反饋電極、第八敏感反饋電極位于第三敏感反饋電極、第四敏感反饋電極的正上方，第七間距控制電極、第八間距控制電極位于第三間距控制電極、第四間距控制電極的正上方。

基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置的測(cè)量方法，包括如下步驟：在隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)二端電極施加電壓從而在隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)中形成電流產(chǎn)生局部磁場(chǎng)；當(dāng)加速度信號(hào)沿著由頂層至底層方向輸入時(shí)，質(zhì)量塊向下產(chǎn)生位移，導(dǎo)致隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)與第一隧道磁阻傳感器、第二隧道磁阻傳感器的間距變小并且與第三隧道磁阻傳感器、第四隧道磁阻傳感器的間距變大，從而引起第一、二、三、四隧道磁阻傳感器周圍磁場(chǎng)發(fā)生改變；通過對(duì)第一、二、三、四隧道磁阻傳感器電阻的測(cè)量從而實(shí)現(xiàn)對(duì)外界輸入加速度的測(cè)量。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有如下有益效果：

1.相對(duì)于基于間隙改變的隧道式加速計(jì)中磁場(chǎng)方向平行隧道磁阻傳感器且勵(lì)磁結(jié)構(gòu)采用磁性薄膜實(shí)現(xiàn)，基于磁場(chǎng)方向改變的隧道式加速度計(jì)產(chǎn)生磁場(chǎng)垂直于隧道磁阻傳感器且勵(lì)磁結(jié)構(gòu)的厚度更大可實(shí)現(xiàn)更強(qiáng)的局部磁場(chǎng)，從而實(shí)現(xiàn)更高靈敏度的隧道磁阻效應(yīng)；同時(shí)由于采用四根撓性撓性桿支撐梁連接質(zhì)量塊與錨點(diǎn)，在杠桿作用下，靈敏度和測(cè)量精度得到了顯著提高；同時(shí)本加速度計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小。

2.本發(fā)明利用隧道結(jié)構(gòu)產(chǎn)生局部磁場(chǎng)，具有磁場(chǎng)強(qiáng)度可控、靈敏度可調(diào)等優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)避免了永磁體磁場(chǎng)衰減以及磁場(chǎng)強(qiáng)度不可控等缺點(diǎn)。

3.本發(fā)明利用磁場(chǎng)方向改變實(shí)現(xiàn)隧道磁阻效應(yīng)，無需實(shí)現(xiàn)兩個(gè)鐵磁層間絕緣層間隙的nm級(jí)間隙控制，更易于器件的加工與功能實(shí)現(xiàn)。

附圖說明

圖1(a)為本發(fā)明提供的基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置整體結(jié)構(gòu)示意圖，其中ab中心線左半部分為從第三錨點(diǎn)方向向第四錨點(diǎn)方向看(即圖3中向下)的示意圖，而ab中心線右半部分為從第一錨點(diǎn)方向向第二錨點(diǎn)方向看(即圖3中向上)的示意圖。

圖1(b)為本發(fā)明提供的基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置另一整體結(jié)構(gòu)示意圖，其中cd中心線左半部分為從第三錨點(diǎn)方向向第二錨點(diǎn)方向看(即圖3中向右)的示意圖，而cd中心線右半部分為從第一錨點(diǎn)方向向第四錨點(diǎn)方向看(即圖3中向左)的示意圖。

圖2為頂層及中間層結(jié)構(gòu)仰視圖。

圖3為底層結(jié)構(gòu)俯視圖。

圖4為隧道磁阻傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5為底層結(jié)構(gòu)引線圖。

圖6為頂層結(jié)構(gòu)仰視圖。

具體實(shí)施方式

以下將結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提供的技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)說明，應(yīng)理解下述具體實(shí)施方式僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。

如圖1所示，一種基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置，包括頂層結(jié)構(gòu)、底層結(jié)構(gòu)、中間層結(jié)構(gòu)以及第一錨點(diǎn)3、第二錨點(diǎn)4、第三錨點(diǎn)5、第四錨點(diǎn)6，四個(gè)錨點(diǎn)設(shè)置在底層結(jié)構(gòu)四角上，并連接于頂層結(jié)構(gòu)和底層結(jié)構(gòu)之間，而中間層結(jié)構(gòu)通過四個(gè)錨點(diǎn)支撐在底層結(jié)構(gòu)與頂層結(jié)構(gòu)之間，頂層結(jié)構(gòu)和底層結(jié)構(gòu)相對(duì)于中間層上下對(duì)稱分布，各組成部分及其分布一致。

如圖1、圖2所示，中間層結(jié)構(gòu)包括質(zhì)量塊17、第一敏感反饋電極18、第二敏感反饋電極20、第三敏感反饋電極34、第四敏感反饋電極36、第一間距控制電極19、第二間距控制電極21、第三間距控制電極35、第四間距控制電極37、隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23以及隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)二端電極具體包括背面電極24、正面電極33、第一撓性桿支撐梁13、第二撓性桿支撐梁14、第三撓性桿支撐梁15、第四撓性桿支撐梁16。底層結(jié)構(gòu)包括第一隧道磁阻傳感器11、第二隧道磁阻傳感器12、第五敏感反饋電極7、第六敏感反饋電極9、第五間距控制電極8、第六間距控制電極10、第一絕緣層2和第一襯底1。頂層結(jié)構(gòu)與底層結(jié)構(gòu)相同，包括第三隧道磁阻傳感器27、第四隧道磁阻傳感器28、第七敏感反饋電極29、第八敏感反饋電極31、第七間距控制電極30、第八間距控制電極32、第二絕緣層26和第二襯底25。

具體地說，中間層結(jié)構(gòu)通過第一撓性桿支撐梁13、第二撓性桿支撐梁14、第三撓性桿支撐梁15、第四撓性桿支撐梁16將質(zhì)量塊支撐在四個(gè)錨點(diǎn)之間；如圖2所示，質(zhì)量塊17的四角各連接有一根l形的撓性桿支撐梁，撓性桿支撐梁包括彼此垂直連接的短桿和長(zhǎng)桿，質(zhì)量塊17一角與短桿連接，而長(zhǎng)桿連接至質(zhì)量塊上與短桿連接角同邊的另一角相應(yīng)的錨點(diǎn)處。l形撓性桿支撐梁形成了長(zhǎng)杠桿作用，能夠放大位移，便于提升測(cè)量精度，降低操作難度。隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23嵌在質(zhì)量塊17中并通過第三絕緣層22與質(zhì)量塊17分隔，如圖2所示，隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23包括多個(gè)圓柱形結(jié)構(gòu)體，它們以對(duì)稱刻蝕方式分布在質(zhì)量塊17中，能夠在中心位置二側(cè)形成對(duì)稱分布的磁場(chǎng)，隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23二端與隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)二端電極相連接；隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)二端電極實(shí)現(xiàn)分布在質(zhì)量塊中的隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23的連接，第三絕緣層22用于隔離質(zhì)量塊17與隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23及其二端電極。在隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)二端電極施加電壓，隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23中由于電流的存在產(chǎn)生局部磁場(chǎng)63，為隧道磁阻式加速度計(jì)提供磁場(chǎng)條件。第一敏感反饋電極18、第二敏感反饋電極20、第一間距控制電極19、第二間距控制電極21位于質(zhì)量塊17的背面，由圖2視圖方向可見，它們分別位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23的右邊、左邊、前邊、后邊位置，利于電極的引線；第三敏感反饋電極34、第四敏感反饋電極36、第三間距控制電極35、第四間距控制電極37位于質(zhì)量塊的正面，在圖2視圖方向上它們分別位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23的右邊、左邊、前邊、后邊位置，利于電極的引線。

底層結(jié)構(gòu)中，在第一襯底1的正面布置有第一絕緣層2和四個(gè)錨點(diǎn)的下端，第一錨點(diǎn)3、第二錨點(diǎn)4、第三錨點(diǎn)5、第四錨點(diǎn)6的下端分別位于第一襯底1正面第一絕緣層2的左上、左下、右上、右下四個(gè)頂點(diǎn)處；第一絕緣層2的正面布置有第五敏感反饋電極7、第六敏感反饋電極9、第五間距控制電極8、第六間距控制電極10、第一隧道磁阻傳感器11、第二隧道磁阻傳感器12。第一隧道磁阻傳感器11、第二隧道磁阻傳感器12位于第一絕緣層2中部的兩邊，沿圖3中ab中心線對(duì)稱分布，如圖1所示，兩個(gè)隧道磁阻傳感器位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23的正下方，可以最大效應(yīng)的感應(yīng)磁場(chǎng)的變化，實(shí)現(xiàn)靈敏度的最優(yōu)化。需要說明的是，圖1(a)和圖3中兩隧道磁阻傳感器之間的距離并不相互對(duì)應(yīng)，也對(duì)本專利保護(hù)范圍不具有限制作用，這是由于第一隧道磁阻傳感器11和第二隧道磁阻傳感器12之間的距離可以根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)整。如圖3所示，第五敏感反饋電極7位于第一隧道磁阻傳感器11和第一錨點(diǎn)3、第二錨點(diǎn)4之間，第六敏感反饋電極9位于第二隧道磁阻傳感器12和第三錨點(diǎn)5、第四錨點(diǎn)6之間；第五間距控制電極8位于兩隧道磁阻傳感器和第二錨點(diǎn)4、第三錨點(diǎn)5之間、第六間距控制電極10位于兩隧道磁阻傳感器和第一錨點(diǎn)3、第四錨點(diǎn)6之間；且由圖1(a)可見，第五敏感反饋電極7、第六敏感反饋電極9位于第一敏感反饋電極18、第二敏感反饋電極20的正下方，第五間距控制電極8、第六間距控制電極10位于第一間距控制電極19、第二間距控制電極21的正下方。

圖3為底層俯視圖，其中，第一隧道磁阻傳感器11、第二隧道磁阻傳感器12由矩形塊以“蛇形”結(jié)構(gòu)串聯(lián)而成，位于第一錨點(diǎn)3、第二錨點(diǎn)4和第三錨點(diǎn)5、第四錨點(diǎn)6中點(diǎn)的連線cd上，且它們位于第一錨點(diǎn)3、第四錨點(diǎn)6和第二錨點(diǎn)4、第三錨點(diǎn)5中點(diǎn)連線ab的兩側(cè)。如圖4所示，第一隧道磁阻傳感器11從上至下依次布置有頂層55、自由層56、隧道勢(shì)壘層57、鐵磁層58、反鐵磁層59和底層60；鐵磁層58磁場(chǎng)方向由反鐵磁層59預(yù)先設(shè)定，自由層52磁場(chǎng)方向由外界隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23產(chǎn)生的磁場(chǎng)決定，隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23產(chǎn)生的磁場(chǎng)由施加的電流決定。

矩形第五敏感反饋電極7、第六敏感反饋電極9位于cd線上，且在兩隧道磁阻傳感器兩側(cè)；矩形第五間距控制電極8、第六間距控制電極10位于ab線上，且在兩隧道磁阻傳感器兩側(cè)；第五、六間距控制電極與第一、二間距控制電極形成差動(dòng)力矩器，實(shí)現(xiàn)中間層與底層之間的間距控制；第五、六敏感反饋電極與第一、二敏感反饋電極形成二組差分控制引腳，在局部磁場(chǎng)和隧道磁阻傳感器檢測(cè)信號(hào)之間形成閉合回路。

如圖5所示，從底層結(jié)構(gòu)電極引線圖，第一隧道磁阻傳感器11的第一端47、第二端48通過第一電極引線51、第二電極引線52引出；第二隧道磁阻傳感器12的第三端49、第四端50通過第三電極引線53、第四電極引線54引出；第五敏感反饋電極7、第六敏感反饋電極9通過第五電極引線46、第六電極引線44引出，第五間距控制電極8、第六間距控制電極10通過第七電極引線43、第八電極引線45引出；四個(gè)錨點(diǎn)分別通過第九電極引線41、第十電極引線42、第十一電極引線39、第十二電極引線40引出。

如圖6所示，頂層結(jié)構(gòu)在第二襯底25背面布置第二絕緣層26和四個(gè)錨點(diǎn)的上端，且第一錨點(diǎn)3、第二錨點(diǎn)4、第三錨點(diǎn)5、第四錨點(diǎn)6的上端位于第二襯底25背面第二絕緣層26左上、左下、右上、右下四個(gè)頂點(diǎn)處。第二絕緣層26的背面布置有第七敏感反饋電極29、第八敏感反饋電極31、第七間距控制電極30、第八間距控制電極32、第三隧道磁阻傳感器27、第四隧道磁阻傳感器28。第三隧道磁阻傳感器27、第四隧道磁阻傳感器28位于第二絕緣層26中間位置并且位于隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23的正上方；第七敏感反饋電極29位于第三隧道磁阻傳感器27和第一錨點(diǎn)3、第二錨點(diǎn)4之間、第八敏感反饋電極31位于第四隧道磁阻傳感器28和第三錨點(diǎn)5、第四錨點(diǎn)6之間；第七間距控制電極30位于第三隧道磁阻傳感器27、第四隧道磁阻傳感器28和第二錨點(diǎn)4、第三錨點(diǎn)5之間、第八間距控制電極32位于第三隧道磁阻傳感器27、第四隧道磁阻傳感器28和第一錨點(diǎn)3、第四錨點(diǎn)6之間；且第七敏感反饋電極29、第八敏感反饋電極31位于第三敏感反饋電極34、第四敏感反饋電極36的正上方，第七間距控制電極30、第八間距控制電極32位于第三間距控制電極35、第四間距控制電極37的正上方。

基于磁場(chǎng)方向改變的隧道磁阻式加速度計(jì)裝置的測(cè)量方法如下：

在隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)二端電極施加電壓從而在隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23中形成電流產(chǎn)生局部磁場(chǎng)63，當(dāng)加速度信號(hào)沿著方向38輸入時(shí)，質(zhì)量塊17向下產(chǎn)生位移，導(dǎo)致隧道磁阻勵(lì)磁結(jié)構(gòu)23與第一隧道磁阻傳感器11、第二隧道磁阻傳感器12的間距變小并且與第三隧道磁阻傳感器27、第四隧道磁阻傳感器28的間距變大，從而引起第一、二、三、四隧道磁阻傳感器周圍磁場(chǎng)發(fā)生改變，通過對(duì)第一、二、三、四隧道磁阻傳感器電阻的測(cè)量從而實(shí)現(xiàn)對(duì)外界輸入加速度的測(cè)量。

本發(fā)明方案所公開的技術(shù)手段不僅限于上述實(shí)施方式所公開的技術(shù)手段，還包括由以上技術(shù)特征任意組合所組成的技術(shù)方案。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。